DE19600427A1 - Ausrichter mit einer Markierungseinrichtung - Google Patents

Ausrichter mit einer Markierungseinrichtung

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Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. Bereich der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft einen mit einer Markierungsvorrichtung ausgestatteten Ausrichter und beson­ ders einen mit einer Markierungsvorrichtung ausgestatteten verbesserten Ausrichter, der durch gleichzeitiges Durchfüh­ ren eines Ausrichtungsprozesses und eines Markierungspro­ zesses hinsichtlich der Belichtung Herstellungskosten ver­ ringern und die Produktivität erhöhen kann.
2. Beschreibung des Stands der Technik
Im allgemeinen ist es während eines Herstellungspro­ zesses für Halbleiterwafer nötig, einen Ausrichtungsprozeß unter Verwendung eines Ausrichters durchzuführen, bevor ein Belichtungsprozeß durchgeführt wird. Nach dem Belichtungs­ prozeß wird ein Markierungsprozeß durchgeführt, der auf das Markieren einer bestimmten Information wie beispielsweise einer Losnummer und ähnlichem auf einem Wafer gerichtet ist.
Fig. 2 zeigt eine herkömmliche Markierungsvorrichtung, die eine Maske 2 mit verschiedenen Zeichen enthält, die unter einer Hochdruck-Quecksilberdampflampe 1 angeordnet ist, die zum Drucken von Zeichen ein bestimmtes dicht er­ zeugt. Zum Projizieren des durch die Hochdruck-Quecksilber­ dampflampe 1 erzeugten nichts auf einen Wafer W befindet sich eine Linse 3 unter der Maske 2.
Unter der Linse 3 befindet sich zusätzlich eine Verar­ beitungseinheit 4 zum Drucken verschiedener Zeichen auf einer Oberfläche des Wafers W. Auf einer Seite der Verar­ beitungseinheit 4 ist ein Sender 5 zum Laden des Wafers W angeordnet und auf der anderen Seite der Verarbeitungsein­ heit 4 ist ein Empfänger 6 zum Entladen des Wafers W ange­ ordnet.
Mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen wird nun die Arbeitsweise des mit einer Markierungsvorrichtung ausge­ statteten Ausrichters erklärt.
Wenn der Wafer W zur Verarbeitungseinheit 4 gebracht wird, wird zunächst ein bestimmtes, auf den Wafer W zu druckendes Zeichen ausgewählt. Wenn die Auswahl des be­ stimmten Zeichens vollendet ist, wird das Zeichen auf den Wafer W gedruckt, indem das darauf aufgebrachte lichtemp­ findliche Material in Zusammenarbeit mit der Maske 2, der Linse 3 und der Hochdruck-Quecksilberdampflampe 1 zur Reak­ tion gebracht wird.
Der herkömmliche Markierungsprozeß, der nach dem Be­ lichtungsprozeß durchgeführt wird, hat jedoch darin einen Nachteil, daß die Produktivität verringert wird, da er un­ abhängig vom Ausrichtungsprozeß durchgeführt wird.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist folglich ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen mit einer Markierungsvorrichtung ausgestatteten Aus­ richter bereitzustellen, der die bei einem herkömmlichen, mit einer Markierungsvorrichtung ausgestatteten Ausrichter auftretenden Probleme bewältigt.
Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, einen verbesserten, mit einer Markierungsvorrichtung ausge­ statteten Ausrichter bereitzustellen, der Herstellungsko­ sten verringern und Produktivität erhöhen kann, indem er einen Ausrichtungsprozeß und einen Markierungsprozeß hin­ sichtlich der Belichtung gleichzeitig durchführt. Um die obigen Ziele zu erreichen, wird ein mit einer Markierungs­ vorrichtung ausgestatteter Ausrichter bereitgestellt, der einen Beleuchter mit einem optischen Kabel zur Erzeugung von Licht; eine Streulinse zum Streuen von daran übertrage­ nem Licht; eine Maske mit verschiedenen zu druckenden Zei­ chen; ein Maskenmodul zum selektiven Antreiben der Maske; eine Linse zum Übertragen von Licht auf einen Wafer; einen Verschluß zum selektiven Blockieren von daran übertragenem Licht für eine bestimmte Zeit; und eine Arbeitsfläche mit einer Spannvorrichtung zum Bewegen des Wafers enthält.