KR0156031B1

KR0156031B1 - 진공전자장치 및 그 외위기와 형광표시장치

Info

Publication number: KR0156031B1
Application number: KR1019940016132A
Authority: KR
Inventors: 시게오 이토; 다케시 도네가와; 미키오 요코야마; 유이치 고구레
Original assignee: 호소야 레이지; 후다바 덴시 고교 가부시키가이샤
Priority date: 1993-07-14
Filing date: 1994-07-06
Publication date: 1998-10-15
Also published as: FR2709374B1; FR2709374A1; JPH078944U; US5635795A; KR950004359A; US5789858A; JP2570697Y2

Abstract

본원 발명은 기판 및 대향면판에 배기구멍을 설치함이 없이 충분히 내부를 고진공 상태로 배기할 수 있는 구조의 형광표시장치를 제공하는 것을 목적으로 하며, 제1기판과 제2기판 및 측면부로 형성되는 진공전자장치의 외위기에서 상기 제1기판 또는 상기 제2기판이 배기구멍을 가지는 배기부를 기판에 결합한 구성인 외위기로 이루어진 형광표시장치에 관한 것이다.

Description

진공전자장치 및 그 외위기와 형광표시장치

제1도는 제1실시예에 있어서의 음극기판이 평면도.

제2도는 제1실시예에 있어서의 양극기판이 평면도.

제3도는 제1실시예에 있어서의 게터실의 평면도 및 단면도.

제4도는 제1실시예에 있어서의 평면도.

제5도는 제1실시예에 있어서의 단면도.

제6도는 제2실시예의 평면도.

제7도는 제3실시예의 평면도.

제8도는 본 발명의 각 실시예에 있어서의 배기 부의 다른 형태를 도시하는 평면도.

제9도(a)는 제4실시예의 평면도, (b)는 (a)의 a-a 절단성에 있어서의 단면도.

제10도는 제5실시예의 단면도.

제11도는 제6실시예의 단면도.

제12도는 제7실시예의 단면도.

제13도(a)는 제8실시예의 평면도, (b)는 (a)의 b-b 절단성에 있어서의 단면도/

[산업상의 이용분야]

발명은 진공전자장치 및 그 외위기(外圍器 : 외부를 둘러싸는 용기)에 관한 것으로, 특히 외위기내를 배기하여 고진공상태로 유지하기 위한 구조에 관한 것이다. 본 발명의 진공전자장치로서는 예컨대 형광표시장치등이 있다.

[종래의 기술]

종래의 일반적인 형광표시장치는, 고진공상태로된 외위기의 내부에 전자를 방출하는 음극을 가지고 있으며, 또한 이 음극과 대향하는 외위기의 내면에는 형광체층과 양극 도체를 가지는 표시부를 가지고 있다. 또 외위기의 상기 음극과 표시부의 사이에는 필요에 따라 제어전극이 설치되어 있다. 그리고 음극에서 방출된 전자를 선택적으로 형광체층에 방사충돌시켜서 소망의 발광표시를 행하고 있다.

상기 형광표시장치의 음극으로서는, 통전가열되어서 열전자를 방출하는 선형상의 음극 외에, 전계방출형 음극 등의 냉음극등이 사용되고 있다.

또, 일반적으로 상기 형광표시장치의 외위기는, 표시부가 형성되는 기판과, 이 기판에 대향하는 대향면판과, 외위기의 측면을 형성하는 측면 부로 형성되어 있다.

그리고 외위기의 형성시에는 기판 또는 대향면판에 설치된 배기판 또는 배기 구멍으로부터 외위기의 내부를 배기하고 그후, 배기판을 봉합하거나, 배기 구멍을 뚜껑부재등으로 봉함하여 내부를 고진공상태로 유지하고 있다. 이외에, 측면 부에 배기관을 설치하고, 이 배기관을 통하여 내부를 배기하여 봉함 하는 경우도 있다.

[발명이 해결하려고 하는 과제]

종래의 형광표시장치의 외위기 구조에 의하면, 다음에 표시하는 것과 같은 문제점이 있었다.

