JPWO2019224248A5 - - Google Patents
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Description
比較例３は、エトキシエチルビニルエーテル保護化ノボラック樹脂及びＤＮＱから構成されるＣＡＲを示す。この調合物は、ＰＥＢ無しで画像を与えたが、２００ｍＪ／ｃｍ２以下ではパターンが得られなかった。
本願は特許請求の範囲に記載の発明に係るものであるが、本願の開示は以下も包含する：
１．
ポリマー成分、光酸発生剤成分（ＰＡＧ）、光活性ジアゾナフトキノン化合物（ＰＡＣ）成分、塩基成分、溶剤成分、任意選択に及びヘテロ環状チオール成分を含むレジスト組成物であって、
前記ポリマー成分は、フリーのフェノール性ヒドロキシ部分を有するノボラック繰り返し単位と、酸解裂性アセタール部分で保護されたフェノール性ヒドロキシ部分を含むノボラック繰り返し単位とを含むノボラック誘導体であり、但し、
・前記酸解裂性アセタール部分は、次のもの：
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する単官能性アルキルアセタール部分、
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する、ＰＡＣ部分で官能化された部分を含むアセタール；
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む二つの繰り返し単位を連結及び保護し、前記ポリマー成分中の二つの異なるポリマー鎖の間で前記ポリマー成分中に連結点を形成する、二官能性アセタール含有部分；及び
・・これらの三種の酸解裂性アセタール部分の任意のものの混合物；
からなる群から選択され、及び更に
・前記ＰＡＣ成分は次のもの：
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する、ＰＡＣ成分で官能化された部分を含む前記アセタール；
・・フリーのＰＡＣ成分；及び
・・これらの二種のＰＡＣ成分の混合物；
からなる群から選択される、前記レジスト組成物。
２．
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）及び（ＩＩ）を有する繰り返し単位を含み、但し、Ｒａ及びＲｃは独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ及びＲｄは独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、そしてｎａ及びｎｃは独立して０～３であり、ｎｂ及びｎｄは独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、及びｎｄとｎｃとの合計はそれぞれ３を超えず；Ｒｅ及びＲｆは独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、及び
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣを含む、
前記１．に記載の組成物。
３．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が最大で約４０モル％までで存在する、前記２．に記載の組成物。
４．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在する、前記２．または３．に記載の組成物。
５．
構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が、最大で約２０モル％までで存在する、前記２．～４．のいずれか一つに記載の組成物。
６．
ｎｂ及びｎｄが両方とも０である、前記２．～５．のいずれか一つに記載の組成物。
７．
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含み、ここで、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位は、
によって示される位置を介して互いに結合されて、二官能性アセタール含有部分を形成し、この二官能性アセタール含有部分は、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含み、前記ポリマー成分中の二つの異なるポリマー鎖の間で前記ポリマー成分中に連結点を形成し、及び更に、
Ｒａ、Ｒｇ及びＲｋが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ及びＲｌが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｇ及びｎｋが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ及びｎｌが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｇとｎｈとの合計及びｎｋとｎｌとの合計がそれぞれ３を超えず、及び更に；
Ｒｉ及びＲｍが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、及び更に；
Ｘａが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に；
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣ成分を含む、
前記１．に記載の組成物。
８．
構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、前記７．に記載の組成物。
９．
構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、前記７．または８．に記載の組成物。
１０．
ｎｂ、ｎｈ及びｎｌが０である、前記７．～９．のいずれか一つに記載の組成物。
１１．
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位は、
によって示される位置を介して互いに結合して、二官能性アセタール含有部分を形成し、この二官能性アセタール含有部分は、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含み及び前記ポリマー成分中の二つの異なるポリマー鎖の間で前記ポリマー成分中に連結点を形成し、及び更に、Ｒａ、Ｒｇ及びＲｎが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ及びＲｏが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ
３
）
２
－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ
２
－であり、及びｎａ、ｎｇ及びｎｎが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ及びｎｏが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｇとｎｈとの合計及びｎｎとｎｏとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｉ及びＲｍ２が独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され；Ｘｂが－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり；
Ｘｃが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に；
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣ成分を含む、
前記１．に記載の組成物。
１２．
構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、前記１１．に記載の組成物。
１３．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約８０モル％で存在する、前記１１．または１２．に記載の組成物。
１４．
構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位のモル％の合計が、構造（Ｉ）の繰り返し単位のモル％の１０％を超えない、前記１１．～１３．のいずれか一つに記載の組成物。
１５．
ｎｂ、ｎｈ及びｎｏが０である、前記１１．～１４．のいずれか一つに記載の組成物。
１６．
前記１．に記載の組成物であって、但し；
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩ）及び（ＶＩ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、
Ｒａ、Ｒｃ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｄ及びＲｑが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｃ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｄ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｃとｎｄとの合計及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｅ、Ｒｆ及びＲｒが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）；
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
１７．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が約６０モル％～約９８モル％で存在し；構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が最大で約４０モル％までで存在し；及び構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位及び構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が、前記ポリマー成分中の繰り返し単位の約４５モル％を超えない、前記１６．に記載の組成物。
