JP2015534107A - 切頭レンズ、切頭レンズの対、および対応する装置の製造 - Google Patents
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Abstract
Description
「能動光学部品」:光感知部品または発光部品。たとえばフォトダイオード、画像センサ、LED、OLED、レーザチップ。能動光学部品は、ベアダイとして、またはパッケージ内に、すなわちパッケージ化された部品として存在し得る。
「垂直の」:「ウェーハ」参照。
WO2004/068198からは、複製によって光学素子を製造するやり方が公知である。
これらの目的、およびこの発明のさまざまな局面について以下にさらに述べる目的のうちの少なくとも1つは、特許請求項に記載の機器および方法によって少なくとも部分的に達成される。
− たとえば、半導体ウェーハを分離する(ダイシングする)ために使用されるダイシングソーなどのダイシングソーを使用する、ソーイング、
− レーザー切断、
− レーザーアブレーション、
− ウォータージェット切断、
− ミリング、
− 微細機械加工、
− ミクロトーミング、
− ブレードを使用する切断、
− パンチ切断(パンチカッターを使用)、
が適用されてもよい。
微細機械加工およびミリングは、精密で高い(光学)品質の結果と高スループットとを可能にし得る周知の手法である。ウォータージェット切断、レーザーアブレーションおよびレーザー切断、ならびにソーイングにも、同じことが(通常、さらにより高いスループットで)当てはまる。
− 1つの前身光学構造が、材料の前記除去後、結果として生じる1つの構造をもたらし、または、材料の前記除去後、1つの前身光学構造から、結果として生じる単一の構造が残り、その場合、材料の除去は、結果として生じる構造で、単一のまっすぐな縁を生成する;
− 1つの前身光学構造が、材料の前記除去後、結果として生じる2つの構造をもたらし、その場合、材料の除去は2つのまっすぐな縁を生成する。言い換えると、前身光学構造は材料の除去によって分割される。
光学構造を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
a) 多数の前身光学構造が存在する基板を提供するステップと、
b) 前記多数の前身光学構造の各々から材料を除去するステップと、
を含む、方法。
− たとえば、半導体ウェーハを分離する(ダイシングする)ために使用されるダイシングソーなどのダイシングソーを使用する、ソーイング、
− レーザー切断、
− レーザーアブレーション、
− ウォータージェット切断、
− ミリング、
− 微細機械加工、
− ミクロトーミング、
− ブレードを使用する切断、
− パンチ切断(パンチカッターを使用)、
が適用されてもよい。
第1のサブ局面を実現する第1のやり方では、第1の前身ツールおよび第2の前身ツールが製造される。次に、材料が少なくとも第1の前身ツールから、通常第2の前身ツールからも除去され、そのようにして得られた2つのツールは、たとえば、それらを共通のホルダまたは基板に固定することなどにより、それらを互いに対して機械的に固定することによって、求められるツール(再結合ツールまたは「最終」複製ツール)になるように組合わされる。材料が第1および第2の前身ツールから、それらの各々に(外)縁を生成することによって除去された場合、そのようにして得られたツールは特に、それぞれの縁が互いに面するように互いに対して固定可能である。前記生成された縁は、たとえば曲がっていてもよく、またはむしろまっすぐであってもよい。最終的に得られたツールは、2つで一組の受動光学部品(2つのレンズなど)を単一のエンボスステップで生成することを可能にでき、特に、2つの受動光学部品は、特に互いに接近して位置し得る。
− (基板上に)第1の受動光学部品用の複製材料を塗布する;
− 複製材料に第1の回転配向でツールをエンボスする;
− 複製材料を硬化させる;
− ツールを除去する;
− (基板上に)第2の受動光学部品用の複製材料を塗布する;
− 複製材料に(第1の回転配向とは異なる)第2の回転配向でツールをエンボスする;
− 複製材料を硬化させる;
− ツールを除去する。
そのようにして得られたマスターは次に、ツールを製造するために使用可能であり、ツールはさらに、求められる受動光学部品(すなわち最終レプリカ)を直接製造するために、またはむしろ(ツールを複製ツールとして使用することによって)マスターウェーハを製造するために使用可能である。マスターウェーハは、複製ツールを製造するために使用可能であり、次に、多数の受動光学部品を単一のエンボスステップで得るために、複製ツールを使用して、最終的に製造すべき受動光学部品、すなわち最終レプリカを得ることができる。
