JPWO2019189225A1 - 拡散素子、照明モジュールおよび非球面レンズの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照して本発明の実施形態の例について説明する。図1は、本実施形態にかかる非球面レンズの加工方法の例を示す説明図である。当該方法は、例えば、拡散素子を作製するために使用される。
・視感透過率 TvD65(t=1.1mm):91.7%
・平均線形熱膨張係数:7.2×10−6K−1
・ガラス転移温度Tg:557℃
・誘電定数εr(1MHz時):6.7
・D線屈折率nD:1.5230
・密度ρ(40℃/h アニール条件):2.51g/cm3
例A−2’〜A−6’の測定結果である。図7の(a)に示すように、レーザー焦点位置Lfが大きくなる程、拡散角が狭くなる傾向がわかる。また、レーザー焦点位置Lfが大きくなる程、中心強度が高くなる(すなわち図5のグラフにおける中心の窪みが浅くなる)傾向がわかる。なお、同一箇所にパルスを照射した効果は見られなかった。
次に、本発明の第2の実施形態の例について説明する。第1の実施形態で図3および図4によりエッチング過程の一部を示したが、エッチングの結果、特に放物面に近い非球面レンズ2が得られる際には、エッチング過程中(例えば、例A−1〜A−3のエッチング時間が120〜180分の時点付近や、例B−1〜B−3のエッチング時間が60〜120分時点付近等)にエッチングによる加工形状が楔型になっているのが確認された。
・ダイサーハーフカット加工
・ドライエッチング
・ドリル加工
11 改質領域
10 拡散素子
100 照明モジュール
2 非球面レンズ
21 レンズ面
22 凹み部
3 パルスレーザー光
31 対物レンズ
4 実装基板
5 光源
6 枠材
Claims (20)
- ガラス基板に前処理を施す前処理工程と、
前記前処理が施された前記ガラス基板にウェットエッチングを施すエッチング工程とを備え、
前記前処理工程は、パルスレーザー光を前記ガラス基板のある位置に照射して前記ガラス基板内部の一部領域を改質させて、少なくとも前記パルスレーザー光を照射した位置において厚さ方向に密度分布を発生させる工程、または、化学的もしくは物理的な工法を利用して前記ガラス基板の表面に所定の楔形状の凹み部を形成する工程を含む、
非球面レンズの加工方法。 - 前記前処理は、前記ガラス基板の面内の複数の位置において行われる、
請求項1に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記ウェットエッチングは、レジストマスクを用いずに行われる、
請求項1または2に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記パルスレーザー光は、対物レンズを介して前記ガラス基板に照射される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記ガラス基板の前記非球面レンズが加工される側の面を第1面とし、前記第1面と反対側の面を第2面としたとき、
前記パルスレーザー光は、前記ガラス基板の前記第2面側から照射される、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記ガラス基板の前記非球面レンズが加工される側の面を第1面とし、前記第1面を0基準、前記パルスレーザー光の進行方向を+側としたとき、
前記パルスレーザー光が、−0.290〜+0.075mmの範囲内に焦点位置を有する、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記パルスレーザー光は、パルス幅が10ps以下であり、かつパワーが5.0W以上である、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記前処理を行う位置に応じて、前記パルスレーザー光の焦点位置、照射時間およびパワーからなる群から選ばれる少なくとも一つのパラメータを変化させる、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記凹み部の表面形状を、非球面高次係数を全て0にした非球面式でフィッティングしたときのコーニック係数をk’、形成される非球面レンズの非球面形状のコーニック係数をkとしたとき、
k’<kを満たす、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記凹み部は、先端に平坦部を有しないまたは先端の平坦部の幅が2μm以下である、
請求項1〜3、9のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記ガラス基板の表面に対して、サンドブラスト加工、ダイサーハーフカット加工、ドライエッチング、またはドリル加工を施して、前記凹み部を形成する、
請求項1〜3、9、10のいずれか一項に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記サンドブラスト加工における砥粒の大きさが、20μm以下である、
請求項11に記載の非球面レンズの加工方法。 - 前記前処理を行う位置に応じて、前記サンドブラスト加工における砥粒の大きさ、吹き付け時間および吹き付け圧力からなる群から選ばれる少なくとも一つのパラメータを変化させる、
請求項11または12に記載の非球面レンズの加工方法。 - ガラス基板と、
前記ガラス基板の一方表面に直接加工された複数の凹型の非球面レンズとを備え、
前記非球面レンズは前記ガラス基板の表面の少なくとも有効領域において隙間なく配置されており、
前記非球面レンズの最大サイズが250μm以下であり、
平行光をレンズが加工された面から前記有効領域に対して入射したときの出射光束の広がり角である拡散角が全角で30°以上である、
拡散素子。 - 前記非球面レンズのレンズ形状が放物面形状であり、
前記非球面レンズの面精度が0.1μm以下である、
請求項14に記載の拡散素子。 - 前記非球面レンズの最大傾斜角が30°以上である、
請求項14または15に記載の拡散素子。 - 前記非球面レンズの各々は、正面視において同心円状の波紋模様を有する、
請求項14〜16のいずれか一項に記載の拡散素子。 - 光源と、
前記光源を実装する実装基板と、
前記光源の上方に配され、拡散機能を有する窓部材とを備え、
前記窓部材が、請求項14〜17のいずれか一項に記載の拡散素子を有する、
照明モジュール。 - 前記窓部材は、拡散機能を発現する拡散面が下向きに備えられており、
前記光源と前記窓部材の拡散面との距離が0.3mm以下である、
請求項18に記載の照明モジュール。 - 前記光源から放射される光の波長が800〜1000nmである、
請求項18または19に記載の照明モジュール。
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