①기판 또는 대향면판으로부터 외위기를 배기하는 경우에는, 배기판 또는 뚜껑부재의 어떤 것을 사용하여 봉함하는 구성이라도, 기판 또는 대향면판에 배기 구멍을 형성하지 않으면 안 된다. 이와 같이 기판에 배기 구멍을 형성하면, 그 가공시에 생기는 먼지, 공정시의 오염, 기판 등에 생기는 균열 등이 문제로 되었다.

특히, 전계방출형의 음극을 사용한 형광표시장치등과 같이, 기판과 대향면판의 쌍방에 미세가공이 필요한 경우에는 배기 구멍을 형성했을때의 먼지나 오염이 미세가공에 악영향을 미치는 경우가 있고, 또 배기구멍 그 자체가 미세가공의 노출공정등에 악영향을 미치기 때문에 정밀하게 가공할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

②하나의 기판에 수개소의 배기 구멍을 설치하는 것은, 이 기판 등에 균열이 생기기 때문에 불가능하다.

이외, 기밀 외위기의 측면부에 배기관을 설치하면, 형광표시장치 본체의 두께를 작게 할 수 없다. 이 때문에, 예컨대 전계방출형의 음극과 같은 평면형상 음극이 대향면판의 내면에 형성되는 타입의 형광표시장치에 있어서, 음극을 사용하여 표시영역을 선택하려고 해도, 음극과 표시 부의 간격이 크기 때문에 전자가 확산하여 양호한 표시를 얻을 수 없다고 하는 문제가 있었다.

또, 형광표시장치에서는, 외위기 내부의 진공도를 높게 하기 위하여 게터재를 사용한다. 그 때문에 형광표시장치이 외위기 내에는 게터를 비산시켜서 게터막을 형성하는 것만큼의 스페이스가 필요하며, 측면부에 배기관을 설치하는 경우와 동일하게 형광표시장치 본체의 두께를 얇게 할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

본원 발명은, 상기한 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 기판 및 대향면판에 배기 구멍을 설치함이 없이 충분히 내부를 고진공상태로 배기할 수 있는 구조의 형광표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

청구항 1기재의 진공전자장치의 외위기는, 제1기판과 제2기판 및 측면 부로 형성되는 진공 전자장치의 외위기에 있어서, 상기 제1기판 또는 상기 제2기판이, 배기 구멍을 가진 배기부를 기판에 결합한 구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 2기재의 진공전자장치는, 전자를 방출하는 음극을 구비한 제1기판과, 형광체층을 가진 표시부를 구비한 제2기판 및 소정간격을 두고 대면하는 상기 양기판의 외주부에 설치된 측면부에 의해 구성되며, 그 내부를 고진공상태로 유지된 외위기를 가지고 있고, 상기 음극으로부터 방출된 전자를 상기 표시부에 선택적으로 방사충돌시켜서 소망의 발광표시를 행하도록 되어 있다. 그리고, 상기 제1의 기판 또는 상기 제2의 기판이, 상기 음극 또는 상기 표시부가 형성되는 전극형성부와, 상기 외위기내를 배기한 후에 봉함 되는 배기 구멍이 형성되는 배기부로부터 구성된 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 3기재의 진공전자장치는, 청구항 1의 진공전자장치에 있어서, 상기 배기 구멍이 상기 배기부의 측단면에 형성된 절결부와 상기 전극형성부이 측단면으로 구성된 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 4기재의 진공전자장치는, 청구항 1의 진공전자장치에 있어서, 상기 배기 구멍이 상기 배기부에 형성된 관통구멍으로 구성된 것을 특징으로 하고 있다.

또 본 발명에 의하면, 청구항 1 또는 2기재의 형광표시장치에 있어서, 상기 배기 부의 내부에 게터를 설치하여도 되고, 상기 배기 부에 배기관을 부착하여 배기하도록 해도 무방하며, 또한 상기 배기 부에 개구구멍을 설치하고, 이 개구구멍으로부터 외위기내를 배기한 후에 뚜껑부재로 이 개구를 폐지하도록 해도 무방하다.

