JPWO2020189675A5 - - Google Patents
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Claims (8)
- 主鎖の2重結合炭素原子に置換基が結合している置換ポリアセチレンから成るガス分離膜と、
ガス分離膜を透過したガスを検出するセンシング要素、とを備え、
前記センシング要素は金属酸化物半導体式あるいは接触燃焼式のセンシング要素であり、
前記ガス分離膜は、環状シロキサンを遮断し、検出対象ガスを透過させるガス検出器。 - ガス分離膜は支持膜の無い単層膜であることを特徴とする、請求項1のガス検出器。
- センシング要素は、ガスにより抵抗値が変化する金属酸化物半導体膜を支持するMEMSチップであることを特徴とする、請求項1または2のガス検出器。
- 人の呼気中の水蒸気をガス分離膜により遮断するように構成されていることを特徴とする、請求項1~3のいずれかのガス検出器。
- 環境中のVOC(揮発性有機物)を検出対象ガスとすることを特徴とする、請求項1~3のいずれかのガス検出器。
- ガス分離膜を透過したガスから、検出対象以外のガスを吸着する吸着フィルタをさらに備えていることを特徴とする、請求項1~3のいずれかのガス検出器。
- ガス分離膜が吸着フィルタの外気側カバーを兼ねていることを特徴とする、請求項6のガス検出器。
- 検出対象ガスがメタンで、前記吸着フィルタにより、エタノール、スチレン及びピネンを吸着することを特徴とする、請求項6のガス検出器。
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