KR0140144B1 - 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법 - Google Patents

액정표시장치의 리페어 라인 형성방법

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Abstract

이 발명은 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법에 관한 것으로, 게이트 라인과 리페어 라인을 동시에 형성시키고, 게이트 라인과 리페어 라인을 양극산화 공통전극 쇼팅바로 연결하는 단계와 ; 양극산화 차단막을 이용하여 연결부만 가리고, 양극산화를 실시하는 단계와 ; 게이트 절연막, 비정질실리콘막, N형 비정질 실리콘막을 연속중착하고, 비정질 실리콘을 패터닝하는 단계와 ; 통상 게이트 라인보다 비정항이 큰 금속을 증착하고, 게이트 패드와 데이타 라인과 데이타 패드를 동시에 패터닝하는 단계로 구성되어, 데이타 라인 형성 금속이 고정항이고, 게이트 라인 형성금속이 알루미늄같은 산화가능한 금속일 경우 게이트 라인 형성 금속만으로 리페어 라인을 형성하여 데이타 라인 불량시 간단하게 리페어 가능하도록 하는 것을 동작상의 특징으로 하는 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법에 관한 것.

Description

액정표시장치의 리페어 라인 형성방법
제1도의 (a), (b)는 종래의 게이트 형성금속을 이용한 리페어 라인의 형성방법의 첫번째 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제2도의 (a), (b)는 종래의 게이트 형성금속을 이용한 리페어 라인의 형성방법의 두번째 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제3도의 (a), (b)는 종래의 게이트 형성금속을 이용한 리페어 라인의 형성방법의 마지막 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제4도는 이 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법의 첫번째 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제5도는 이 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법의 두번째 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제6도는 이 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법의 세번째 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제7도는 이 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법의 네번째 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제8도는 이 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 리에퍼 라인 형성방법의 마지막 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1:게이트 라인2:양극산화 공통 전극용 쇼팅바
3:리페어 라인4:연결부
5:분리부6, 6':포토 레지스트
21:게이트 절연막23:게이트 패드
24:데이타 라인25:데이타 패드
26:비정질 실리콘27:기판 컷팅 라인
이 발명은 액정표시장치(LCD:Liquid Cristal Display)에 관한 것으로 더욱 상세하게 말하자면, 액정표시장치를 제조할 때, 데이타 라인(Data Line)형성 금속이 알루미늄일 경우 게이트 라인(Gate Line) 형성 금속만으로 리페어 라인(Repair Line)을 형성하여 데이타 라인 불량시 리페어 가능토록 하는 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법에 관한 것이다.
화상정보시대에 있어서, 정보전달의 최대 담당자인 표시장치에 많은 기대가 모아지고 있으며 이로인해 지금까지의 음극선관을 대신한 각종 평면표시장치가 개발되어 급속히 보급되기 시작하고 있다.
그중에서도 액정표시소자는 극도로 경량으로 박형, 저가 저소비 전력구동으로 집적회로와의 정합성이 좋은 점등의 특징을 가져 탭 톱 컴퓨터나 포켓 컴퓨터의 표시외에 차량적재용, 칼라 텔레비젼 화상용으로서 그 용도를 확대하고 있다.
액정표시장치의 데이타 라인의 불량에 대비하여 리페어 라인을 형성하는 종래의 기술로는 미합중국 특허 제4,807,973호(특허일 : 서기 1989년 2월 28일)에 기재된 것이 있다.
종래에는 폐곡선 형태인 리페어 라인을 이용하여 불량 라인을 리페어 하였다. 리페어 라인은 저저항 금속을 이용하여 형성하며, 게이트 라인 형성금속 또는 데이타 라인 형성 금속중 어느 하나의 금속 또는 두개의 금속을 조합하여 리페어 라인을 형성한다.
첨부된 도면을 참조로 하여 종래의 게이트 형성금속을 이용한 리페어 라인의 형성방법을 설명하면 다음과 같다.
