KR100322795B1

KR100322795B1 - 진공용기

Info

Publication number: KR100322795B1
Application number: KR1019970069889A
Authority: KR
Inventors: 다카오 기시노; 겐타로 다나카; 시게오 이토; 다케시 도네가와
Original assignee: 니시무로 아츠시; 후다바 덴시 고교 가부시키가이샤
Priority date: 1996-12-18
Filing date: 1997-12-17
Publication date: 2002-03-08
Also published as: JPH10177851A; FR2757311B1; FR2757311A1; KR19980064230A; US6084344A

Abstract

용기의 전체높이를 두껍게하지 않고, 게터부재를 배열설치할 수 있다.

표시부를 이루는 양극전극(12)이 형성된 양극기판(1)과 전계방자소자(5)가 형성된 음극기판(2)을 대향배치하고, 이들 기판(1,2)의 외주부를 봉하여 용기(4)가 구성된다. 음극기판(2)에는 용기(4)내부에 연통하는 관통구멍(14)이 형성된다. 관통구멍(14)내에는 게터부재(15)가 수납된다. 관통구멍(14)이 위치하는 음극기판(2)의 외벽면에는 용기(4)내를 배기하기 위한 배기관(16)이 설치된다.

Description

진공용기{VACUUM CONTAINER}

본 발명은 박형으로 형성된 용기의 내부에 발생하는 가스를 게터에 의하여 흡착하여 고 진공상태로 기밀유지되는 진공용기에 관한 것이다.

내부가 고 진공상태로 유지되는 진공용기로서, 예를들면 전계방사형 음극을 전자원으로한 전계방사형 표시장치(이하, FED라함)가 알려져 있다. 이 FED는 형광체층을 갖는 표시부를 구비한 양극기판과, 양극기판의 표시부와 대면하는 내면측에 전계방사형 음극을 구비한 음극기판을 소정의 갭을 사이에 두고 외주부에서 봉함으로서 용기가 구성되어 있다.

이 종류의 FED는 미세한 도트피치로 표시부가 형성되는 양극기판과, 전계방사형 음극이 형성되는 음극기판이 어느 것이나 얇은 글라스판(예를들면 두께 2.5mm)으로 구성되며, 양기판간의 갭도 예를들면 0.2mm로 극히 좁아 박형으로 구성되어 있다.

그런데, 이 종류의 FED를 표시장치로서 기능시키기 위하여는 전계방사형음극으로부터 효율적으로 전자가 방출되도록 양극기판과 음극기판으로 구성되는 용기내를 고 진공상태로 유지할 필요가 있다.

여기서 용기내의 배기를 행하여 용기내를 예를들면 10^-6Torr의 진공상태로 유지하고, 더욱더 용기내의 잔류가스를 게터부재에 의하여 흡착시켜 예를들면 10^-7Torr의 고진공상태로 유지하고 있다.

그러나, FED는 상술한 바와같이, 양극기판과 음극기판 사이의 갭이 좁고, 용기 자체가 극히 박형으로 구성되므로 용기내의 잔류가스를 흡착하기 위한 게터부재를 용기내에 설치할 수가 없었다.

거기서, 종래의 FED에서는 도 12 또는 도 13에 도시하는 바와같이, 용기의 외측에 상자형상의 게터박스를 별도로 설치하고, 이 게터박스내에서 증착에 의하여 게터막을 형성시키고 있었다.

다시 설명하면, FED의 용기(51)는 내면에 양극도체와 형광체층으로 이루어지는 표시부가 형성된 양극기판(52)과 내면에 전계방사형 음극이 형성된 음극기판(53)이 면방향으로 위치를 어긋나게하여 대면하여 그 외주부분에 예를들면 저융점 글라스등의 접착제로 이루어지는 스페이서부재(54)을 통하여 고착되어 있다.

용기(51)의 측면부는 일부가 제거되어 있고 용기(51)의 측면에는 내부에 연통하는 배기공(55)이 형성되어 있다. 이 배기공(55)에 근접한 양극기판(52)의 비대면부분 및 용기(51)의 측면에는 게터박스(56)가 고착되고, 배기공(55)에 연통하는 게터 실(57)이 형성되어 있다.