[작용]

청구항 1~7에 의하면, 외위기의 내부는 제1기판 또는 제2기판의 일부를 구성하는 배기부의 배기 구멍을 통하여 배기된다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

청구항 8기재의 형광표시장치는, 전자를 방출하는 음극과 형광체층을 가지는 표시부가 기밀상태로 유지된 외위기의 내부에 설치되고, 상기 음극으로부터 방출된 전자를 상기 표시 부에 선택적으로 방사충돌시켜서 소망의 발광표시를 행하는 형광표시장치에 있어서, 상기 외위기의 측면에 형성된 환기구멍과, 상기 배기 구멍을 통하여 상기 외위기의 내부를 배기하도록 상기 외위기의 바깥측에 형성된 배기실을 가지는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 9기재의 형광표시장치는, 소정간격을 두고 대면에는 기판 및 대향면판에 측면 부를 설치하여 구성된 외위기의 기밀상태로된 내부에, 전자를 방출하는 음극과 형광체층을 가지는 표시부가 설치되고, 상기 음극으로부터 방출된 전자를 상기 표시부에 선택적으로 방사 충돌시켜서 소망이 발광표시를 행하는 형광표시장치에 있어서, 상기 기판과 대향면판의 적어도 한쪽에는 다른 쪽과 대면하고 있지 않는 비대면부분이 설정되고, 상기 비대면부분에 대응하는 상기 측면부에는 배기 구멍이 설치되며, 상기 배기 구멍을 통하여 상기 외위기이 내부를 배기하기 위한 배기실이, 상기 비대면부분에 형성된 것을 특징으로 하고 있다.

또 본 발명에 의하면, 청구항 8 또는 9기재의 형광표시장치에 있어서, 상기 배기실의 내부에 게터를 설치해도 되고, 상기 배기실에 배기관을 부착하여 배기하도록 해도 되며, 다시 상기 배기실에 개구구멍을 설치하여 이 구멍으로부터 외위기내를 배기한 후에, 뚜껑부재로 이 개구를 폐지하도록 해도 된다.

[작용]

청구항 8~12에 의하면 외위기의 내부는 외위기의 측면에 형성된 배기구멍 및 이 배기 구멍에 연통하여 외위기의 바깥 측에 설치된 배기실을 통하여 배기된다.

[실시예]

제1~제5도를 참조하여 제1실시예를 설명한다. 진공전자장치의 1예인 본 실시예의 형광표시장치(1)는, 내부를 고진공상태로 유지한 외위기(2)를 가지고 있다. 이 외위기(2)는 음극으로서의 전계방출소자를 내면에 구비한 제1기판인 음극기판(3)과, 형광체층을 가지는 표시부를 내면에 구비한 제2기판인 양극기판(4)과, 소정간격을 두고 대면하는 상기 양기판(3, 4)이 외주 부를 봉함부착하는 측면 부로서의 시일부재(5)로 구성되어 있다. 그리고 상기 음극에서 방출된 전자가 상기 표시부에 선택적으로 방사 출동시켜 소망의 발광표시가 행해지도록 구성되어 있다.

제1도는 제1기판인 음극기판(3)을 도시한다. 음극기판(3)은, 유리판 등이 절연재료로 형성되는 판재를 2장 접착하여 구성되어 있다. 즉, 비교적 큰 판재인 전극형성부(6)의 측단면(6a)에, 비교적 작은 판재인 배기부(7)가 저융점유리를 통하여 접착되어 있다. 도시는 하지 않으나, 전극형성부(6)의 내면에는 전계방출소자가 형성되어 있다. 배기부(7)의 측단면(7a)에는 대략 반원형의 절결부(8)가 형성되어 있고, 상기 전극형성부(6)의 측단면(6a)과의 사이에 배기구멍(9)이 형성되어 있다.

제2도는 제2기판인 양극기판(4)을 도시한다. 양극기판(4)은, 유리판등의 절연재료로 이루어진 한장의 판재를 형성되며, 그 외형치수는 상기 음극기판(3) 보다 약간 작다. 상기 음극기판(3)의 내면에 소정간격을 두고 대면하는 이 양극기판(4)의 내면에는, 그 외주부에 외위기(2)의 측면부로되는 시일부재(5)가 설치되어 있다. 도시한 바와 같이, 시일부재(5)는 상기 음극기판(3)의 외형에 따른 형상으로 되며, 상기 음극기판(3)과 편성시에 상기 배기구멍(9)이 그 안쪽에 오도록 구성되어 있다. 상기 시일부재(5)는 저융점 유리부재로 되며, 페이스트 형상의 저융점 유리를 인쇄한 후 소성하여 얻어진다. 도시는 하지 않았으나, 상기 양극기판(4) 내면에는 상기 시일부재(5) 안쪽에, 양극도체와 이 양극도체상에 형성된 형광체층으로 형성되는 표시부로서의 양극이 형성되어 있다.