제1도의 (a), (b), 제2도의 (a), (b), 제3도의 (a), (b)는 종래의 게이트 형성금속을 이용한 리페어 라인의 형성방법의 각 단계에서의 평면도 및 A-A'부분의 단면도이다.
제1도의 (a), (b), 제2도의 (a), (b), 제3도의 (a), (b)에 도시되어 있듯이, 종래의 게이트 형성금속을 이용한 리페어 라인의 형성방법은 다음순서에 의해 형성된다.
1. 제1도에 도시되어 있듯이, 게이트 라인(1) 형성시 리페어 라인(3)도 동시에 형성시키며, 이때 게이트금속의 양극산화를 위하여 게이트 라인(1)과 리페어 라인(3)을 양극산화 공통전극 쇼팅바(2)로 연결시킨다.
2. 제2도에 도시되어 있듯이, 포토 레지스트(6)를 이용하여 게이트 패드금속과 연결된 연결부(4)부위만 가리고, 양극산화를 실시한다. 이때 연결부(4)와 분리부(5)부위는 양극상화막이 형성되지 않는다.
3. 제3도에 도시되어 있듯이, 1회의 포토공정을 실시하여 연결부(4)부위를 포토레지스트(6')로 가리고, 금속 에칭을 실시하면 분리부(5)의 금속이 제거되어 게이트 라인(1)과 리페어 라인(3)이 서로 분리된다.
그러나, 상기한 바와 같이 형성된 종래의 리페어 링 형성방법은 데이타 라인 형성 금속이 고저항 금속인 경우 대면적 패널(Panel)에서는 게이트 라인 형성 금속으로 리페어 라인을 형성하여야 한다. 이 경우 게이트 라인 형성 금속은 알루미늄같은 산화가능한 금속이기 때문에 양극산화막을 절연막으로 사용할 경우 게이트 라인 형성 금속만으로 게이트 라인과 절연된 리페어 라인을 형성하는 것은 포토공정이 일회 추가되어 공정이 복잡해지는 단점이 있다.
그러므로, 이 발명의 목적은 종래의 단점을 해결하기 위한 것으로 데이타 라인 형성 금속이 고저항이고, 게이트 라인 형성금속이 알루미늄같은 산화가능한 금속일 경우 게이트 라인 형성, 금속만으로 리페어 라인을 형성하여 데이타 라인 불량시 간단하게 리페어 가능하도록 하는 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법을 제공하고자 하는데 있다.
상기의 목적을 달성하고자 하는 이 발명의 구성은, 게이트 라인과 리페어 라인을 동시에 형성시키고, 게이트 라인과 리페어 라인을 양극산화 공통전극 쇼팅바로 연결하는 단계와 ; 양극산화 차단막을 이용하여 연결부만 가리고, 양극산화를 실시하는 단계와 ; 게이트 절역만, 비정질 실리콘막, N형 비정질 실리콘막을 연속중착하고, 비정질 실리콘을 패터닝하는 단계와 ; 통상 게이트 라인보다 비저항이 큰 금속을 증착하고, 게이트 패드와 데이타 라인과 데이타 패드를 동시에 패터닝하는 단계로 이루어진다.
상기의 목적을 달성하고자 하는 이 발명의 또 다른 구성은, 금속으로 이루어지고, 주요부분이 양근산화막으로 덮여있는 게이트 라인과 ; 'ㄷ'자 형태로 형성된 리페어 라인과 ; 상기 게이트 라인과 리페어 라인을 연결시키기 위한 양극산화 공통전극용 쇼팅바와 ; 게이트금속과 연결되어 있는 연결부와 ; 게이트 절연막과 ; 게이트 패드와 ; 데이타를 가지고 있는 데이타 라인과 ; 데이타 패드로 이루어진다.
상기 구성에 의하여 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 설명하면 다음과 같다.
제4도의 (a), (b), 제5도의 (a), (b), 제6도의 (a), (b), 제7도의 (a), (b), 제8도의 (a), (b)는 이발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법의 각단계에서의 평면도 및 단면도이다.
제4도, 제5도, 제6도, 제7도, 제8도에 도시되어 있듯이 이 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법은 다음과 같은 순서에 따라 진행된다.
1. 제4도에 도시되어 있듯이, 알루미늄으로 형성된 게이트 라인(1)과 게이트 라인 외곽에 ㄷ자 형태의 리페어 라인(3)을 동시에 형성시키고, 게이트 라인(1)과 리페어 라인(3)을 양극산화 공통전극 쇼팅바(2)로 연결한다.
2. 제5도에 도시되어 있듯이, 포토 레지스트를 이용하여 연결부(4)만 가리고, 알루미늄의 양극산화를 실시한다. 그러므로 연결부(4)는 양극산화막이 형성되지 않는다.
3. 제6도에 도시되어 있듯이, 게이트 절연막, 비정질 실리콘막, N형 비징절 실리콘막를 연속증착하고, 비정질 실리콘(26)을 순서대로 패터닝한다.
4. 제7도에 도시되어 있듯이, 게이트 패트(23) 금속과의 연결부(4)의 게이트 절연막을 오픈한다(22).
5. 제8도에 도시되어 있듯이, 통상 게이트 라인보다 미저항이 큰 데이타 라인(24) 금속을 증착하고, 게이트 패드(23)와 데이타 라인(24)과 데이타 패드(25)를 동시에 패터닝힌다.
상기의 공정으로 만들어진 액정표시장치의 데이타 라인 불량시에는 리페어 라인을 이용하여 간단하게 리페어 하면 된다.
이상에서와 같이 이 발명의 실시예에서, 게이트 라인 형성 금속만으로 리페어 라인을 형성하여 데이타 라인 불량시 간단하게 리페어 가능하도록 하는 효과를 가진 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법을 제공할 수 있다.

