JPWO2021141676A5

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Info

Publication number: JPWO2021141676A5
Application number: JP2022527659A
Authority: JP
Publication date: 2023-02-28

Claims

ＸＲＤ及び画像処理法を使用して測定して９０～９９．９体積％の多結晶イットリウムアルミニウムガーネット（ＹＡＧ）と、
ＡＳＴＭＢ９６２－１７に準拠して実施した密度測定から算出して０．１～４％の体積多孔度と
を含む焼結セラミック体であり、
ＳＥＭ及び画像処理法を使用して測定したサイズが０．１～５ｕｍである細孔を含むことを特徴とする焼結セラミック体。
前記体積多孔度が０．１～３％である、請求項１に記載の焼結セラミック体。
前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが９０～９９．８体積％の量で存在する、請求項１または２に記載の焼結セラミック体。
本明細書に開示のＩＣＰＭＳ法を使用して測定して、前記焼結セラミック体の総質量に対して約１４ｐｐｍの量のシリカを含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の焼結セラミック体。
０．１～２体積％の量で存在する、酸化イットリウム及び酸化アルミニウム、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも１種の酸化物をさらに含む、請求項１～４のいずれか１項に記載の焼結セラミック体。
０．１～１体積％の量で存在する、酸化イットリウム及び酸化アルミニウム、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも１種の酸化物を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の焼結セラミック体。
０．１～１体積％の量で存在する、ＹＡＰ及びＹＡＭ、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも１種の結晶相をさらに含む、請求項１～６のいずれか１項に記載の焼結セラミック体。
ＡＳＴＭＣｌ１６１－１３に準拠して測定し、２０点の測定値から算出される平均４点曲げ強さが３８７ＭＰａである、請求項１～７のいずれか１項に記載の焼結セラミック体。
請求項１～８のいずれか１項に記載の焼結セラミック体の製造方法であって、
ａ．酸化イットリウム及び酸化アルミニウムを含む粉末を混合して粉末混合物を作製するステップと、
ｂ．焼成温度に到達するように熱を印加し、且つ前記焼成温度を維持することによって前記粉末混合物を焼成して焼成を行い、焼成粉末混合物を形成するステップと、
ｃ．前記焼成粉末混合物を、焼結装置のツールセットによって画成される容積内に配置し、且つ前記容積内に真空条件をつくり出すステップと、
ｄ．焼結温度に加熱しながら、前記焼成粉末混合物に圧力を印加し、且つ焼結を行って前記焼結セラミック体を形成するステップと、
ｅ．前記焼結セラミック体の温度を下げるステップと
を含む、前記方法。
ｆ．任意選択で、前記焼結セラミック体の温度を上昇させて焼鈍温度に到達するように熱を印加することによって前記焼結セラミック体を焼鈍して、焼鈍焼結セラミック体を形成するステップと、
ｇ．前記焼鈍焼結セラミック体の温度を下げるステップと、
ｈ．前記焼結セラミック体を機械加工して、エッチングチャンバー内の、誘電体窓またはＲＦウィンドウ、フォーカスリング、ノズルまたはガスインジェクター、シャワーヘッド、ガス分配プレート、エッチングチャンバーライナー、プラズマ源アダプター、ガスインレットアダプター、ディフューザー、静電ウェハチャック、チャック、パック、ミキシングマニフォールド、イオンサプレッサーエレメント、フェイスプレート、アイソレーター、スペーサー、保護リング、及びデポジションリングなどの焼結セラミック部品を作製するステップをさらに含む、請求項９に記載の方法。
前記圧力が１０～６０ＭＰａである、請求項９または１０に記載の方法。
前記圧力が１５～２０ＭＰａである、請求項９～１１のいずれか１項に記載の方法。
ＢＥＴ表面積分析法を使用して測定した前記焼成粉末混合物の比表面積が２～１０ｍ^２／ｇである、請求項９～１２のいずれか１項に記載の方法。
請求項９～１３のいずれか１項に記載の方法によって製造された焼結セラミック体。
最大寸法が２００～５７５ｍｍである、請求項１４に記載の焼結セラミック体。