JP2023502597A - プラズマ耐性酸化イットリウムアルミニウム体 - Google Patents
プラズマ耐性酸化イットリウムアルミニウム体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023502597A JP2023502597A JP2022527659A JP2022527659A JP2023502597A JP 2023502597 A JP2023502597 A JP 2023502597A JP 2022527659 A JP2022527659 A JP 2022527659A JP 2022527659 A JP2022527659 A JP 2022527659A JP 2023502597 A JP2023502597 A JP 2023502597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered ceramic
- ceramic body
- sintered
- measured
- volume
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 410
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 639
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 40
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 614
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 claims description 375
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 358
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 329
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 168
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 87
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 86
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 77
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 71
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 70
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 66
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 claims description 64
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 59
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 56
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 53
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 48
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 44
- 238000001739 density measurement Methods 0.000 claims description 37
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 36
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 33
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 28
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 26
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 25
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 25
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- PSNPEOOEWZZFPJ-UHFFFAOYSA-N alumane;yttrium Chemical compound [AlH3].[Y] PSNPEOOEWZZFPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 20
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 20
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 18
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 11
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 10
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 9
- 238000013001 point bending Methods 0.000 claims description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 160
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 119
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 76
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 76
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 70
- 235000013339 cereals Nutrition 0.000 description 67
- 239000000463 material Substances 0.000 description 67
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 58
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 56
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 56
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 46
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 46
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 32
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 32
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 32
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 27
- 239000007770 graphite material Substances 0.000 description 27
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 27
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 25
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 22
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 21
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 21
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 18
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 17
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 11
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 11
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 11
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 11
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 description 10
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 10
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 10
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 10
- 238000002490 spark plasma sintering Methods 0.000 description 10
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 9
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 8
- 238000010902 jet-milling Methods 0.000 description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 6
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 6
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 6
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 241000209094 Oryza Species 0.000 description 5
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 5
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 5
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 5
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 5
- 239000011858 nanopowder Substances 0.000 description 5
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- -1 YAG Chemical class 0.000 description 4
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 4
- 238000007580 dry-mixing Methods 0.000 description 4
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 4
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 4
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 4
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 4
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 4
- 230000008093 supporting effect Effects 0.000 description 4
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 3
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 3
- 235000012255 calcium oxide Nutrition 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 description 3
