JPWO2020196582A1 - チャックの防塵機構およびチャック - Google Patents

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Abstract

[解決手段]チャックの防塵機構は、流体供給源と、チャックの内部に設けられた内部空間と、チャックに設けられた吐出空間と、を備えている。内部空間に、流体供給源から供給流体が供給されて、加圧流体となって内部空間を通過する。吐出空間は、内部空間からチャックの外部に加圧流体を吐出する。

Description

本発明は、チャックの内部への異物の侵入を防止するためのチャックの防塵機構およびチャックに関する。
従来、チャックの内部には、チャックの爪を移動させるための動作機構が設けられている。チャックの内部に切粉や切削油等が侵入することで、このチャック動作に悪影響を与えないように防塵機構が知られている。
例えば、特許文献1のような防塵機構が知られている。ここでは、チャック本体の前面に蓋プレートと防塵プレートが取り付けられている。防塵プレートは、バネ部材によって半径方向外側に付勢されながら、マスタージョーに連結されるベースジョーと蓋プレートの切欠きとの隙間を塞いでいる。また、例えば、特許文献2のような防塵機構が知られている。ここでは、チャック本体の前面にセンターカバーが取り付けられ、工作機械から供給される高圧のクーラントを前記センターカバーの周縁部の裏側から半径方向外側に向かって噴出させている。このことにより、噴出したクーラントによって、ジョーの周囲に付着する切粉等の塵埃が吹き飛ばされるようになっている。
実開平04−136603号公報 国際公開2018/092879号公報
ところが、特許文献1ではバネ部材に不具合が生じた場合には、防塵プレートによってベースジョーと蓋プレートの切欠きとの隙間を塞ぐことが困難になる。この場合、隙間からチャック本体の内部に切粉や切削油等の異物が侵入するおそれがあった。また、特許文献2では高圧のクーラントによってチャック本体とジョーとの隙間に切粉等の塵埃を押し込んでしまうおそれがあった。
そこで本発明の課題は、上記問題点に鑑み、チャックの内部への異物の侵入を防止することができるチャックの防塵機構およびチャックを提供することを目的とする。
本発明は、
チャックの内部への異物の侵入を防止するためのチャックの防塵機構であって、
流体供給源と、
前記チャックの内部に設けられ、前記流体供給源から供給される供給流体が加圧流体となって通過する内部空間と、
前記チャックに設けられ、前記内部空間から前記チャックの外部に前記加圧流体を吐出する吐出隙間と、を備えた、チャックの防塵機構、
を提供する。
上述したチャックの防塵機構において、
前記流体供給源と前記内部空間とを連通し、前記チャックのマスタージョーを駆動する駆動部材を貫通する貫通流路を更に備えた、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記貫通流路は、前記チャックの中心軸線に沿って延びている、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記チャックの前記吐出隙間以外の隙間に設けられた第1シール部材を更に備えた、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記吐出隙間は、前記チャックのチャック本体に設けられた半径方向に延びるガイド溝と、前記ガイド溝に挿入されたマスタージョーとの間の隙間である、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記吐出隙間は、前記ガイド溝と前記マスタージョーとの間の隙間のうち前記チャックのうち爪が取り付けられる側の面に開口する隙間である、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記マスタージョーと前記ガイド溝との間の隙間を半径方向外側から覆う第2シール部材を更に備えた、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記供給流体の供給量を調整する供給量調整部を更に備えた、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記供給流体に潤滑剤を混入する混入部を更に備えた、
ようにしてもよい。
上述したチャックの防塵機構において、
前記混入部は、前記供給流体に混入される潤滑剤の混入量を調整する混入量調整部を有している、
ようにしてもよい。
また、本発明は、
上述したチャックの防塵機構を備えた、チャック、