さらに、特に以下に説明する第1の進め方の場合、前身マスターは、各々1つの受動光学部品の形状を少なくとも部分的に表わす2つ以上の前身サブマスターから構成され、たとえばダイヤモンド旋削を使用して、おそらく次に材料を除去して得られてもよく、サブ前身マスターは、前身マスターを形成するように互いに対して固定される。
少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
A) ツール製造ステップを実行することによって得ることができるツールを使用するステップを含み、前記ツール製造ステップは、
i) 複製表面を有する前身ツールを製造するステップと、
ii) 前記前身ツールから材料を除去することによって前記複製表面を修正するステップと、
を含む、方法。
i1) 第1の複製表面を有する第1の前身ツールを製造するステップと、
i2) 第2の複製表面を有する第2の前身ツールを製造するステップと、
ii1) 前記第1の前身ツールから材料を除去することによって前記第1の複製表面を修正するステップと、およびオプションで、
ii2) 前記第2の前身ツールから材料を除去することによって前記第2の複製表面を修正するステップと、
を含む、上述の方法。
i1) 第1の複製表面を有する第1の前身ツールを製造するステップと、
i2) 第2の複製表面を有する第2の前身ツールを製造するステップと、
ii1) 前記第1の前身ツールから材料を除去することによって前記第1の複製表面を修正するステップと、およびオプションで、
ii2) 前記第2の前身ツールから材料を除去することによって前記第2の複製表面を修正するステップと、
を含む、上述の方法のうちの一方または双方。
r0) 基板を提供するステップと、
r11) 前記基板および前記ツールを、それらの間に複製材料の第1の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
r12) 複製材料の前記第1の部分を硬化させるステップと、
r13) 前記基板および前記ツールを互いから離れるように動かすステップと、
を実行することを含み、複製材料の前記硬化された第1の部分は前記基板の第1の位置にとどまり、ステップA)はさらに、
r21) 前記基板および前記ツールを、それらの間に複製材料の第2の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
r22) 複製材料の前記第2の部分を硬化させるステップと、
r23) 前記基板および前記ツールを互いから離れるように動かすステップと、
を実行することを含み、複製材料の前記硬化された第2の部分は前記基板の第2の位置にとどまり、前記第1の位置は前記第2の位置とは異なる、第2の局面について最初に引用された上述の2つの方法のうちの一方または双方。
− 1つ以上のマスターを提供するステップと、
− 前記1つ以上のマスターを使用して、複製を使用して前記前身ツールを製造するステップとを含み、
特に、
− 前記前身ツールは、少なくともそれがその複製表面を形成するところで、複製材料で作られていること、
− 前記前身ツールは、少なくともそれがその複製表面を形成するところで、連続部分、特に一体型部分を形成すること、
− 前身ツールの複製表面は、前記一組の前記受動光学部品のうちの第1の受動光学部品の少なくとも一部および第2の受動光学部品の少なくとも一部のネガを表わす形状を有すること、
のうちの少なくとも1つである、第2の局面について最初に引用された上述の2つの方法のうちの一方または双方。
− 基板を提供するステップと、
− そのような一組の前記M個の光学構造のうちの第1の光学構造を複製によって製造するためのツールを提供するステップと、
− 前記基板上に、N個の前記第1の光学構造を、前記ツールを使用した複製によって製造するステップと、それに続き、
− 前記基板上に、N個の前記第2の光学構造を、前記ツールまたは異なるツールを使用した複製によって製造するステップとを含み、
特に、前記複数組の各々について、前記第1および第2の光学構造は部分的に一致しているかまたは重複している、方法。
B) マスター製造ステップを実行することによって得ることができるマスターを使用するステップを含み、前記マスター製造ステップは、
j) 複製表面を有する前身マスターを提供し、特に製造するステップと、
jj) 前記前身マスターに材料を追加することによって前記複製表面を修正するステップとを含む、方法。
