KR0140747B1 - 회전식 기판처리장치의 기판회전보지구 - Google Patents

Abstract

기판을 회전시키면서 처리액을 기판표면으로 공급하는 것에 의해 소망의 처리를 행하는 회전식 기판처리장치에 사용되는 기판회전보지구에서, 상기 기판회전보지구는 이하의 요소를 포함한다. 수평면과 회전가능한 회전대와 상기 회전대를 회전구동하는 회전구동부와, 상기 회전대에 배열설치되어서 기판을 회전대의 표면에서 소정간격을 띄워서 수평으로 위치결정지지하는 지지부와, 적어도 기판과 같은 정도의 크기를 가지고, 상기 회전대상에 상하이동가능하게 배열설치된 상하이동부재와, 상기 회전대가 정지해 있는 사이는 회전대 측의 하강위치에 회전대가 회전하고 있는 처리 사이는 기판에 가까이 상승위치로 되도록 상기 상하이동부재를 상하로 구동하는 상하 구동부.

Description

회전식 기판처리장치의 기판회전보지구

제1도는 제1실시예에 관한 회전식 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 정면도.

제2도는 제1실시예에 관한 기판회전보지구의 분해사시도.

제3도는 제1실시예에 관한 기판회전보지구의 동작을 설명하는 도면.

제4도는 제1실시에의 변형예를 나타내는 분해사시도.

제5도는 상하이동부재 및 지지핀의 변형예를 나타내는 일부종단면도.

제6A, 6B도는 상하 이동부재의 변형예를 나타내는 평면도 및 종단면도.

제7도는 제2실시예에 관한 기판회전보지구의 분해사시도.

제8도는 제2실시예에 관한 기판회전보지구의 동작을 설명하는 도면.

제9도는 제3실시예에 관한 기판회전보지구의 분해사시도.

제10도는 제3실시예에 관한 기판회전보지구의 동작을 설명하는 도면.

제11도는 제4실시예에 관한 기판회전보지구의 분해사시도.

제12도는 제4실시예에 관한 기판회전보지구의 동작을 설명하는 도면.

제13도는 반송암을 나타내는 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 기판회전보지구 2, 22, 32 : 모터

3, 13, 23, 33 : 회전대 4, 24, 34 : 회전축

5 : 지지핀 5b : 플렌지부

6, 16, 26, 36 : 상하이동부재 7, 27 : 밀어올림기구

8 : 컵본체 9 : 노즐

10 : 반송암 16a : 휜

26a : 밀어올림축 37 : 베로우즈부

본 발명은 반도체 웨이퍼,액정표시기용 유리기판과 포트마스크용 유리기판 등의 기판을 회정시키면서, 포토레지스트액, 세정액, 에칭액 등의 각종 처리액을 기판표면으로 공급하는 것에 의해 소망의 처리를 행하는 회전식 기판처리장치에 관한, 특히 기판이 실려진 회전대의 표면에서 약간 띄워진 상태로 기판을 수평보지하는 회전식 기판처리장치의 기판회전보지구에 관한 것이다.

종래, 이런 종류의 회전식 기판처리장치의 기판회전보지구로 해서, 예를들면 일본국 특개평 5-90238호 공보와 실개평 4-65446호 공보에 개시된 것이 있다.

이런 종류의 기판회전보지구는 기판이 실려진 회전대의 상면에 복수개의 기판지지핀을 세워서, 이들의 기판지지핀으로 기판의 끝가장자리를 위치 결정 보지하도록 구성되어 있다. 이와같은 기판보지구에 의하면, 기판이 회전대의 표면에서 약간 띄워진 상태로 보지되므로서, 기판의 회전대에 맞닿아서 실려진 경우에 생기는 기판 면의 손상과 오염을 피할 수 있다. 그러나, 그 한편에서, 기판처리 중에 비산된 처리액의 미스트가 기판의 하측으로 되어 있는 이면으로 돌아들어가 부착하여, 기판 이면이 오염된다하는 다른 문제가 발생한다. 그래서, 기판을 회전처리하고 있는 때에 기판이면에 순수등을 뿜어서 기판이면에의 미스트의 부착을 방지하는 소위 백린스(back rinse)를 행하는 것이다.

그러나, 이와 같은 구성을 가지는 종래예의 경우에는 다음과 같은 문제가 있다.

예를들면, 포토레지스트 도포공정에서, 상술한 백린스에 의해 기판이면에의 미스트의 부착을 충분하게 방지할 수 없었던 경우에는, 기판이면에서 부착된 미스트가 고형화된다. 그 때문에, 예를들면 다음의 노광공정에서, 이면을 아래로해서 기판을 지지해서 노광하는 때에, 고형화의 크기에 의해 기판 표면의 높이위치에 미소한 변동이 생기고, 노광을 위한 광학계의 초점이 어긋나 기판 표면에 패턴이 정상으로 노광되지 않는다 하는 문제가 발생한다. 그래서, 기판 표면을 세정하는 것에 의해 기판이면의 부착고형물을 제거하기 위한 기판이면세정을 노광선에 행하는 것이다.

이 경우, 포토레지스트가 피착된 기판의 표면을 하측으로 해서 기판회전보지구로 지지시켜, 기판의 이면에 세정브러쉬를 맞닿게하기도, 고압제트수를 분사시키면서 기판을 회전시키는 것에 의해 기판의 이면을 세정한다.

이때, 기판이면세정에 이용된 처리액의 미스트가 하측으로 향하여져 있는 기판의 표면(포토레지스트 막)에 재부착하는 것을 방지하기 위하여, 상술한 백린스를 행하면 기판의 표면에 형성되어 있는 포토레지스트막이 손상을 입는다 하는 문제가 있다.

또, 포토레지스트막에의 손상을 피하기 위하여, 백린스를 행하지 않고 이면세정을 행한 경우, 미스트가 기관표면의 포토레지스트막에 부착한다. 이와 같이 포토레지스트막에 부착된 미스트를 후에 제거하는 것은 대단히 곤란하다.