を提供する。
本発明によれば、チャックの内部への異物の侵入を防止することができる。
本発明の実施の形態による防塵機構を備えたチャックを示す図である。 図1のチャックから爪を取り出した状態を示す図である。 図2のIII視図であって、駆動部材を前進させた状態におけるチャックの断面を示す図である。 図2のIV視の一部を拡大した図である。 マスタージョーおよび爪案内部材を省略した状態で、図3の第2シール部材を示す斜視図である。 図4のVI−VI線断面を示す図である。 駆動部材を後退させた状態を示す図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態では、チャックが、NC旋盤等の工作機械の主軸に固着されるチャックである例について説明する。
図1〜図3に示すように、チャック1は、NC旋盤等の工作機械の主軸50(図3)に固着されている。チャック1は、チャック本体2と、チャック本体2に設けられたマスタージョー7と、チャック本体2の内側に設けられた駆動部材8と、を備えている。
チャック本体2は、半径方向に延びる取付溝3を有しており、取付溝3に装着される爪4によってワークWをクランプするようになっている。ワークWは、搬送装置として例示するローダー51によってチャック1に搬送される。チャック1にクランプされたワークWは、複数の刃具を備えた刃物台(図示しない)の前後左右の移動によって加工される。爪4は、加工するワークWの径が変わる時や長期間の使用による摩耗が生じた時に、手動または爪自動交換装置(図示しない)によって交換される。
チャック本体2は、前ボディ5と、取付ボルト(図示しない)によって前ボディ5の後端面に設けられた後ボディ6と、を有している。前ボディ5の前面には取付溝3が複数(例えば、3個)設けられている。取付溝3は、円周方向に等間隔に配置されている。また、前ボディ5は、円筒状の第1内周面5aと、円筒状の第2内周面5bと、を含んでいる。第1内周面5aは、後側に設けられており、第2内周面5bは、前側に設けられている。第2内周面5bの直径は、第1内周面5aの直径よりも小さくなっている。なお、前側とは、爪4が取付ら得る側を意味し、後側とは、工作機械の主軸50の側を意味している。
マスタージョー7は、前ボディ5の各ガイド溝25内に配置されている。ガイド溝25は、上述した取付溝3に対応するように配置されており、半径方向に延びている。図3および図4に示すように、各ガイド溝25は、対応する取付溝3と連続した空間を形成している。マスタージョー7は、ガイド溝25内で、半径方向に移動可能になっている。
図3に示すように、マスタージョー7に、連結部材12が進退可能に設けられている。連結部材12は、爪4の連結面4a(後述)に連結可能なラック状の連結部12aを含んでいる。連結部材12は、爪4に連結する連結位置と、爪4から離れた解除位置との間で移動可能になっている。連結部材12が連結位置に位置づけられると、取付溝3に案内された爪4とマスタージョー7とが連結される。連結部12aが連結面4aに係合するようになっている。
爪4は、ベースジョー13と、ベースジョー13の前面に複数のボルト14で固定されるトップジョー15と、を含んでいる。ベースジョー13は、取付溝3内に挿入される。取付溝3は、ガイド溝25に挿入されたマスタージョー7の前方に形成されている。ベースジョー13の後面には、連結面4aが設けられている。
図1〜図4に示すように、チャック本体2の前ボディ5の外周面において、各取付溝3に対応する位置(取付溝3の外周側の位置)に、取付面11が形成されている。その取付面11は、図4および図5に示すように、取付溝3からガイド溝25にわたって平坦状に形成されている。取付面11には、図4に示すように、爪案内部材10がボルト26によって取り付けられている。爪案内部材10は、手動または爪自動交換装置(図示しない)によって交換する際に、新しく取り付けられる爪4をチャック本体2の取付溝3に案内するように構成されている。
図3に示すように、駆動部材8は、マスタージョー7を駆動する。駆動部材8は、ドロースクリュー27と、ウェッジプランジャ28と、リテーナ29と、を有している。ドロースクリュー27、ウェッジプランジャ28およびリテーナ29は、一体となって中心軸線CLに沿って移動可能になっている。
ドロースクリュー27は、チャック本体2の中心軸線CLを中心とするように配置されている。
ウェッジプランジャ28は、ドロースクリュー27の前面に取り付けられている。ウェッジプランジャ28は、ウェッジ係合溝28aを有しており、ウェッジ係合溝28aに、マスタージョー7のウェッジ部7aが係合している。このことにより、ドロースクリュー27は、ウェッジプランジャ28を介して、各マスタージョー7に噛み合っている。ウェッジ係合溝28aが、中心軸線CLに対して傾斜している。