- 230000036541 health Effects 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009700 powder processing Methods 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012422 test repetition Methods 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methoxyethoxy)benzohydrazide Chemical compound COCCOC1=CC=CC(C(=O)NN)=C1 GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 2
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 238000000326 densiometry Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000009862 microstructural analysis Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000007655 standard test method Methods 0.000 description 2
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- IPCAPQRVQMIMAN-UHFFFAOYSA-L zirconyl chloride Chemical compound Cl[Zr](Cl)=O IPCAPQRVQMIMAN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015844 BCl3 Inorganic materials 0.000 description 1
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N Fluoroform Chemical compound FC(F)F XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007921 Li-Ca Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008298 Li—Ca Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007545 Vickers hardness test Methods 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUHFWCGCSVTMPG-UHFFFAOYSA-N [C].[C] Chemical class [C].[C] IUHFWCGCSVTMPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000007596 consolidation process Methods 0.000 description 1
- 239000004035 construction material Substances 0.000 description 1
- 238000009770 conventional sintering Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- RWRIWBAIICGTTQ-UHFFFAOYSA-N difluoromethane Chemical compound FCF RWRIWBAIICGTTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011038 discontinuous diafiltration by volume reduction Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 229910003455 mixed metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000009828 non-uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007780 powder milling Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000002390 rotary evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 238000005464 sample preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004901 spalling Methods 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/44—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/6261—Milling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62625—Wet mixtures
- C04B35/6263—Wet mixtures characterised by their solids loadings, i.e. the percentage of solids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62645—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62645—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering
- C04B35/62675—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering characterised by the treatment temperature
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/645—Pressure sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B38/00—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
- C04B38/0051—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof characterised by the pore size, pore shape or kind of porosity
- C04B38/0054—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof characterised by the pore size, pore shape or kind of porosity the pores being microsized or nanosized
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/0072—Heat treatment
- C04B41/0081—Heat treatment characterised by the subsequent cooling step
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32467—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32477—Vessel characterised by the means for protecting vessels or internal parts, e.g. coatings
- H01J37/32495—Means for protecting the vessel against plasma
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
- C04B2235/3222—Aluminates other than alumino-silicates, e.g. spinel (MgAl2O4)
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
- C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5409—Particle size related information expressed by specific surface values
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5463—Particle size distributions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
- C04B2235/6562—Heating rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
- C04B2235/6565—Cooling rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
- C04B2235/6567—Treatment time
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
- C04B2235/6581—Total pressure below 1 atmosphere, e.g. vacuum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/66—Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
- C04B2235/661—Multi-step sintering
- C04B2235/662—Annealing after sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/66—Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
- C04B2235/666—Applying a current during sintering, e.g. plasma sintering [SPS], electrical resistance heating or pulse electric current sintering [PECS]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
- C04B2235/728—Silicon content
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
- C04B2235/762—Cubic symmetry, e.g. beta-SiC
- C04B2235/764—Garnet structure A3B2(CO4)3
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
- C04B2235/775—Products showing a density-gradient
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/782—Grain size distributions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/785—Submicron sized grains, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
- C04B2235/786—Micrometer sized grains, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/95—Products characterised by their size, e.g. microceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
- C04B2235/9607—Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
- C04B2235/963—Surface properties, e.g. surface roughness
Abstract
Description
本明細書に開示されるさまざまな実施形態、態様、及び構成が、これらのニーズ及びその他のニーズに対処する。
ASTM B962-17に準拠して実施した密度測定から算出して0.1~4%の体積多孔度と
を含む焼結セラミック体。
a.酸化イットリウム及び酸化アルミニウムを含む粉末を混合して粉末混合物を作製するステップと、
b.焼成温度に到達するように熱を印加し、且つ上記焼成温度を維持することによって上記粉末混合物を焼成して焼成を行い、焼成粉末混合物を形成するステップと、