제3도는 게터실(10)을 도시한다. 게터실(10)은, 하면이 개방되고, 상면에 구멍(11)이 형성된 본체(12)와, 이 본체(12)상면에 설치되어서 상기 구멍(11)에 연통하는 배기관(13)에 의해 구성되어 있다. 게터실(10)의 본체(12)의 하단면에는 시일부재(14)가 형성되어 있다.

제4도 및 제5도에 도시한 바와 같은 본 실시예의 형광표시장치(1)를 형성하기 위해서는, 상기 음극기판(3)과 상기 양극기판(4)을 시일부재(5)를 통하여 편성하고, 다시 상기 게터실(10)을 상기 음극기판(3)의 배기구멍(9) 상부에 시일부재(14)를 통하여 부착한다. 게터실(10)의 내부에는 게터(15)를 삽입해 둔다.

편성한 각 부재는 클립등으로 고정해 둔다. 그리고, 이것을 진공중 또는 불활성 가스분위기중에 수납하여 승온하고, 시일부재(5, 14)를 용융시켜서 각 부재 끼리를 접착한다. 그후, 게터실(10)에 설치한 배기관(13)으로부터 외위기(2) 내를 배기하고, 배기후에 이 배기관(13)을 봉함함으로써, 내부가 고진공상태로 유지된 기밀한 외위기(2)가 얻어진다.

본 실시예의 형광표시장치(1)에 의하면, 음극기판(3)의 전극형성부(6)에는 배기구멍을 가공할 필요가 없으므로, 음극기판(3)에는 균열이나 오염의 염려가 없다. 이 때문에 이 음극기판(3)에는 전계방출소자를 정밀하게 만들어 넣을 수 있다. 또 배기구멍이 배기부에 설치되어 있으므로, 그 형상 구멍의 크기를 비교적 자유롭게 설정할 수 있으므로, 배기 콘덕턴스가 큰 형상·크기로 형성할 수 있다.

또 본 실시예의 형광표시장치(1)에 의하면, 전계방출형 음극과 같은 평면형상음극을 전자원으로하고 있기 때문에, 음극기판(3)과 양극기판(4)의 간격을 극히 작게 설정하고 있으나, 그래도 외위기(2)의 단부에 충분한 개구면적의 배기구멍(9)의 확보할 수 있고, 그 봉함작업도 상기 배기관(13)을 봉함함으로써 용이하게 행할 수 있다.

이상 설명한 제1실시예에 있어서는, 배기관 대신에 판형상등의 뚜껑부재를 본체(12)에 부착시켜서 게터실을 구성하여도 된다.

제6도는 제2실시예의 형광표시장치(21)이다.

본 실시예의 형광표시장치(21)의 외위기(22)는, 상기 제1실시예와 동일하게 양극기판(24)과 음극기판(23)을 시일부재로 봉함부착한 구성으로 되어 있다.

단, 본 실시예에 있어서는, 양극기판(24)이 유리판등의 절연재료로 형성되는 판재를 2장 접착하여 구성되고 있다. 즉, 비교적 큰 판재인 전극형성부(26)의 측단면에 비교적 작은 판재인 배기부(27)가 저융점유리를 통하여 접착되어 있다. 도시는 하지 않으나, 전극형성부(26)내면에는, 소정패턴의 양극도체와 형광체층으로 형성되는 표시부가 형성되고 있다. 배기부(27)의 측단면(27a)에는 대략 반원형의 절결부(28)가 형성되어 있고, 상기 전극형 형성부(26)의 측단면(26a)과의 사이에 배기구멍(29)이 형성되어 있다.

