JPWO2022030447A5 - - Google Patents

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Description

以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。また、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
以下、参考形態の例を付記する。
1.
前掲の一般式[1A]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
一般式[1A]中、
は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
2つのnは、それぞれ独立して0~3の整数である。
2.
1.に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
前掲の一般式[1A-1]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
一般式[1A-1]中、2つのRはそれぞれ独立に炭素数1~6のアルキル基である。
3.
1.に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
前掲の一般式[1A-2]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
一般式[1A-2]中、2つのRはそれぞれ独立に炭素数1~6のアルキル基である。
4.
1.に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
前掲の一般式[1A-3]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
一般式[1A-3]中、4つのRはそれぞれ独立に炭素数1~6のアルキル基である。
5.
1.に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
前掲の式[1A-4]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
6.
1.または2.に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
前掲の式[1A-5]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
式[1A-5]中、Meはメチル基を表す。
7.
1.または3.に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
前掲の式[1A-6]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
式[1A-6]中、Meはメチル基を表す。
8.
1.または4.に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
前掲の式[1A-7]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
式[1A-7]中、Meはメチル基を表す。
9.
1.~8.のいずれか1つに記載の含フッ素ジアミンまたはその塩の製造方法であって、
前掲の一般式[2]で表される芳香族ジアミン化合物に、ヘキサフルオロアセトンまたはその等価体を付加させる工程を含む、含フッ素ジアミンまたはその塩の製造方法。
一般式[2]中、R およびnの定義は、前記一般式[1A]と同様である。
10.
前掲の一般式[1B]で表される構造単位を有するポリアミド。
一般式[1B]中、
は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
は、2価の有機基であり、
2つのnは、それぞれ独立して0~3の整数である。
11.
10.に記載のポリアミドであって、
は、芳香環を含有する2価の有機基であるポリアミド。
12.
10.または11.に記載のポリアミドであって、
は、以下から選択される少なくとも1つの2価の有機基であるポリアミド。
Figure 2022030447000021
13.
10.~12.のいずれか1つに記載のポリアミドであって、
重量平均分子量が、1,000以上1,000,000以下であるポリアミド。
14.
10.~13.のいずれかに記載のポリアミドと、有機溶媒とを含む、ポリアミド溶液。
15.
14.に記載のポリアミド溶液であって、
前記有機溶媒が、アミド系溶媒、エーテル系溶媒、芳香族系溶媒、ハロゲン系溶媒及びラクトン系溶媒からなる群より選ばれる少なくとも1種を含むポリアミド溶液。
16.
14.または15.に記載のポリアミド溶液であって、
前記ポリアミドの濃度は、0.1質量%以上50質量%以下であるポリアミド溶液。
17.
前掲の一般式[1C]で表される構造単位を有するポリアミド環化体。
一般式[1C]中、
は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
は、2価の有機基であり、
2つのnは、それぞれ独立して0~3の整数である。
18.
17.に記載のポリアミド環化体であって、
は、芳香環を含有する2価の有機基であるポリアミド環化体。
19.
17.または18.に記載のポリアミド環化体であって、
は、以下から選択される少なくとも1つの2価の有機基であるポリアミド環化体。
Figure 2022030447000022
20.
17.~19.のいずれか1つに記載のポリアミド環化体を含む高周波電子部品用絶縁材。
21.
20.に記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
5%重量減少温度Td が350℃以上である絶縁材。
22.
20.または21.に記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
周波数28GHzにおける誘電正接が0.012以下である絶縁材。
23.
20.~22.のいずれか1つに記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
周波数28GHzにおける比誘電率が3.1以下である絶縁材。
24.
20.~23.のいずれか1つに記載の高周波電子部品用絶縁材を備える高周波電子部品。
25.
24.に記載の高周波電子部品を備える高周波機器。
26.
10.~13.のいずれか1つに記載のポリアミドを含む高周波電子部品製造用絶縁材料。
27.
26.に記載の高周波電子部品製造用絶縁材料であって、
前記ポリアミドの重量平均分子量が500,000以下である絶縁材料。
28.
10.~13.のいずれか1つに記載のポリアミドを製造する製造方法であって、
当該製造方法は、前掲の一般式[1A]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩と、前掲の一般式[DC1]または[DC2]で表されるジカルボン酸またはジカルボン酸誘導体と、を縮重合する工程を含む製造方法。
一般式[1A]中、
は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
2つのnは、それぞれ独立して0~3の整数である。
一般式[DC1]中、R は前記一般式[1B]におけるR と同義であり、2つのAはそれぞれ独立に、水素原子、炭素数1~10のアルキル基、または、炭素数6~10の芳香族炭化水素基を表す。
一般式[DC2]中、R は前記一般式[1B]におけるR と同義であり、2つのXはそれぞれ独立に、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子または活性エステル基を表す。
29.