c.上記焼成粉末混合物を、焼結装置のツールセットによって画成される容積内に配置し、且つ上記容積内に真空条件をつくり出すステップと、
d.焼結温度に加熱しながら、上記焼成粉末混合物に圧力を印加し、且つ焼結を行って上記焼結セラミック体を形成するステップと、
e.上記焼結セラミック体の温度を下げるステップと
を含む、上記方法。
g.上記焼鈍焼結セラミック体の温度を下げるステップと
をさらに含む、実施形態50に記載の方法。
本出願において、用語「酸化イットリウムアルミニウム」とは、Y3Al5O12(YAG;イットリウムアルミニウムガーネット/立方晶相)、YAlO3(YAP;イットリウムアルミニウムペロブスカイト相)、及びY4Al2O9(YAM;イットリウムアルミニウム単斜晶相)、ならびにこれらの組み合わせを含む、酸化イットリウムアルミニウムの結晶相の形態の少なくとも1種を意味すると理解される。本明細書では、用語YAGとYAG相とは同義で使用される。
本明細書では、内壁及び外壁を備える側壁を備えるダイであって、上記内壁の直径が、少なくとも1種のセラミック粉末を受け入れることができる内容積を画成する上記ダイと、
作動可能に上記ダイに結合した上部パンチ及び下部パンチであって、該上部パンチ及び下部パンチのそれぞれがダイの内壁の直径よりも小さい直径を画成する外壁を有し、それによって、上部パンチ及び下部パンチの少なくとも一方がダイの内容積内で移動する際に、上部パンチ及び下部パンチのそれぞれとダイの内壁との間に間隙を生み出す上記上部パンチ及び下部パンチと
を備え、但し、上記間隙の幅が10μm~100μmであり、上記少なくとも1種のセラミック粉末のASTM C1274に準拠して測定した比表面積(SSA)が1~18m/gである、スパークプラズマ焼結(SPS)ツールが開示される。
・99重量%を超える、好ましくは99.2重量%を超える、より好ましくは99.4重量%を超える、より好ましくは99.6重量%を超える、より好ましくは99.8重量%を超える、より好ましくは99.9重量%を超える、より好ましくは99.99重量%を超える、より好ましくは99.999重量%を超える炭素含有量;
・500ppm未満、好ましくは400ppm未満、より好ましくは300ppm未満、より好ましくは200ppm未満、より好ましくは100ppm未満、より好ましくは50ppm未満、より好ましくは10ppm未満、好ましくは5ppm未満、より好ましくは3ppm未満である不純物;
・4.0~6.0MPa、好ましくは4.2~5.8MPa、より好ましくは4.4~5.6MPaの範囲の引張強さ;及び
・好ましくは、1.0~1.2g/cc、好ましくは1.02~1.18g/cc、より好ましくは1.04~1.16g/cc、より好ましくは1.06~1.16g/ccの範囲の嵩密度。
以下の詳細な説明は、本開示が、半導体ウェハ基板の製造の一部として必要なエッチングチャンバーまたは蒸着チャンバーなどの装置内で実施されることを前提としている。但し、本発明はそのように限定はされない。加工物は、さまざまな形状、サイズ、及び材料のものであってよい。半導体ウェハの加工に加えて、本発明を利用することができる他の加工物としては、微細な形体サイズの無機回路基板、磁気記録媒体、磁気記録センサー、ミラー、光学素子、マイクロメカニカルデバイスなどのさまざまな物品が挙げられる。
本焼結セラミック体の製造は、直流焼結及び関連する技法と組み合わせた加圧支援焼結を使用することによって実現することができ、上記方法は、直流を使用して導電性ダイ構成またはツールセットを加熱し、それにより材料を焼結させる。この加熱方法が、非常に高い加熱速度及び冷却速度の適用を可能にし、結晶粒成長を促進する拡散機構よりも緻密化機構を増進させ、これが、非常に微細な結晶粒径のセラミック焼結体の製造を容易にすることができ、元の粉末の固有の特性を、それらの粉末の略または完全に緻密化された生成物に移転させる。本明細書で使用される直流焼結技法は、粉末の固結及び緻密化を容易にするための非パルス化直流電流を含んでいた。
エッチングを、以下に記載されるように、本明細書に開示の方法に従って調製したYAGを含む耐食性焼結セラミック体上で実施した。
エッチング性能を評価するために、6mm×6mm×2mmの寸法の実施例1の試料519の焼結セラミック体からなる試料を、ヒートシンクコンパウンドを使用してc面サファイアウェハ上に取り付けた。表面品質は、エッチングプロセスの前後にSa、Sz、及びSdrを測定することによって評価した。
表面粗さ測定は、クラス1のクリーンルーム中で、周囲条件下、Keyence 3Dレーザー走査型共焦点デジタル顕微鏡VK-X250X型を使用して実施した。上記顕微鏡は、2.8Hzの固有振動数のTMC TableTop CSPパッシブ卓上型除振台上に設置されている。この非接触システムは、レーザー光線及び光学センサーを使用して、反射光の強度によって表面を分析する。この顕微鏡は、x方向に1,024データポイント、y方向に786データポイント、計786,432データポイントを取得する。所定の走査が完了したところで、対物レンズがz方向に設定されたピッチで移動し、走査間で強度を比較して焦点を決定する。ISO 25178 Surface Texture (Areal Roughness Measurement)は、この顕微鏡が準拠する表面粗さの分析に関係する国際的規格を収集したものである。
比表面積が4.3m2/g、d10粒径が2.4μm、d50粒径が9μm、及びd90粒径が50μmの市販のイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)粉末(Shin-Etsu ロットRYAG-OCX-102)を、1450℃、30MPaの圧力、真空下で30分間焼結して、焼結体を形成した。図8は、上記焼結体におけるSEMの結果であり、イットリア(白色領域)、YAP及び/またはYAM(それぞれが画像の淡灰色の領域によって示される)、及びアルミナ(黒色領域)の相を示す。YAGはSEM画像の暗灰色の領域によって表される。粉末組成の制御が不十分であり、且つ粉末処理中に出発粉末の混合が不十分であると、焼結時にこの例で明らかな結晶混合相が発生することとなろう。粉末のバッチング及び混合の条件は不明であった。少なくとも1000倍の倍率のSEMによる微細構造の分析から、組成の不均一性と混合相領域の存在が明らかである。上記焼結セラミック体の純度は99.99~99.995%であり、鉄のレベルは11~18ppmであり、チタン汚染も見られた。これらの不均一な微細構造及び汚染元素、ならびにそれらのそれぞれの量により、半導体のエッチング及び蒸着用途での使用中の性能が許容できないものとなる可能性がある。
比表面積が7.3m2/g、d10粒径が0.15μm、d50粒径が3.5μm、及びd90粒径が64μmの、市販のイットリアとアルミナの粉末混合物を、1450℃、30MPaの圧力、真空下で30分間焼結して、直径100mmの焼結体を形成した。上記粉末には、7ppmの鉄汚染物を含む48ppmの総不純物が含まれていた。図10はSEMの結果であり、粉末組成の不均一性及び/または不十分な混合に起因する、イットリア、YAP及び/またはYAM(それぞれが画像の明るい領域によって示されている)、ならびにアルミナ(黒色領域)の多数の相を示している。YAGは、このSEM画像において主として灰色の領域で表される一方、イットリア領域は白色で表示され、酸化アルミニウム領域は黒色で表示される。粉末処理中の不十分な組成制御により、焼結時に混合結晶相が生成することとなる。粉末のバッチング及び混合の条件は不明であった。1000倍以上の倍率のSEMによる微細構造の分析から、組成の不均一性と混合相領域の存在が示されている。これらの不均一な微細構造及び汚染元素、ならびにそれらのそれぞれの量により、半導体のエッチング及び蒸着用途での使用中の性能が許容できないものとなる可能性がある。
比表面積が6~8m2/g、d10平均粒径が2~4μm、d50平均粒径が4.5μm~6.5μmであり、及びd90平均粒径が7~9μmのイットリアの粉末と、比表面積が22~24m2/g、d10粒径が0.08~0.15μm、d50粒径が0.65~1.0μm、及びd90粒径が2.5~5μmのアルミナの粉末を、約50重量%の高純度アルミナ媒体(99.9%以上)及びエタノールと共に混合して、粉末重量で約40体積%のスラリーを形成した。ボールミル粉砕を約120RPMで12時間の期間実施し、その後、当業者に公知の方法を使用して粉末を乾燥した。空気中、1200℃で8時間焼成したところで、図18のパターンe)に係るX線回折が、この焼成粉末混合物がYAGを含むことを示し、この粉末混合物の比表面積は0.25m2/gであると測定された。この焼成粉末混合物を、真空下、30MPaの圧力、1500℃で30分間焼結し、その後空気中、1400℃で8時間焼鈍して、直径150mmの焼結体を形成した。本明細書に開示の密度測定を実施し、平均密度が4.245g/ccと測定され、これは、YAGの理論密度の93.2%に相当し、体積多孔度は6.8%であった。粉末特性及び焼結に対する駆動力の低下に起因するこの密度及び多孔度により、半導体加工用途における使用中の、取扱い上の問題及び許容できない性能が生じる可能性がある。
表面積が6~8m2/gのイットリアの粉末及び表面積が16~18m2/gのアルミナの粉末を秤量及び配合して、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比の粉末混合物を作製した。次いで、この粉末混合物を垂直転倒(tumble)(転倒(end over end))混合機に移した。単一の直径30mmのジルコニア媒体を使用し、約20RPMで乾式混合プロセスを実施した。12時間の乾式混合後に、粉末を混合機から取り出した。その後、1000℃で8時間焼成を行った。BET比表面積は4.5~5.5g/ccと測定された。焼成粉末混合物の純度は99.9996%であり、不純物は約4ppmであった。この粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。次に、上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の方法に従って、真空下、1450℃の温度、30MPaの圧力で30分間の期間焼結した。図21のXRDは、実施例1に係る焼結セラミック体では99%以上のYAG相が形成されていることを示す。この焼結セラミック体を当技術分野で公知の方法に従って研磨し、本明細書に開示の方法及び装置を使用して表面粗さの測定を実施した。それぞれ約0.010μm及び約3.40μmのSa及びSzの値が測定された。約498×10-5のSdr値も測定された。ドライエッチング試験をPlasma-Therm Versaline DESC PDC Deep Silicon Etchを使用して実施した。エッチング方法は、10ミリトールの圧力、600ボルトのバイアス、及び2000ワットのICP電力で実施した。エッチング法は、CF4流速が90標準立方センチメートル/分(sccm)、酸素流速が30標準立方センチメートル/分(sccm)、アルゴン流速が20標準立方センチメートル/分(sccm)の第1のエッチングステップと、酸素流速が100標準立方センチメートル/分(sccm)及びアルゴン流速が20標準立方センチメートル/分(sccm)の第2のエッチングステップで実施し、第1及び第2のステップをそれぞれ300秒間実施し、合計6時間の期間繰り返す。エッチング後に、約0.016μmのSa値及び約3.2μmのSz値が測定され、かいじされるエッチングプロセス後に、約681×10-5のSdr値が測定された。表3、4、5、13、14、及び15に、本明細書に開示の実施形態に係る実施例1の多結晶セラミック焼結体の結果を要約する。
表面積が6~8m2/gのイットリアの粉末及び表面積が6~8m2/gのアルミナの粉末を秤量及び配合して、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比の粉末混合物を作製した。次いで、この粉末混合物を垂直(転倒(end over end))混合機に移した。上記転倒混合機中の粉末混合物にエタノールを添加し、粉末重量で50%のスラリーを形成した。単一の直径30mmの媒体を使用し、約20RPMで湿式混合プロセスを実施した。12時間の湿式混合後に、上記粉末混合物を含むスラリーを混合機から取り出し、回転蒸発器を使用してエタノールを抜き出した。その後、1000℃で8時間焼成を行った。この粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物の純度は99.9956%であり、不純物は約44ppmであった。次に、上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の方法に従って、真空下、1450℃の温度、30MPaの圧力で30分間の期間焼結した。図21の上記焼結セラミック体のXRDは、93%のYAG相及び7%のYAPを示す。YAP相の理論密度は5.35g/ccであると報告されており、したがって混合相試料の全体の密度は、理論密度が4.556g/ccである純粋なYAGの密度よりも高くなる可能性がある。この焼結セラミック体を当技術分野で公知の方法に従って研磨し、本明細書に開示の方法及び装置を使用して表面粗さの測定を実施した。それぞれ約0.010μm及び約3.75μmのSa及びSzの値が測定された。約720×10-5のSdr値も測定された。表3及び13に、本明細書に開示の実施形態に係る実施例2のセラミック焼結体の結果を要約する。