본 실시예의 음극기판(23)은 상기 양극기판(24)의 전극형성부(26)보다 한결 큰 한 장의 유리판으로 형성되며, 그 내면에는 전계방출소자가 형성되어 있다.

그리고, 상기 양극기판(24)과 상기 음극기판(23)은 소정간격을 두고 대면하며, 그 외주부에 있어서 시일부재로 봉함부착되어서 기밀한 외위기(22)가 구성되어 있다. 게터실, 시일부재나 그외의 구성은 상기 제1실시예와 동일하다.

본 실시예의 형광표시장치(21)에 의하면, 양극기판(24)의 전극형성부(26)에는 배기구멍을 가공할 필요가 없으므로, 양극기판(24)에는 균열이나 오염의 염려가 없다. 이 때문에, 이 양극기판(24)에는 복잡하며 미세한 패턴의 표시부를 정밀하게 만들어 넣을 수있다. 그외, 제1실시예와 동등한 효가를 얻을 수 있다.

제7도는 제3실시예의 형광표시관(31)이다.

본 실시예의 형광표시관(31)의 외위기(32)는, 상기 제1실시예와 동일하게 양극기판(34)과 음극기판(33)을 시일부재로 봉함부착한 구멍으로 되어 있다.

단, 본 실시예에 있어서는, 음극기판(33)이 유리판등의 절연재료로 형성되는 판재를 3장 접착하여 구성되어 있다. 즉, 비교적 즉 직4각형의 판재인 전극형성부(36)의 인접하는 두 개가 측단면(36a, 36a)에, 비교적 작은 직4각형의 판재인 두 개의 배기부(37, 37)가 각각 저융점 유리를 통하여 접착되어 있다. 도시는 하지 않으나, 전극형성부(26)의 내면에는, 전계방출소자가 형성되어 있다. 각 배기부(37, 37)의 각 측단면(37a, 37a)에는 대략 반원형의 절결부(38, 38)각 각각 형성되어 있고, 상기 전극형성부(36)의 각 측단면(36a, 36a)과의 사이에 각각 배기구멍(39, 39)이 형성되어 있다.

본 실시예의 양극기판(34)은, 상기 음극기판(33)의 전극 형성부(36)와 동등한 크기의 1장이 직4각형 유리판으로 형성된다. 그 내면에는 소정패턴의 양극도체와 형광체층을 가지는 표시부가 형성되어 있다. 그리고, 상기 양극기판(34)과 상기 음극기판(33)은, 도시한 바와 같이 직4각형의 대각선 방향으로 쳐진 위치에서 소정 간격을 두고 대면하고, 그 겹쳐지는 부분의 외주부에 있어서 시일부재로 봉함부착되어 있으며, 이것에 의해 2개의 배기구멍(39, 39)을 가지는 기밀한 외위기(32)가 구성되어 있다. 도시하지 않은 게터실·시일부재나 기타의 구성은, 상기 제1실시예와 동일하다.

본 실시예의 형광표시장치(31)에 있어서 외위기(32)의 구성에 의하면, 음극기판(33)에 있어서 두 개의 배기부(37, 37)가 설치되어 있지 않는 부분은, 외위기(32)이 바깥쪽에 돌출되어 있다.

이 돌출부분(40)에 전계방출소자의 전극을 인출하여 외부단자로하면, 외위기(32)밖에 있는 구동부와의 접속이 용이하게 된다. 가령, 상기 전계방출소자에 있어서, 에미터가 형성된 음극도체와 게이트전극으로 매트릭스를 짜고, 면형상으로 형성된 전계방출소자의 임의의 부분을 선택하여 전자를 방출시키도록 한 경우에는, 상기 음극도체와 게이트전극의 각 단자를 상기 돌출부분에 각각 형성하면 된다.

본 실시예의 형광표시장치(31)에 의하면, 상기 각 실시예와 대략 동일한 효과가 있는 외에, 배기구멍(39)이 2개 있으므로 보다 큰 배기톤덕턴스가 기대된다.

이상 설명한 각 실시예에서는, 외위기(2, 22, 32)에 형성된 배기구멍(9, 29, 39)의 형상은 반원형이였었으나, 다른 형상이라도 무방하다. 가령, 제8도에 도시한 바와 같이, 전극 형성부에 접속되는 배기부(45, 57)의 절결부(48, 58)의 형상은, 홈형상이라도 되며, 둥근 관통구멍이라도 무방하다.