− 前記複製表面は、前記縁面を表わさない形状を有すること、
− 前記マスターは、複製表面の前記第1の部分に隣接して、複製表面の前記第1の部分から突出する突出部分を含むこと、
のうちの少なくとも1つであり、
特に、前記前身受動光学部品は、少なくとも鏡面対称の形状(特に、少なくとも二重鏡面対称の形状)、より特定的には回転対称の形状を有する、マスター。
C) 複製表面を含むマスターを使用するステップを含み、複製表面は、前記受動光学部品の各々について、それぞれの受動光学部品の少なくとも一部の形状に対応する形状を表わす第1の部分を含み、前記マスターは、加えて、前記複製表面の前記第1の部分のうちの少なくとも1つから突出する少なくとも1つの突出部分を含む、方法。
D) ツール製造ステップを実行することによって得られるツールを使用するステップを含み、前記ツール製造ステップは、
D1) 基板を提供するステップと、
D2) 各々複製表面を有する1つ以上のマスターを提供するステップと、
D31) 前記基板、および前記1つ以上のマスターのうちの第1のマスターを、それらの間に複製材料の第1の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
D32) 複製材料の前記第1の部分を硬化させるステップと、
D33) 前記基板および前記第1のマスターを互いから離れるように動かすステップと、
を含み、複製材料の前記硬化された第1の部分は前記基板の第1の位置にとどまり、前記ツール製造ステップはさらに、
D41) 前記基板、および前記第1のマスターと同一のまたは異なる前記1つ以上のマスターのうちの第2のマスターを、それらの間に複製材料の第2の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
D42) 複製材料の前記第2の部分を硬化させるステップと、
D43) 前記基板および前記第2のマスターを互いから離れるように動かすステップと、
を含み、複製材料の前記硬化された第2の部分は前記基板の第2の位置にとどまり、前記第2の位置は前記第1の位置とは異なる、方法。
M≧2個で一組の光学構造を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
E) M個で一組の前身光学構造が存在する基板を提供するステップと、
F) 前記前身光学構造が前記基板上に存在する間、前記前身光学構造のうちの少なくとも第1の前身光学構造から材料を除去するステップとを含み、
ステップF)により、前記基板は別々の部分に分割されない、方法。
および、前記M個の前身光学構造のうちの前記第1の前身光学構造は、前身受動光学部品と、加えて、前記前身受動光学部品を少なくとも部分的に包囲する包囲部分とを含む、上述の方法の一方または双方。
以下に、この発明を、例および含まれる図面によってより詳細に説明する。図は、以下の事項を概略的に示す。
発明の詳細な説明
図1は、主として使用される用語を明確にするための、複製によって光学構造を製造するやり方の非常に概略的な図である。部分画像は垂直断面である。座標x、y、zが図のいずれにも示されている場合、xおよびyは横方向を表わし、一方、zは垂直方向を表わす。図1に示す形状は非常に模式化されており、また、以下にさらに述べる複製プロセスのために、特定の形状および詳細が必要とされるかもしれないが、それらは図1には描かれていない。
− 多数の基板部材Pを含む基板ウェーハと、
− 多数のスペーサ部材60を含むスペーサウェーハと、
− 多数の光学部材Oを含む光学ウェーハと、
− 多数のバッフル部材Bを含むバッフルウェーハと
を含むウェーハスタックに、ダイシングが適用される。
Claims (86)
- 少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
A) ツール製造ステップを実行することによって得ることができるツールを使用するステップを含み、前記ツール製造ステップは、
i) 複製表面を有する前身ツールを製造するステップと、
ii) 前記前身ツールから材料を除去することによって前記複製表面を修正するステップと、
を含む、方法。 - 前記前身ツールの前記複製表面は、前身受動光学部品と呼ばれる受動光学部品を複製によって製造するのに好適に形作られており、前記前身受動光学部品を切頭することによって、前記前身受動光学部品から、前記組の受動光学部品のうちの受動光学部品を得ることができる、請求項1に記載の方法。