한편, 회전대와 기판의 이면에 침입한 미스트를 방지하기 위하여, 회전대에 배열설치되어 있는 기판의 지지핀의 높이를 낮게해서 기판과 회전대와의 갭을 매우 좁게 하는 것도 고려된다. 그러나, 이 경우는 회전대와 기판의 이면의 간격에 맞는 공간대에 기판을 흡착보지한 반송암을 진입시켜서, 기판을 지지핀상으로 넘겨준다하는 보급된 기판의 반송기구를 채용하는 것이 어렵게 되며 기판의 반송기구에 특수한 물건이 필요하는 문제점이 생긴다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 된 것으로 처리중에 발생한 미스트가 기판의 하측면에 부착하는 것을 방지함과 동시에, 기판의 반송이 용이하게 되는 회전식기판처리장치의 기판회전보지구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 채용한다.

본 발명은 기판을 회전시키면서 처리액을 기판표면에 공급하는 것에 의해 소망의 처리를 행하는 회전식 기판처리장치에 이용되는 기판회전보지구에서, 상기 기판회전보지구는 이하의 요소를 포함한다:

수평면으로 회전 가능한 회전대 :

상기 회전대를 회전구동하는 회전구동수단 :

상기 회전대에 배열설치되어서 기판을 회전대의 표면에서 소정간격을 띄워서 수평으로 위치 결정 지지하는 지지수단 :

적어도 기판과 같은 정도의 크기를 가지고, 상기 회전대상에 상하이동가능하게 배열설치된 상하이동부재 :

상기 회전대가 정지되어 있는 사이는 회전대측의 하강위치로, 회전대가 회전하고 있는 처리의 사이는 기판에 가까운 상승위치로 되도록 상기 상하이동부재를 상하로 구동하는 상하구동수단.

회전대가 회전구동수단에 의해 회전구동되며, 미스트가 발생하는 기판처리 중에 있어서는 기판과 회전대와의 사이에 배열설치되어 있는 상하 이동재가 상하구동수단에 의해 상방(상승위치)으로 구동되며, 이것에 의해, 기판의 하면과 상하이동부재의 상면의 간격이 좁게 되므로서, 발생미스트가 기판의 하면으로 되돌아들어가는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기관의 하측의 면에의 미스트 부착을 방지할 수 있다.

또, 미스트가 발생하지 않는 상태, 즉 기판의 반입/반출을 위한 회전대가 정지되어 있는 때에는 상하 이동부재가 상하구동수단에 의해 아래로(하강위치) 구동되며, 기판의 하면과 회전대와의 간격이 넓게 된다. 그 결과, 반송암등을 사용해서 용이하게 기판을 반송할 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하이동부재는 그 하면에 복수개의 미소돌기부를 형성하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하이동부재는 기판보다 약간 큰 구경인 것이 바람직하다.

상하이동부재를 기판의 구경보다 약간 크게 하는 것에 의해, 상하이동부재가 상승위치에 있을 때에 미스트가 기판하측으로 되돌아 들어가기 어렵게 할 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 지지수단은 복수개의 지지핀으로 구성되는 것이 바람직하다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 지지판은 상기 상하이동부재에 삽입되는 원주형의 동부(胴部)와 상기 동부의 상부에 밖으로 내밀게 형성되며, 그 상면이 기판의 가장자리를 맞닿게 지지하기 위하여 아랫방향으로 경사상으로 된 플렌지부와 상기 플렌지부위에 형성되면, 기관의 수평방향의 이동을 방지하기 위한 소돌기들에 의해 구성된 것이 바람직하다.

기판의 가장자리를 아랫방향 경사상의 플렌지부로 맞닿게 지지하므로서, 기판에 접촉하는 면적을 적게할 수 있다. 따라서, 기판의 오염을 방지할 수 있다. 또한, 플렌지부의 부위에 형성된 소돌기에 의해 회전처리시의 기판의 수평방향으로 이동을 방지할 수 있다. 또, 플펜지부는 동부보다도 밖으로 내밀게 형성되어 있으므로, 상하이동부재으 상승을 제한할 수 있고, 소정의 상승위치를 플렌지부에 의해 규정할 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하이동부재는 그 주변부의 상기 지지핀의 대응하는 위치로, 상기 지지핀의 동부보다도 약간 큰 구경의 가이드 구멍이 형성되는 것이 바람직하다.

가이드 구멍은 지지핀의 동부보다 약간 큰 구경이므로, 상하이동부재의 상승이 플렌지부의 하면으로 제한된다. 따라서, 상하이동부재의 상승위치를 지지핀의 플렌지부에 의해 규정할 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하이동부재는, 그 주변부의 상기 지지핀의 대응하는 위치로, 상기 지지핀의 동부보다도 약간 폭이 넓고, 바깥으로 개방된 U자형의 잘린 가이드 구멍이 형성되는 것이 바람직하다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하구동수단은 작동편과 수하편(垂下片)으로 되는 역 L의 자형의 밀어올림 부재와 상기 수하편의 하단에 부착된 추와 상기 밀어올림 부재의 중간굴곡부에 삽입되는 핀과 상기 핀의 축을 회전대의 회전의 접선방향에 따르도록 또, 상기 작동편이 상기 핀의 축보다도 외측으로 위치하도록 지지하는 축받침으로 되는 상기 회전대의 하면으로 배열구비된 복수개의 밀어올림기구에 의해 구성되며 또, 상기 회전대에는 상기 회전대가 회전하고 있을 때에 상기 가 작동편의 상방에의 돌출을 허용하는 복수개의 개구가 형성되는 것이 바람직하다.

회전대의 회전속도가 증가하는데 따라서 복수개의 밀어올림기구의 추에 작용하는 원심력이 크게 되며, 추가 부착된 수하편이 외측으로 요동한다. 그러면 밀어올림부재의 중간굴곡부에 삽입되어 있는 핀을 축으로 밀어올림부재의 작동편이 회전대의 상면에 개구를 통해서 돌출한다. 이들 복수개의 작동편에 의해 상하이동부재가 들어올려져, 상하이동부재는 지지핀의 플렌지의 하면에서 상승위치로 유지된다. 또, 회전대의 회전속도가 저하하는데 따라서 복수개의 밀어올림기구의 추에 작용하는 원심력이 작게 되며, 수하편이 내측으로 요동해서 원래의 상태로 돌아간다. 따라서, 밀어올림기구의 작동편에 의해 들어올려져 있던 상하이동부재는 하강위치로 돌아간다.