게터박스(56)에는 배기공(55)에 연통하는 관통구멍(58)이 형성되어 있다. 도 12에 도시하는 FED에 있어서 관통구멍(58)이 형성된 게터박스(56)의 음극기판(53)측의 외벽면에는 용기(51)내를 배기하기 위한 배기관(59)이 설치되어 있다. 더구나, 도 13에 도시하는 FED에서는 배기관(59)에 대신하여 판형상의 금속덮개(60)가 설치되어 있다.

게터박스(56)내에는 게터부재(61)가 설치되어 있고, 이 게터부재(61)의 가열에 의하여 게터실(57)의 벽면에 게터막이 형성되어 있다. 그리고, 용기(51)내의 잔류가스를 게터막에 흡착시켜 용기(51)내를 예를들면 10^-7Torr의 고진공상태로 유지하고 있다.

이와같이, 도 12 및 도 13에 도시하는 종래의 FED는 용기(51)를 구성하는 음극기판(53)의 외측에 돌출하여 게터박스(56)가 별도로 설치되어 있고, 게터박스(56)가 배열설치된 부분의 두께가 증가하므로, 용기(51)의 전체높이가 두껍게 되고, FED의 박형의 이점을 살릴수 없는 문제가 있다. 구체적으로는 두께 2.5mm의 용기(51)에 대하여 게터박스(56)부분의 두께는 7mm로 설정되어 있다.

또, 게터박스(56)는 용기(51)의 배기공(55)과 연통한 밀폐공간을 형성하도록 단차가 있는 양극기판(52)과 음극기판(53)에 걸쳐서 고정설치되므로, 형상이 복잡하게 되고, 제작시 가공이 어렵고, 코스트가 높아진다는 문제가 있었다.

더욱더, 용기(51)내를 배기하는 경우, 용기(51)내의 가스는 배기공(55)을 통과한 후, 용기(51)로부터 돌출되어 설치된 게터박스(56)를 경유하여 배기되므로, 게터박스(56)가 있는 만큼 배기경로도 길고, 이 때문에, 배기저항이 커지고, 소요의 진공도를 얻기까지 배기에 시간이 걸린다는 문제가 있었다.

거기서, 본 발명은 상기 문제점에 비추어서 이루어진 것으로, 용기의 전체높이를 두껍게 하는 일없이 게터를 배열설치할 수 있고, 종래와 같은 귀찮은 가공을 필요로 하지 않아 코스트의 저감도 도모되고, 배기저항을 작게하여 배기시간을 단축할 수 있는 진공용기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 청구항 1의 발명은 대향배치된 2매의 기판의 외주부를 봉하여 내부가 고진공상태로 기밀유지되는 진공용기에 있어서, 상기 기판의 어느 한쪽에는 용기내부에 연통하여 관통구멍이 형성되고 그 관통구멍내에 게터부재의 적어도 일부가 수납되어 상기 관통구멍이 봉해지는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 2의 발명은 대향배치된 2매의 기판의 외주부를 봉하여 내부가 고진공상태로 기밀유지되고, 상기 외주부의 일부에 용기내부에 연통하는 관통구멍이 형성된 진공용기에 있어서, 상기 2매의 기판의 적어도 한쪽측에 비대면부분이 형성되고, 그 비대면부분에는 상기 관통구멍을 통하여 용기내부에 연통하는 관통부를 갖는 상기 기판과 대략 동일 두께의 판부재가 배열설치되고, 상기 관통부내에 게터부재의 적어도 일부가 수납되어 상기 관통부가 봉해지는 것을 특징으로 한다.

