KR0127232Y1 - 반도체 웨이퍼의 균열검사장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 전면에 일정한 흡입력이 부가되도록 한 소정 형태의 흡입부위인 진공라인이 표면에 형성되어 있는 진공척과, 진공척을 고정시키기 위한 고정대와, 진공척의 표면과 웨이퍼가 일정 간격의 공간을 갖고 안착되도록, 진공척이 상면에 설치되어 있는 스페이서를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 균열검사장치에 관한 것이다.
Description
제1도는 본 고안의 반도체 웨이퍼의 균열검사장치를 설명하기 위한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 웨이퍼 11 : 스페이서
12 : 진공척 12-1 : 진공라인
13 : 고정대
본 고안은 반도체 웨이퍼의 균열검사장치에 관한 것으로써, 특히 반도체 제조공정중에 균열이 발생한 불량칩을 사전에 검사하여 반도체 웨이퍼의 불량율을 낮추기 위한 반도체 웨이퍼의 균열검사장치에 관한 것이다.
종래에는 반도체 제조과정에서 사전에 웨이퍼의 균열등의 손상을 검사할 수 없어 완성품의 작업과정에서 또는 전기적 검사과정에서 웨이퍼의 균열이나 손상등의 불량이 확인되었다.
따라서, 인적, 물적인 손실이 커져 결국 생산의 효율성이 저하되며, 작업시간 및 전기적 검사장치과정에서 불량이 확인됨으로 품질저하를 초래한다.
그러므로 본 고안의 반도체 웨이퍼의 균열검사장치는 이러한 웨이퍼의 균열등의 손상등의 불량율을 사전에 테스트할 수 있는 장치를 고안한 것이다.
본 고안은 진공척의 상면에 스페이서(spacer)를 설치하고 웨이퍼를 안착시켜 진공척에 흡착을 실시, 균열등의 손상된 웨이퍼에 물리적인 힘을 가하여 웨이퍼의 불량율을 사전에 알아볼 수 있도록 하는 반도체 웨이퍼의 균열검사장치에 관한 것이다.
제1도의 (a)는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 균열검사장치의 구성을 설명하기 위한 도면이고, 제1도의 (b)는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 균열검사장치에서 진공척의 평면도이다. 이하 도면을 참고로 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 균열검사장치를 설명하면 다음과 같다.
본 고안의 반도체 웨이퍼의 균열검사장치는 제1도의 (a)와 같이, 전면에 일정한 흡입력이 부가되도록 한 소정 형태의 흡입부위인 진공라인(12-1)이 표면에 형성되어 있는 진공척(12)과, 진공척(12)을 고정시키기 위한 고정대(13)와, 진공척(12)의 표면과 웨이퍼(10)가 일정 간격의 공간을 갖고 안착되도록, 진공척(12)이 상면에 설치되어 있는 스페이서(11)를 포함하여 이루어진다.
이때, 진공척의 흡입부는 제1도의 (b)와 같이, 진공척 표면에 진공척의 중심과 같은 중심을 갖는 다 수의 원으로 형성된 진공라인(12-1)으로 이루어진다.
또한, 본 고안의 반도체 웨이퍼의 균열검사장치의 동작을 알아보면 다음과 같다.
스페이서(11)에 의해 진공척(12)의 상면과 일정 간격의 공간을 갖고 안착된 웨이퍼(10)를 흡착하여, 웨이퍼(10)가 균열상태이면 웨이퍼(10)에 흡입력에 의한 물리적인 힘이 부여되도록 하여 균열이 촉진되도록 하면서 웨이퍼(10)의 균열상태를 검사한다.
즉, 본 고안의 반도체 웨이퍼의 균열검사장치는 진공척의 상면에 다수의 스페이서를 임의의 크기로 설치하고 웨이퍼를 안착시킨 후에 척의 표면에서 아랫방향으로 흡착을 실시함으로서 균열등의 손상된 부위의 웨이퍼 뒷면에 물리적인 힘을 가하여 웨이퍼의 균열을 촉진함으로써 웨이퍼의 불량율을 사전에 검사할 수있도록 한다.
스페이서는 웨이퍼와 진공척 사이에 공간을 확보하며, 진공척 상면에 형성된 스페이서는 임의의 크기 및 모양으로 설치하여 균열이나 손상된 웨이퍼에 물리적인 힘을 가하여 균열을 촉진시키는 역할을 한다.
그리고 진공척은 표면에 형성된 다 수의 진공라인을 통하여 웨이퍼에 물리적인 힘을 가하여 균열을 촉진하여 검사한다.
본 고안의 반도체 웨이퍼의 균열검사장치는 제조과정에서 발생될 수 있는 웨이퍼의 균열이나 손상등을 미리 검사할 수 있어, 사전에 불량 웨이퍼를 알라낼 수 있어 품질향상과 원가절감등의 효과를 얻을 수 있다.
Claims (2)
- 반도체 웨이퍼의 균열검사장치에 있어서, 전면에 일정한 흡입력이 부가되도록 한 소정 형태의 흡입부위인 진공라인이 표면에 형성되어 있는 진공척과, 상기 진공척을 고정시키기 위한 고정대와, 상기 진공척의 표면과 웨이퍼가 일정 간격의 공간을 갖고 안착되도록, 상기 진공척이 상면에 설치되어 있는 스페이서를 포함하여 이루어져서, 상기 스페이서에 의해 상기 진공척의 상면과 일정 간격의 공간을 갖고 안착된 웨이퍼를 흡착하여, 상기 웨이퍼가 균열상태이면 상기 웨이퍼에 흡입력에 의한 물리적인 힘이 부여되도록 하여 균열이 촉진되도록 하면서 상기 웨이퍼의 균열상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 균열검사장치.
- 제1항에 있어서, 상기 진공척의 흡입부는 상기 진공척 표면에 상기 진공척의 중신과 같은 중심을 갖는 다 수의 원으로 형성된 진공라인으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 균열검사장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950024571U KR0127232Y1 (ko) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | 반도체 웨이퍼의 균열검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950024571U KR0127232Y1 (ko) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | 반도체 웨이퍼의 균열검사장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970015313U KR970015313U (ko) | 1997-04-28 |
| KR0127232Y1 true KR0127232Y1 (ko) | 1998-12-01 |
Family
ID=19423166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019950024571U KR0127232Y1 (ko) | 1995-09-13 | 1995-09-13 | 반도체 웨이퍼의 균열검사장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0127232Y1 (ko) |
-
1995
- 1995-09-13 KR KR2019950024571U patent/KR0127232Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970015313U (ko) | 1997-04-28 |
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