이것에 의하면, 회전대가 회전하는 것에 의해 생기는 원심력을 이용해서, 밀어올림기구의 밀어올림부재를 요동변위시키고, 또 상하이동부재를 상하로 움직이으므, 상하이동부재를 구동하기 위한 에어실린더와 모터 등의 특별한 액추에이터를 필요로 하지 않는다. 또, 회전대의 회전속도에 응해서 상하이동부재가 상하구동되므로, 상하이동부재를 구동시키는 타이밍을 제어할 필요도 없다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하이동부재의 상승위치는 예를들면, 기판하면과 상하이동부재의 상면과의 간격이 1~1.5mm로 되는 위치이다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 회전대는 그 상면에 복수개의 미소돌기부를 구비하는 것이 바람직하다.

소돌기에 의한 회전대와 상하이동부재의 접촉면적이 작으므로서, 양자의 상이에 처리액이 개재되어도 상하이동부재를 회전대에서 용이하게 분리해서 상승시킬 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하이동부재의 가이드 구멍은 상기 동부에 접촉하는 안쪽 가장자리 부분의 종단면이 반원경모양으로 형성된 것이 바람직하다.

회전대의 회전에 따라서 가이드구멍은 지지핀의 동부로 억눌려져, 이 상태에서 상승위치 또는 하강위치까지 상하이동부재는 승강하는 것으로 된다. 가이드구멍이 동부로 접촉하는 안쪽 가장자리 부분의 종단면을 반원형상으로 형성하면 접촉면적이 감소하므로서, 상하이동부재는 지지핀의 동부에 따라 부드럽게 승강할 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서 상기 지지핀의 동부는 그 회전대의 회전방향 측에 대해 아래로 향해 경사상으로 형성되는 것이 바람직하다.

상하이동부재는 회전대의 회전에 따라 지지핀의 동부에 의해 그 가이드 구멍의 내측단면을 눌러서 회전대와 같은 방향으로 회전을 시작한다. 따라서, 상하이동부재에는 구동 수단에 의한 상방향의 벡터와 회전대의 회전방향과는 역방향의 벡터와의 합성 벡터 방향으로 힘이 가해진다. 이 합성벡터의 방향은 회전대의 회전방향과는 역방향에서 경사진 상방으로 되므로서, 동부를 벡터방향에 따라 아랫방향으로 경사상으로 하는 것에 의해 상하이동부재는 동부에 따라 부드럽게 상승한다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하구동수단은, 상기 상하이동부재의 외주부에서 회전중심으로 향해서 절단을 함과 동시에, 원주에 따라 홈을 넣어서 형성된 설편(舌片)부분을 아래로 소정을 각도로 굽혀지게 하는 일군의 휜에 의해 형성되는 것이 바람직하다.

회전대의 회전에 따라서 상하이동부재도 회전한다. 이때, 아래로 소정의 각도로 굽혀지게 되는 일군의 휜이 주위의 기체를 하방으로 밀어 물리친다. 그 반작용으로 해서, 휜에 상방으로의 분력인 양력(揚力)이 생긴다. 이 휜에 생긴 양력에 의해 상하이동부재는 상승위치까지 들어올려진다. 그리고, 회전대의 회전이 저하하는데 따라 양력도 저하하여, 상하이동부재는 하강위치로 돌아간다.

이것에 의하면 회전대의 회전에 수반하는 휜이 생기는 양력에 의해 상하이동부재를 상하이동시키므로, 상하이동부재를 상하이동시키기 위한 특별한 액추에이터를 필요로 하지 않는다. 또, 회전대의 회전속도에 응해서 상하이동부재가 상하구동되므로서, 상하이동부재를 상하이동하는 타이밍을 제어할 필요도 없다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 상하구동수단은 상기 회전대의 개구에 삽입되어서 상기 상하이동부재의 하면에 그 상단부가 부착된 밀어올림축을 통해서 상기 상하이동부재를 상하로 구동하는 액추에이터에 의해 구성되는 것이 바람직하다.

상하이동부재는 밀어올림축을 통해서 액추에이터에 의해 상하로 구동되므로써, 그 상승 위치 또는 하강위치로의 이동은 액추에이터에 의한 밀어올림축의 승강을 행하는 타이밍을 조정하는 것에 의해 자유롭게 제어할 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 엑추에이터는 상기 밀어올림축의 하단부를 회동자유롭게 지지하는 축받침에 연결된 에어실린더에 의해 구성된 것이 바람직하다.

또 본 발명 보지구에서, 상기 상하구동수단은 상기 회전대의 중심부 개구를 통해서 일단 이 상기 상하이동부재의 하면에 연결되 벨로우즈(bellows) 부의 타탄축에 연통접속되며, 상기 벨로우즈부를 수축/신장하는 엑추에이터에 의해 구성되는 것이 바람직하다.

상하이동부재는 벨로우즈에 연통접속된 엑추에이터에 의해 상하로 구동되므로서, 그 상승위치 또는 하강위치에의 이동은 벨로우즈를 엑추에이터에 의해 수축/신장하는 타이밍을 조정하는 것에 의해 자유롭게 제어할 수 있다.

또, 본 발명 보지구에서, 상기 엑추에이터는 상기 벨로우즈부의 타단측에 가압공기를 송출하는 가압공기공급기와, 상기 벨로우즈부내의 공기를 흡인하는 진공흡인기로서 구성되는 것이 바람직하다.

본 발명을 설명하기 위한 목적으로 현재 바람직하게 여러개 도면형태로 나타나 있으나, 본 발명은 정밀한 배열과 도시된 상태를 제한하는 것은 아니다.

이하, 본 발명의 적합한 실시예를 도면에 의거해서 상세하게 설명한다.

[제1실시예]

제1도는 회전식 기판처리장치에 기판회전보지구의 주변의 개략구성을 나타내는 일부절단 정면도이다. 제2도는 기판회전보지구의 분해사시도, 제3도는 밀어올림기구를 확대해서 나타난 일부 절단된 정면도이다.

제1도를 참조해서 (1)은 반도체 웨이퍼 등의 기판 (W)을 회전보지하는 기판회전보지구이다. 이 기판회전보지구(1)는 일정방향으로 회전하는 회전구동수단인 모터(2)에 회전축(4)을 통해서 연결되 회전대(3)를 구비하고 있다. 회전대(3)의 상면에는 기판(W)의 가장자리에 맞닿게해서 기판(W)을 수평으로 위치 결정지지하는 지지수단인 복수개의 지지핀(5)이 스크류 고정되어 있음과 동시에, 복수개의 미소돌기부(50)가 설치되어 있다.