- 前記ツールは、前記ツール製造ステップを実行することによって得られる、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 前記ツール製造ステップを実行することを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- ステップA)は、
a1) 前記ツールを使用してマスターウェーハを製造するステップと、
a2) 前記マスターウェーハを使用して複製ツールを製造するステップと、
a3) 前記複製ツールを使用して、各々少なくとも2つで一組の受動光学部品を多数組製造するステップと、
を含み、前記多数組は、前述の少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。 - 前記前身ツールの前記複製表面は回転対称であり、ステップii)で、前記複製表面は、得られた複製表面が回転対称でないように修正される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記一組の前記受動光学部品のうちの少なくとも1つ、特にそれらの各々は、切頭レンズである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記装置は一組の光学構造を含み、それらは各々、主要部分と、それぞれの主要部分を少なくとも部分的に包囲する包囲部分とを含み、前記主要部分の各々は、前記一組の受動光学部品のうちの前記受動光学部品の1つと同一であり、特に、前記光学構造の各々は一体型部分を形成する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記光学構造のうちの少なくとも2つにおける包囲部分は、重複しているかまたは部分的に一致している、請求項8に記載の方法。
- ステップA)は、提示された順に、
r0) 基板を提供するステップと、
r11) 前記基板および前記ツールを、それらの間に複製材料の第1の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
r12) 複製材料の前記第1の部分を硬化させるステップと、
r13) 前記基板および前記ツールを互いから離れるように動かすステップと、
を実行することを含み、複製材料の前記硬化された第1の部分は前記基板の第1の位置にとどまり、ステップA)はさらに、
r21) 前記基板および前記ツールを、それらの間に複製材料の第2の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
r22) 複製材料の前記第2の部分を硬化させるステップと、
r23) 前記基板および前記ツールを互いから離れるように動かすステップと、
を実行することを含み、複製材料の前記硬化された第2の部分は前記基板の第2の位置にとどまり、前記第1の位置は前記第2の位置とは異なる、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。 - 複製材料の前記硬化された第1および第2の部分は互いに隣接しており、特に、複製材料の前記硬化された第1および第2の部分は、互いに直接、物理的に接触している、請求項10に記載の方法。
- 複製材料の前記硬化された第1の部分は、前記一組の受動光学部品のうちの第1の受動光学部品を含み、複製材料の前記硬化された第2の部分は、前記一組の受動光学部品のうちの第2の受動光学部品を含む、請求項10または請求項11に記載の方法。
- ステップr11)〜r23)は、複数回、毎回前記基板の異なる領域で実行され、特に、それに続き、前記基板と多数のレプリカとを含む、そのようにして得られたウェーハが、複製を使用して複製ウェーハを製造するために使用され、それに続き、前記複製ウェーハが、複製を使用して複数の前記組の受動光学部品を製造するために使用される、請求項10〜12のいずれか1項に記載の方法。
- ステップr11)〜r13)が、前記基板の前記複数の異なる領域で実行され、それに続き、ステップr21)〜r23)が、前記基板の前記複数の異なる領域で実行される、請求項13に記載の方法。
- 一連のステップr11)〜r23)が、前記基板の前記複数の異なる領域で続いて実行される、請求項13に記載の方法。
- 前記ツール製造ステップは、
i1) 第1の複製表面を有する第1の前身ツールを製造するステップと、
i2) 第2の複製表面を有する第2の前身ツールを製造するステップと、
ii1) 前記第1の前身ツールから材料を除去することによって前記第1の複製表面を修正するステップと、
ii2) 前記第2の前身ツールから材料を除去することによって前記第2の複製表面を修正するステップと、