Claims (6)

  1. 게이트 라인과 리페어 라인을 동시에 형성시키고, 게이트 라인과 리페어 라인을 양극산화 공통전극 쇼팅바로 연결하는 단계와 ; 양극산화 차단막을 이용하여 연결부만 가리고, 양극산화를 실시하는 단계와 ; 게이트 절연막, 비정질 실리콘막, N형 비정질 실리콘막를 연속증착하고, 비정질 실리콘을 패터닝하는 단계와 ; 통상 게이트 라인보다 비정항이 큰 금속을 증착하고, 게이트 패드와 데이타 라인과 데이타 패드를 데이타 패드를 동시에 패터닝하는 단계로 구성되어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법.
  2. 제1항에 있어서, 게이트 형성 금속만으로 액정표시장치의 리페어 라인을 형성할 때 ㄷ자 형태로 리페어 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법.
  3. 제1항에 있어서, 게이트 형성 금속이 알루미늄인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법.
  4. 제1항에 있어서, 게이트 라인을 형성하는 금속이 알루미늄합금 또는 알루미늄과 타금속을 합성하여 생긴 금속인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 리페어 라인 형성방법.
  5. 제1항에 있어서, 소스와 드레인 형성 금속으로 게이트 패드, 데이타 라인, 데이타 패드, 소스와 드레인을 동시에 형성하는 액정표시장치의 리페어라인 형성방법.
  6. 금속으로 이루어지고, 주요부분이 양극산화막으로 덮여있는 게이트 라인과 ; 'ㄷ'자 형태로 형성된 라페어 라인과 ; 상기 게이트 라인과 리페어 라인을 연결시키기 위한 양극산화 공통전극용 쇼팅바와 ; 게이트금속과 연결되어 있는 연결부와 ; 게이트 절연막과 ; 게이트 패드와 ; 데이타를 가지고 있는 데이타 라인과 ' 데이타 패드로 구성되어 짐을 특징으로 하는 액정표시장치.
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