제2도 및 제3도에 나타난 바와 같은 지지핀(5)은 원추상의 동부(5a)와 이동부(5a)의 상부로 돌출 형성되며 그 상면이 기판(W)의 가장자리에 맞닿게 지지하기 위하여 아랫방향으로 경사상으로 된 플렌지부(5b)와 이 플렌지부(5b)의 위에 형성되며, 기판(W)의 수평방향의 이동을 방지하기 위한 소돌기(5c)가 일체로 형성되게 된다.

회전대(3)의 상면에는 엷은 판재로 되는 원형상의 상하이동부재(6)가 배치되어 있다. 이 상하이동부재(6)의 주변부에는 지지핀(5)에 대응하는 위치에, 지지핀(5)의 동부(5a)보다도 약간 큰 구경의 가이드구멍(6a)이 각각 형성되어 있다. 이들 가이드구멍(6a)을 관통해서 지지핀(5)이 회전대(3)에 부착되어 있는 것에 의해, 상하이동부재(6)는 지지핀(5)의 동부(5a)로 안내되어서, 상하방향에서만 이동가능하게 되어 있다. 이 상하이동부재(6)는 기판(W)의 이면에의 미스트의 부착을 방지하는 관계상, 적어도 기판(W)보다도 약간 크게 형성되어 있다.

회전대(3)의 주변부하에는 상하이동부재(6)를 상하로 구동하는 3개의 밀어올림기구(7)가 같은 간격으로 스크류 멈춤 고정되어 있다. 밀어올림기구(7)는, 작동편(7a1)과 수하편(7a2)로 되는 역 L의 자형의 밀어올림부재(7a)를 구비하고 있다. 수하편(7a2)의 하단에 추(7b)가 부착되어 있다. 밀어올림부재(7a)의 중간굴곡부에 핀(7c)이 삽입되며, 이 핀(7c)의 양단이 축받침(7d)으로 지지된 것에 의해 밀어올림기구(7)는 핀(7c)의 핀축이 회전대(3)의 회전의 접선방향을 향하고, 작동편(7a1)이 핀(7c)보다도 외측으로 위치하도록 회전대(3)에 부착되며, 밀어올림부재(7a)가 핀 축주위에 요동변위 가능하게 구성되어 있다. 또, 각 밀어올림기구(7)가 부착된 회전대(3)의 각 부위에는 작동편(7a1)이 회전대(3)의 상면보다도 위로 요동 변위할 수 있도록 개구(3a)가 각각 형성되어 있다.

기판회전보지구(1)의 주위에는 처리액의 비산을 방지하기 위한 컵본체(8)가 상하이동 가능하게 배열설치되어 있다. 또, 기판회전보지구(1)의 상방에는 처리액을 공급하기 위한 노즐(9)이 수평이동가능하게 배열설치되어 있다. 처리액은 기판처리의 내용에 따라서, 예를들면 포토레지스트액, 순수 등의 세정액, 현상액, 에칭액 등이 이용된다. 또, 처리액을 공급하기 위한 노즐(9)의 구조는 기판처리의 내용에 응해서 적당히 변경에 가해진다.

상술한 회전식 기판처리장의 측방에는 기판(W)을 처리장치 내로 반입해서 기판회전보지구(1)로 넘기거나, 처리 끝난 기판(W)을 기판회전보지구(1)에서 집어서 처리장치 밖으로 반출하기 위한 승강 및 진퇴이동가능한 반송암(10)이 배치되어 있다. 이 반송암은, 기판(W)의 반입/반출시에 회전대(3) 상의 지지핀(5)과 간섭하지 않도록 선단부가 적당하게 개방정형된 U의 자형의 기판 싣는부(10a)를 구비하고 있다. 기판싣는부(10a)는 3개의 돌기에 의해 기판(W)을 하면에서 점접촉으로 지지하도록 구성되어 있다.

다음에, 상술한 실시예 장치의 동작을 설명한다.

[기판의 반입]

반송암(10)을 사용해서 기판(W)을 처리장치 내로 반입할 때, 컵본체(8)는 하강하고 있고, 또 회전대(3)의 회전은 정지되어 있다. 이때, 밀어올림기구(7)의 밀어올림부재(7a)는 제3도에 실선으로 나타낸 바와 같이, 수하편(7a2)의 하단에 부착된 추(7b)의 중량에 의해, 작동편(7a1)이 수평상태로 되는 자세를 취하고 있다. 결과, 작동편(7a1)은 회전대(3)의 상면보다도 하방으로 위치하므로서, 상하이동판(6)은 회전대(3)의 상면에 설치된 복수개의 미소돌기부(50)에 접해진 상태(하강위치)로 있다.

이 상태에서, 반송암(10)이 그 기판싣는부(10a)에 기판(W)을 실어서 처리장치 내로 진입하여 기판회전보지구(1)의 상방까지 이동한다. 계속해서, 반송암(10)이 하강하는 것에 의해 기판(W)을 회전대(3)상의 지지핀(5)으로 주고 받는다. 그 후, 반송암(10)은 후퇴이동하여, 처리장치 밖으로 퇴피한다. 반송암(10)을 사용한 일련의 기판(W)으 수도(受渡) 동작을 행해지게 하기 위해, 기판(W)과 하강위치로 있는 상하이동부재(6)의 간극(G1)이 반송암(10)의 두께보다도 약간 크게 되도록, 지지핀(5)의 높이(플렌지 5b의 상면위치)가 적당하게 설정되어 있다. 본 실시예에서는 간극(G1)을 약 13mm로 설정하고 있다.

[회전처리]

우선, 컵본체(8)가 기판회전보지구(1)를 에워싸도록 소정위치까지 상승한다. 다음에, 노즐(9)이 기판회전보지구(1)의 회전중심에 까지 이동한다. 그리고, 모터(2)가 시동하는 것에 의해, 회전대(3)와 기판(W)이 일체로 되어서 소정의 속도로 회전구동된다.

회전대(3)의 회전속도가 증가함에 따라서, 밀어올림기구(7)의 추(7b)에 작용하는 원심력이 크게 되고, 밀어올림부재(7a)가 제3도에서 시계방향으로 요동변위하기 시작한다. 그 결과, 3개의 밀어올림기구(7)의 각작동편(7a1)이 회전대(3)의 상면에서 돌출해서, 상하이동부재(6)가 수평자세로 상방으로 서서히 들어올린다. 회전대(3)의 회전속도가 소정의 속도로까지 근접하면, 상하이동부재(6)는 지지핀(5)의 플렌지부(5b)의 하면에 맞닿는 상승위치로 까지 들어올려져, 회전처리중은 이 상태가 유지된다. 상승위치로 있는 상하이동부재(6)와 기판(W)과의 간극(G2)은, 양자가 간섭하지 않는 한 좁은 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 간극(G2)가 1~1.5mm로 되도록 지지핀(5)의 플렌지(5b)의 하면위치가 설정되어 있다.