17.~19.のいずれか1つに記載のポリアミド環化体を製造する製造方法であって、
28.に記載の製造方法によりポリアミドを製造する第一工程と、
前記第一工程で得られた前記ポリアミドを脱水閉環する第二工程と、
を含む製造方法。
30.
14.~16.のいずれか1つに記載のポリアミド溶液を支持基材に塗布する塗布工程と、
塗布されたポリアミド溶液中に含まれる溶媒を乾燥させることにより、ポリアミドを含む樹脂膜を得る乾燥工程と、
前記樹脂膜を加熱処理して硬化膜とする加熱工程と、
を含む、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
31.
30.に記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
前記支持基材が、ガラス、シリコンウェハ、ステンレス、アルミナ、銅、ニッケル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレングリコールテレフタレート、ポリエチレングリコールナフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンスルホンおよびポリフェニレンスルフィドからなる群より選ばれる少なくとも1種である、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
32.
30.または31.に記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
前記硬化膜の膜厚が1μm以上1000μm以下である、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
33.
30.~32.のいずれか1つに記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
前記乾燥工程は、50℃以上250℃以下の温度で実施される、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
34.
30.~33.のいずれか1つに記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
前記加熱工程は、100℃以上400℃以下の温度で実施される、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。

Claims (37)

  1. 以下一般式[1A]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
    Figure 2022030447000001
    一般式[1A]中、
    は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
    2つのnは、それぞれ独立して~3の整数である。
  2. 請求項1に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
    以下一般式[1A-1]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
    Figure 2022030447000002
    一般式[1A-1]中、2つのRはそれぞれ独立に炭素数1~6のアルキル基である。
  3. 請求項1に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
    以下一般式[1A-2]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
    Figure 2022030447000003
    一般式[1A-2]中、2つのRはそれぞれ独立に炭素数1~6のアルキル基である。
  4. 請求項1に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
    以下一般式[1A-3]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
    Figure 2022030447000004
    一般式[1A-3]中、4つのRはそれぞれ独立に炭素数1~6のアルキル基である。
  5. 請求項1または2に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
    以下式[1A-5]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
    Figure 2022030447000005
    式[1A-5]中、Meはメチル基を表す。
  6. 請求項1または3に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
    以下式[1A-6]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
    Figure 2022030447000006
    式[1A-6]中、Meはメチル基を表す。
  7. 請求項1または4に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩であって、
    以下式[1A-7]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩。
    Figure 2022030447000007
    式[1A-7]中、Meはメチル基を表す。
  8. 請求項1~のいずれか1項に記載の含フッ素ジアミンまたはその塩の製造方法であって、
    以下一般式[2]で表される芳香族ジアミン化合物に、ヘキサフルオロアセトンまたはその等価体を付加させる工程を含む、含フッ素ジアミンまたはその塩の製造方法。
    Figure 2022030447000008
    一般式[2]中、Rおよびnの定義は、前記一般式[1A]と同様である。
  9. 以下一般式[1B]で表される構造単位を有するポリアミド。
    Figure 2022030447000009
    一般式[1B]中、
    は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
    は、2価の有機基であり、
    2つのnは、それぞれ独立して~3の整数である。
  10. 請求項に記載のポリアミドであって、
    は、芳香環を含有する2価の有機基であるポリアミド。
  11. 請求項または10に記載のポリアミドであって、
    は、以下から選択される少なくとも1つの2価の有機基であるポリアミド。
    Figure 2022030447000010
  12. 請求項11のいずれか1項に記載のポリアミドであって、
    重量平均分子量が、1,000以上1,000,000以下であるポリアミド。
  13. 請求項12のいずれかに記載のポリアミドと、有機溶媒とを含む、ポリアミド溶液。
  14. 請求項13に記載のポリアミド溶液であって、
    前記有機溶媒が、アミド系溶媒、エーテル系溶媒、芳香族系溶媒、ハロゲン系溶媒及びラクトン系溶媒からなる群より選ばれる少なくとも1種を含むポリアミド溶液。
  15. 請求項13または14に記載のポリアミド溶液であって、
    前記ポリアミドの濃度は、0.1質量%以上50質量%以下であるポリアミド溶液。
  16. 以下一般式[1C]で表される構造単位を有するポリアミド環化体。
    Figure 2022030447000011
    一般式[1C]中、
