JPWO2020022235A1 - 半導体レーザ素子、検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
実施の形態1に係る半導体レーザ素子、検査方法及び検査装置について説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体レーザ素子について図1〜図4を用いて説明する。
次に、本実施の形態に係る半導体レーザ素子の製造方法について説明する。本実施の形態では、半導体レーザ素子の一例として上述した半導体レーザ素子の製造方法の各工程について説明する。
本実施の形態に係る半導体層形成工程について図面を用いて説明する。図6は、本実施の形態に係る半導体レーザ素子の半導体層形成工程の概要を示す基板20の模式的な断面図である。
次に、導波路形成工程について図面を用いて説明する。図12は、本実施の形態に係る導波路形成工程の概要を示す基板20の模式的な断面図である。
次に、第1の保護膜形成工程について図13を用いて説明する。
次に、電極形成工程について説明する。本工程で形成される電極は、本実施の形態に係る製造方法によって製造される半導体レーザ素子に電力を供給するためのp側電極、n側電極などである。
次に、劈開工程について図面を用いて説明する。本工程では、上述した工程によって形成された半導体層100が積層された基板20を、半導体レーザ素子の共振器面に相当する面で劈開する。つまり、図3に示されるように、窓領域80が共振器端面に配置されるように、基板20を劈開する。本実施の形態では、半導体レーザ素子14の共振器長が300μm以下となるように劈開する。これにより、半導体層100が形成されたバー状の基板を形成できる。
次に、第2の保護膜形成工程について説明する。本工程では、上記劈開工程において形成した劈開端面121に、ECR化学気相蒸着法などで、第2の保護膜を形成する。なお第2の保護膜132F及び132Rの構成及び形成方法は、特に限定されない。
次に、本実施の形態に係る半導体レーザ素子14の検査方法について説明する。
まず、半導体レーザ素子14の検査における状態について図14を用いて説明する。図14は、本実施の形態に係る半導体レーザ装置106の構成を示す斜視図である。図14に示されるように、半導体レーザ装置106は、半導体レーザ素子14と、サブマウント104とを備える。半導体レーザ装置106において、半導体レーザ素子14はサブマウント実装されている。このように、半導体レーザ素子14は、サブマウント104に実装された状態で、半導体レーザ装置106として検査される。
次に、本実施の形態に係る半導体レーザ素子14の検査方法における各工程について、図17を用いて説明する。図17は、本実施の形態に係る半導体レーザ素子14の検査方法を示すフローチャートである。
実施の形態2に係る半導体レーザ素子について説明する。本実施の形態に係る半導体レーザ素子は、主に活性層40の構成において、実施の形態1に係る半導体レーザ素子14と相違する。以下、本実施の形態に係る半導体レーザ素子について、実施の形態1に係る半導体レーザ素子14との相違点を中心に説明する。
実施の形態3に係る半導体レーザ素子について説明する。本実施の形態に係る半導体レーザ素子は、主に活性層40の構成において、実施の形態1に係る半導体レーザ素子14と相違する。以下、本実施の形態に係る半導体レーザ素子について、実施の形態1に係る半導体レーザ素子14との相違点を中心に説明する。
以上、本開示に係る半導体レーザ素子等について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
20 基板
24 チップ状基板
30 第1半導体層
31 n型バッファ層
32 n型クラッド層
33 n側光ガイド層
40 活性層
40a 活性層下端
40b 活性層上端
50 第2半導体層
51 p側光ガイド層
52 p型第1クラッド層
53 p型第2クラッド層
54 p型第3クラッド層
55 p型中間層
56 p型コンタクト層
80 窓領域
80a Zn拡散端
100 半導体層
102 発光部
104 サブマウント
105 電極
106 半導体レーザ装置
107 検査プローブ
108 金属ステージ
109 温度測定素子
110 温度制御素子
111 検査ステージ
120 受光素子
121 劈開端面
131 第1の保護膜
132F、132R 第2の保護膜
151 p側下部電極
152 p側上部電極
160 n側電極
200 検査装置
Dz 距離
P1 第1の面
P2 第2の面
TR 溝
WG 導波路
Claims (25)
- 半導体レーザ素子であって、
半導体層を備え、
前記半導体層は、
前記半導体層の層内方向に形成された導波路と、
前記導波路のフロント側の端面に形成された窓領域とを有し、
前記半導体レーザ素子は、
25℃±3℃の動作温度で、第1の駆動電流値においてレーザ光出力が最大値となり、前記第1の駆動電流値より大きい第2の駆動電流値において、レーザ光出力が前記最大値の20%以下となる電流−レーザ光出力特性を有し、
前記第2の駆動電流値において破壊されない
半導体レーザ素子。 - 前記第2の駆動電流値において、レーザ光出力は100mW以下である
請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - 前記第2の駆動電流値において、レーザ光出力は50mW以下である
請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - 前記第2の駆動電流値において、レーザ発振が停止する
請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - 前記第2の駆動電流値における駆動の後、前記第1の駆動電流値で2回目の駆動時のレーザ光出力が前記最大値の95%以上である
請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記第2の駆動電流値における駆動の後、前記第1の駆動電流値で2回目の駆動時のレーザ光出力が絶対最大定格光出力の2倍以上である
請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記第1の駆動電流値及び前記第2の駆動電流値における駆動は、0.1μs以上1μs以下のパルス駆動である