リテーナ29は、ドロースクリュー27と前ボディ5との間に介在されている。リテーナ29は、前ボディ5の第1内周面5aと、ドロースクリュー27の外周面との間に配置されている。リテーナ29は、ドロースクリュー27に取り付けられており、前ボディ5の第1内周面5aに摺動可能になっている。ドロースクリュー27は、ウェッジプランジャ28によって後述する駆動案内部材9に保持されるとともに、リテーナ29によって前ボディ5に保持されている。
駆動部材8が、中心軸線CLに沿って前進(図3における右側に移動)または後退(図3における左側に移動、図7参照)することによって、各マスタージョー7がガイド溝25に沿って半径方向に移動するように構成されている。すなわち、図3に示すように、駆動部材8が前進すると、各マスタージョー7が半径方向外側に移動する。一方、図7に示すように、駆動部材8が後退すると、各マスタージョー7が半径方向内側に移動する。このことにより、マスタージョー7の連結部材12に爪4が連結されている場合には、駆動部材8の前進によって、爪4を半径方向外側に移動させることができ、駆動部材8の後退によって、爪4を半径方向内側に移動させることができる。
図3に示すように、前ボディ5の内側に、駆動案内部材9(パイロットブッシングとも称する)が設けられている。駆動案内部材9は、駆動部材8の移動を案内するように構成されている。より具体的には、駆動案内部材9は、円筒部9aと、円筒部9aの後端部に設けられた後端部9bと、を含んでいる。円筒部9aは、中心軸線CLに同芯状に形成されている。円筒部9aの前端部は、前ボディ5の第2内周面5bに取り付けられている。円筒部9aの外周面は、駆動部材8に取り付けられたウェッジプランジャ28の移動を案内する案内面となっている。後端部9bは、中心軸線CLに垂直に形成されており、駆動部材8の前面に対向している。円筒部9aの内側に、外部空間Bが形成されている。外部空間Bは、チャック本体2の前面で開口している。外部空間Bは、爪4がワークWをクランプした場合には、ワークWの一部が挿入可能になっている。
図1〜図3に示すように、各マスタージョー7の前面に、第1カバー部材30が取り付けられている。第1カバー部材30は、対応するマスタージョー7から駆動案内部材9の円筒部9aを越えて、半径方向内側に延びている。また、周方向において互いに隣り合う第1カバー部材30の間に、第2カバー部材31が取り付けられている。第1カバー部材30と第2カバー部材31とにより、マスタージョー7の半径方向内側の端部と前ボディ5との間の隙間、および前ボディ5と駆動案内部材9の円筒部9aとの間の隙間が、覆われている。このため、これらの隙間に、切粉や切削油等の異物が侵入することを防止している。第1カバー部材30および第2カバー部材31の半径方向内側で、上述した外部空間Bが開口している。
本実施の形態によるチャック1は、ワークWの加工時等に生じる切粉や切削油等の異物のチャック1の内部への侵入を防止するための防塵機構16を備えている。その防塵機構16は、チャック1を作動させる駆動部材8を介して、前ボディ5と駆動部材8等によって形成される内部空間Aに供給流体を供給して、内部空間Aで加圧するように構成されている。また、防塵機構16は、内部空間A内の加圧流体を、チャック本体2の後述する吐出隙間32に供給して、吐出隙間32からチャック本体2の外部に吐出させるように構成されている。
より具体的には、本実施の形態による防塵機構16は、流体供給源として例示されるエア供給源18と、チャック1の内部に設けられた内部空間Aと、チャック1に設けられた吐出隙間32と、を備えている。
エア供給源18は、供給流体の一例としての供給エアを吐出隙間32に供給する。エア供給源18は、エアを、供給エアとして内部空間Aに送り込むように構成されていてもよい。なお、供給流体は、エアに限られることはなく、エア以外の取扱性の良い気体であってもよく、液体であってもよい。
内部空間Aは、エア供給源18に接続されており、エア供給源18から供給される供給エアを加圧するようになっている。内部空間Aは、前ボディ5、マスタージョー7、駆動部材8および駆動案内部材9によって画定される空間を含んでいる。内部空間Aは、チャック1の内部において互いに隣り合う部品の間に形成される空間を意味する用語として用いている。本実施の形態では、内部空間Aは、微小な隙間を含む複数の空間が、エアが通過する流路をなすように連通した構成を有している。内部空間Aのうち、駆動部材8の前面と駆動案内部材9の後端部9bとの間に画定される空間の容積は、図7に示すように駆動部材8が後退した場合に、図3に示すように駆動部材8が前進した場合よりも大きくなっている。