１８．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在する、前記１６．または１７．に記載の組成物。
１９．
構造（ＩＩ）の繰り返し単位が、最大で約２０モル％までで存在する、前記１６．～１８．のいずれか一つに記載の組成物。
２０．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記１６．～１９．のいずれか一つに記載の組成物。
２１．
ｎｂ、ｎｄ及びｎｑが０である、前記１６．～２０．のいずれか一つに記載の組成物。
２２．
前記１．に記載の組成物であって、但し；
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）、（ＩＶ）及び（ＶＩ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、
構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位が、
によって示される位置を介して互いに結合され、二官能性アセタール含有部分を形成して、前記ポリマー成分中の二つの異なるポリマー鎖の間で前記ポリマー成分中に連結点を形成し、及び更に；
Ｒａ、Ｒｇ、Ｒｋ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ、Ｒｌ及びＲｑが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｇ、ｎｋ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ、ｎｌ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｈとｎｇとの合計、ｎｌとｎｋとの合計、及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｉ及びＲｍが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、
Ｘａが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に、－ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
２３．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、そして更に、構造（ＩＩＩ）及び構造（ＩＶ）の繰り返し単位によって形成される、該ポリマー成分の二つのポリマー鎖間の連結点が、該ポリマー成分の繰り返し単位の最大で約２５モル％までで存在し、そして更に、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が最大で約２０モル％までで存在する、前記２２．に記載の組成物。
２４．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在する、前記２２．または２３．に記載の組成物。
２５．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記２２．～２４．のいずれか一つに記載の組成物。
２６．
構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位のモル％の合計が、前記ポリマー成分中の繰り返し単位の１０モル％を超えない、前記２２．～２５．のいずれか一つに記載の組成物。
２７．
ｎｂ、ｎｈ、ｎｌ及びｎｑが０である、前記２２．～２６．のいずれか一つに記載の組成物。
２８．
前記１．に記載の組成物であって、但し
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）、（Ｖ）及び（ＶＩ）の繰り返し単位を含むものであり、但し、
構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位が、
によって示される位置を介して互いに結合され、二官能性アセタール含有部分を形成して、前記ポリマー成分中の二つの異なるポリマー鎖の間で前記ポリマー成分中に連結点を形成し、
Ｒａ、Ｒｇ、Ｒｎ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ、Ｒｏ及びＲｑは独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｇ、ｎｎ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ、ｎｏ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｎとｎｏとの合計、ｎｌとｎｋとの合計、及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
ＲｉがＣ１～Ｃ４アルキルであり、
Ｘｂが－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、
Ｘｃが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に、ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
２９．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、そして更に、構造（ＩＩＩ）及び構造（Ｖ）の繰り返し単位によって形成される、該ポリマー成分の二つのポリマー鎖間の連結点が、該ポリマー成分の繰り返し単位の最大で約２５モル％までで存在し、そして更に、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が最大で約２０モル％までで存在する、前記２８．に記載の組成物。
３０．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約８０モル％で存在する、前記２８．または２９．に記載の組成物。
３１．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記２８．～３０．のいずれか一つに記載の組成物。
３２．
構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位のモル％の合計が、前記ポリマー成分中の繰り返し単位の１０モル％を超えない、前記２８．～３１．のいずれか一つに記載の組成物。
３３．
ｎｂ、ｎｈ、ｎｏ及びｎｑが０である、前記２８．～３２．のいずれか一つに記載の組成物。
３４．
前記２．～１５．のいずれか一つに記載の組成物であって、
前記ポリマー成分が、構造（ＶＩ）の繰り返し単位を更に含むものであり、但し、ＲｐがＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｒｑが－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、そしてｎｐが０～３であり、ｎｑが０または１であり、そしてｎｐとｎｑとの合計が３を超えない、前記組成物。
３５．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、前記ポリマー中の繰り返し単位の最大で約２０モル％までで存在する、前記３４．に記載の組成物。
３６．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記３４．または３５．に記載の組成物。
３７．
前記ポリマー成分が、構造（ＩＩ）の繰り返し単位を更に含むものであり、但し
ＲｃがＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｒｄが－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、そしてｎｃが０～３であり；ｎｄが０または１であり、そしてｎｃとｎｄとの合計が３を超えず；
Ｒｅ、及びＲｆ、及びＲｒが、Ｃ１～Ｃ４アルキルから選択される、前記７．～１５．、または２２．～３３．のいずれか一つに記載の組成物。
３８．
構造（ＩＩ）の繰り返し単位が、最大で約４０モル％までで存在する、前記３７．に記載の組成物。
３９．
構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位がｎｄ＝０を有する、前記３７．または３８．に記載の組成物。
４０．
構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が、最大で約２０モル％までで存在する、前記３７．～３９．のいずれか一つに記載の組成物。
４１．
フリーのＰＡＣを更に含む、前記１６．～３３．のいずれか一つに記載の組成物。
４２．
Ｘａがアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．のいずれか一つに記載の組成物。
４３．
Ｘａがアルキレン部分のエチレンである、前記７．～１０．または２２．～２７．または４２．のいずれか一つに記載の組成物。
４４．
Ｘａが構造（ＶＩＩ）のアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．または４２．のいずれか一つに記載の組成物。
４５．
Ｘａが構造（ＶＩＩａ）のアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．または４２．のいずれか一つに記載の組成物。
４６．
Ｘａがアルキレンオキシアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．のいずれか一つに記載の組成物。
４７．
Ｘａが構造（ＶＩＩｂ）のアルキレンオキシアルキレンである、前記７．～１０．または２２．～２７．または４６．のいずれか一つに記載の組成物。
４８．