表面積が6~8m2/gのイットリアの粉末及び表面積が6~8m2/gのアルミナの粉末を秤量及び配合して、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比の粉末混合物を作製した。次いで、この粉末混合物をボールミル粉砕用の容器に移した。約50重量%充填のアルミナ媒体及び約50重量%のエタノールを上記容器に加え、スラリーを形成し、混合を促進した。水平軸周りの転がり動作を用いたボールミル粉砕を12時間の期間行い、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。上記粉末混合物を1000℃で8時間焼成した。この粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物の純度は99.9968%であり、不純物は約33ppmであった。次に、上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の方法に従って、真空下、1450℃の温度、30MPaの圧力で30分間の期間焼結した。図21の上記焼結セラミック体のXRDは、95%のYAG相及び5%のYAPを示す。YAP相の理論密度は5.35g/ccであると報告されており、したがって混合相試料の全体の密度は、理論密度が4.556g/ccである純粋なYAGの密度よりも高くなる可能性がある。上記多結晶焼結セラミック体を当技術分野で公知の方法に従って研磨し、本明細書に開示の方法及び装置を使用して表面粗さの測定を実施した。それぞれ約0.010μm及び約3.9μmのSa及びSzの値が測定された。約885×10-5のSdr値も測定された。表3、4、5、13、及び15に、本明細書に開示の実施形態に係る実施例3のセラミック焼結体の結果を要約する。
表面積が6~8m2/gのイットリアの粉末及び表面積が16~18m2/gのアルミナの粉末を秤量及び配合して、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比の粉末混合物を作製した。次いで、この粉末混合物をボールミル粉砕用の容器に移した。約50重量%充填のアルミナ媒体及び約50重量%のエタノールを上記容器に加え、スラリーを形成し、混合を促進した。他の例において、ボールミル粉砕を、イットリア媒体またはジルコニウム媒体のみ使用し、水を用いてまたは乾式条件下で実施してもよい。水平軸周りの転がり動作を用いたボールミル粉砕を12時間の期間行い、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。上記粉末混合物を1000℃で4時間焼成した。この粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。次に、上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の方法に従って、真空下、1450℃の温度、30MPaの圧力で30分間の期間焼結した。図21に示すように、X線回折を使用して、上記焼結セラミック体中に少なくとも99%のYAG相が見出された。上記多結晶焼結セラミック体を当技術分野で公知の方法に従って研磨し、本明細書に開示の方法及び装置を使用して表面粗さの測定を実施した。それぞれ約0.012μm及び約3.63μmのSa及びSzの値が測定された。約1138×10-5のSdr値も測定された。表3、4、13、14、及び15に、本明細書に開示の実施形態に係る実施例4のセラミック焼結体の結果を要約する。
比表面積が2~3m2/g、d10粒径が3~4μm、d50粒径が6.5~7.5μm、及びd90粒径が11.5~13μmのイットリアの粉末と、比表面積が5.75~6.75m2/g、d10粒径が0.10~0.2μm、d50粒径が2~3.5μm、及びd90粒径が15~30μmのアルミナの粉末を、焼成粉末混合物を形成して、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.99%を超える)を粉末の重量に対して50%の充填量で添加し、エタノールを添加して約40体積%のスラリーを形成した。水平軸周りの転がり作用を使用するボールミル粉砕を16時間の期間実施し、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、850℃で6時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積は4~5m2/g、d10粒径は0.15~0.25μm、d50粒径は5~7μm、及びd90粒径は18~22μmであることが測定された。表11によれば、X線回折により、上記焼成粉末混合物中にはイットリア相及びアルミナ相のみが存在することが確認された。上記粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物を、真空下、1600℃、20MPaの圧力で120分間焼結し、その後、空気中、1400℃で8時間焼鈍して、最大寸法572mmの多結晶焼結セラミック体を形成した。密度測定はASTM B962-17に準拠して実施し、5回の測定にわたり平均密度が4.458g/ccと測定され、これは、YAGの理論密度の97.859%及び密度測定値から算出した2.141%の体積多孔度に相当する。表3及び13に、本明細書に開示の実施形態に係る実施例5の焼結セラミック体及び焼成粉末の結果を要約する。
比表面積が4.5~6m2/g、d10粒径が2~3μm、d50粒径が4~7μm、及びd90粒径が7~8μmのイットリウムの粉末と、比表面積が5.5~6.5m2/g、d10粒径が0.10~0.2μm、d50粒径が2~3.5μm、及びd90粒径が15~30μmのアルミナの粉末を、焼成粉末混合物を形成し、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.99%を超える)を粉末重量に対して50%の充填量で添加し、エタノールを添加して約40体積%のスラリーを形成した。水平軸周りの転がり動作を使用するボールミル粉砕を12時間実施し、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、1000℃で10時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積は4~5m2/g、d10粒径は0.75~2μm、d50粒径は26~32μm、及びd90粒径は220~240μmであることが測定された。上記粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。表11によれば、X線回折により、上記焼成粉末混合物中にはイットリア相、アルミナ相、及びYAM(単斜晶系イットリウムアルミニウムモノクリニック)相が存在することが確認された。上記焼成粉末混合物を、真空下、1500℃、20MPaの圧力で30分間焼結し、その後、空気中、1500℃で8時間焼鈍して、150mmの寸法の焼結セラミック体を形成した。密度測定はASTM B962-17に準拠して実施し、5回の測定にわたり平均密度が4.492g/ccと測定され、これは、YAGの理論密度の98.604%及び密度測定値から算出した1.396%の体積多孔度に相当する。SEMの結果は、上記多結晶焼結セラミック体中にYAG相のみが存在することを示す均一な微細構造を示した。表3、10、11、13、及び14に、本明細書に開示の実施形態に係る実施例6の焼結セラミック体及び焼成粉末の結果を要約する。
比表面積が6~8m2/g、d10平均粒径が1.5~3.5μm、d50平均粒径が4.5μm~6.5μm、d90平均粒径が6.5~8.5μmのイットリアの粉末と、比表面積が5~7m2/g、d10粒径が0.10~0.5μm、d50粒径が2~6μm、及びd90粒径が15~40μmのアルミナ粉末を、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.99%を超える)を粉末重量に対して50%の充填量で添加し、エタノールを添加して約40体積%のスラリーを形成した。水平軸周りの転がり動作を使用するボールミル粉砕を12時間の期間実施し、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、1100℃で8時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積は2.5~3.5m2/g、d10粒径は1.5~3.5μmの、d50粒径は10~13μm、及びd90粒径は180~220μmであることが測定された。上記粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。表11に掲載され、図18のパターンd)に係るX線回折により、上記焼成粉末混合物中にYAP相と、約10体積%以下のYAG(矢印の表示で示すイットリウムアルミニウムガーネット相)が存在することが確認された。上記焼成粉末混合物を、真空下、1500℃、30MPaの圧力で30分間焼結して、150mmの寸法の焼結セラミック体を形成した。密度測定はASTM B962-17に準拠して実施し、5回の測定にわたり平均密度が4.544g/ccと測定され、これは、YAGの理論密度の99.730%及び密度測定値から算出した0.270%の体積多孔度に相当する。SEMの結果は、上記多結晶焼結セラミック体中にYAG相のみが存在することを示す均一な微細構造を示した。表3、10、11、13、及び14に、本明細書に開示の実施形態に係る焼結セラミック体及び焼成粉末混合物の結果を要約する。
比表面積が4.5~6m2/gのイットリアの粉末と、比表面積が3.5~5m2/gのアルミナの粉末を、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.99%を超える)を粉末重量に対して50%の充填量で添加し、エタノールを添加して約40体積%のスラリーを形成した。水平軸周りの転がり動作を使用するボールミル粉砕を12時間の期間実施し、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、1000℃で10時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積は7~8m2/g、d10粒径は0.75~1.75μm、d50粒径は90~110μm、及びd90粒径は240~280μmであることが測定された。上記粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物を、真空下、1550℃、20MPaの圧力で60分間焼結して、最大寸法406mmの円盤状の焼結セラミック体を形成した。密度測定を、ASTM B962-17に準拠して、焼結体の最大寸法に沿って採取した9つの試料について実施し、135回の測定にわたり平均密度が4.542g/ccと測定され、これは、YAGの理論密度の99.70%及び密度測定値から算出した0.3%の平均体積多孔度に相当する。密度は4.526~4.553g/cc(またはYAGの理論値の99.335~99.936%)の多結晶焼結セラミック体の最大寸法によって異なることが分かり、密度変動は約0.601%であると決定された。多結晶焼結セラミック体は、31mmの厚さを有し、厚さにわたる密度変動は、最大寸法に沿って採取した9つの試料のそれぞれの上部、中央部及び下部の密度を測定することによって決定され、厚さにわたる密度は、0.3%以下変化するように測定された。本明細書に開示の方法を使用して、密度測定値の精度は、本明細書に開示の方法を使用して、約0.1%とすることができ、したがって、焼結セラミック体の厚さにわたる密度の変動は、約0.1~0.3%であってよい。SEMの結果は、上記多結晶焼結セラミック体中にYAG相のみが存在することを示す均一な微細構造を示した。図24のa)の1000倍及びb)の5000倍のSEM画像により、上記焼結セラミック体の約99体積%以上の量のYAG相(暗灰色)が存在することを示す、高密度で均一な微細構造が明らかになっている。表3、10、11、13、及び14に、本明細書に開示の実施形態に係る焼結セラミック体及び焼成粉末混合物の結果を要約する。さらなる試料を、この実施例に従って焼結し、空気中、1200℃で8時間焼鈍したところ、本明細書に開示の方法を使用した平均密度がYAGの理論値の99.73%であった。さらなる試料を、この実施例に従って焼結し、空気中、1100℃で8時間焼鈍したところ、本明細書に開示の方法を使用した平均密度がYAGの理論値の99.75%であった。
比表面積が2~3m2/g、d10粒径が3~4μm、d50粒径が6.5~7.5μm、及びd90粒径が11.5~13μmのイットリアの粉末と、比表面積が5.75~6.75m2/g、d10粒径が0.10~0.2μm、d50粒径が2~3.5μm、及びd90粒径が15~30μmのアルミナの粉末を、焼結時に0.5体積%の過剰な酸化アルミニウムを含むイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成する粉末混合物を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.99%を超える)を粉末重量に対して50%の充填量で添加し、エタノールを添加して約40体積%のスラリーを形成した。水平軸周りの転がり動作を使用するボールミル粉砕を12時間実施し、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、850℃で6時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積は3.5~4.5m2/g、d10粒径は0.3~0.6μm、d50粒径は8~11μm、及びd90粒径は20~24μmであることが測定された。表11によれば、X線回折により、上記焼成粉末混合物中にはイットリア相及びアルミナ相のみが存在することが確認された。上記焼成粉末混合物のICPMSにより、約17ppmの不純物が測定された。上記粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物を、真空下、1600℃、15MPaの圧力で90分間焼結し、その後空気中、1400℃で8時間焼鈍して、多結晶焼結セラミック体中に残留程度の過剰なアルミナを含むYAGを含む、最大寸法572mmの多結晶焼結セラミック体を形成した。密度測定はASTM B962-17に準拠して実施し、5回の測定にわたり平均密度が4.378g/ccと測定され、これは、YAGの理論密度の96.088%及び密度測定値から算出した3.912%の体積多孔度に相当する。表3、10、11、13、及び14に、本明細書に開示の実施形態に係る焼結セラミック体及び焼成粉末の結果を要約する。