청구항 3의 발명은 청구항 1의 진공용기에 있어서, 상기 관통구멍은 용기내부를 배기하기위한 배기공을 겸하고, 상기 관통구멍상에는 배기관 또는 덮개부재가 설치되는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 4의 발명은 청구항 2의 진공용기에 있어서, 상기 관통부는 일측면이 개구된 노치 또는 관통구멍으로 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 5의 발명은 청구항 4의 진공용기에 있어서, 상기 관통부는 용기내부를 배기하기 위한 배기공을 겸하고, 상기 관통부상에는 배기관 또는 덮개부재가 설치되는 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명이 적용되는 진공용기로서의 FED의 구성을 도시하는 부분 측단면도,

도 2는 본 발명에 의한 진공용기의 제 1실시예를 도시하는 측단면도,

도 3은 본 발명에 의한 진공용기의 제 2실시예를 도시하는 측단면도,

도 4는 본 발명에 의한 진공용기의 제 3실시예를 도시하는 측단면도,

도 5는 도 4에 있어서 음극기판을 위에서 보았을때의 평면도,

도 6은 본 발명에 의한 진공용기의 제 4실시예를 도시하는 측단면도,

도 7은 본 발명에 의한 진공용기의 제 5실시예를 도시하는 사시도,

도 8은 도 5의 측단면도,

도 9는 본 발명에 의한 진공용기의 제 6실시예를 도시하는 측단면도,

도 10은 본 발명에 의한 진공용기의 제 7실시예를 도시하는 사시도,

도 11은 본 발명에 의한 진공용기의 제 8실시예를 도시하는 사시도,

도 12는 종래의 진공용기의 구성을 도시하는 측단면도,

도 13은 종래의 진공용기의 다른 구성을 도시하는 측단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1:양극기판 2:음극기판

4:용기 14:관통구멍

15:게터부재 16:배기관

17:게터지지구 18:덮개부재

19:관통구멍 20:판부재

20a:노치부(관통부) 21:공간부

23:판부재 23a:노치부(관통부)

도 1은 진공용기를 이루는 FED의 일반적 구성을 도시하는 부분단면도이다. 우선 각 실시예의 구성이 적용되는 진공용기로서 FED의 구성을 도 1에 의거하여 설명한다.

도 1에 도시하는 바와같이 FED는 절연성 및 투광성을 갖는 양극기판(1)과 절연성을 갖는 음극기판(2)이 예를들면 저융점 글라스등의 접착제로 이루어지는 절연성의 스페이서 부재(3)를 통하여 일체로 봉해진 얇은 상자형의 용기(4)를 구성하고 있다. 양 기판(1,2) 사이의 갭은 예를들면 0.2mm 정도로 설정되어 있다.

용기(4)내의 양극기판(1)과 대면하는 음극기판(2)상에는 표시부의 전자원으로서 수직형의 전계방사소자(전계방사형음극)(5)가 형성되어 있다. 전계방사소자(5)는 음극기판(2)의 내면에 형성된 음극전극(6)과 음극전극(6)상에 형성된 저항층(7)과, 저항층(7)상에 형성된 산화실리콘등의 절연층(8)과,절연층(8)상에 형성된 게이트 전극(9)과, 인접하는 절연층(8)과 게이트전극(9) 사이에 형성된 홀(10)내의 저항층(7)상에 설치된 콘 형상의 에미터(11)를 갖고 있다. 더우기 FED로서 저항층(7)이 없는 것도 있다.

용기(4)내의 양극기판(1)의 내면에는 전계방사소자(5)와 대면하는 위치에, 표시부를 이루는 양극전극(12)이 형성되어있다. 양극전극(12)은 양극기판(1)상에 설치된 투광성의 양극도체(12a)와, 양극도체(12a)상에 설치된 형광체층(12b)으로 이루어진다.

그리고, 이 FED에서는, 전계방사소자(5)로부터 전자가 방출되면, 이 전자가 양극전극(12)의 형광체층(12b)에 충돌하여 여기발광한다. 이때의 발광은 양극도체(12a)와 투광성의 양극기판(1)을 통하여 관찰된다.

도 2는 본 발명에 의한 진공용기의 제 1실시예를 도시하는 도면이다. 음극기판(2)의 일단부(도시의 예에서는 우측단부)에는 용기(4)의 내부에 연통하여 예를들면 원형의 관통구멍(14)이 형성되어 있다. 관통구멍(14)내에는 용기(4)내의 잔류가스를 흡착하는 링형상의 게터부재(15)가 수납되고, 음극기판(2)의 판두께내에 수납된다.