構造（ＶＩ）において、前記ＰＡＣｂ部分が、１，２－ジアゾナフトキノン－５－スルホネート部分または１，２－ジアゾナフトキノン－４－スルホネート部分から誘導される、前記１３．～４７．のいずれか一つに記載の組成物。
４９．
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分はＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位において、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩ）を有する単一の化合物または複数種の化合物の混合物から選択され、ここでＤ １ 、Ｄ ２ 及びＤ ３ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ 、Ｄ ２ またはＤ ３ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分であり；そして
が構造（ＶＩ）の個々の繰り返し単位に対する各ＰＡＣｂ部分の結合点を示す、前記組成物。
５０．
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ 、Ｄ ２ 及びＤ ３ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ 、Ｄ ２ またはＤ ３ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分であり；そして
が構造（ＶＩ）の個々の繰り返し単位に対する各ＰＡＣｂ部分の結合点を示す、前記組成物。
５１．
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｃ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ａ 、Ｄ ２ａ 及びＤ ３ａ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ａ 、Ｄ ２ａ またはＤ ３ａ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分であり；そして
が構造（ＶＩ）の個々の繰り返し単位に対する各ＰＡＣｂ部分の結合点を示す、前記組成物。
５２．
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｃ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合であり、ここでＤ １ａ 、Ｄ ２ａ 及びＤ ３ａ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ａ 、Ｄ ２ａ またはＤ ３ａ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分であり；そして
は構造（ＶＩ）の個々の繰り返し単位に対する各ＰＡＣｂ部分の結合点を示す、前記組成物。
５３．
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位において、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｄ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ｂ 、Ｄ ２ｂ 及びＤ ３ｂ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ｂ 、Ｄ ２ｂ またはＤ ３ｂ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分であり；そして
が構造（ＶＩ）の個々の繰り返し単位に対する各ＰＡＣｂ部分の結合点を示す、前記組成物。
５４．
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｄ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ｂ 、Ｄ ２ｂ 及びＤ ３ｂ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ｂ 、Ｄ ２ｂ またはＤ ３ｂ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分であり；そして
が構造（ＶＩ）の個々の繰り返し単位に対する各ＰＡＣｂ部分の結合点を示す、前記組成物。
５５．
前記ＰＡＧ成分が、有機スルホン酸の芳香族イミドＮ－オキシスルホネート誘導体、有機スルホン酸の芳香族スルホニウム塩、及びトリハロトリアジン誘導体からなる群またはこの群からのＰＡＧの混合物から選択される、前記１．～５４．のいずれか一つに記載の組成物。
５６．
前記ＰＡＧ成分が、構造（ＩＸａ）、構造（ＩＸｂ）及び構造（ＩＸｃ）を有する化合物からなる群またはこの群からの化合物の混合物から選択され、ここで、Ｒ １ｐ はフルオロアルキル部分であり、そしてＲ ２ｐ はＨ、アルキル、オキシアルキル、チオアルキル、またはアリール部分であり；Ｒ ３ｐ はフルオロアルキル、アルキルまたはアリール部分であり、そしてＲ ４ｐ は、Ｈ、アルキル、オキシアルキル、チオアルキルまたはアリール部分であり；そして更にＸはＣｌまたはＢｒであり、Ｒ ５ｐ はアリールまたはアルキル部分であり、そしてｎは０または１である、前記１．～５５．のいずれか一つに記載の組成物。
５７．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そしてこれが、１，２－ジアゾナフトキノン－５－スルホネート化合物または１，２－ジアゾナフトキノン－４－スルホネート化合物から誘導される、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
５８．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ 及びＤ ４ｃ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ またはＤ ４ｃ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
５９．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ 及びＤ ４ｃ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ またはＤ ４ｃ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
６０．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘａ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ 及びＤ ４ｄ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ またはＤ ４ｄ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
６１．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘａ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ 及びＤ ４ｄ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ またはＤ ４ｄ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
６２．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘｂ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｅ 、Ｄ ２ｅ 及びＤ ３ｅ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｅ 、Ｄ ２ｅ またはＤ ３ｅ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
６３．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘｂ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｅ 、Ｄ ２ｅ 及びＤ ３ｅ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｅ 、Ｄ ２ｅ またはＤ ３ｅ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
６４．
前記ヘテロ環状チオール成分が存在し、そしてこれは、ヘテロ環状化合物中のヘテロ原子として窒素、硫黄またはこれらの二つの原子の組み合わせを含む不飽和ヘテロ環状化合物のモノもしくはジ－チオール誘導体から選択される、前記１．～６３．のいずれか一つに記載の組成物。
６５．
前記モノ－もしくはジ－チオール誘導体が、トリアゾール系、ジアゾール系、イミダゾール系及びチアジアゾール系ヘテロ環式化合物の誘導体である、前記６４．に記載の組成物。
６６．
前記モノ－もしくはジ－チオール誘導体が、トリアジン系ヘテロ環式化合物の誘導体である、前記６４．に記載の組成物。
６７．
前記モノ－もしくはジ－チオール誘導体が、構造（ＸＩａ）、（ＸＩｂ）、（ＸＩｃ）、（ＸＩｄ）及び（Ｘｉｅ）を有するものからなる群から選択される、前記６４．に記載の組成物。
６８．
前記塩基成分が、大気圧下に１００℃を超える沸点及び少なくとも１のｐＫ ａ を有するアミン化合物または複数種のアミン化合物の混合物から選択される、前記１．～６７．のいずれか一つに記載の組成物。
６９．
前記塩基成分が、構造（ＸＩＩａ）、（ＸＩＩｂ）、（ＸＩＩｃ）、（ＸＩＩｄ）、（ＸＩＩｅ）、（ＸＩＩｆ）、（ＸＩＩｇ）、（ＸＩＩｈ）、（ＸＩＩｉ）及び（ＸＩＩｊ）を有する化合物からなる群またはこの群からの複数種の化合物の混合物から選択され、但し、Ｒ ｂ１ はＣ１～Ｃ２０飽和状アルキル鎖またはＣ２～Ｃ２０不飽和状アルキル鎖であり、Ｒ ｂ２ 、Ｒ ｂ３ 、Ｒ ｂ４ 、Ｒ ｂ５ 、Ｒ ｂ６ 、Ｒ ｂ７ 、Ｒ ｂ８ 、Ｒ ｂ９ 、Ｒ ｂ１０ 、Ｒ ｂ１１ 、Ｒ ｂ１２ 、及びＲ ｂ１３ は、独立して、Ｈ、及びＣ１～Ｃ２０アルキルからなる群から選択される、前記１．～６８．のいずれか一つに記載の組成物。