比表面積が2~3m2/g、d10粒径が3~4μm、d50粒径が6.5~7.5μm、及びd90粒径が11.5~13μmのイットリアの粉末と、比表面積が5.75~6.75m2/g、d10粒径が0.10~0.3μm、d50粒径が2.5~5μm、及びd90粒径が15~30μmのアルミナの粉末を、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.99%を超える)を粉末重量に対して50%の充填量で添加し、エタノールを添加して約40体積%のスラリーを形成した。水平軸周りの転がり作用を使用するボールミル粉砕を16時間の期間実施し、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、850℃で6時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積は4~5m2/g、d10粒径は0.15~0.25μm、d50粒径は5~7μm、及びd90粒径は18~24μmであることが測定された。表11によれば、X線回折により、上記焼成粉末混合物中にはイットリア相及びアルミナ相のみが存在することが確認された。上記粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物を、真空下、1600℃、20MPaの圧力で90分間焼結し、その後1400℃で8時間焼鈍して、最大寸法572mmの多結晶焼結セラミック体を形成した。密度測定はASTM B962-17に準拠して実施し、5回の測定にわたり平均密度が4.389g/ccと測定され、これはYAGの理論密度の96.334%及び密度測定値から算出した3.656%の体積多孔度に相当する。密度変動が最大寸法にわたって測定され、1.712%であることが分かった。表3、10、11、13、及び14に、本明細書に開示の実施形態に係る焼結セラミック体及び焼成粉末の結果を要約する。
比表面積が2~3m2/g、d10粒径が2.5~4.5μm、d50粒径が6~8μm、及びd90粒径が11~13μmのイットリアの粉末(平均純度99.9980%、平均不純物約21ppm)と、比表面積が6.5~8.5m2/g、d10粒径が0.75~1.5μm、d50粒径が2~5μm、及びd90粒径が18~24μmのアルミナ粉末(純度99.9994%、不純物約6ppm)を、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を含む焼結セラミック体を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.9%以上)を粉末重量に対して約60%の充填量で添加し、エタノールを、エタノールと粉末の合計重量に対して約35%の量で添加して、スラリーを形成した。当業者に公知のボールミル粉砕を約20時間の期間実施し、その後公知の方法に従って、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを、60~75℃の温度で約3時間抜き出した。空気中、1050℃で6時間焼成したところで、表10に掲載されるように、焼成粉末混合物の比表面積は3.5~5.5m2/g、d10粒径は1~3.5μm、d50粒径は5~8μm、及びd90粒径/凝集体径は130~160μmであることが測定された。特定の実施形態において、本明細書に開示の焼成条件により、上記粉末混合物が凝集する可能性があり、したがって、粒径分布がより大きく変動する可能性がある。したがって、実施形態において、本明細書で言及する粒径は単一の粒子を含んでいてもよく、他の実施形態において、本明細書で言及する粒径は複数の粒子を含む凝集体、または本明細書に開示されるレーザー粒径検出方法を使用して、単一の大きな粒子として測定される場合がある多数の粒子の凝集を含んでいてもよい。X線回折により、焼成粉末混合物に存在するイットリア、アルミナ、及びYAM相が確認された。上記焼成粉末混合物の純度は、本明細書に開示のICPMS法を使用して測定した出発粉末の純度とほぼ同一であり、したがって、高純度(99.999%以上)の焼結セラミック体を上記焼成粉末混合物から形成することができる。SiO2の形態のSiに関する、本明細書に開示のICPMS法を使用する場合の検出限界は約14ppmであり、したがって、イットリア及びアルミナの出発粉末、ならびに焼成粉末混合物は、約14ppmの検出レベルのシリカの形態のSiを含む可能性がある。但し、出発粉末及び焼成粉末混合物中に、ICPMSを使用してシリカは検出されなかった。表11に、焼成条件、焼成粉末の相、及び粉末の純度を掲載する。上記粉末、粉末混合物、及び/または焼成粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、転倒混合、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の焼結装置のツールセットによって画成された容積内に配置し、上記容積内に10-2~10-3トールの真空条件をつくり出した。上記容積内の焼成粉末混合物を5℃/分で800℃に加熱し、その温度で5MPaの圧力を印加し、次いで、約2~約3℃/分の加熱速度で熱を印加すると同時に、約0.2~約0.25MPa/分の速度で圧力を印加し、1650℃及び15MPaの焼結条件に到達させ、これを60分間維持して、最大寸法622mmの円盤形状の多結晶YAG焼結セラミック体を形成した。粉砕プロセス中に高純度のアルミナ媒体を使用することにより、焼結セラミック体に残留する程度までの、約0.1体積%以下の量の過剰なアルミナが温存在する場合がある。密度測定は、試料の半径を横切って切断した試料について、ASTM B962-17に準拠して実施し、密度の結果を図25のbに示す。半径に沿った6ヶ所でそれぞれ5回の測定を行い、平均密度が4.546g/ccと測定され、これはYAGの理論値の99.783%、且つ0.217%の体積多孔度に相当する。半径全体にわたる密度はYAGの理論値の99.7~99.9%であった。図25のb)に示す密度の変動は、半径に沿った最高密度の測定値と比較して測定し、密度の最大の変動は0.208%と測定された。上記焼成粉末混合物の焼結中に、圧力及び温度を半径方向に対称な構成で印加する。したがって、高密度(YAGの理論値の99%以上)及び最小の密度の変動(0.21%以下)などの特性は、上記焼結セラミック体の半径全体にわたって、且つそれに対応して、直径または最大寸法全体にわたっても維持される。したがって、本明細書では、焼結セラミック体であって、該焼結セラミック体の直径全体にわたって、平均密度が4.546g/cc、密度の範囲がYAGの理論密度の99.7~99.9%、平均体積多孔度が0.217%、最大の密度変動が0.208%以下である、上記焼結セラミック体が開示される。
比表面積が0.75~2m2/g、d10粒径が3.5~6.5μm、d50粒径が7.5~10.5μm、及びd90粒径が15~20μmのイットリアの粉末(100%純粋なイットリアに対して純度約99.9992%)と、比表面積が5~7m2/g、d10粒径が1~3μm、d50粒径が3.5~6.5μm、及びd90粒径が50~70μmのアルミナの粉末(100%純粋なアルミナに対して純度約99.9998%)を、焼結時に立方晶系イットリウムアルミニウムガーネット(YAG)を含むセラミック焼結体を形成する粉末混合物を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMS法で測定して99.9%以上)を粉末重量に対して約100%の充填量で添加し、エタノールを、エタノールと粉末の合計重量に対して約40%の量で添加してスラリーを形成した。1リットルの容器中で、水平軸周りの150rpmでの軸転がり作用を使用するボールミル粉砕を20時間の期間実施し、その後、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、1050℃で6時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積は2~3m2/g、d10粒径は1~4μm、d50粒径は3.5~6.5μm、及びd90粒径は75~95μmであることが測定された。上記粉末、粉末混合物、及び/または焼成粉末混合物を、当業者に公知の方法に従って種々のプロセスステップで、45~400umの開口径を使用したふるい分け、焼成、配合、及び/または粉砕を行ってもよい。本明細書に開示のICPMS法を使用して純度を測定し、すべての構成成分から計算した酸化物の総質量を基準として、上記焼成粉末混合物の総不純物含有量が約5ppmと測定され、これは99.9995%の純度に相当した。本明細書に開示のイットリア及びアルミナの出発粉末、ならびに焼成粉末混合物の純度限界及び不純物含有量はSiを含んでいない。本明細書に開示の、Siに関する純度を測定するためのICPMS法を使用する検出限界は約14ppmであり、したがって、イットリア及びアルミナの出発粉末ならびに焼成粉末混合物は、約14ppmの検出レベルでシリカの形態のSiを含む可能性がある。上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の焼結装置のツールセットによって画成された容積内に配置し、上記容積内に10-2~10-3トールの真空条件をつくり出した。5MPaの圧力を印加し、上記容積内の焼成粉末混合物を周囲温度から800℃まで10℃/分で加熱し、その後約0.4~約0.6MPa/分の速度で圧力を上昇させ、温度の上昇は先程開示したものを継続し、1500℃及び20MPaの焼結条件に到達させ、これを30分間維持して、最大寸法150mmの円盤形状の多結晶YAG焼結セラミック体を形成した。試料512-1は同一の条件に従って焼結し、その後炉内で、空気中、1400℃で8時間焼鈍した。密度測定は、焼結したままの試料及び焼鈍した試料に対して、ASTM B962-17に準拠して実施した。焼結したままの試料(512)及び焼鈍した試料(512-1)のそれぞれについて、5回の測定にわたって平均化を行い、4.547g/cc及び4.542g/ccの密度が得られた。これは、本明細書に開示の密度測定値から算出して、YAGの理論密度のそれぞれ99.81%及び99.70%に相当し、それぞれ0.19%及び0.30%の体積多孔度に相当する。表1、8、9、及び11に、本明細書に開示の実施形態に係る、焼結セラミック体及び焼成粉末の結果を要約する。試料512の結晶相純度の測定は、本明細書に開示のXRD、SEM画像化、及び画像処理ソフトウェアの使用の組み合わせを使用して実施した。XRDは、約±5%の範囲の結晶相の同定が可能なPANanlytical Aeris型XRDを使用して実施し、したがって試料512は、XRDを使用して約95体積%の上限までYAGを含むと測定された。より高い精度、例えば、最大で約99.8体積%の相純度を測定するために、SEM画像を、当業者に公知の後方散乱検出(BSD)法を使用して撮影した。BSDを使用すると、YAG相は灰色に見え、結晶粒の配向に応じて多少変化し、酸化アルミニウム相は黒色に見え、酸化イットリウム相は白色に見え、多孔性(存在する場合)も黒色に見える。試料512について、当業者に公知のBSD法を使用して5000倍で画像を撮影し、図20のa)に示す、YAG相、アルミナ相、及びイットリア相、ならびに存在する任意の多孔性を同定した。アルミナを含む黒色領域と多孔性を含む黒色領域とを区別するために、ImageJ処理ソフトウェアを使用して上記BSD画像を白黒閾値処理し、図20のb)に同一の領域として示されている、多孔性またはアルミナのいずれかを含む可能性のある領域を強調した。ImageJは、米国国立衛生研究所(NIH)において開発され、科学的な多次元画像の画像処理のためのJavaベースのパブリックドメイン画像処理及び画像解析プログラムである。本明細書に開示の測定に使用されるBSD検出器は、トポグラフィーの形体を測定するさらなる能力を有し、それにより、多孔性などの表面トポグラフィーにおける任意の偏差を強調する。BSD検出器のトポグラフィーモードを使用して、画像を、図20のa)の試料512のセラミック焼結体の同一の領域の表面全体にわたって5000倍で撮影し、そのトポグラフィー画像を図21のa)に示す。ImageJで閾値処理した後には、多孔性を含む領域が図21のb)に示すように強調された。その後、図21のb)のトポグラフィー画像内の多孔性を含む領域を、図20のb)のBSD画像におけるアルミナ及び/または多孔性を含む領域から差し引いて、試料512に対応する焼結セラミック体中のアルミナ相を含む面積の割合、延いては体積の割合を得た。これらの解析ツールと方法の併用により、約±0.1体積%の範囲で相純度の測定を行うことができる。開示されるアルキメデス密度測定方法、XRD、SEM画像化、及び画像解析ソフトウェアを使用して、試料512が、約0.2体積%のアルミナ相、約0.19%の体積多孔度、及び約99.6体積%のYAG相を含む可能性がある。表1に、本明細書に開示の焼結セラミック体の結晶相純度及び体積多孔度を掲載する。試料512に係る焼結セラミック体は、本明細書に開示のプロセスに従って製造された一体型焼結セラミック体を含んでいてもよく、したがって、上記焼結セラミック体の表面上及び焼結セラミック体全体にわたって分布した、YAG相、酸化アルミニウム相、及び体積多孔度を含んでいてもよい。換言すると、表面上で測定される構造は、バルクの焼結セラミック体の塊内の構造を代表している。したがって、それぞれ体積で表して、90~99.8%、好ましくは90~99.6%、好ましくは90~99.4%、好ましくは95~99.8体積%、好ましくは95~99.6%、好ましくは95~99.4%の量のYAG相を含む焼結セラミック体は、本明細書に開示の材料及び方法を使用して形成することができる。測定の変動を考慮すると、本明細書で指定される量のYAG相を含む焼結セラミック体は、0.1~0.3体積%の量の多孔度、及び0.1~0.3体積%の量の酸化アルミニウムをさらに含んでいてもよい。図26、27、ならびに表3、10、11、及び13は、上記焼成粉末混合物及び焼結セラミック体の特性を開示する。