이와같이, 관통구멍(14)은 게터부재(15)를 수납하기 위한 게터실을 형성하고 있다. 관통구멍(14)이 위치하는 음극기판(2)의 외벽면에는 배기관(16)이 설치되어 있다. 더구나, 관통구멍(14)은 원형에 한하지 않고, 다른 형상이라도 좋다.

게터부재(15)는 예를들면 판스프링부재로 이루어지는 게터지지구(17)에 의하여 양극기판(1) 및 배기관(16)에 고정지지되어 있다. 더구나, 관통구멍(14)은 용기(4)내의 가스를 배기관(16)으로부터 배기할때의 배기공으로서의 역할도 겸하고 있다.

다음에, 도 3은 본 발명에 의한 진공용기의 제 2실시예를 도시하는 도면이다. 제 2실시예는 제 1실시예에 있어서 배기관(16)에 대신하여, 배기후에 관통구멍(14)을 덮어 막도록 글라스판 또는 금속판으로 이루어지는 덮개부재(18)가 설치되어 있다.

또, 관통구멍(14)내에 수납되는 게터부재(15)는 게터지지구(17)에 의하여 양극기판(1)에 고정지지되어 있다. 기타의 구성에 대하여는 제 1실시예와 동일하다. 이 제 2실시예에 의하면, 제 1실시예에 비하여 게터부재(15)가 수납되는 부분의 두께가 얇아지고, 진공용기전체를 박형화할 수가 있다.

다음에 도 4 및 도 5는 본 발명에 의한 진공용기의 제 3실시예를 도시하는 도면이다. 제 3실시예에서는 용기(4)의 내부에 연통하는 관통구멍(14)이 음극기판(2)의 복수군데에 형성되어 있다. 도시의 예에서는 관통구멍(14)이 음극기판(2)의 네모퉁이에 형성되어 있다.

이 제 3실시예에서는 도 5에 도시하는 바와같이 음극기판(2)상의 대칭으로 위치하는 좌상과 우하의 관통구멍(14A)내에 각각 게터부재(15)가 수납되어 있다. 각 게터부재(15)는 게터지지구(17)에 의하여 양극기판(1)에 고정지지되어 있다. 관통구멍(14A)이 위치하는 음극기판(2)의 외벽면에는 관통구멍(14A)을 덮고 막도록 덮개부재(18A)가 설치되어 있다.

또, 도 5에 도시하는 바와같이 음극기판(2)상의 대칭으로 위치하는 좌하와우상의 관통구멍(14B)은 용기(4)내의 가스를 배기할때의 배기공으로서 기능하고 있다. 이들의 관통구멍(14B)에는, 배기후에 덮개부재(18B)가 고착된다. 그리고 배기공으로서 기능하는 관통구멍(14B)을 복수설치함으로서 배기효율을 향상시킬 수가 있다.

더우기, 상기 제 3실시예에서는 음극기판(2)의 네모퉁이에 형성된 관통구멍(14)을 게터부재(15)의 수납하기 위한 관통구멍(14A)과 배기구멍으로서 기능하는 관통구멍(14B)으로 갈라서 사용하고 있지만, 관통구멍(14)은 예를들면 용기(4)의 사이즈에 따라 1군데 또는 복수군데에 설치할 수가 있다.

또, 게터부재(15)는 관통구멍(14) 1군데에만 수납하는 외에도, 배기공으로서 기능하는 관통구멍(14B)에 수납하여도 좋다. 더욱더, 도시의 예에서는 배기공으로서 기능하는 관통구멍(14B)에 덮개부재(18B)가 고착되어 있지만, 덮개부재(18B)에 대신하여 배기관을 설치하는 구성으로 하여도 좋다.

다음에, 도 6은 본 발명에 의한 진공용기의 제 4실시예를 도시하는 도면이다. 제 4실시예는 제 2실시예의 변형예이고, 덮개부재(18)에 관통구멍(14)에 연통하는 관통구멍(18a)이 형성되고, 덮개부재(18)에는 배기관(16)이 설치되어 있다. 기타의 구성에 대하여는 제 2실시예와 동일하다.