７０．
前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングする方法。
７１．
レジストの画像形成方法であって、次のステップ；
ｉ）前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングしてレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉ）マスクを用いて前記レジスト膜をＵＶ光に選択露光して、選択露光されたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉｉ）前記選択露光された膜を現像して、前記基材上にポジに画像形成されたレジスト膜を形成するステップ；
を含む前記方法。
７２．
レジストの画像形成方法であって、次のステップ；
ｉａ）前記１．～７１．のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングしてレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉａ）マスクを用いて前記レジスト膜をＵＶ光に選択露光して、選択露光されたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉｉａ）前記選択露光されたレジスト膜をベークして、選択露光及びベークされたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｖａ）前記選択露光及びベークされたレジスト膜を現像して、ポジに画像形成されたレジスト膜を前記基材上に形成するステップ；
を含む前記方法。
７３．
レジスト組成物としての、前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物の使用。
７４．
レジスト膜の調製のための、前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物の使用。
７５．
前記レジスト膜が薄膜レジストである、前記７４．に記載の使用。
７６．
前記レジスト膜が厚膜レジストである、前記７４．に記載の使用。
７７．
基材をコーティングするための、前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物の使用。
本願は特許請求の範囲に記載の発明に係るものであるが、本願の開示は以下も包含する：
１．
ポリマー成分、光酸発生剤成分（ＰＡＧ）、光活性ジアゾナフトキノン化合物（ＰＡＣ）成分、塩基成分、溶剤成分、任意選択に及びヘテロ環状チオール成分を含むレジスト組成物であって、
前記ポリマー成分は、フリーのフェノール性ヒドロキシ部分を有するノボラック繰り返し単位と、酸解裂性アセタール部分で保護されたフェノール性ヒドロキシ部分を含むノボラック繰り返し単位とを含むノボラック誘導体であり、但し、
・前記酸解裂性アセタール部分は、次のもの：
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する単官能性アルキルアセタール部分、
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する、ＰＡＣ部分で官能化された部分を含むアセタール；
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む二つの繰り返し単位を連結及び保護し、前記ポリマー成分中の二つの異なるポリマー鎖の間で前記ポリマー成分中に連結点を形成する、二官能性アセタール含有部分；及び
・・これらの三種の酸解裂性アセタール部分の任意のものの混合物；
からなる群から選択され、及び更に
・前記ＰＡＣ成分は次のもの：
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する、ＰＡＣ成分で官能化された部分を含む前記アセタール；
・・フリーのＰＡＣ成分；及び
・・これらの二種のＰＡＣ成分の混合物；
からなる群から選択される、前記レジスト組成物。
２．
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）及び（ＩＩ）を有する繰り返し単位を含み、但し、Ｒａ及びＲｃは独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ及びＲｄは独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、そしてｎａ及びｎｃは独立して０～３であり、ｎｂ及びｎｄは独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、及びｎｄとｎｃとの合計はそれぞれ３を超えず；Ｒｅ及びＲｆは独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、及び
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣを含む、
前記１．に記載の組成物。
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が最大で約４０モル％までで存在する、前記２．に記載の組成物。
４．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在する、前記２．または３．に記載の組成物。
５．
構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が、最大で約２０モル％までで存在する、前記２．～４．のいずれか一つに記載の組成物。
６．
ｎｂ及びｎｄが両方とも０である、前記２．～５．のいずれか一つに記載の組成物。
７．
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含み、ここで、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位は、
Ｒａ、Ｒｇ及びＲｋが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ及びＲｌが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｇ及びｎｋが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ及びｎｌが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｇとｎｈとの合計及びｎｋとｎｌとの合計がそれぞれ３を超えず、及び更に；
Ｒｉ及びＲｍが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、及び更に；
Ｘａが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に；
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣ成分を含む、
前記１．に記載の組成物。
構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、前記７．に記載の組成物。
９．
構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、前記７．または８．に記載の組成物。
１０．
ｎｂ、ｎｈ及びｎｌが０である、前記７．～９．のいずれか一つに記載の組成物。
１１．
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位は、
Ｒｉ及びＲｍ２が独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され；Ｘｂが－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり；
Ｘｃが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に；
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣ成分を含む、
前記１．に記載の組成物。
構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、前記１１．に記載の組成物。
１３．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約８０モル％で存在する、前記１１．または１２．に記載の組成物。
１４．
構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位のモル％の合計が、構造（Ｉ）の繰り返し単位のモル％の１０％を超えない、前記１１．～１３．のいずれか一つに記載の組成物。
１５．
ｎｂ、ｎｈ及びｎｏが０である、前記１１．～１４．のいずれか一つに記載の組成物。
１６．
前記１．に記載の組成物であって、但し；
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩ）及び（ＶＩ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、
Ｒａ、Ｒｃ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｄ及びＲｑが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｃ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｄ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｃとｎｄとの合計及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｅ、Ｒｆ及びＲｒが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）；