比表面積が4.5~6m2/g、d10粒径が2.0~3.5μm、d50粒径が4.0~6.5μm、及びd90粒径が6.5~10μmのイットリアの粉末(全酸化物を基準として、純度約99.9984%、不純物約16ppm)と、比表面積が6~8m2/g、d10粒径が0.075~0.2μm、d50粒径が2.5~5.5μm、及びd90粒径15~22μmのアルミナの粉末(全酸化物を基準として、純度約99.9995%、不純物約5ppm)を、焼結時に立方晶系イットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を含むセラミック焼結体を形成する粉末混合物を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.9%以上)を、粉末重量に対して約60%の充填量で添加し、エタノールを、エタノールと粉末の合計重量に対して約35%の量で添加してスラリーを形成した。ポリビニルピロリドン(PVP)の分散剤を、スラリーの総重量を基準として約0.07重量%で添加した。当業者に公知の転倒(tunble)または転倒(end-over-end)混合を12時間の期間実施し、その後回転蒸発器を使用し、公知方法に従って粉末混合物からエタノールを抜き出した。空気中、1000℃で10時間焼成したところで、焼成粉末混合物の比表面積を測定し、4~5m2/gとなった。上記粉末、粉末混合物、及び/または焼成粉末混合物を、当業者に公知の方法に従って種々のプロセスステップで、45~400umの開口径を使用したふるい分け、焼成、配合、及び/または粉砕を行ってもよい。本明細書に開示のICPMS法を使用して純度を測定し、すべての構成成分から計算した酸化物の総質量を基準として、上記焼成粉末混合物の総不純物含有量が約5ppmと測定され、これは約99.9995%の純度に相当した。本明細書に開示のイットリア及びアルミナの出発粉末、ならびに焼成粉末混合物の純度限界及び不純物含有量はSiを含んでいない。本明細書に開示の、Siに関する純度を測定するためのICPMS法を使用する検出限界は約14ppmであり、したがって、イットリア及びアルミナの出発粉末ならびに焼成粉末混合物は、約14ppmの検出レベルでシリカの形態のSiを含む可能性がある。上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の焼結装置のツールセットによって画成された容積内に配置し、上記容積内に10-2~10-3トールの真空条件をつくり出した。5MPaの圧力を印加し、上記容積内の焼成粉末混合物を周囲温度から800℃まで10℃/分で加熱し、その後約0.4~約0.6MPa/分の速度で圧力を上昇させ、温度の上昇は上記のものを継続し、1450℃及び20MPaの焼結条件に到達させ、これを45分間維持して、最大寸法150mmの円盤形状の多結晶YAG焼結セラミック体を形成した。試料272-5は同一の条件下で焼結し、その後炉内で、空気中、1550℃で8時間焼鈍した。密度測定は、焼結したままの試料及び焼鈍した試料に対して、ASTM B962-17に準拠して実施した。焼結したままの試料(272)及び焼鈍した試料(272-5)のそれぞれについて、5回の測定にわたって平均化を行い、4.549g/cc及び4.433g/ccの密度が得られた。これらは、YAGの理論密度(本明細書で4.556g/ccと報告)のそれぞれ99.854%及び97.300%に相当し、それぞれ0.146%及び2.70%の体積多孔度に相当する。この実施例に係る焼結セラミック体の目視による見掛けの色は、焼鈍の違いに起因する可能性のある体積多孔度及び細孔径分布によって影響を受けている可能性がある。多孔性が存在することは、当業者に公知のミー散乱理論に従って光散乱の一因となる。高密度、未焼鈍の試料272は、体積多孔度レベルがより低く、それによって光の散乱がより小さいことに起因する可能性がある灰色に見える。これと比較して、体積多孔度レベルがより高い焼鈍した試料272-5の入射光の散乱はより大きく、目視での検査時に白色に見える。
比表面積が2~3m2/g、d10粒径が2.5~4.5μm、d50粒径が6~8μm、及びd90粒径が11~13μmのイットリアの粉末(平均純度99.9880%、平均不純物約21ppm)と、比表面積が6.5~8.5m2/g、d10粒径が0.1~0.2μm、d50粒径が1~3μm、及びd90粒径が13~20μmのアルミナ粉末(純度99.9994%、不純物約6ppm)を、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を含む焼結セラミック体を形成するモル比で配合した。高純度アルミナ媒体(ICPMSによって測定して99.9%以上)を、粉末重量に対して約60%の充填量で添加し、エタノールを、エタノールと粉末の合計重量に対して約35%の量で添加してスラリーを形成した。当業者に公知の軸方向に回転するボールミル粉砕を約20時間の期間実施し、その後公知の方法に従って、回転蒸発器を使用して粉末混合物からエタノールを、60~75℃の温度で約3時間抜き出した。空気中、950℃で4時間焼成したところで、焼成粉末混合物をふるい分けし、比表面積が5~7m2/gであることが測定された。X線回折により、焼成粉末混合物中にイットリア相及びアルミナ相が存在することが確認された。上記粉末、粉末混合物、及び/または焼成粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、焼成、転倒混合、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の焼結装置のツールセットによって画成された容積内に配置し、上記容積内に10-2~10-3トールの真空条件をつくり出した。上記容積内の焼成粉末混合物を3℃/分で800℃に加熱し、その温度で5MPaの圧力を印加し、次いで、約1~約3℃/分の加熱速度で熱を印加すると同時に、約0.2~約0.3MPa/分の速度で圧力を印加し、1500℃及び20MPaの焼結条件に到達させ、これを30分間維持して、最大寸法150mmの円盤形状の多結晶YAG焼結セラミック体を形成した。
実施形態において、本焼結セラミック体が約20~100ppmの量のジルコニアを含むことが好ましい場合がある。ジルコニアが存在することによって、そこから形成される焼結セラミック体において、結晶粒径が小さくなり、且つ微細構造が均一になる能性がある。ジルコニアは、粉末バッチング中に意図的に添加してもよく、または粉末の混合中にジルコニア媒体を使用することに由来してもよい。
比表面積が4~6m2/g、d10粒径が1.5~3.5μm、d50粒径が3.5~5.5μm、及びd90粒径が6.5~8.5μmのイットリウムの粉末(平均純度99.9985%、平均不純物約15ppm)と、比表面積6.5~8.5m2/g、d10粒径が0.05~0.15μm、d50粒径が0.15~0.35μm、及びd90粒径が0.35~1μmのアルミナ粉末(平均純度99.9989%、平均不純物約12ppm)を、焼結時にイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を含む焼結セラミック体を形成する粉末混合物を形成するモル比で配合した。上記アルミナ粉末のd10粒径とd90粒径の差は約0.2um以上且つ約0.95um以下であることが測定された。上記粉末混合物を、媒体を使用せずにローラー混合により約8時間乾式混合した。その後、焼成を空気中、800℃で4時間実施し、当業者に公知のジェットミリングを100psiの圧力で実施した。焼成し且つ粉砕した粉末混合物の比表面積は6.2~8.2m2/g、d10粒径は0.07~0.3μm、d50粒径は0.7~1.5μm、及びd90粒径は18~32μmであることが測定された。上記焼成粉末混合物のd10粒径とd90粒径の差は約1um以上且つ約35um以下であることが測定された。上記焼成粉末混合物の純度を、本明細書に開示のICPMS法を使用して分析し、該純度は、出発粉末について開示した純度と略同一であることが測定された。SiO2の形態のSiに関する、本明細書に開示のICPMS法を使用する場合の検出限界は約14ppmであり、したがって、イットリア及びアルミナの出発粉末、ならびに焼成粉末混合物は、約14ppmの検出レベルのシリカの形態のSiを含む可能性がある。但し、出発粉末及び焼成粉末混合物中に、ICPMSを使用してシリカは検出されなかった。表11に、焼成条件、焼成粉末の相、及び粉末の純度を掲載する。上記粉末、粉末混合物、及び/または焼成粉末混合物を、公知の方法に従い、種々のプロセスステップでふるい分け、転倒混合、配合、及び/または粉砕してもよい。上記焼成粉末混合物を、本明細書に開示の焼結装置のツールセットによって画成された容積内に配置し、上記容積内に10-2~10-3トールの真空条件をつくり出した。5MPaの圧力を印加し、上記容積内の焼成粉末混合物を周囲温度から800℃まで10℃/分で加熱し、その後0.5MPa/分の速度で圧力を上昇させて、1550℃及び20MPaの焼結条件に到達させ、これを30分間維持して、最大寸法150mmの円盤形状の多結晶YAG焼結セラミック体を形成した。試料151-1を同一の条件で焼結し、その後空気中、1400℃で8時間焼鈍した。SEMを使用した微細構造の観測により、約5体積%と見積もられる量の、イットリアに富む、より高密度のYAPの相が存在し、したがって全体的な密度の結果が増加したことが明らかになった。アルキメデス密度測定を、ASTM B962-17に準拠し、当業者に公知のとおりに5回の繰り返しにわたって実施した。試料151及び151-1の密度は4.579g/cc及び4.565g/ccであり、理論値の約99.64%及び99.33%に相当し、これらのことは、約5体積%の高密度YAP相が存在することの説明になる。体積多孔度は、当業者に公知の方法に従ってアルキメデス密度測定値から計算することができ、試料151及び151-1の体積多孔度は、それぞれ約0.36%及び約0.67%と算出された。したがって、本明細書では、YAGを基準とする理論密度及び5体積%の約99.3~99.6%のYAPを有する焼結セラミック体が開示される。表3、10、11、及び13に、上記焼結セラミック体及び焼成粉末の結果をまとめる。
図13は、出発イットリア/アルミナ粉末混合物及び無加圧焼結法を使用して形成したセラミック焼結体のX線回折結果を示し、本明細書に開示の無加圧焼結法と加圧及び通電支援SPS焼結法との違いを比較して示す。「粉砕したままの」X線回折パターンは、イットリア及びアルミナを含む出発粉末混合物に対応する。図に示すように、YAP及びYAGを含む混合相焼結体は、1400℃で8時間の無加圧焼結から生じる。相純度の高いイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相を得るためには、1600℃以上の無加圧焼結温度と8時間以上の焼結時間との組み合わせが必要である。この試料の幾何学的密度を測定し、本明細書に開示のYAGの理論密度の約55%であることが明らかになった。当技術分野で公知の、高温で長時間(8時間以上)の無加圧焼結法を使用すると、当該焼結体の強度や硬度などの機械的特性が、該焼結体が半導体のエッチングチャンバー及び蒸着チャンバー中の部品として有用であることが可能になるのに十分とはならない可能性のある密度が生じる。したがって、YAGを含む、相純度が高く、密度が高い(97%を超える)/体積多孔度が低い(3%未満)セラミック焼結体を形成するためには、図14に示す及び本明細書に開示する方法などの加圧及び通電支援焼結法が必要となる。
Claims (76)
- XRD及び画像処理法を使用して測定して90~99.9体積%の多結晶イットリウムアルミニウムガーネット(YAG)と、
ASTM B962-17に準拠して実施した密度測定から算出して0.1~4%の体積多孔度と
を含む焼結セラミック体。 - 前記体積多孔度が0.1~3%である、請求項1に記載の焼結セラミック体。