エア供給源18と内部空間Aとは、貫通流路27aで連通している。貫通流路27aは、駆動部材8のドロースクリュー27を貫通している。貫通流路27aは、中心軸線CLに沿って延びていてもよい。貫通流路27aは、ドロースクリュー27の前面で開口し、内部空間Aに連通している。
貫通流路27aに、供給管17の一端が接続されている。供給管17の他端にはエア供給源18が接続されている。エア供給源18からの供給エアが、供給管17、貫通流路27aを介してチャック本体2の内部空間Aに供給されるようになっている。
吐出隙間32は、内部空間Aからチャック本体の外部に加圧エアを吐出する隙間になっている。吐出隙間32は、前ボディ5に設けられた半径方向に延びるガイド溝25と、ガイド溝25に挿入されたマスタージョー7との間の隙間になっていてもよい。より具体的には、吐出隙間32は、図2〜図4に示すように、ガイド溝25とマスタージョー7の側面7b(図4および図6参照)との間の隙間のうちチャック本体2の前面(爪4が取り付けられる側の面)に開口する隙間になっていてもよい。この吐出隙間32は、爪4が取り付けられる取付溝3に連通する。このため、爪4が取付溝3に取り付けられている場合には、吐出隙間32から、爪4と取付溝3との間の隙間を介して、加圧エアがチャック本体2の外部に吐出されるようになっている。
図3に示すように、吐出隙間32から外部に加圧エアを吐出させるために、防塵機構16は、チャック本体2に設けられた隙間のうち吐出隙間32以外の隙間に設けられた第1シール部材19a〜19dを備えていてもよい。第1シール部材19a〜19dは、チャック1の複数の隙間に設けられていてもよい。例えば、前ボディ5と第1カバー部材30との間の隙間に、第1シール部材19aが設けられていてもよい。前ボディ5と駆動案内部材9の円筒部9aとの間の隙間に、第1シール部材19bが設けられていてもよい。ドロースクリュー27とリテーナ29との間の隙間に、第1シール部材19cが設けられていてもよく、リテーナ29と前ボディ5との間の隙間に、第1シール部材19dが設けられていてもよい。各第1シール部材19a〜19dは、例えば、ゴム等の弾性材料で形成されたOリングであってもよい。
また、吐出隙間32から外部に加圧エアを吐出させるために、図3〜図6に示すように、防塵機構16は、マスタージョー7とガイド溝25との間の隙間を半径方向外側から覆う第2シール部材20を備えていてもよい。第2シール部材20よりも上方に、マスタージョー7が突出している。図6に示すように、第2シール部材20は、前ボディ5の外周面に形成された取付面11に当接するとともに、マスタージョー7の側面7bおよび後面7cに当接している。このことにより、マスタージョー7とガイド溝25との間の隙間を、半径方向外側から覆って封止している。図4および図5に示すように、第2シール部材20は、半径方向外側から見たときに、マスタージョー7の周囲を部分的に囲むように形成されている。より具体的には、第2シール部材20は、マスタージョー7の両側面7bと、後面7cとにわたって当接しており、一部が切り欠かれた矩形枠状に形成されている。このようにして、第2シール部材20は、マスタージョー7の両側面7b、後面7cと、ガイド溝25との間の隙間を半径方向外側から覆っている。
図4および図5に示すように、第2シール部材20は、取付面11に複数のボルト部材21によって固定されていてもよい。第2シール部材20は、例えば、ゴム等の弾性材料で形成されていてもよい。あるいは、第2シール部材20は、ゴム等の弾性材料よりも硬い樹脂材料で形成されていてもよい。この場合、第2シール部材20のうちマスタージョー7との当接面と、取付面11との当接面には、ゴム等の弾性材料の層が形成されていてもよい。
図3に示すように、防塵機構16は、供給量調整部として例示する流量調整弁22を備えていてもよい。流量調整弁22は、供給管17に取り付けられて、エア供給源18から内部空間Aに供給される供給エアの供給量を調整可能になっていてもよい。その流量調整弁22によって、チャック本体2の隙間から吐出される加圧エアの吐出量が調整される。流量調整弁22は、爪自動交換装置で爪4が交換される場合には、制御装置(図示せず)によって制御されてもよい。あるいは、流量調整弁22は、爪4が手動で交換される場合には、手動で操作されてもよい。