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が約６０モル％～約９８モル％で存在し；構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が最大で約４０モル％までで存在し；及び構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位及び構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が、前記ポリマー成分中の繰り返し単位の約４５モル％を超えない、前記１６．に記載の組成物。
１８．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在する、前記１６．または１７．に記載の組成物。
１９．
構造（ＩＩ）の繰り返し単位が、最大で約２０モル％までで存在する、前記１６．～１８．のいずれか一つに記載の組成物。
２０．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記１６．～１９．のいずれか一つに記載の組成物。
２１．
ｎｂ、ｎｄ及びｎｑが０である、前記１６．～２０．のいずれか一つに記載の組成物。
２２．
前記１．に記載の組成物であって、但し；
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）、（ＩＶ）及び（ＶＩ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、
構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位が、
Ｒａ、Ｒｇ、Ｒｋ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ、Ｒｌ及びＲｑが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｇ、ｎｋ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ、ｎｌ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｈとｎｇとの合計、ｎｌとｎｋとの合計、及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｉ及びＲｍが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、
Ｘａが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に、－ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、そして更に、構造（ＩＩＩ）及び構造（ＩＶ）の繰り返し単位によって形成される、該ポリマー成分の二つのポリマー鎖間の連結点が、該ポリマー成分の繰り返し単位の最大で約２５モル％までで存在し、そして更に、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が最大で約２０モル％までで存在する、前記２２．に記載の組成物。
２４．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在する、前記２２．または２３．に記載の組成物。
２５．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記２２．～２４．のいずれか一つに記載の組成物。
２６．
構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位のモル％の合計が、前記ポリマー成分中の繰り返し単位の１０モル％を超えない、前記２２．～２５．のいずれか一つに記載の組成物。
２７．
ｎｂ、ｎｈ、ｎｌ及びｎｑが０である、前記２２．～２６．のいずれか一つに記載の組成物。
２８．
前記１．に記載の組成物であって、但し
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）、（Ｖ）及び（ＶＩ）の繰り返し単位を含むものであり、但し、
構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位が、
Ｒａ、Ｒｇ、Ｒｎ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ、Ｒｏ及びＲｑは独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、及びｎａ、ｎｇ、ｎｎ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ、ｎｏ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｎとｎｏとの合計、ｎｌとｎｋとの合計、及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
ＲｉがＣ１～Ｃ４アルキルであり、
Ｘｂが－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、
Ｘｃが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ’ －部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に、ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、そして更に、構造（ＩＩＩ）及び構造（Ｖ）の繰り返し単位によって形成される、該ポリマー成分の二つのポリマー鎖間の連結点が、該ポリマー成分の繰り返し単位の最大で約２５モル％までで存在し、そして更に、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が最大で約２０モル％までで存在する、前記２８．に記載の組成物。
３０．
構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約７０モル％～約８０モル％で存在する、前記２８．または２９．に記載の組成物。
３１．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記２８．～３０．のいずれか一つに記載の組成物。
３２．
構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位のモル％の合計が、前記ポリマー成分中の繰り返し単位の１０モル％を超えない、前記２８．～３１．のいずれか一つに記載の組成物。
３３．
ｎｂ、ｎｈ、ｎｏ及びｎｑが０である、前記２８．～３２．のいずれか一つに記載の組成物。
３４．
前記２．～１５．のいずれか一つに記載の組成物であって、
前記ポリマー成分が、構造（ＶＩ）の繰り返し単位を更に含むものであり、但し、ＲｐがＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｒｑが－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、そしてｎｐが０～３であり、ｎｑが０または１であり、そしてｎｐとｎｑとの合計が３を超えない、前記組成物。
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、前記ポリマー中の繰り返し単位の最大で約２０モル％までで存在する、前記３４．に記載の組成物。
３６．
構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、最大で約１０モル％までで存在する、前記３４．または３５．に記載の組成物。
３７．
前記ポリマー成分が、構造（ＩＩ）の繰り返し単位を更に含むものであり、但し
ＲｃがＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｒｄが－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ ３ ） ２ －、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ ２ －であり、そしてｎｃが０～３であり；ｎｄが０または１であり、そしてｎｃとｎｄとの合計が３を超えず；
Ｒｅ、及びＲｆ、及びＲｒが、Ｃ１～Ｃ４アルキルから選択される、前記７．～１５．、または２２．～３３．のいずれか一つに記載の組成物。
構造（ＩＩ）の繰り返し単位が、最大で約４０モル％までで存在する、前記３７．に記載の組成物。
３９．
構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位がｎｄ＝０を有する、前記３７．または３８．に記載の組成物。
４０．
構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が、最大で約２０モル％までで存在する、前記３７．～３９．のいずれか一つに記載の組成物。
４１．
フリーのＰＡＣを更に含む、前記１６．～３３．のいずれか一つに記載の組成物。
４２．
Ｘａがアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．のいずれか一つに記載の組成物。
４３．
Ｘａがアルキレン部分のエチレンである、前記７．～１０．または２２．～２７．または４２．のいずれか一つに記載の組成物。
４４．
Ｘａが構造（ＶＩＩ）のアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．または４２．のいずれか一つに記載の組成物。
Ｘａが構造（ＶＩＩａ）のアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．または４２．のいずれか一つに記載の組成物。
Ｘａがアルキレンオキシアルキレン部分である、前記７．～１０．または２２．～２７．のいずれか一つに記載の組成物。
４７．
Ｘａが構造（ＶＩＩｂ）のアルキレンオキシアルキレンである、前記７．～１０．または２２．～２７．または４６．のいずれか一つに記載の組成物。