- 前記体積多孔度が0.1~2%である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記体積多孔度が0.1~1%である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記体積多孔度が0.1~0.75%である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記体積多孔度が0.1~0.5%である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- SEM及び画像処理法を使用して測定したサイズが0.1~5umである細孔を含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- SEM及び画像処理法を使用して測定したサイズが0.1~4umである細孔を含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- SEM及び画像処理法を使用して測定したサイズが0.1~3umである細孔を含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- SEM及び画像処理法を使用して測定したサイズが0.1~2umである細孔を含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- SEM及び画像処理法を使用して測定したサイズが0.1~1umである細孔を含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- SEM及び画像処理法を使用して測定したサイズが0.1~0.7umである細孔を含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが90~99.8体積%の量で存在する、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが90~99.6体積%の量で存在する、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが90~99.4体積%の量で存在する、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが93~99.9体積%の量で存在する、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが93~99.8体積%の量で存在する、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが93~99.6体積%の量で存在する、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記多結晶イットリウムアルミニウムガーネットが93~99.4体積%の量で存在する、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ICPMS法を使用して測定した純度が99.995%以上である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 前記純度が99.999%以上である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ICPMS法を使用して測定した不純物含有量が、全焼結体の質量に対して50ppm以下である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ICPMS法を使用して測定した総不純物含有量が、全焼結体の質量に対して25ppm以下である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ICPMS法を使用して測定した総不純物含有量が、全焼結体の質量に対して10ppm以下である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ICPMS法を使用して測定した総不純物含有量が、全焼結体の質量に対して5ppm以下である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 焼結助剤を含まない、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ドーパントを含まない、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 本明細書に開示のICPMS法を使用して測定して、前記焼結セラミック体の総質量に対して約14ppmの量のシリカを含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 0.1~2体積%の量で存在する、酸化イットリウム及び酸化アルミニウム、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも1種の酸化物をさらに含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 0.1~1体積%の量で存在する、酸化イットリウム及び酸化アルミニウム、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも1種の酸化物を含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 0.1~2体積%の量で存在する、YAP及びYAM、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも1種の結晶相をさらに含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 0.1~1体積%の量で存在する、YAP及びYAM、ならびにそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも1種の結晶相をさらに含む、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM規格C1327に準拠し、0.2kgfの印加荷重を使用して測定し、8点の測定値から算出される平均硬度が13.0~15.0GPaである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM規格C1327に準拠し、0.2kgfの印加荷重を使用して測定し、8点の測定値から算出される平均硬度が13.5~14.5GPaである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM El12-2010に準拠して測定した結晶粒径が0.4~8μmである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM El12-2010に準拠して測定したd90結晶粒径が1.5~3.5μmである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM El12-2010に準拠して測定した平均結晶粒径が1~3μmである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM El12-2010に準拠して測定した平均結晶粒径が1~2.5μmである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM C1161-13に準拠して測定した4点曲げ強さが335~440MPaである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM Cl161-13に準拠して測定し、20点の測定値から算出される平均4点曲げ強さが387MPaである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM D150に準拠して測定した、1MHzの周波数、周囲温度における誘電損失が1×10-4未満である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM D150に準拠して測定した、1GHzの周波数、周囲温度における誘電損失が1×10-4未満である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM D257に準拠して測定した、周囲温度における体積抵抗率が4E+12~10E+13オーム・cmである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM D257に準拠して測定した、300℃における体積抵抗率が6E+11~10E+12オーム・cmである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM D257に準拠して測定した、500℃における体積抵抗率が約8E+09オーム・cmである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM D149-09に準拠して測定した、周囲温度における絶縁耐力が11~14.5MV/mである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ASTM D149-09に準拠して測定した、周囲温度における絶縁耐力が11.5~14.2MV/mである、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- ISO規格25178-2-2012、4.3.2節に準拠して測定した表面の算術平均高さ(Sa)が約12nm以下である、先行請求項のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 10ミリトールの圧力、600ボルトのバイアス、2000ワットのICP電力を有するエッチング方法であって、90標準立方センチメートル/分(sccm)のCF4流速、30標準立方センチメートル/分(sccm)の酸素流速、20標準立方センチメートル/分(sccm)のアルゴン流速を有する第1のエッチングステップ、ならびに100標準立方センチメートル/分(sccm)の酸素流速及び20標準立方センチメートル/分(sccm)のアルゴン流速を有する第2のエッチングステップをさらに含み、ステップ1及び2がそれぞれ300秒間実施され、且つステップ1及び2が6時間の通算の期間繰り返される前記エッチング方法に曝露された場合に、表面の算術平均高さ(Sa)が約20nm以下である、請求項48に記載の焼結セラミック体。
- 焼結セラミック体の製造方法であって、
a.酸化イットリウム及び酸化アルミニウムを含む粉末を混合して粉末混合物を作製するステップと、
b.焼成温度に到達するように熱を印加し、且つ前記焼成温度を維持することによって前記粉末混合物を焼成して焼成を行い、焼成粉末混合物を形成するステップと、
c.前記焼成粉末混合物を、焼結装置のツールセットによって画成される容積内に配置し、且つ前記容積内に真空条件をつくり出すステップと、
d.焼結温度に加熱しながら、前記焼成粉末混合物に圧力を印加し、且つ焼結を行って前記焼結セラミック体を形成するステップと、
e.前記焼結セラミック体の温度を下げるステップと
を含む、前記方法。 - f.任意選択で、前記焼結セラミック体の温度を上昇させて焼鈍温度に到達するように熱を印加することによって前記焼結セラミック体を焼鈍して、焼鈍焼結セラミック体を形成するステップと、
g.前記焼鈍焼結セラミック体の温度を下げるステップと
をさらに含む、請求項50に記載の方法。 - h.前記焼結セラミック体を機械加工して、エッチングチャンバー内の、誘電体窓またはRFウィンドウ、フォーカスリング、ノズルまたはガスインジェクター、シャワーヘッド、ガス分配プレート、エッチングチャンバーライナー、プラズマ源アダプター、ガスインレットアダプター、ディフューザー、静電ウェハチャック、チャック、パック、ミキシングマニフォールド、イオンサプレッサーエレメント、フェイスプレート、アイソレーター、スペーサー、保護リング、及びデポジションリングなどの焼結セラミック部品を作製するステップをさらに含む、請求項50または51に記載の方法。
- 前記圧力が10~60MPaである、請求項50~52のいずれか1項に記載の方法。
- 前記圧力が10~40MPaである、請求項50~53のいずれか1項に記載の方法。
- 前記圧力が10~20MPaである、請求項50~54のいずれか1項に記載の方法。
- 前記圧力が15~20MPaである、請求項50~55のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼結温度が1400~1650℃である、請求項50~56のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物が、X線回折を使用して測定して、酸化イットリウム及び酸化アルミニウムを含む、請求項50~57のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物が、X線回折を使用して測定して、酸化イットリウム、酸化アルミニウム、イットリウムアルミニウムペロブスカイト(YAP)、単斜晶系イットリウムアルミニウム(YAM)、及びそれらの組み合わせからなる群より選択される少なくとも1種の結晶相を含む、請求項50~58のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物のイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)相の含有量が、X線回折を使用して測定して、約10%以下である、請求項50~59のいずれか1項に記載の方法。