또한, 상하이동부재(6)의 상승위치를 규제하는 구성은, 본 실시예와 같은 지지핀에 의하지 않고서, 상하이동부재(6)의 상승위치, 또는 밀어올림부재(7a)의 요동각도를 규제하는 위치또는 각도조정 가능한 별도의 스톱퍼 기구를 이용해도 좋다.

회전대(3)의 회전속도가 소정의 속도에 달하면, 노즐(9)에서 처리액이 기판(W)상에 공급된다. 기판(W)상에 공급된 처리액은, 기판(W)의 회전력에 의해 기판(W)상을 유동하게 기판 처리면에 대해서 소용의 처리를 시생하고, 잉여의 처리액은 기판(W)의 가장자리에서 비산한다. 비산된 처리액의 일부는 미스트로 되어서 컵본체(8)내로 표류한다. 그러나, 회전처리 중은 상하이동부재(6)가 상승해서, 기판(W)과 상하이동부재(6)의 간극이 극히 좁게 되므로서, 기판(W)의 하측으로 되어 이면측에 미스트가 돌아들어가는 것이 거의 없이 기판이면에의 미스트 부착을 방지할 수 있다.

[기판의 반출]

회전처리가 종료하면 모터(2)가 정치하는 것에 의해, 회전대(3)의 회전속도가 서서히 저하해간다. 이것에 따라서, 밀어올림기구(7)의 추(7b)에 작용하는 원심력도 적게 되며, 밀어올림부재(7a)는 원래의 상태(제3도의 실선으로 나타난 자세)로 요동복귀해 간다. 그 결과, 밀어올림부재(7a)에서 지지되어 있는 상하이동부재(6)가 차츰 하강하여, 회전속도가 어느 정도 작게 되면 회전대(3)에 설치된 복수개의 미소돌기부(50)에 접한 하강위치로 돌아간다.

회전대(3)의 회전이 완전하게 정지하면, 컵본체(8)가 하강하고, 계속해서 반송암(10)이 기판(W)과 하강위치로 있는 상하이동부재(6)와의 사이에서 생긴 비교적 넓은 공간으로 진입한다. 그리고, 반송암(10)이 상승하는 것에 의해 기판회전보지구(1)에서 처리끝난 기판(W)을 받아서, 반송암(10)이 후퇴하는 것에 의해 기판(W)을 처리장치에서 반출한다.

본 실시예에 의하면, 회전대(3)가 회전하는 것에 의해 생기는 원심력을 이용해서, 밀어올림기구(7)의 밀어올림부재(7a)를 요동변위시키고, 또 상하이동부재(6)을 상하이동시키고 있으므로, 상하이동부재(6)를 구동하기 위한 에어실린더와 모터 등의 특별의 액추에이터를 필요로 하지 않는다. 또, 회전대(3)의 회전속도에 응해서 상하이동부재(6)가 상하구동되므로, 상하이동부재(6)을 구동시키는 타이밍을 제어할 필요도 없다.

또한 본 실시예에서는 회전대(3)의 상면에 복수개의 극소돌기부(50)을 설치해서, 상하이동부재(6)의 하면과 회전대(3)의 상면과의 접촉면적을 극력 작게하므로서, 양자사이에 처리액이 개재해도 상하이동부재(6)를 회전대(3)에서 용이하게 분리해서 밀어올릴 수 있다.

또, 본 실시예에서는 회전대(3)의 상면에 복수개의 극소돌기부(50)를 설치해서, 상하이동부재(6)의 하면과 회전대(3)의 상면과의 접촉면적을 극력 작게 하도록 했으나, 제4도에 나타난 바와 같이 미소돌기부(50)을 상하이동부재(6)의 하면으로 설치해도 좋다. 또한, 상하이동부재(6)에 형성되어 있는 가이드 구멍(6a)은 반드시 원형으로 형성되는 것 뿐만 아니라, 제4도에 나타난 바와 같이 구멍의 부분이 지지핀(5)의 동부(5a)보다도 약간 폭이 넓고, 바깥쪽으로 개방된 U의 자형으로 잘린 가이드 구멍(6a)이 형성되도록 해도 좋다.

또, 회전대(3)의 회전에 수반해 지지핀(5)의 동부(5a)에 따라 상하이동부재(6)가 부드럽게 승강하도록 상하이동부재(6) 또는 지지핀(5)을 제5도의 일부종단면도에 나타내도록 구성해도 좋다. 즉, 상하이동부재(6)의 가이드구멍(6a)을 그 종단면이 반원형상으로 되도록 가공한다. 이것에 의해 동부(5a)와 상하이동부재(6)의 가이드구멍(6a)의 접촉면적이 감소하므로 상하이동부재(6)는 회전대(3)의 회전에 따라서 동부(5a)에 따라 부드럽게 승강한다.

또, 회전대(3)의 회전방향에 대해 동부(5a)을 아래 방향 경사상으로 형성하는 것에 의해서도 상하이동부재(6)의 상승을 부드럽게 할 수 있다. 상하이동부재(6)은 회전대(3)의 회전에 수반해서 지지핀(5)의 동부(5a)에 그 가이드구멍(6a)의 내측단면을 밀면서 회전한다. 이 상태로서 밀어올림기구(7)에 의해 상하이동부재(6)를 상승시키면 밀어올림기구(7)에 의한 상방향에의 벡터와 회전대(3)의 회전방향과는 역방향의 벡터와의 합성벡터의 방향으로 힘이 가해진다. 이 합성벡터의 방향은 회전대(3)의 회전방향과는 역방향인 경사상방으로 되므로서, 이 경사상방에의 힘에 따르도록 동부(5a)를 하향경사상으로 형성하는 것으로 상하이동부재(6)의 상승을 부드럽게 할 수 있다.

또한, 합성벡터의 방향은 밀어올림기구(7)의 밀어올림힘과 회전대(3)의 회전속도에 따라 변하므로서, 이것에 응해서 하향 경사상의 경사각도를 형성하도록 하는 것이 바람직하다.