また、防塵機構16は、供給エアに潤滑剤を混入する混入部33を更に備えていてもよい。加圧エアを内部空間Aから外部に吐出し続けていると、チャック1を構成する部品に予め塗布されている潤滑剤が取り除かれて、チャック1の作動に影響を与えることがある。このため、防塵機構16は、エア供給源18から供給される供給エアに潤滑剤が混入可能に構成されていてもよい。より具体的には、混入部33は、供給管17に潤滑剤(例えば、潤滑油)を供給する潤滑剤供給ポンプ34と、潤滑剤供給ポンプ34と供給管17とを接続する混入管35と、を有していてもよい。このようにして、図示しない潤滑剤貯留部に貯留されている潤滑剤が、潤滑剤供給ポンプ34によって供給管17に供給されて供給エアにミスト状に混入される。潤滑剤を混入させた供給エアは、内部空間Aに供給されて、加圧される。
混入管35に混入量調整部として例示する分配弁36が取り付けられていてもよい。その分配弁36によって、チャック1の内部空間Aに供給される供給エアに混入させる潤滑剤の混入量が調整される。分配弁36は、爪自動交換装置で爪4が交換される場合には、制御装置(図示せず)によって制御されてもよい。あるいは、分配弁36は、爪4が手動で交換される場合には、手動で操作されてもよい。
このように本実施の形態によれば、エア供給源18から内部空間Aに供給された供給エアが加圧され、内部空間A内の加圧エアが、吐出隙間32を通過して内部空間Aからチャック1の外部に吐出される。このことにより、切粉や潤滑剤等の異物がチャック1の外部から吐出隙間32を通過して内部に侵入することを防止することができる。この場合、チャック1内のマスタージョー7や駆動部材8等の可動部品の移動が、侵入した異物によって妨げられることを防止できる。また、加圧エアを、内部空間Aから吐出隙間32を通過して外部に吐出させているため、エアの供給流路の構成を簡素化させることができる。このため、簡単な構成で、異物の侵入を防止することができる。
また、本実施の形態によれば、エア供給源18と内部空間Aとを連通するための貫通流路27aが、マスタージョー7を駆動する駆動部材8のドロースクリュー27を貫通している。このことにより、エアの供給流路の構成を簡素化させることができる。とりわけ、本実施の形態によれば、貫通流路27aは、中心軸線CLに沿って延びている。このことにより、周方向に異なる位置に配置された各マスタージョー7によって画定される吐出隙間32に、加圧エアを均等に供給することができる。また、チャック1の回転バランスが低減することを防止でき、回転によって生じる振動を低減することができる。
また、本実施の形態によれば、チャック1の吐出隙間32以外の隙間に第1シール部材19a〜19dが設けられている。このことにより、吐出隙間32以外の隙間を第1シール部材19a〜19dで封止することができ、当該隙間から加圧エアが外部に吐出されることを防止できる。このため、吐出隙間32に、加圧エアを集中して供給することができ、吐出隙間32からの加圧エアの吐出量(または吐出速度)を増大させることができる。この結果、異物が、チャック1の外部から吐出隙間32を通過して内部に侵入することをより一層防止することができる。
また、本実施の形態によれば、吐出隙間32は、チャック本体2に設けられた半径方向に延びるガイド溝25と、ガイド溝25に挿入されたマスタージョー7との間の隙間になっている。チャック1の前面には、爪4によってワークWが取り付けられて、加工が行われる。このことにより、ワークWに近い側に存在する隙間から、加圧エアを吐出させることにより、当該隙間に、切粉や潤滑剤等の異物が侵入することを効果的に防止することができる。
また、本実施の形態によれば、吐出隙間32は、ガイド溝25とマスタージョー7との間の隙間のうちチャック1の前面に開口する隙間になっている。このことにより、チャック1の前面に開口する吐出隙間32から、加圧エアを吐出させることにより、吐出隙間32に、切粉や潤滑剤等の異物が侵入することをより一層防止することができる。
また、本実施の形態によれば、マスタージョー7とガイド溝25との間の隙間を半径方向外側から第2シール部材20が覆っている。このことにより、マスタージョー7とガイド溝25との間の隙間のうちチャック本体2の外周面に開口している部分を、第2シール部材20で封止することができ、当該部分から、加圧エアが外部に吐出されることを防止することができる。このため、ガイド溝25とマスタージョー7との間の隙間のうちチャック1の前面に開口する吐出隙間32に、加圧エアを集中して供給することができ、吐出隙間32からの加圧エアの吐出量を増大させることができる。この結果、異物が、チャック1の外部から吐出隙間32を通過して内部に侵入することをより一層防止することができる。