- 前記粉末混合物が結晶性である、請求項50~60のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物のICPMS法を使用して測定した純度が99.995~99.9999%である、請求項50~61のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物のICPMS法を使用して測定した純度が99.999~99.9999%である、請求項50~62のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物の不純物含有量が、ICPMS法を使用して測定したすべての構成成分の含有量から算出した酸化物の総質量に対して2~100ppmである、請求項50~63のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物の不純物含有量が、ICPMS法を使用して測定したすべての構成成分の含有量から算出した酸化物の総質量に対して2~75ppmである、請求項50~64のいずれか1項に記載の方法。
- 前記焼成粉末混合物の不純物含有量が、ICPMS法を使用して測定したすべての構成成分の含有量から算出した酸化物の総質量に対して2~50ppmである、請求項50~65のいずれか1項に記載の方法。
- BET表面積分析法を使用して測定した前記焼成粉末混合物の比表面積が2~12m2/gである、請求項50~66のいずれか1項に記載の方法。
- BET表面積分析法を使用して測定した前記焼成粉末混合物の比表面積が2~10m2/gである、請求項50~67のいずれか1項に記載の方法。
- 請求項50~68のいずれか1項に記載の方法によって製造された焼結セラミック体。
- 最大寸法が100mm~622mmである、請求項69に記載の焼結セラミック体。
- 最大寸法が200~622mmである、請求項70に記載の焼結セラミック体。
- 最大寸法が400~622mmである、請求項71に記載の焼結セラミック体。
- 最大寸法が100~575mmである、請求項72に記載の焼結セラミック体。
- 最大寸法が200~575mmである、請求項73に記載の焼結セラミック体。
- 最大寸法にわたって測定した密度の変動が0.2%~5%未満である、請求項69~74のいずれか1項に記載の焼結セラミック体。
- 最大寸法にわたって測定した密度の変動が0.2~3%である、請求項75に記載の焼結セラミック体。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962936821P | 2019-11-18 | 2019-11-18 | |
US62/936,821 | 2019-11-18 | ||
US202063074771P | 2020-09-04 | 2020-09-04 | |
US63/074,771 | 2020-09-04 | ||
PCT/US2020/060918 WO2021141676A2 (en) | 2019-11-18 | 2020-11-17 | Plasma resistant yttrium aluminum oxide body |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023502597A true JP2023502597A (ja) | 2023-01-25 |
JPWO2021141676A5 JPWO2021141676A5 (ja) | 2023-02-28 |
Family
ID=75728882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022527659A Pending JP2023502597A (ja) | 2019-11-18 | 2020-11-17 | プラズマ耐性酸化イットリウムアルミニウム体 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220388909A1 (ja) |
EP (1) | EP4061786A2 (ja) |
JP (1) | JP2023502597A (ja) |
KR (1) | KR20220100892A (ja) |
CN (1) | CN114746377A (ja) |
WO (1) | WO2021141676A2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023122597A1 (en) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | Heraeus Conamic North America Llc | Multilayer sintered ceramic body and method of making |
TW202340123A (zh) | 2022-03-31 | 2023-10-16 | 美商賀利氏科納米北美有限責任公司 | 陶瓷之高頻率拋光 |
EP4269024A1 (en) | 2022-04-29 | 2023-11-01 | Heraeus Conamic North America LLC | High frequency polishing of ceramics |
WO2024019940A2 (en) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | Heraeus Conamic North America Llc | Process for sintering large diameter yag layers substantially free of unreacted yttrium oxide and yttrium rich phases |
KR102659099B1 (ko) * | 2022-09-06 | 2024-04-18 | 한국재료연구원 | 이트륨계 복합 소결체를 포함하는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5798016A (en) | 1994-03-08 | 1998-08-25 | International Business Machines Corporation | Apparatus for hot wall reactive ion etching using a dielectric or metallic liner with temperature control to achieve process stability |
JP3164200B2 (ja) | 1995-06-15 | 2001-05-08 | 住友金属工業株式会社 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
US6447937B1 (en) * | 1997-02-26 | 2002-09-10 | Kyocera Corporation | Ceramic materials resistant to halogen plasma and components using the same |
US6123791A (en) | 1998-07-29 | 2000-09-26 | Applied Materials, Inc. | Ceramic composition for an apparatus and method for processing a substrate |
JP2001097768A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-10 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | Yag系セラミックス原料及びその製造方法 |
US6410471B2 (en) * | 2000-03-07 | 2002-06-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for preparation of sintered body of rare earth oxide |
US20100156008A1 (en) | 2008-12-23 | 2010-06-24 | Thermal Technology Llc | Programmable System and Method of Spark Plasma Sintering |
CN101985397B (zh) * | 2009-07-29 | 2014-05-14 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种稀土掺杂钇铝石榴石透明陶瓷的制备方法 |
RU2685305C1 (ru) * | 2018-05-28 | 2019-04-17 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Дальневосточный федеральный университет" (ДВФУ) | Способ получения прозрачной керамики иттрий-алюминиевого граната |
RU2705848C1 (ru) * | 2018-08-07 | 2019-11-12 | Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ | Однофазный поликристаллический иттрий-алюминиевый гранат, активированный эрбием, иттербием, и способ его получения |
-
2020
- 2020-11-17 KR KR1020227017697A patent/KR20220100892A/ko unknown
- 2020-11-17 JP JP2022527659A patent/JP2023502597A/ja active Pending
- 2020-11-17 CN CN202080078965.6A patent/CN114746377A/zh active Pending
- 2020-11-17 US US17/776,043 patent/US20220388909A1/en active Pending
- 2020-11-17 WO PCT/US2020/060918 patent/WO2021141676A2/en unknown
- 2020-11-17 EP EP20880386.6A patent/EP4061786A2/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021141676A3 (en) | 2021-10-07 |
EP4061786A2 (en) | 2022-09-28 |
CN114746377A (zh) | 2022-07-12 |
KR20220100892A (ko) | 2022-07-18 |
US20220388909A1 (en) | 2022-12-08 |
WO2021141676A8 (en) | 2021-08-19 |
WO2021141676A2 (en) | 2021-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2023502597A (ja) | プラズマ耐性酸化イットリウムアルミニウム体 | |
TWI807438B (zh) | 大尺寸的燒結陶瓷體及製造方法 | |
TWI769013B (zh) | 包含鋁酸鎂尖晶石之陶瓷燒結體 | |
US20240059616A1 (en) | Plasma resistant yttrium aluminum oxide chamber components | |
US20240101486A1 (en) | Multilayer sintered ceramic body | |
EP4228894A1 (en) | Multilayer sintered ceramic body and method of making | |
TWI820786B (zh) | 用於耐電漿材料之氧化釔-氧化鋯燒結陶瓷及其製造方法 | |
EP4032701A1 (en) | Multilayer sintered ceramic body | |
EP4215360A1 (en) | Multilayer sintered ceramic body and method of making | |
US20240158301A1 (en) | Multilayer sintered ceramic body and method of making | |
WO2023122597A1 (en) | Multilayer sintered ceramic body and method of making | |
US20230373862A1 (en) | Zirconia toughened alumina ceramic sintered bodies | |
TW202412168A (zh) | 多層燒結陶瓷體及製造方法 | |
KR20240036629A (ko) | 반도체 가공 챔버에 사용하기 위한 yag를 포함하는 uv-활성화 적색 세라믹체 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230217 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231205 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240419 |