또, 가이드구멍(6a)은 평면으로 보아서 원형상이 아닌 4각 형상이어도 좋고, 특히 상하이동부재(6)가 스텐레스강판 등의 금속제인 경우는 우선, 제6A도의 평면도에 나타난 바와 같이 I의 자형으로 상하이동부재(6)으 가이드구멍(6a)을 내어서 가공한다. 이어서, 구멍내는 가공에 의해 형성된 설편부(6b)를 회전대(3)가 위치하는 방향으로 굽혀 가공한다. 이와 같이 해서 형성된 4각 형상의 가이드구멍(6a)은 제6B도의 종단면도에 나타난 바와 같이, 설편부(6b)가 반원추형상으로 되어서 지지핀(5)의 동부?(5a)와의 접촉면적을 감소시킬 수 있다. 따라서, 상하이동부재(6)는 회전대(3)의 회전에 수반해서 동부(5a)를 따라 부드럽게 승강한다. 또한, 가이드구멍(6a)는 그 설편부(6b)를 굴곡가공되는 것에 의해 개구형성되므로서, 가이드구멍(6a)이 형성됨과 동시에 상하이동부재(6)의 하면에서 가이드구멍(6a)의 주변부에는 미소돌기부(50)가 형성된다. 상술한 바와 같이 미소돌기부(50)에 의해, 상하이동부재(6)의 하면과 회전대(3)의 상면과의 사이에 처리액이 개재해도 상하이동부재(6)를 회전대(3)에서 용이하게 분리해서 들어올릴 수 있으나, 이것에 의하면 상하이동부재(6)에 가이드구멍(6a)을 형성하는 것과 동시에 미소돌기부(50)도 형성할 수 있다.

[제2실시예]

제7도는, 제2실시예에 관한 기판회전보지구(1)의 분해사시도이다. 또한, 그 외의 구성은 제1실시예와 같으므로, 그 설명은 생략한다.

도면중, 부호(16)는 상하이동부재이다. 상하이동부재(16)에는 외주부에서 회전중심으로 향해서 적당한 길이로 자르고, 또 원주에 따라 적당한 길이로 잘라서 형성된 설편부분을 아래로 적당한 각도로 굴곡하는 것에 의해 형성된 일군의 휜(16a)이 설치되어 있다. 이 상하이동부재(16)는 제1실시예와 같은 회전대(13)상으로 배치되며, 지지핀(5)의 동부(5a)로 안내되어서 상하방향으로만 이동가능하게 되어 있다.

다음에, 본 실시예의 회전식 기판처리장치의 기판회전보지구의 동작을 제8도를 참조해서 설명한다.

제8도는 기판회전보지구(1)의 주요부를 확대해서 나타낸 정면도이다.

기판반입시는 모터(2)가 정지되어 있으므로, 상하이동부재(16)는 상승위치가 아닌 도면중의 실선으로 나타낸 회전대(13)상의 하강위치로 있다.

회전처리에 즈음해서 모터(2)가 회전대(13)를 소정의 속도로 회전시키면 이것에 수반해서 상하이동부재(16)도 회전한다. 이것에 의해 상하이동부재(16)의 외주부에 설치된 휜(16a)이 주위의 기체를 하방으로 밀어 퇴각시킨다. 그 반작용으로 해서, 휜(16a)에 상방으로의 분력인 양력이 생긴다. 이 휜(16a)에 생긴 양력에 의해 상하이동부재(16)는 들어올려져 지지판(5)의 플렌지(5b)의 하면에 맞닿는다. 그 결과, 기판(W)과 상하이동부재(16)와의 간격(G1)이 좁게 되며(간격G2), 기판하측으로 되어 있는 이면에의 미스트가 돌아 들어가는 것을 방지할 수 있다.

처리가 종료해서 모터(2)가 정지하여, 회전대(13)의 회전속도가 서서히 저하하면, 이것에 수반해서 휜(16a)에 생기고 있는 양력도 저하해서, 상승해 있던 상하이동부재(16)가 연동해서 하강한다. 그리고, 회전대(13)의 회전속도가 어느 정도 적게 되면, 상하이동부재(16)는 회전대(13)의 상면에 맞닿아지지되므로서, 기판(W)과 상하이동부재(16)와의 사이에, 반송암(10)을 진입할 수 있는 큰 간극(G1)이 생긴다.

본 실시예에서는 회전대(13)의 회전에 수반하는 휜(16a)에 생기는 양력에 의해 상하이동부재(16)를 상하이동시키므로, 상하이동부재(16)를 상하이동시키기 위한 특별한 액추에이터를 필요로하지 않는다. 또, 제1실시예와 같게 상하이동부재(16)를 상하이동하는 타이밍을 제어 할 필요도 없다.

[제3실시예]

제9도는 제3실시예에 관한 기판회전보지구(1)의 분해사시도다. 또한, 그 외의 구성은 제1실시예와 같으므로 그 설명은 생략한다.

도면 중, 부호(23)는 회전대이다. 이 회전대(23)의 회전중심부분에는 후술하는 밀어올림축(26a)이 수납된 개공(23a)이 설치되어 있다.

회전대(23)의 하면중심부에는 모터(22)에 의해 구동되는 속이빈 회전축(24)의 일단이 개공(23a)과 연통하도록 부착하도록 되어 있다.

회전대(23)의 상부에는 하면회전중심부에 밀어올림축(26a)이 연결된 상하이동부재(26)가 배열설치되어 있다. 이 밀어올림축(26)은 회전대(23)의 개공(23a) 및 회전축(24)의 관통구멍으로 삽입하여 통하게 되며, 그 하단은, 모터(22)의 저부에서 돌출되어 있다. 이 돌출한 밀어올림축(26a)의 하단은 밀어올림기구(27)에 접속된다.

밀어올림기구(27)는 에어실린더(27a)와 밀어올림축(26a)의 하단을 회동자유롭게 지지하는 축받침(27b) 및 에어실린더(27a)의 로드를 접속하는 조인트(27c)로 구성되어 있다.

다음에, 본 실시예의 회전식 기판처리장치의 기판회전보지구의 동작을 제10도를 참조해서 설명한다.

제10도는 기판회전보지구(1)의 주요부를 확대해서 나타낸 일부절단정면도이다.

기판반입시는 에어실린더(27a)의 로드가 수축된 상태이므로서, 상하이동부재(26)는 상승위치에는 없고, 도면 중의 실선으로 나타난 회전대(23)상의 하강위치에 있다.