請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記半導体レーザ素子の共振器長は、300μm以下である
請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記半導体レーザ素子の発振波長は、780nm以上860nm以下である
請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記半導体層が積層され、GaAsを含む基板を備え、
前記半導体層は、前記基板上に順次形成されたn型AlGaInPを含むn型クラッド層と、n側光ガイド層と、量子井戸構造を有する活性層と、p側光ガイド層と、p型AlGaInPを含むp型クラッド層とを有し、
前記量子井戸構造は、前記p側光ガイド層及び前記n側光ガイド層に挟まれ、複数の井戸層と、AlGaAsを含む複数の障壁層とで形成され、
前記p側光ガイド層及び前記n側光ガイド層は、AlyGazIn(1−y−z)P(0≦y≦0.1、0≦z≦0.9、0.3≦y+z≦0.7)を含む
請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記複数の井戸層は、GaAs、InGaAs又はGaAsPを含む
請求項10に記載の半導体レーザ素子。 - 前記窓領域は、窓領域形成用不純物を含み、
前記n側光ガイド層と前記活性層との境界である活性層下端から前記窓領域における前記窓領域形成用不純物の前記基板側の拡散端までの距離は、0.5μm以上である
請求項10又は11に記載の半導体レーザ素子。 - 前記窓領域は、前記量子井戸構造の一部が無秩序化された領域を含み、
前記無秩序化された領域におけるエネルギーバンドギャップと前記量子井戸構造の他部におけるエネルギーバンドギャップとの差が30meV以上である
請求項10〜12のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記窓領域からのフォトルミネッセンス法又はカソードルミネッセンス法により得られるスペクトルのピーク波長は、前記半導体レーザ素子の発振波長より30nm以上短い
請求項9〜12のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。 - 前記活性層のうち、前記窓領域に位置する部分の前記窓領域形成用不純物のピーク濃度は、7×1018/cm3以上1×1019/cm3以下である
請求項12に記載の半導体レーザ素子。 - 被検査半導体レーザ素子の良否を判定する検査方法であって、
前記被検査半導体レーザ素子は、半導体層を備え、
前記半導体層は、前記半導体層の層内方向に形成された導波路と、前記導波路のフロント側の端面に形成された窓領域とを有し、
前記検査方法は、
前記被検査半導体レーザ素子の特性を測定するステップと、
前記測定するステップの後、前記被検査半導体レーザ素子のレーザ光出力が最大値となる第1の駆動電流値より大きく、かつ、レーザ光出力が前記最大値の20%以下になる第2の駆動電流値において前記被検査半導体レーザ素子に通電するステップと、
前記通電するステップの後、前記被検査半導体レーザ素子の前記特性を再測定するステップと、
前記測定するステップにおいて取得された前記被検査半導体レーザ素子の前記特性と、前記再測定するステップにおいて取得された前記被検査半導体レーザ素子の前記特性とを比較することで、前記被検査半導体レーザ素子の良否を判定するステップとを含む
検査方法。 - 前記第2の駆動電流値は、前記被検査半導体レーザ素子毎に、前記測定するステップにおいて取得された前記特性に基いて決定される
請求項16に記載の検査方法。 - 前記測定するステップにおいて、レーザ光出力が第1出力で前記被検査半導体レーザ素子に供給される電流値が、第1の検査電流値Iaであり、
前記再測定するステップにおいて、レーザ光出力が前記第1出力で前記被検査半導体レーザ素子に供給される電流値が、第2の検査電流値Ibであり、
前記判定するステップにおいて、(Ib−Ia)/Ib≦0.1が成り立つ場合に前記被検査半導体レーザ素子を良品と判定する
請求項16又は17に記載の検査方法。 - 前記測定するステップにおいて、前記被検査半導体レーザ素子に供給される電流値が第3の検査電流値の場合に、レーザ光出力が第2出力であり、
前記再測定するステップにおいて、前記被検査半導体レーザ素子に供給される電流値が前記第3の検査電流値の場合に、レーザ光出力が第3出力であり、
前記判定するステップにおいて、前記第3出力は、前記第2出力の93%以上である場合に前記被検査半導体レーザ素子を良品と判定する
請求項16又は17に記載の検査方法。 - 前記通電するステップにおいて、0.1μs以上1μs以下のパルス幅、かつ、0.1%以上50%以下のパルスデューティ比の電流で通電する
請求項16〜19のいずれか1項に記載の検査方法。 - 前記通電するステップにおいて、通電時間が20秒を超えない
請求項16〜20のいずれか1項に記載の検査方法。 - 前記被検査半導体レーザ素子の発振波長は、780nm以上860nm以下である
請求項16〜21のいずれか1項に記載の検査方法。 - 前記被検査半導体レーザ素子は、GaAsを含む基板と、前記基板上に積層された半導体層とを備え、
前記半導体層は、前記基板上に順次形成されたn型AlGaInPを含むn型クラッド層と、n側光ガイド層と、量子井戸構造を有する活性層と、p側光ガイド層と、p型AlGaInPを含むp型クラッド層とを有し、
前記量子井戸構造は、前記p側光ガイド層と前記n側光ガイド層とに挟まれ、複数の井戸層と、AlGaAsを含む複数の障壁層とを有し、
前記n側光ガイド層及び前記p側光ガイド層は、AlyGazIn(1−y−z)P(0≦y≦0.1、0≦z≦0.9、0.3≦y+z≦0.7)を含む
請求項16〜22のいずれか1項に記載の検査方法。 - 前記複数の井戸層は、GaAs、InGaAs又はGaAsPを含む
請求項23に記載の検査方法。 - 請求項16〜24のいずれか1項に記載の検査方法を行うための検査装置であって、
温度制御され、かつ、前記被検査半導体レーザ素子を固定する検査ステージと、
前記被検査半導体レーザ素子に電流を供給する検査プローブと、
前記被検査半導体レーザ素子のレーザ光出力を測定する受光素子とを備える
検査装置。
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