構造（ＶＩ）において、前記ＰＡＣｂ部分が、１，２－ジアゾナフトキノン－５－スルホネート部分または１，２－ジアゾナフトキノン－４－スルホネート部分から誘導される、前記１３．～４７．のいずれか一つに記載の組成物。
４９．
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分はＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位において、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩ）を有する単一の化合物または複数種の化合物の混合物から選択され、ここでＤ １ 、Ｄ ２ 及びＤ ３ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ 、Ｄ ２ またはＤ ３ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分であり；そして
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ 、Ｄ ２ 及びＤ ３ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ 、Ｄ ２ またはＤ ３ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分であり；そして
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｃ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ａ 、Ｄ ２ａ 及びＤ ３ａ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ａ 、Ｄ ２ａ またはＤ ３ａ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分であり；そして
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｃ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合であり、ここでＤ １ａ 、Ｄ ２ａ 及びＤ ３ａ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ａ 、Ｄ ２ａ またはＤ ３ａ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分であり；そして
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位において、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｄ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ｂ 、Ｄ ２ｂ 及びＤ ３ｂ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ｂ 、Ｄ ２ｂ またはＤ ３ｂ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分であり；そして
前記１６．～４８．のいずれか一つに記載の組成物であって、但し、構造（ＶＩ）において、Ｘｄが次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・アルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、
・・アルキレンオキシアルキレンアセタール部分（－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）、及び
・・アルキレン（オリゴオキシアルキレン）アセタール、（－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－）（ここで、ｘは２～６である）、
（更に、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択され、
及び、前記ＰＡＣｂ部分が、構造（ＶＩＩＩｄ）を有する単一の部分または複数種の部分の混合から選択され、ここでＤ １ｂ 、Ｄ ２ｂ 及びＤ ３ｂ が、独立して、Ｈまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、及び更に、Ｄ １ｂ 、Ｄ ２ｂ またはＤ ３ｂ のうちの少なくとも一つが構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分であり；そして
前記ＰＡＧ成分が、有機スルホン酸の芳香族イミドＮ－オキシスルホネート誘導体、有機スルホン酸の芳香族スルホニウム塩、及びトリハロトリアジン誘導体からなる群またはこの群からのＰＡＧの混合物から選択される、前記１．～５４．のいずれか一つに記載の組成物。
５６．
前記ＰＡＧ成分が、構造（ＩＸａ）、構造（ＩＸｂ）及び構造（ＩＸｃ）を有する化合物からなる群またはこの群からの化合物の混合物から選択され、ここで、Ｒ １ｐ はフルオロアルキル部分であり、そしてＲ ２ｐ はＨ、アルキル、オキシアルキル、チオアルキル、またはアリール部分であり；Ｒ ３ｐ はフルオロアルキル、アルキルまたはアリール部分であり、そしてＲ ４ｐ は、Ｈ、アルキル、オキシアルキル、チオアルキルまたはアリール部分であり；そして更にＸはＣｌまたはＢｒであり、Ｒ ５ｐ はアリールまたはアルキル部分であり、そしてｎは０または１である、前記１．～５５．のいずれか一つに記載の組成物。
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そしてこれが、１，２－ジアゾナフトキノン－５－スルホネート化合物または１，２－ジアゾナフトキノン－４－スルホネート化合物から誘導される、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
５８．
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ 及びＤ ４ｃ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ またはＤ ４ｃ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ 及びＤ ４ｃ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｃ 、Ｄ ２ｃ 、Ｄ ３ｃ またはＤ ４ｃ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘａ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ 及びＤ ４ｄ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ またはＤ ４ｄ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘａ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ 及びＤ ４ｄ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｄ 、Ｄ ２ｄ 、Ｄ ３ｄ またはＤ ４ｄ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘｂ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｅ 、Ｄ ２ｅ 及びＤ ３ｅ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｅ 、Ｄ ２ｅ またはＤ ３ｅ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩａ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
フリーのＰＡＣ成分が存在し、そして前記ＰＡＣ成分が、構造（Ｘｂ）を有する単一のＰＡＣ化合物または複数種のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ １ｅ 、Ｄ ２ｅ 及びＤ ３ｅ は独立してＨまたは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分から選択され、そして更にＤ １ｅ 、Ｄ ２ｅ またはＤ ３ｅ のうちの少なくとも一つは構造（ＶＩＩＩｂ）を有する部分である、前記１．～５６．のいずれか一つに記載の組成物。
前記ヘテロ環状チオール成分が存在し、そしてこれは、ヘテロ環状化合物中のヘテロ原子として窒素、硫黄またはこれらの二つの原子の組み合わせを含む不飽和ヘテロ環状化合物のモノもしくはジ－チオール誘導体から選択される、前記１．～６３．のいずれか一つに記載の組成物。
６５．
前記モノ－もしくはジ－チオール誘導体が、トリアゾール系、ジアゾール系、イミダゾール系及びチアジアゾール系ヘテロ環式化合物の誘導体である、前記６４．に記載の組成物。
６６．
前記モノ－もしくはジ－チオール誘導体が、トリアジン系ヘテロ環式化合物の誘導体である、前記６４．に記載の組成物。
６７．
前記モノ－もしくはジ－チオール誘導体が、構造（ＸＩａ）、（ＸＩｂ）、（ＸＩｃ）、（ＸＩｄ）及び（Ｘｉｅ）を有するものからなる群から選択される、前記６４．に記載の組成物。
前記塩基成分が、大気圧下に１００℃を超える沸点及び少なくとも１のｐＫ ａ を有するアミン化合物または複数種のアミン化合物の混合物から選択される、前記１．～６７．のいずれか一つに記載の組成物。
６９．
前記塩基成分が、構造（ＸＩＩａ）、（ＸＩＩｂ）、（ＸＩＩｃ）、（ＸＩＩｄ）、（ＸＩＩｅ）、（ＸＩＩｆ）、（ＸＩＩｇ）、（ＸＩＩｈ）、（ＸＩＩｉ）及び（ＸＩＩｊ）を有する化合物からなる群またはこの群からの複数種の化合物の混合物から選択され、但し、Ｒ ｂ１ はＣ１～Ｃ２０飽和状アルキル鎖またはＣ２～Ｃ２０不飽和状アルキル鎖であり、Ｒ ｂ２ 、Ｒ ｂ３ 、Ｒ ｂ４ 、Ｒ ｂ５ 、Ｒ ｂ６ 、Ｒ ｂ７ 、Ｒ ｂ８ 、Ｒ ｂ９ 、Ｒ ｂ１０ 、Ｒ ｂ１１ 、Ｒ ｂ１２ 、及びＲ ｂ１３ は、独立して、Ｈ、及びＣ１～Ｃ２０アルキルからなる群から選択される、前記１．～６８．のいずれか一つに記載の組成物。
