JPWO2020213055A1 - 振動センサ及び振動検知装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態1に係る振動センサを含む振動検知装置の要部を示す説明図である。図1を参照して、実施の形態1に係る振動センサを含む振動検知装置について説明する。
図4は、実施の形態2に係る振動センサを含む振動検知装置の要部を示す説明図である。図4を参照して、実施の形態2に係る振動センサを含む振動検知装置について説明する。なお、図4において、図1に示す構成部材等と同様の構成部材等には同一符号を付して説明を省略する。
図7は、実施の形態3に係る振動センサを含む振動検知装置の要部を示す説明図である。図7を参照して、実施の形態3に係る振動センサを含む振動検知装置について説明する。なお、図7において、図4に示す構成部材等と同様の構成部材等には同一符号を付して説明を省略する。
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板に設けられた第1電極及び第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極間に電気的に接続された増幅器と、
前記圧電基板に接触している第1面部と、前記第1面部と対向配置されており、かつ、対象物質に対する接触用の第2面部と、を有し、かつ、前記圧電基板における板波の位相速度よりも低い音速を有する固体媒質と、を備え、
前記圧電基板、前記第1電極、前記第2電極、前記増幅器及び前記固体媒質により発振ループが構成されており、
前記対象物質の振動に応じて前記発振ループのループ長が変動することにより、前記対象物質の振動が検知されるものである
ことを特徴とする振動センサ。 - 前記対象物質の縦方向振動に応じて前記固体媒質が変形することにより、前記ループ長が変動するものであることを特徴とする請求項1記載の振動センサ。
- 前記固体媒質は、前記第2面部が前記第1面部と非平行な形状を有し、
前記固体媒質を横方向にスライド自在に支持するスライド支持機構を備え、
前記対象物質の横方向振動に応じて前記固体媒質がスライド移動することにより、前記ループ長が変動するものである
ことを特徴とする請求項1記載の振動センサ。 - 前記固体媒質は、前記第2面部が前記第1面部と非平行な形状を有し、
前記固体媒質を横方向にスライド自在に支持するスライド支持機構を備え、
前記対象物質の縦方向振動に応じて前記固体媒質が変形することにより、前記ループ長が変動するものであり、かつ、前記対象物質の横方向振動に応じて前記固体媒質がスライド移動することにより、前記ループ長が変動するものである
ことを特徴とする請求項1記載の振動センサ。 - 前記固体媒質が平凸円筒形状を有し、
前記平凸円筒形状における平面部により前記第1面部が構成されており、かつ、前記平凸円筒形状における円筒面部により前記第2面部が構成されている
ことを特徴とする請求項3又は請求項4記載の振動センサ。 - 前記固体媒質が平凸球面形状を有し、
前記平凸球面形状における平面部により前記第1面部が構成されており、かつ、前記平凸球面形状における球面部により前記第2面部が構成されている
ことを特徴とする請求項3又は請求項4記載の振動センサ。 - 前記固体媒質は、ポリスルホンにより構成されていることを特徴とする請求項1記載の振動センサ。
- 前記対象物質は、メンテナンス作業の対象となる機器の一部であることを特徴とする請求項1記載の振動センサ。
- 請求項1記載の振動センサと、
前記ループ長に対応する周波数を電圧に変換する周波数電圧変換器と、
時間に対する前記電圧を示す波形を含む画面を表示するディスプレイと、
を備える振動検知装置。
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