또한, 이상 설명한 각 실시예에는, 전극 형성부(6, 26, 36)에 접속되는 배기부(7, 27, 37, 47, 57) 측단면(7a, 27a, 37a, 47a, 57a)의 길이는, 이곳에 대응하는 전극형성부(6, 26, 36)의 측단면(6a, 26a, 36a)의 길이보다도 작았으나, 양자이 측단면 길이를 일치시켜도 된다. 이와 같이 하면, 외위기의 형상에 요철이 적어진다.

이상 설명한 각 실시예에서는, 음극으로서의 전계방출소자는 음극기판(3, 23, 33) 상에 직접 만들어져 있었으나, 가령, Si기판상에 전계방출소자를 형성하여 이것을 각 음극기판상에 설치하도록 해도 무방하다. 양극기판(4, 24, 34)상의 표시부에 대해서도 동일하다.

또, 이상의 각 실시예에서는, 본 발명의 진공전자장치의 1예로서 형광표시장치를 설명하였으나, 본 발명은 이것 이외의 진공전자장치에도 적용할 수 있다.

가령, 내부를 고진공상태로한 외위기의 내부에 전계방출소자를 설치하고, 이 전계방출소자가 외위기 밖의 자계의 영향을 받는 형상을 이용한 자기 검출소자등에도 본 발명을 적용할 수 있다.

[발명의 효과]

이상 설명한 본 발명의 형광표시장치는, 외위기의 구성부분인 기판이 음극 또는 표시부가 형성되는 전극형성부와, 상기 외위기내를 배기한 후에 봉함되는 배기구멍이 형성되는 배기부로부터 구성되어 있으므로, 전극형성자체에 배기구멍을 가공할 필요가 없고, 음극이나 표시부등을 형성하기 위하여 기판에 행하는 미세가공이 악영향을 받을 염려가 없어진다.

또 배기구멍이 배기부에 설치되어 있으므로, 그 형상·구멍의 크기를 비교적 자유롭게 설정할 수 있기 때문에, 배기 콘덕턴스가 큰 형상·크기로 형성할 수 있다.

또, 기판이 주연부에 복수개수의 배기구멍이 설치되므로, 배기 콘덕턴스를 크게 할 수있다.

또, 외위기 측면에 배기관을 설치할 필요가 없어지므로 외위기의 두께를 작게할 수 있고, 평면형상 음극을 사용하는 형광표시장치에는 안성마춤이다.

또, 게터를 배기실내에 배열설치할 수 있으며, 외위기이 두께를 작게할 수 있으므로, 이 점에서도 평면형상 음극을 사용하는 형광표시장치에는 안성마춤이다.

[실시예]

제9도(a), (b)는 제4실시예의 형광표시장치(110)를 도시하고 있다. 이 형광표시장치의 외위기(111)는, 소정 간격을 두고 대면하는 기판(101) 및 대향면판(102)과, 이 기판(101) 및 대향면판(102)의 사이에 설치되어 외우기의 측면을 형성하는 측면부(104)를 가지고 있다.

기판(101)은 투광성을 가지는 직4각형의 절연판이며, 그 내면에는 투광성이 전극과 형광체층으로 형성되는 표시부가 형성되어 있다. 대향면판(102)은 기판(101)과 동형의 절연판이며, 그 내면에는 전계방출형 음극이 형성되어 있다,

기판(101)과 대향면판(102)은, 제9도(a)에 도시한 바와 같이 면방향으로 위치를 쳐지게하여 대면하고 있고, 각각 상대방과 대면하고 있지 않는 비대면부분(103)을 가지고 있다. 또 상기 측면부(104)는, 기판(101)과 대칭면판(102)이 대면하고 있는 부분을 에워싸도록 양자의 사이에 설치되어 있다. 이것에 의해 상기 전계방출형 음극 및 표시부는 얇은 상자형의 외위기(111) 내에 수납되고, 상기한 비대면 부분(103)에 설치된 도시하지 않은 배선도체에 의해 외위기(111) 외로부터 통전된다.