前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングする方法。
７１．
レジストの画像形成方法であって、次のステップ；
ｉ）前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングしてレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉ）マスクを用いて前記レジスト膜をＵＶ光に選択露光して、選択露光されたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉｉ）前記選択露光された膜を現像して、前記基材上にポジに画像形成されたレジスト膜を形成するステップ；
を含む前記方法。
７２．
レジストの画像形成方法であって、次のステップ；
ｉａ）前記１．～７１．のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングしてレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉａ）マスクを用いて前記レジスト膜をＵＶ光に選択露光して、選択露光されたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉｉａ）前記選択露光されたレジスト膜をベークして、選択露光及びベークされたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｖａ）前記選択露光及びベークされたレジスト膜を現像して、ポジに画像形成されたレジスト膜を前記基材上に形成するステップ；
を含む前記方法。
７３．
レジスト組成物としての、前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物の使用。
７４．
レジスト膜の調製のための、前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物の使用。
７５．
前記レジスト膜が薄膜レジストである、前記７４．に記載の使用。
７６．
前記レジスト膜が厚膜レジストである、前記７４．に記載の使用。
７７．
基材をコーティングするための、前記１．～６９．のいずれか一つに記載の組成物の使用。
Claims (24)
- ポリマー成分、光酸発生剤成分（ＰＡＧ）、光活性ジアゾナフトキノン化合物（ＰＡＣ）成分、塩基成分、溶剤成分、任意選択に及びヘテロ環状チオール成分を含むレジスト組成物であって、
前記ポリマー成分は、フリーのフェノール性ヒドロキシ部分を有するノボラック繰り返し単位と、酸解裂性アセタール部分で保護されたフェノール性ヒドロキシ部分を含むノボラック繰り返し単位とを含むノボラック誘導体であり、但し、
・前記酸解裂性アセタール部分は、次のもの：
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する単官能性アルキルアセタール部分、
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する、ＰＡＣ部分で官能化された部分を含むアセタール；
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む二つの繰り返し単位を連結及び保護し、前記ポリマー成分中の二つの異なるポリマー鎖の間で前記ポリマー成分中に連結点を形成する、二官能性アセタール含有部分；及び
・・これらの三種の酸解裂性アセタール部分の任意のものの混合物；
からなる群から選択され、及び更に
・前記ＰＡＣ成分は次のもの：
・・ノボラックフェノール性ヒドロキシ部分を含む繰り返し単位を保護する、ＰＡＣ成分で官能化された部分を含む前記アセタール；
・・フリーのＰＡＣ成分；及び
・・これらの二種のＰＡＣ成分の混合物；
からなる群から選択される、前記レジスト組成物。 - 前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）及び（ＩＩ）を有する繰り返し単位を含み、但し、Ｒａ及びＲｃは独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ及びＲｄは独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、そしてｎａ及びｎｃは独立して０～３であり、ｎｂ及びｎｄは独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、及びｎｄとｎｃとの合計はそれぞれ３を超えず；Ｒｅ及びＲｆは独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、及び
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣを含む、
請求項１に記載の組成物。
- 構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が最大で約４０モル％までで存在する、請求項２に記載の組成物。
- 前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含み、ここで、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位は、
Ｒａ、Ｒｇ及びＲｋが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ及びＲｌが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、及びｎａ、ｎｇ及びｎｋが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ及びｎｌが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｇとｎｈとの合計及びｎｋとｎｌとの合計がそれぞれ３を超えず、及び更に；
Ｒｉ及びＲｍが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、及び更に；
Ｘａが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン）ｘ’－部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に；
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣ成分を含む、
請求項１に記載の組成物。
- 構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、請求項４に記載の組成物。
- 前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位は、
Ｒｉ及びＲｍ２が独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され；Ｘｂが－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり；
Ｘｃが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン）ｘ’－部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に；
前記ＰＡＣ成分が、フリーのＰＡＣ成分を含む、
請求項１に記載の組成物。
- 構造（Ｉ）を有する前記繰り返し単位が、約７０モル％～約９８モル％で存在し、及び構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分が、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものである、請求項６に記載の組成物。
- 請求項１に記載の組成物であって、但し；
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩ）及び（ＶＩ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、
Ｒａ、Ｒｃ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｄ及びＲｑが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、及びｎａ、ｎｃ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｄ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｃとｎｄとの合計及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｅ、Ｒｆ及びＲｒが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－、
・・－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－、及び
・・－アルキレン（－Ｏ－アルキレン）ｘ－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－（ここで、ｘは２～６である）；
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
- 構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が約６０モル％～約９８モル％で存在し；構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位が最大で約４０モル％までで存在し；及び構造（ＩＩ）を有する繰り返し単位及び構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が、前記ポリマー成分中の繰り返し単位の約４５モル％を超えない、請求項８に記載の組成物。