また、本実施の形態によれば、エア供給源18から内部空間Aに供給される供給エアの供給量が、流量調整弁22によって調整される。このことにより、チャック1の爪4の交換時、ワークWの加工時、チャック1の待機時で、吐出隙間32からの加圧エアの吐出量を変えることができる。このため、加圧エアを効率良く吐出させることができる。例えば、異物が侵入する可能性が高い場合には、加圧エアの吐出量を増大させることができ、異物の侵入を効果的に防止することができる。例えば、爪4の交換時に加圧エアの吐出量を増大させることにより、新しく取り付けられる爪4に付着していた切粉や潤滑剤等の異物を、加圧エアによって吹き飛ばすことができる。このため、吐出隙間32への異物の侵入をより一層防止することができる。爪4の交換時には、ワークWの加工時よりも加圧エアの吐出量を増大させてもよく、この場合には、異物の侵入をより一層防止できる。ワークWの加工時には、切粉や潤滑剤等の異物がチャック1の前方で発生するため、加圧エアの吐出量を増大させることにより、吐出隙間32への異物の侵入をより一層防止することができる。一方、チャック1の待機時には、異物が侵入する可能性は低いため、加圧エアの吐出量を低減させることができ、エアの使用量を低減することができる。
また、本実施の形態によれば、供給エアに潤滑剤が混入される。このことにより、内部空間Aに、潤滑剤を混入した供給エアを供給することができる。このため、加圧エアで潤滑剤が取り除かれた部品に潤滑剤を付着させることができる。このため、チャック1内のマスタージョー7や駆動部材8等の可動部品を、円滑に移動させることができる。
更に、本実施の形態によれば、供給エアに混入される潤滑剤の混入量が、分配弁36によって調整される。このことにより、潤滑剤を効率良く付着させることができる。例えば、爪4の交換時またはワークWの加工時に加圧エアの吐出量を増大させた場合、加圧エアで潤滑剤が取り除かれている可能性が高いと考えられる。この場合には、潤滑剤の混入量を増大させることにより、各部品へ潤滑剤を効率良く付着させることができる。一方、チャック1の待機時に加圧エアの吐出量を低減させた場合、加圧エアで潤滑剤が取り除かれている可能性は低いと考えられる。この場合には、潤滑剤の混入量を低減させることにより、潤滑剤の使用量を低減することができる。
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく発明の趣旨を逸脱しない範囲内において構成の一部を適宜変更して実施できる。

Claims (11)

  1. チャックの内部への異物の侵入を防止するためのチャックの防塵機構であって、
    流体供給源と、
    前記チャックの内部に設けられ、前記流体供給源から供給される供給流体が加圧流体となって通過する内部空間と、
    前記チャックに設けられ、前記内部空間から前記チャックの外部に前記加圧流体を吐出する吐出隙間と、を備えた、チャックの防塵機構。
  2. 前記流体供給源と前記内部空間とを連通し、前記チャックのマスタージョーを駆動する駆動部材を貫通する貫通流路を更に備えた、請求項1に記載のチャックの防塵機構。
  3. 前記貫通流路は、前記チャックの中心軸線に沿って延びている、請求項2に記載のチャックの防塵機構。
  4. 前記チャックの前記吐出隙間以外の隙間に設けられた第1シール部材を更に備えた、請求項1〜3のいずれか一項に記載のチャックの防塵機構。
  5. 前記吐出隙間は、前記チャックのチャック本体に設けられた半径方向に延びるガイド溝と、前記ガイド溝に挿入されたマスタージョーとの間の隙間である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のチャックの防塵機構。
  6. 前記吐出隙間は、前記ガイド溝と前記マスタージョーとの間の隙間のうち爪が取り付けられる側の面に開口する隙間である、請求項5に記載のチャックの防塵機構。
  7. 前記マスタージョーと前記ガイド溝との間の隙間を半径方向外側から覆う第2シール部材を更に備えた、請求項6に記載のチャックの防塵機構。
  8. 前記供給流体の供給量を調整する供給量調整部を更に備えた、請求項1〜7のいずれか一項に記載のチャックの防塵機構。
  9. 前記供給流体に潤滑剤を混入する混入部を更に備えた、請求項1〜8のいずれか一項に記載のチャックの防塵機構。
  10. 前記混入部は、前記供給流体に混入される潤滑剤の混入量を調整する混入量調整部を有している、請求項9に記載のチャックの防塵機構。
  11. 請求項1〜10のいずれか一項に記載のチャックの防塵機構を備えた、チャック。
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