다음에 도 7 및 도 8은 본 발명에 의한 진공용기의 제 5실시예를 도시하는 도면이다. 제 5실시예에서는 양극기판(1)이 음극기판(2) 보다도 폭이 넓고 세로가 길게 형성되어 있고, 양극기판(1)상에 비대면부분(1a)을 갖고 외주부가 스페이서 부재(3)에 의하여 봉착되어 있다. 스페이서부재(3)의 일부에는 용기(4)의 내부에연통하는 관통구멍(19)이 형성되어 있다.

양극기판(1)상의 비대면부분(1a)에는 판부재(20)가 고정설치되어 있다. 판부재(20)는 예를들면 용기(4)를 구성하는 각 기판(1,2)과 마찬가지로 글라스부재로 이루어지고, 음극기판(2)과 대략 동일 두께로 설정되어 있다. 판부재(20)는 일측면에 개구된 원호형상의 노치부(20a)가 형성되어 있다.

판부재(20)는 노치부(20a)에 의하여 관통구멍(19)에 연통되는 궁형상의 공간부(21)를 형성하도록 개구측 평탄면(20b)이 음극기판(2) 및 스페이서부재(3)의 측단면에 맞닿음되어 밀착된 상태에서 양극기판(1)상에 접착제에 의하여 고착된다. 공간부(21)내에는 용기(4)내의 잔류가스를 흡착하는 링형상의 게터부재(15)가 2개병렬설치되어 수납되어 있다.

공간부(21)가 형성된 부분의 음극기판(2) 및 판부재(20)상에는 공간부(21)를 덮고 막도록 덮개부재(18)가 설치된다. 게터부재(15)는 게터지지구(17)에 의하여 양극기판(1) 및 덮개부재(18)에 고정지지되어 있다.

다음에 도 9는 본 발명에 의한 진공용기의 제 6실시예를 도시하는 도면이다. 제 6실시예는 제 5실시예에 있어서 덮개부재(18)에 공간부(21)에 연통하는 관통구멍(18a)이 형성되어 있고, 덮개부재(18)상에 배기관(16)이 설치되어 있다. 기타의 구성에 대하여는 제 5실시예와 동일하다.

다음에, 도 10은 본 발명에 의한 진공용기의 제 7실시예를 도시하는 도면이다. 제 7실시예에서는 음극기판(2)의 모서리부분이 3각형상(도시의 예에서는 직각 2등변 3각형)으로 절제되어 있고, 양극기판(1)상에 비대면부분(1a)을 형성하고 있다. 스페이서 부재(3)는 음극기판(2)의 외주를 따라 틀형상으로 설치되고, 음극기판(2)의 절제부분에 용기(4)의 내부에 연통하는 3각형상의 구멍(22)을 형성하고 있다.

음극기판(2)의 절제된 부분의 스페이서부재(3)상에는 음극기판(2)의 절제면(2a)에 맞닿음되어 3각형상(도시의 예에서는 직각 2등변 3각형)의 판부재(23)가 고정설치되어 있다. 판부재(23)는 예를들면 용기(4)를 구성하는 각 기판(1,2)과 마찬가지의 글라스부재로 이루어지고 음극기판(2)과 대략 동일두께로 설정되어 있다. 판부재(23)에서는 일측면에 개구된 U자형상의 노치부(23a)가 형성되어 있다.

판부재(23)는 노치부(23a)에 의하여 구멍(22)에 연통하는 공간부를 형성하도록 사변부(23b)가 음극기판(2)의 절제면(2a)에 맞닿음되어 밀착된 상태에서 스페이서 부재(3)상에 고착된다. 상기 공간부내에는 용기(4)내의 잔류가스를 흡착하는 링형상의 게터부재(15)가 수납된다.

공간부가 형성된 부분의 음극기판(2) 및 판부재(23)상에는 공간부를 덮고 막도록 덮개부재(18)가 설치된다. 게터부재(15)는 게터지지구(17)에 의하여 양극기판(1) 및 덮개부재(18)에 고정지지되어 있다.