회전처리때에, 모터(22)가 회전대(23)를 소정의 속도로 회전시키면, 이것에 수반해서 상하이동부재(26)도 회전한다. 회전대(23)가 소정의 회전수에 도달한 후, 처리액의 공급측에 에어실린더(27a)의 로드를 신장시키는 것에 의해 상하이동부재(26)를 지지핀(5)의 플렌지부(5b)의 하면에 맞닿는 위치까지 상승시킨다. 그 상태로 처리액을 공급해서 기판(W)에 소요의 처리를 실시한다. 이때, 기판(W)과 상하이동부재(26)와의 간극(G2)은 좁으므로, 기판(W)의 하측으로 되어 있는 이면의 미스트의 부착을 방지할 수 있다.

처리가 종료해서 회전대(23)가 정지하면, 에어실린더(27a)의 로드를 수축시키는 것에 의해, 상하이동부재(26)를 회전대(23)에 맞닿기까지 하강시켜, 기판(W)의 반출을 위한 반송암(10)이 진입할 수 있는 간극(G1)을 확보한다.

본 실시예에 의하면, 상하이동부재(26)의 상하움직임의 타이밍을 자유롭게 설정할 수 있으므로서, 예를들면, 처리때에 회전대(23)가 정지되어 있는 상태로 상하이동부재(26)를 상승시키고, 다음에 처리액을 기판(W)상에 공급하고 계속해서 회전대(23)를 회전시키는 것도 가능하다.

[제4실시예]

제11도는 제4실시예에 관한 기판회전보지구(1)의 분해사시도이다. 또한, 그 이외의 구성은 제1실시예와 같으므로 그 설명은 생략한다.

도면중, 부호(33)는 회전대이다. 이 회전대(33)의 회전중심부분에는 후술하는 벨로우즈부(37)가 삽입되어 통해진 개공(33a)이 설치되어 있다.

회전대(33)의 하면중심부에는 모터(32)에 의해 구동된 속이빈 회전축(34)의 일단이 개공(33a)과 연통하게 부착되어 있다. 회전축(34)은 모터(32)를 관통하고 그 하단의 모터(32)에서 도출되어서, 가압공기공급기(40)와 진공흡인기(41)에 절환가능하게 3방향밸브(41)를 통해서 연통접속되어 있다.(제12도 참조).

회전대(33)의 상부에는 하면중심부에 벨로우즈부(37)의 일단이 고착된 상하이동부재(36)가 배열설치되어 있다. 이 벨로우즈부(37)의 타단은 회전대(33)의 개공(33a)에 삽입하여 통해져서, 회전축(34)의 관통구멍에 연통접속되어 있다.

다음에, 본 실시예의 회전식 기판처리장치의 기판회전보지구의 동작을 제12도를 참조해서 설명한다. 제12도는 기판회전보지구(1)의 주요부를 확대해서 나타난 일부절단정면도이다.

기판반입시는 가압공기공급기(40)에서 벨로우즈부(37)에 가압공기가 공급되어 있지 않는 상태 또는 3방향밸브(42)를 진공흡인기(41)측으로 바꾸어서 진공흡인기(41)로 벨로우즈부(37)내를 흡인하고 있는 상태이므로서, 상하이동부재(36)는 상승위치에는 없고, 도면중의 실선으로 나타난 회전대(33) 상의 하강위치에 있다.

회전처리 때에, 모터(32)가 회전대(33)를 소정의 속도로 회전시키면, 이것에 수반해서 상하이동부재(36)도 회전한다. 회전대(33)가 소정의 회전수에 달한 후, 처리액의 공급면에 3방향 밸브(42)를 가압공기공급기(40)측으로 바꾸어, 회전축(34)의 관통구멍을 통해서 가압공기를 벨로우즈부(37)로 공급해서, 벨로우즈부(37)를 신장시킨다. 이렇게 해서 상하이동부재(36)를 지지핀(5)의 플렌지부(5b)의 하면으로 맞닿게 한 위치로까지 상승시킨다. 그 상태에서 처리액을 공급해서 기판(W)의 소요의 처리를 시행한다. 이때, 기판(W)과 상하이동부재(36)와의 간극(G2)이 좁으므로, 기판(W)의 하측으로 되어 있는 이면에는 미스트의 부착을 방지할 수 있다.

처리가 종료해서 회전대(33)가 정지하면, 3방향밸브(42)를 진공흡인기(41)측으로 바꾼다. 그리고 회전대(33)의 관통구멍을 통해서 벨로우즈부(37)내의 흡인해서, 벨로우즈부(37)를 수축시키는 것에 비해, 상하이동부재(36)를 회전대(33)에 맞닿는 위치까지 하강시켜, 기판(W)의 반출을 위한 반송암이 진입할 수 있는 간극(G1)을 확보한다. 또한, 실시예에 나타난 원형의 기판(W)을 6개의 지지핀(5)에 의해 지지하는 경우에 있어서, 기판회전보지구(1)에 대해서 기판(W)을 반입, 반출하는 반송암(10)의 형상의 예를 제13도에 나타낸다. 반송암(10)은 암기체(10a)의 선단에, 2개의 장지(10b,10b)를 설치하고, 또 장지(10b,10b)의 사이에 단지(10c)를 설치하게 되며, 장지(10b,10b), 단지(10c)의 상면에는 기판지지용의 돌기(10d)가 형성되어 있다. 장지(10b,10b), 단지(10c)의 상면에는 기판지지용의 돌기(10d)가 형성되어 있다. 장지(10b,10b),단지(10c)는 회전대(3)가 소정의 회전각도로 정지될 때, 그 지지판(5)과의 충돌을 피해서 회전대(3)의 상면에 진출가능하게 형성되어 있다. 또한, 제13도에서, 회전대(3)가 반송암(10)과 기판(W)의 수도를 행하기 위한 소정의 회전각도로 정지했을 때에서 지지핀(5)의 위치를 파선으로, 또 그때 기판(W)의 위치를 일점쇄선으로 나타내고 있다.

또, 상술한 제2,제3,제4의 각 실시예에서, 제1실시예와 같게 회전대의 상면 또는 상하이동부재의 하면에 복수개의 미소돌기부를 설치해서, 상하이동부재의 하면과 회전대의 상면과의 접촉면적을 극력 적게해도 좋다. 이와 같이 하는 것에 의해, 양자간에 처리액이 개재해도 상하이동부재를 회전대에서 용이하게 분히해서 들어올릴 수 있다.