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Fig. 1 ist eine Draufsicht, die einen mit einer Mar­ kierungsvorrichtung ausgestatteten Ausrichter gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 2 ist eine Draufsicht, die eine herkömmliche Mar­ kierungsvorrichtung zeigt.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Fig. 1 zeigt einen mit einer Markierungsvorrichtung ausge­ statteten Ausrichter, der einen Beleuchter 10 mit einem an einem vorherbestimmten Teil des Systems angeordneten opti­ schen Kabel 10a enthält. Eine Streulinse 11 ist unterhalb des optischen Kabels 10a zum Streuen von darauf übertrage­ nem Licht angeordnet und eine Maske 12 mit verschiedenen zu druckenden Zeichen ist unterhalb der Streulinse 11 angeord­ net.
Zusätzlich ist unter der Maske 12 ein Maskenmodul 13 zum selektiven Antreiben der Maske 12 angeordnet. Unter dem Maskenmodul 13 ist eine Linse 14 zum Übertragen von Licht zum Wafer W angeordnet und unter der Linse 14 ist ein Ver­ schluß 15 zum Blockieren von daran übertragenem Licht für eine bestimmte Zeit angeordnet und eine Arbeitsfläche 16 mit einer Spannvorrichtung 16a ist zum Bewegen des Wafers W unterhalb des Verschlusses 15 angeordnet.
Die Arbeitsweise des mit einer Markierungsvorrichtung ausgestatteten Ausrichters wird nun mit Bezug auf die bei­ gefügte Zeichnung erläutert.
Wenn der Wafer W zunächst auf die obere Oberfläche der Spannvorrichtung 16a, die auf der oberen Oberfläche der Arbeitsfläche 16 angeordnet ist, plaziert wird, bewegt sich die Arbeitsfläche 16 zur Ausrichtung.
Wenn zusätzlich der Verschluß 15 der Linse 14 geöffnet wird, wird Licht vom Beleuchter 10 durch die Streulinse 11, die Maske 12 und die Linse 14 auf das auf der oberen Ober­ fläche des Wafers W aufgebrachte lichtempfindliche Material übertragen, so daß ein Markierungsprozeß durchgeführt wird, indem das lichtempfindliche Material in Zusammenarbeit mit dem daran übertragenen Licht zu Reaktion gebracht wird.
Diese Ausführungsform ist auf die gleichzeitige Durch­ führung des Ausrichtungsprozesses und des Markierungspro­ zesses vor dem Belichtungsprozeß gerichtet, sie ist jedoch beim Implementieren der Ziele der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt. In einer weiteren Ausführungsform kann der Markierungsprozeß zu einer bestimmten Stufe nach der Ausrichtung und Belichtung in einem System ausgeführt werden.
Wie oben beschrieben, ist der mit einer Markierungs­ vorrichtung ausgestattete Ausrichter auf die gleichzeitige Durchführung des Markierungsprozesses und des Ausrichtungs­ prozesses in einem System gerichtet und erhöht somit die Produktivität und verringert Kosten und Zeitaufwand.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der vorlie­ genden Erfindung zum Zweck der Darstellung beschrieben wur­ den, werden Fachleute erkennen, daß verschiedene Modifika­ tionen, Zusätze und Ersetzungen möglich sind, ohne vom Be­ reich und vom Geist der Erfindung abzuweichen, wie sie in den beigefügten Patentansprüchen beschrieben ist.

Claims (1)

  1. Ausrichter mit einer Markierungseinrichtung, der aufweist:
    • - einen Beleuchter (10) mit einer optischen Leitung (10a) zum Erzeugen von Licht;
    • - eine Streulinse (11) zum Streuen von zu ihr übertragenem Licht;
    • - eine Maske (12) mit verschiedenen zu druckenden Zeichen;
    • - ein Maskenmodul (13) zum wahlweisen Bewegen der Maske (12);
    • - eine Linse (14) zum Übertragen von Licht zu einem Wafer (W);
    • - einen Verschluß (15) zum wahlweisen Blockieren von zu ihm übertragenem Licht für eine bestimmte Zeitdauer; und
    • - eine Basis (16) mit einer Spannvorrichtung (16a) zum Bewegen des Wafers (W).
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