다음에 도 11은 본 발명에 의한 진공용기의 제 8실시예를 도시하는 도면이다. 제 8실시예는 제 7실시예에 있어서 3각형상의 판부재(23)의 노치부(23a)에 수납되는 게터부재(15)로서 통전게터가 사용되고 있다. 그리고 게터부재(15)의 전극(15a)은 스페이서부재(3)를 통하여 용기(4)의 밖에까지 인출되어 도시되지 않은 전원에 접속되고, 외부전원에 의하여 통전된다. 기타의 구성에 대하여는 제 7실시예와 동일하다.

따라서, 제 1 내지 제 4실시예의 구성에 의하면, 음극기판(2)에 용기(4) 내부에 연통하는 관통구멍(14)을 형성하고, 이 관통구멍(14)내에 게터부재(15)를 수납하고 있으므로, 용기의 두께를 두껍게하는 일없이 게터부재를 음극기판(2)의 판두께내에 수납할 수가 있다.

또, 제 5 내지 제 8실시예의 구성에 의하면, 양극기판(1)상에 음극기판(2)의 비대면부분(1a)을 형성하고, 음극기판(2)과 대략 동일두께를 갖고 용기(4)와는 별체로 구성된 판부재(20(23))에 게터부재(15)를 수납하기 위한 노치부(20a(23a))를 형성하고, 노치부(20a(23a))가 공간부(21)에 연통되도록 비대면부분(1a)상에 판부재(20(23))를 고정설치하는 구성이므로, 제 1 내지 제 4실시예와 마찬가지로 용기의 두께를 두껍게하는 일없이 게터부재를 노치부(20a(23a))내에 수납할 수가 있다.

그리고, 종래와 같은 용기의 외측으로 돌출되어 설치되는 게터박스가 불필요하기 때문에, 진공용기자체의 박형, 경량화가 도모되고, 응용제품의 박형화가 가능하게 된다. 또 종래에 비하여 재료비, 수송코스트가 저감될 수 있다. 더욱더 종래와 같은 게터박스가 불필요한 만큼, 종래에 비하여 배기경로를 짧게할 수 있으므로, 배기저항이 작아지고, 특성의 향상이 기대된다.

또, 특히 제 5 내지 제 8실시예의 구성에 의하면, 양극기판(1)이나 음극기판(2)에 직접 글라스 가공을 행하지 않고, 별도의 글라스부재로 이루어지는 판부재 (20(23))에 게터부재(15)를 수납하는 노치부(20a(23a))를 설치하고, 이 노치부(20a (23a))를 용기(4)의 내부와 공간적으로 연결할 수 있고, 전극등이 배열설치된 기판을 더럽히지 않는다는 이점이 있다. 구체적으로는 가공시의 글라스 분말이 먼지로되어, 기판상에 전극을 인쇄형성하는 경우에 글라스 분말에 의한 먼지가 마스크를 뜨게하여 절연불량을 일으키는 일이 없다.

더우기, 용기(4)내의 잔류가스를 흡착하는 게터부재(15)는 예를들면 Ti-Zr-Al, Ti-Zr-V-Fe 합금등에 의한 비증발형의 재료에 의한것, 예를 들면 Ba-Al등에 의한 증발형의 재료에 의한 것을 적당히 선택하여 사용하는 외에도, 비증발형의 재료와 증발형의 재료에 의한 것을 겸용하여 사용하여도 좋다.

그런데, 상술한 각 실시예에서는 게터부재(15)가 수납되는 게터실을 음극기판(2)측에 설치한 구성으로 하였지만 양극기판(1)측에 설치하는 구성으로 하여도 좋다. 또, 하나의 게터실에 수납되는 게터부재(15)의 개수도, 그 크기에 따라 1개에 한하지 않고 복수개 수납하도록 하여도 좋다. 더욱더, 도시의 예에서는 게터부재(15)를 링형상으로 하고 있지만 수납가능한 형상이면, 예를들면 봉형상 등 그 형상은 묻지 않는다.