- 請求項１に記載の組成物であって、但し；
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）、（ＩＶ）及び（ＶＩ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、
構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位が、
Ｒａ、Ｒｇ、Ｒｋ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ、Ｒｌ及びＲｑが独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、及びｎａ、ｎｇ、ｎｋ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ、ｎｌ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｈとｎｇとの合計、ｎｌとｎｋとの合計、及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｉ、Ｒｍ及びＲｒが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、
Ｘａが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン）ｘ’－部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に、－ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－、
・・－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－、及び
・・－アルキレン（－Ｏ－アルキレン）ｘ－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
- 構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、そして更に、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分は、構造（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものであり、そして更に、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が最大で約２０モル％までで存在する、請求項１０に記載の組成物。
- 請求項１に記載の組成物であって、但し
前記ポリマー成分が、構造（Ｉ）、（ＩＩＩ）、（Ｖ）及び（ＶＩ）の繰り返し単位を含むものであり、但し、
構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位が、
Ｒａ、Ｒｇ、Ｒｎ及びＲｐが独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり；Ｒｂ、Ｒｈ、Ｒｏ及びＲｑは独立して－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、及びｎａ、ｎｇ、ｎｎ及びｎｐが独立して０～３であり；ｎｂ、ｎｈ、ｎｏ及びｎｑが独立して０または１であり、そしてｎａとｎｂとの合計、ｎｎとｎｏとの合計、ｎｈとｎｇとの合計、及びｎｐとｎｑとの合計がそれぞれ３を超えず；
Ｒｉ、Ｒｍ２及びＲｒが独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、
Ｘｂが－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、
Ｘｃが、アルキレン、－アルキレンオキシアルキレン－部分、または－アルキレン（－Ｏ－アルキレン）ｘ’－部分であり、ここでｘ’は２～６であり、及び更に、ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－、
・・－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－、及び
・・－アルキレン（－Ｏ－アルキレン）ｘ－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－Ｏ－（ここで、ｘは２～６である）
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
- 構造（Ｉ）を有する繰り返し単位が、約６０モル％～約９８モル％で存在し、そして更に、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）を有する繰り返し単位を含む前記二官能性アセタール含有部分は、構造（ＩＩＩ）及び（Ｖ）の繰り返し単位の合計のモル％がポリマー成分の全繰り返し単位の約２５モル％を超えないものであり、そして更に、構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位が最大で約２０モル％までで存在する、請求項１２に記載の組成物。
- 請求項２～７のいずれか一つに記載の組成物であって、
前記ポリマー成分が、構造（ＶＩ）の繰り返し単位を更に含むものであり、但し、ＲｐがＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｒｑが－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、そしてｎｐが０～３であり、ｎｑが０または１であり、そしてｎｐとｎｑとの合計が３を超えず、ＰＡＣｂが、連結基Ｘｄを介して結合した構造（ＶＩ）を有する繰り返し単位中のＰＡＣ成分であり、ここでＸｄは次のもの：
・直接原子価結合、
・アルキレン部分、
・アルキレンオキシ部分、但し、そのアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアルキレンオキシ部分のオキシ端部はＰＡＣｂ部分に結合する、及び
・次のものからなる群から選択されるアセタール含有部分；
・・－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－、
・・－アルキレン－Ｏ－アルキレン－Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－、及び
・・－アルキレン（－Ｏ－アルキレン） ｘ －Ｏ－ＣＨ（ＣＨ ３ ）－Ｏ－（ここで、ｘは２～６である）；
（但し、前記各々のアセタール含有部分において、この部分のアルキレン端部は、構造（ＶＩ）の繰り返し単位のアセタール酸素部分に結合し、そしてアセタールを含む前記部分のアセタール部分は、ＰＡＣｂ部分に結合する）
からなる群から選択される、前記組成物。
- 構造（ＶＩ）の繰り返し単位が、前記ポリマー中の繰り返し単位の最大で約２０モル％までで存在する、請求項２～７または１４のいずれか一つに記載の組成物。
- 前記ポリマー成分が、構造（ＩＩ）の繰り返し単位を更に含むものであり、但し
ＲｃがＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｒｄが－Ｘ－フェノールであり、ここでＸは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ２－であり、そしてｎｃが０～３であり；ｎｄが０または１であり、そしてｎｃとｎｄとの合計が３を超えず；
Ｒｅ及びＲｆが、独立してＣ１～Ｃ４アルキルから選択される、請求項４～７、または１０～１３のいずれか一つに記載の組成物。
- 構造（ＩＩ）の繰り返し単位が、最大で約４０モル％までで存在する、請求項４～７または１０～１３または１６のいずれか一つに記載の組成物。
- Ｘａがアルキレン部分である、請求項４、５、１０または１１のいずれか一つに記載の組成物。
- Ｘａがアルキレンオキシアルキレン部分である、請求項４、５、１０または１１のいずれか一つに記載の組成物。
- 前記ヘテロ環状チオール成分が存在し、そしてこれは、ヘテロ環状化合物中のヘテロ原子として窒素、硫黄またはこれらの二つの原子の組み合わせを含む不飽和ヘテロ環状化合物のモノもしくはジ－チオール誘導体から選択される、請求項１～１９のいずれか一つに記載の組成物。
- 前記塩基成分が、大気圧下に１００℃を超える沸点及び少なくとも１のｐＫａを有するアミン化合物または複数種のアミン化合物の混合物から選択される、請求項１～２０のいずれか一つに記載の組成物。
- 請求項１～２１のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングする方法。
- レジストの画像形成方法であって、次のステップ；
ｉ）請求項１～２１のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングしてレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉ）マスクを用いて前記レジスト膜をＵＶ光に選択露光して、選択露光されたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉｉ）前記選択露光された膜を現像して、前記基材上にポジに画像形成されたレジスト膜を形成するステップ；
を含む前記方法。 - レジストの画像形成方法であって、次のステップ；
ｉａ）請求項１～２１のいずれか一つに記載の組成物を基材上にコーティングしてレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉａ）マスクを用いて前記レジスト膜をＵＶ光に選択露光して、選択露光されたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｉｉａ）前記選択露光されたレジスト膜をベークして、選択露光及びベークされたレジスト膜を形成するステップ；
ｉｖａ）前記選択露光及びベークされたレジスト膜を現像して、ポジに画像形成されたレジスト膜を前記基材上に形成するステップ；
を含む前記方法。
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