    は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
    は、2価の有機基であり、
    2つのnは、それぞれ独立して~3の整数である。
  17. 請求項16に記載のポリアミド環化体であって、
    は、芳香環を含有する2価の有機基であるポリアミド環化体。
  18. 請求項16または17に記載のポリアミド環化体であって、
    は、以下から選択される少なくとも1つの2価の有機基であるポリアミド環化体。
    Figure 2022030447000012
  19. 以下一般式[1C]で表される構造単位を有するポリアミド環化体を含む高周波電子部品用絶縁材。
    Figure 2022030447000013
    一般式[1C]中、
    は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
    は、2価の有機基であり、
    2つのnは、それぞれ独立して0~3の整数である。
  20. 請求項19に記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
    5%重量減少温度Tdが350℃以上である絶縁材。
  21. 請求項19または20に記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
    周波数28GHzにおける誘電正接が0.012以下である絶縁材。
  22. 請求項1921のいずれか1項に記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
    周波数28GHzにおける比誘電率が3.1以下である絶縁材。
  23. 請求項19~22のいずれか1項に記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
    は、芳香環を含有する2価の有機基である高周波電子部品用絶縁材。
  24. 請求項19~23のいずれか1項に記載の高周波電子部品用絶縁材であって、
    は、以下から選択される少なくとも1つの2価の有機基である高周波電子部品用絶縁材。
    Figure 2022030447000014
  25. 請求項1924のいずれか1項に記載の高周波電子部品用絶縁材を備える高周波電子部品。
  26. 請求項25に記載の高周波電子部品を備える高周波機器。
  27. 以下一般式[1B]で表される構造単位を有するポリアミドを含む高周波電子部品製造用絶縁材料。
    Figure 2022030447000015
    一般式[1B]中、
    は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
    は、2価の有機基であり、
    2つのnは、それぞれ独立して0~3の整数である。
  28. 請求項27に記載の高周波電子部品製造用絶縁材料であって、
    前記ポリアミドの重量平均分子量が500,000以下である絶縁材料。
  29. 請求項27または28に記載の高周波電子部品製造用絶縁材料であって、
    は、芳香環を含有する2価の有機基である絶縁材料。
  30. 請求項27~29のいずれか1項に記載の高周波電子部品製造用絶縁材料であって、
    は、以下から選択される少なくとも1つの2価の有機基である絶縁材料。
    Figure 2022030447000016
  31. 請求項12のいずれか1項に記載のポリアミドを製造する製造方法であって、
    当該製造方法は、以下一般式[1A]で表される含フッ素ジアミンまたはその塩と、以下一般式[DC1]または[DC2]で表されるジカルボン酸またはジカルボン酸誘導体と、を縮重合する工程を含む製造方法。
    Figure 2022030447000017
    一般式[1A]中、
    は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
    2つのnは、それぞれ独立して~3の整数である。
    Figure 2022030447000018
    一般式[DC1]中、Rは前記一般式[1B]におけるRと同義であり、2つのAはそれぞれ独立に、水素原子、炭素数1~10のアルキル基、または、炭素数6~10の芳香族炭化水素基を表す。
    Figure 2022030447000019
    一般式[DC2]中、Rは前記一般式[1B]におけるRと同義であり、2つのXはそれぞれ独立に、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子または活性エステル基を表す。
  32. 請求項1618のいずれか1項に記載のポリアミド環化体を製造する製造方法であって、
    請求項31に記載の製造方法によりポリアミドを製造する第一工程と、
    前記第一工程で得られた前記ポリアミドを脱水閉環する第二工程と、
    を含む製造方法。
  33. 以下一般式[1B]で表される構造単位を有するポリアミドと有機溶媒とを含むポリアミド溶液を支持基材に塗布する塗布工程と、
    塗布されたポリアミド溶液中に含まれる溶媒を乾燥させることにより、ポリアミドを含む樹脂膜を得る乾燥工程と、
    前記樹脂膜を加熱処理して硬化膜とする加熱工程と、
    を含む、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
    Figure 2022030447000020
    一般式[1B]中、
    は、複数存在する場合はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基およびハロアルコキシ基からなる群より選ばれる少なくともいずれかであり、
    は、2価の有機基であり、
    2つのnは、それぞれ独立して0~3の整数である。
  34. 請求項33に記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
    前記支持基材が、ガラス、シリコンウェハ、ステンレス、アルミナ、銅、ニッケル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレングリコールテレフタレート、ポリエチレングリコールナフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンスルホンおよびポリフェニレンスルフィドからなる群より選ばれる少なくとも1種である、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
  35. 請求項33または34に記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
    前記硬化膜の膜厚が1μm以上1000μm以下である、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
  36. 請求項3335のいずれか1項に記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
    前記乾燥工程は、50℃以上250℃以下の温度で実施される、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
  37. 請求項3336のいずれか1項に記載の高周波電子部品用絶縁材の製造方法であって、
    前記加熱工程は、100℃以上400℃以下の温度で実施される、高周波電子部品用絶縁材の製造方法。
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