또, 상술한 제2,제3,제4의 각 실시예에서, 제1실시예에서 나타난 지지핀 및 상하이동부재의 변형예와 같이, 지지핀의 동부를 하향경사상으로 하기도, 상하이동부재의 가이드구멍의 종단면을 반원형상으로 해도 좋다. 이것에 의해 상하이동부재의 부드러운 승강을 행할 수 있다.

또, 백린스로 해서 지장없는 기판에 대해서는 상술한 각 실시예의 백린스를 병용하는 것에 의해, 기관의 하측으로 되어 있는 이면에의 미스트 부착을 일층 효과적으로 저감할 수 있다.

또한, 본 발명은 기판회전보지구를 회전식 기판처리장치라면, 처리내용은 특별히 한정되지 않고 회전식 포토레지스트 도포장치, 회전식 기판 세정장치, 회전식 기판현상장치, 회전식기판에칭장치 등에 실시가능하다.

본 발명은 기술사상 또는 주요특성을 일탈하지 않고 다른 형태로 실시될 수 있으며, 따라서 본 발명의 범위로써 상술의 명세서보다는 첨부된 청구범위를 참조해야 한다.

Claims (17)

1. 기관을 회전시키면서 처리액을 기판표면에 공급하는 것에 의해 소망의 처리를 행하는 회전식 기판처리장치에 이용되는 기판회전보지구에 있어서, 수평면에서 회전가능한 회전대와; 상기 회전대를 회전구동하는 회전구동수단과 ; 상기 회전대에 배열설치되어서 기판을 회전대의 표면에서 소정간격을 띄워서 수평으로 위치결정 지지하는 수단과 ; 적어도 기판과 같은 정도의 크기를 가지고, 상기회전대상에 상하이동가능하게 배열설치된 상하이동부재와 ; 상기 회전대가 정지하고 있는 사이는 회전대측의 하강위치로, 회전대가 회전하고 있는 처리사이는 기판에 가까이 상승위치로 되도록 상기 상하이동부재를 상하로 구동하는 상하구동수단을 포함하는 기판회전보지구.
2. 제1항에 있어서, 상하이동부재는 기판보다도 약간 큰 구경인 기판회전보지구
3. 제1항에 있어서, 상기 지지수단은 복수개의 지지판으로 구성된 기판회전보지구
4. 제3항에 있어서, 상기 지지핀은, 상기 상하이동부재로 삽입통과된 원주형의 동부와, 상기 동부의 상부로 돌출되어 형성되며, 그 상면이 기판의 주연을 맞닿게 지지하기 위하여 하향 경사상으로 된 플렌지부와, 상기 플렌지부위에 형성되며 기판의 수평방향의 이동을 방지하기 위한 소돌기에 의해 구성되는 기판회전보지구.
5. 제4항에 있어서, 상기 상하이동부재는 그 주변부의 상기 지지핀의 대응하는 위치로 상기 지지핀의 동부보다도 약간 큰 구경의 가이드구멍이 형성되어 있는 기판회전보지구.
6. 제6항에 있어서, 상기 상하이동부재는 그 주변부의 상기 지지핀의 대응하는 위치로 상기 지지핀의 동부보다도 약간 폭이 넓고, 바깥으로 개방된 U자형으로 잘린 가이드구멍이 형성되어 있는 기판회전보지구.
7. 제1항에 있어서, 상기 상하구동수단은 작동편과 수하편으로 되는 역 L자형의 밀어 올림부재와, 상기 수하편의 하단에 부착되어져 있는 추와, 상기 밀어올림부재의 중간굴절부에 삽입되어 통하게 된 핀과, 상기 핀 축을 회전대의 회전의 접선방향에 따르도록, 또 상기 작동편이 상기 핀의 축보다도 외측에 위치하도록 지지하는 축받침으로 되고, 상기 회전대의 하면에 설치된 복수개의 밀어올림기구에 의해 구성되며, 또, 상기 회전대에는 상기 회전대와 회전하고 있는 때에 상기 각 작동편의 상방으로의 돌출을 허용하는 복수개의 개구가 형성되어 있는 기판회전보지구.
8. 제1항에 있어서, 상기 상하이동부재의 상승위치는 기판하면과 상하이동부재의 상면과의 간격이 1~1.5mm로 되는 위치인 기판회전보지구.
9. 제1항에 있어서, 상기 회전대는 그 상면에 미소돌기부를 구비하는 기판회전보지구.
10. 제1항에 있어서, 상기 상하이동부재는 그 하면에 복수개의 미소돌기부를 구비하는 기판회전보지구.
11. 제5항에 있어서, 상기 상하이동부재의 가이드구멍은 상기 동부에 접촉하는 내연부분의 종단면이 반원경상으로 형성되는 기판회전보지구.
12. 제4항에 있어서, 상기 지지핀의 동부는 그 회전대의 회전방향측에 대한 부분이 하향 경사상으로 형성되는 기판회전보지구.
13. 제1항에 있어서, 상기 상하구동수단은 상기 상하이동부재의 외주부에서 회전중심으로 향해서 잘려 들어가 형성함과 동시에, 원주에 따라 잘려 들어가 형성된 설편부분을 하방으로 소정의 각도로 굴곡하게 되는 일군의 휜에 의해 형성되는 기판회전보지구.
14. 제1항에 있어서, 상기 상하구동수단은 상기 회전대의 개구에 통하도록 삽입되고 상기 상하이동부재의 하면에 그 상단부가 부착된 밀어올림축을 통해서 상기 상하이동부재를 상하로 구동하는 액추에이터에 의해 구성되는 기판회전보지구.
15. 제14항에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 밀어올리축의 하단부를 회동자유롭게 지지하는 축받침으로 연결된 에어실린더에 의해 구성되는 기판회전보지구.
16. 제1항에 있어서, 상기 상하구동수단은 상기 회전대의 중심부 개구를 통해서 일단측이 상기 상하이동부재의 하면에 연결된 벨로우즈부의 타단측으로 연통 접속되며, 상기 벨로우즈부를 수축/신장하는 액추에이터에 의해 구성되는 기판회전보지구.
17. 제16항에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 벨로우즈부의 타단측에 가압공기를 송출하는 가압공기공급기와 상기 벨로우즈부내의 공기를 흡인하는 진공흡인기로 구성되는 기판회전보지구.