상기 외위기(111)의 측면부(104)는 일부가 제거되어 있고, 외위기(111)외 측면에는 내부에 연통하는 배기구멍(104a)이 형성되어 있다. 이 배기구멍(104a)에 근접한 상기 기판(101)의 비대면부분(103) 및 외위기(111)의 측면에는, 대략 그자형의 스페이서 부재(105)가 고착제(固着劑)를 통하여 고착되고, 상기 배기구멍(104a)에 연통하는 배기실(107)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 외위기(111)의 배기공정에서는, 상기 배기실(107) 및 상기 배기구멍(104a)을 통하여 외위기(111) 내를 고진공상태로 배기하고, 그후 직4각형판 형상의 뚜껑부재(106)로 배기실(107)의 개구부를 봉함하여 외위기(111)를 봉함한다.

본 실시예의 형광표시장치(110)에 의하면, 전계방출형 음극과 같은 평면형상 음극을 전자원으로 하고 있기 때문에 기판(101)의 대향면판(102)의 간격을 극히 작게 설정하고 있으나, 그래도 외위기(111)의 측면에 충분한 개구면적의 배기구멍(104a)을 확보할 수 있고, 그 봉함작업도 상기 배기실(107)을 봉함함으로써 용이하게 행할 수 있다. 그리고 기판(101) 및 대향면판(102)에는 배기구멍(104)을 가공할 필요가 없으므로, 상기한 문제점을 해결할 수 있다. 그리고 외위기(111)을 가공할 필요가 없으므로, 상기한 문제점을 해결할 수 있다. 그리고 외위기(111) 밖에 설치된 배기실(107)은 기판(101)의 비대면부분(103)에 설치되어 있으므로, 이 배기실(107)을 설치함으로써, 외위기(111)의 두께의 증가는 뚜껑부재(106)의 두께만에 멈추고, 외위기 전체를 콤팩트한 구성으로 취합할 수 있다.

제10도는 제5실시예의 단면도이며, 제4실시예와 동일한 부분에는 제9도와 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다. 본 실시예는, 제4실시예로 배기실(107)을 구성하고 있는 스페이서 부재(105) 및 뚜껑부재(106)를 하나의 상자형의 부재(112)로 구성한 것이다.

제11도 및 제12도는 각각 제6 및 제7실시예의 단면도이며, 제4실시예와 동일한 부분에는 제9도와 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다. 이들의 실시예는 비기실(107) 내에 게터(108)을 설치하여 배기실(107)을 게터실로 겸용하고 있다. 이 게터(108)는 활성화게터등의 특별한 게터가 아니라도 무방하며, 통전 게터나 고주파 가열게터와 같은 가열하여 게터막을 형성하는 타입의 게터를 사용할 수있다.

제11도 및 제12도의 각 실시예에 있어서, 배기실(107)은 게터(108)를 수납하는 동시에 게터막을 형성할 수 있을 만큼 넓이로 형성되어 있다. 배기실(107)의 봉함은, 제11도에 도시한 바와 같이, 제9도아 동일한 뚜껑부재(113)를 사용하여 행하여도 되고, 비교적 큰 배기실(107)의 측면을 이용하여 제12도에 도시하는 바와 같이 배기관(109)을 사용하여도 된다.

제13도(a), (b)는 제8실시예를 예시하고 있다. 제4실시예와 동일한 부분에는 제9도와 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다. 본 실시예에서는, 대향면판(102)의 구석부(隅部)가 삼각형상으로 제거되어 있고, 이 부분의 측면부가 제거되어서 배기구멍(104a)이 형성되어 있다. 그리고 배기구멍(104a) 및 대향면판(102)의 구석부에 대응하는 기판(101)의 비대향면부분(103)의 스페이서부재(114)가 고착되어서 배기실(107)이 형성되며, 이 배기실(107)은 판형상의 뚜껑부재(115)에 의해 봉함되어 있다.