제 5 내지 제 8 실시예에 있어서 판부재(20,23)는 게터부재(15)가 수납되는 부분을 일측면이 개구된 노치부(20a,23a)로 형성하였지만, 용기(4)의 내부에 연통되는 관통구멍으로 형성하더라도 좋다.

또, 도시의 예에서는 게터부재(15)의 두께가 용기(4)를 구성하는 기판(1,2)보다도 얇은 경우로 설명하였지만 게터부재(15)의 두께가 기판(1,2)보다 두꺼운 경우나 게터부재를 비산시켜 게터막을 형성하는 공간을 확보하는 경우에는 상자형상의 덮개부재가 사용된다. 예를들면 도 2 나 도 3의 구성에서는 덮개부재가 관통구멍(14)에 임하여 용기(4)의 외측에 설치된다. 이로서, 관통구멍(14)에 더하여, 덮개부재의 공간을 게터부재(15)나 게터막을 형성하기 위한 스페이스로서 이용할 수 있고, 사용되는 덮개부재도 종래에 비하여 얇게할 수 있다.

더욱더, 상술한 실시예에서는 진공용기로서 FED를 예로들어 설명하였지만, 고진공상태에서 박형의 기밀구조가 요구되는 용기이면, 이에 한하지 않고, 예를들면 진공 마이크로 자기 센서, 고속스위칭소자, 촬상소자, 판독장치등의 진공용기라도 좋다.

이상의 설명에서 명백한 바와같이 본 발명에 의하면 관통구멍 또는 관통부를 이용하여 게터부재를 수납할 수가 있어 종래에 비하여 용기의 두께를 얇게할 수가 있다.

그리고, 종래와 같은 용기의 외측으로 돌출되어 설치되는 게터박스가 불필요하게 되기 때문에, 진공용기 자체의 박형, 경량화가 도모되고, 응용제품의 박형화가 가능하게된다. 또 종래에 비하여 재료비, 수송코스트가 저감될 수 있다. 더욱더 배기경로를 종래에 비하여 짧게할 수 있으므로 배기저항이 작아지고, 특성의 향상이 기대될 수 있다.

청구항 2의 발명에 의하면 기판에 직접 글라스 가공을 행하지 않고 기판과는 다른부재로 이루어지는 판부재에 게터부재를 수납하는 노치부를 설치하고 이 노치부를 용기의 내부와 공간적으로 연결할 수 있어 전극등이 배열설치된 기판을 더럽히지 않는다는 이점이 있다.

또, 게터부재가 수납되는 관통구멍 또는 노치부는 용기내부를 배기하기 위한 배기공을 겸하고 있으므로, 용기내에 연통시켜 용기내를 배기할 수가 있다.

Claims

대향배치된 2매의 기판의 외주부를 봉하여 내부가 고진공상태로 기밀유지되는 진공용기에 있어서, 상기 기판의 어느 한쪽에는 용기내부에 연통하여 관통구멍이 형성되고, 그 관통구멍내에 게터부재의 적어도 일부가 수납되어 상기 관통구멍이 봉해지는 것을 특징으로 하는 진공용기.
대향배치된 2매의 기판의 외주부를 봉하여 내부가 고진공상태로 기밀유지되고, 상기 외주부의 일부에 용기내부에 연통하는 관통구멍이 형성된 진공용기에 있어서, 상기 2매의 기판의 적어도 한쪽측에 비대면부분이 형성되고, 그 비대면부분에는 상기 관통구멍을 통하여 용기내부에 연통하는 관통부를 갖는 상기 기판과 대략 동일 두께의 판부재가 배열설치되고, 상기 관통부내에 게터부재의 적어도 일부가 수납되어 상기 관통부가 봉해지는 것을 특징으로 하는 진공용기.
제 1 항에 있어서, 상기 관통구멍은 용기내부를 배기하기 위한 배기공을 겸하고, 상기 관통구멍상에는 배기관 또는 덮개부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공용기.
제 2 항에 있어서, 상기 관통부는 일측면이 개구된 노치 또는 관통구멍으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공용기.
제 4 항에 있어서, 상기 관통부는 용기내부를 배기하기위한 배기공을 겸하고 상기 관통부상에는 배기관 또는 덮개부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공용기.