JPWO2022030197A5 - - Google Patents

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開口径Dは、第1面13aと第2面13bとの間にわたって一定であってもよい。開口径Dは、第1面13aと第2面13bとの間において変化していてもよく、第1面13aと第2面13bとの間において一定でなくてもよい。開口径Dが第1面13aと第2面13bとの間において変化している場合、開口径Dは、第1面13a及び第2面13bの一方から第1面13a及び第2面13bの他方に向かうにしたがって減少していてもよい。ある1つの開口部において、厚さ方向の開口径Dの最大値を、開口径Dmaxとする。
端子50a及び端子50bは、ケース部材30に挿入されている。その結果、端子50a及び端子50bの一方端は第1表面10a、ケース部材30及び蓋40により画される空間内に位置しており、端子50a及び端子50bの他方端は当該空間の外部に位置している。端子50a及び端子50は、例えば、金属材料で形成されている。金属材料は、例えば、コバールである。
10 複合材料、10a 第1表面、10b 第2表面、11,11a,11b 第1層、12,12a,12b 第2層、13 モリブデン板、13a 第1面、13b 第2面、13c 開口部、14 銅フィラー、15 薄片、16 ブロック、17 測定試料、20 半導体素子、30 ケース部材、40 蓋、50a,50b 端子、60 放熱部材、70 発熱体、80 アルミニウムフィン、100 半導体パッケージ、D 開口径、S1 準備工程、S2 穴開け工程、S3 接合工程、T1,T2,T3 厚さ。
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