[발명의 효과]

이상 설명한 본 발명의 형광표시장치는, 외위기의 측면에 설치된 배기구멍에 연통하는 배기실을 통하여 외위기내를 배기하도록 되어 있으므로, 외위기를 구성하는 기판이나 대향면판에 배기구멍을 가공할 필요가 없고, 이들 기판등에 미세가공을 행하는 경우, 이와 같은 가공이 악영향을 받는 염려가 없어진다.

또 외위기의 측면에 배기관을 설치할 필요가 없어지므로 외위기의 두께를 작게할 수 있고, 평면형상음극을 사용하는 형광표시장치에는 안성맞춤이다.

또 게터를 배기실내에 배열설치할 수 있으므로 외위기의 두께를 작게할 수 있으므로, 이 점으로도 평면형상음극을 사용하는 형광표시장치는 안성맞춤이다.

Claims

제1기판과 제2기판 및 측면부로 형성되는 진공전자장치의 외위기에 있어서, 상기 제1기판 또는 상기 제2기판이 배기구멍을 가지는 배기부를 기판에 결합한 구성으로 되어 있음을 특징으로 하는 진공전자 장치의 외위기.
전자를 방출하는 음극을 구비한 제1기판과, 형광체층을 가지는 표시부는 구비한 제2의 기판과, 소정간격을 두고 대면하는 상기 양기판이 외주부에 설치된 측면부에 의해 구성되고, 그 내부를 고진공상태로 유지한 외위기를 가지며, 상기 음극으로부터 방출된 전자를 상기 표시부에 선택적으로 방사충돌시켜서 소망의 발광표시를 행하는 진공전자장치에 있어서, 상기 제1기판 또는 상기 제2기판이, 상기 음극 또는 상기 표시부가 형성되는 전극형성부와, 상기 외위기내를 배기한 후에 봉함되는 배기구멍이 형성되는 배기부로 구성된 것을 특징으로 하는 진공전자장치.
제2항에 있어서, 상기 배기구멍이 상기 배기부의 측단면부에 형성된 절결부와 상기 전극형성부의 측단면으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공전자장치.
제2항에 있어서, 상기 배기구멍이 상기 배기부에 형성된 관통구멍으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공전자장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 배기부의 내부에 게터를 설치한 것을 특징으로 하는 형광표시장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 외위기의 내부를 배기하기 위한 배기관을 상기 배기부에 부착한 것을 특징으로 하는 형광표시장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 외위기의 내부를 배기한 후에, 뚜껑부재로 폐지되는 개구부를 상기 배기부에 설치한 것을 특징으로 하는 형광표시장치.
전자를 방출하는 음극과 형광체층을 가지는 표시부가 기말상태로 유지된 외위기의 내부에 설치되고, 상기 음극으로부터 방출된 전자를 상기 표시부에 선택적으로 방사충돌시켜서 소망의 발광표시를 행하는 형광표시장치에 있어서, 상기 외위기의 측면에 형성된 배기구멍과, 상기 배기구멍을 통하여 상기 외위기의 내부를 배기하도록 상기 외위기의 외부측에 형성된 배기실을 가지는 것을 특징으로 하는 형광표시장치.
소정간격을 두고 대면하는 기판 및 대향면판에 측면부를 설치하여 구성된 외위기의 기밀상태로 된 내부에 전자를 방출하는 음극과 형광체층을 가지는 표시부가 설치되고, 상기 음극으로부터 방출된 전자를 상기 표시부에 선택적으로 방사충돌시켜서 소망의 발광표시를 행하는 형광표시장치에 있어서, 상기 기판과 대향면판의 적어도 한쪽에는 다른쪽과 대면하고 있지 않는 비대면부분이 설치되고, 상기 비대면 부분에 대응하는 상기 측면부에는 배기구멍이 설치되며, 상기 배기구멍을 통하여 상기 외위기이 내부를 배기하기 위한 배기실이 상기 비대면부분에 형성된 것을 특징으로 하는 형광표시장치.
제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 배기실 내부에 게터를 설치한 것을 특징으로 하는 형광표시장치.
제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 외위기 내부를 배기하기 위한 배기관을 상기 배기실에 부착한 것을 특징으로 하는 형광표시장치.
제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 외위기 내부를 배기한 후에 뚜껑부재로 폐지되는 개구부를 상기 배기실에 설치한 것을 특징으로 하는 형광표시장치.