を含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。 - 前記ツールは、そのようにして得られた修正された第1および第2の前身ツールを含み、特に、前記ツールは、互いに対して固定された、そのようにして得られた修正された第1および第2の前身ツールを含む、請求項16に記載の方法。
- 前記ツール製造ステップは、
− 1つ以上のマスターを提供するステップと、
− 前記1つ以上のマスターを使用して、複製を使用して前記前身ツールを製造するステップとを含み、
特に、
− 前記前身ツールは、少なくともそれがその複製表面を形成するところで、複製材料で作られていること、
− 前記前身ツールは、少なくともそれがその複製表面を形成するところで、連続部分、特に一体型部分を形成すること、
− 前身ツールの複製表面は、前記一組の前記受動光学部品のうちの第1の受動光学部品の少なくとも一部および第2の受動光学部品の少なくとも一部のネガを表わす形状を有すること、
のうちの少なくとも1つである、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。 - 前記1つ以上のマスターの少なくとも1つ、特に各々は、少なくともそれがその複製表面を形成する領域で回転対称である、請求項18に記載の方法。
- 前記装置は、
− 受動光学部品、
− レンズ、
− 光学モジュール、
− マルチチャネル光学モジュール、
− 光電子モジュール、
− マルチチャネル光電子モジュール、
− 光学装置、
− マルチチャネル光学装置、
− ウェーハ、
− ウェーハスタック、
− 写真装置、
− 通信装置、
− スマートフォン、
− センサ、
− 近接センサ、
− 周辺光センサ、
のうちの少なくとも1つである、請求項1〜19のいずれか1項に記載の方法。 - 切頭受動光学部品を複製によって製造するためのツールであって、前記切頭光学部品の各々は、縁と前記縁に隣接する縁面とを生成する切頭により、前身受動光学部品から得ることができる形状を有する受動光学部品であり、前記ツールは複製表面を含み、前記複製表面は、前記縁面を表わさない形状を有する、ツール。
- 前記複製表面に隣接して、流れ止め表面と呼ばれる表面を含み、前記流れ止め表面および前記複製表面は、少なくとも200°、特に少なくとも225°、より特定的には少なくとも260°の角度を形成する、請求項21に記載のツール。
- 前記流れ止め表面および前記複製表面は、前述の縁を形成すべき位置に縁を形成する、請求項22に記載のツール。
- 前記ツールは、各々少なくとも2つで一組の切頭受動光学部品を複数組、複製によって製造するためのツールであり、前記複数組の各々は、第1および第2の隣り合う切頭受動光学部品を含み、前記ツールは、前記複数組の各々における切頭受動光学部品ごとに、
− 複製表面を含み、前記複製表面は、前記縁面を表わさない形状を有しており、前記ツールはさらに、それぞれの複製表面に隣接して、
− 流れ止め表面と呼ばれる表面を含み、
複数組の各々について、第1の切頭受動光学部品の複製表面とそれぞれの隣接する流れ止め表面とによって形成される縁が、第2の切頭受動光学部品の複製表面とそれぞれの隣接する流れ止め表面とによって形成される縁に最接近している場合、前記第1の切頭受動光学部品の複製表面は、前記第2の切頭受動光学部品の複製表面に最接近している、請求項21〜23のいずれか1項に記載のツール。 - 各々M≧2個で一組の光学構造をN≧1組、複製によって製造するための方法であって、前記方法は、
− 基板を提供するステップと、
− そのような一組の前記M個の光学構造のうちの第1の光学構造を複製によって製造するためのツールを提供するステップと、
− 前記基板上に、N個の前記第1の光学構造を、前記ツールを使用した複製によって製造するステップと、それに続き、
− 前記基板上に、N個の前記第2の光学構造を、前記ツールまたは異なるツールを使用した複製によって製造するステップとを含む、方法。 - 光学構造を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
a) 多数の前身光学構造が存在する基板を提供するステップと、
b) 前記多数の前身光学構造の各々から材料を除去するステップとを含む、方法。 - 前記光学構造は、ステップb)で得られた構造のうちの1つ以上と同一であり、または、それから得られる、請求項26に記載の方法。
- 前記光学構造は、受動光学部品、特に切頭受動光学部品を含む、請求項26または27に記載の方法。
- 前記光学構造は、レンズ、特に切頭レンズを含む、請求項26〜28のいずれか1項に記載の方法。
- ステップb)で、前記多数の前身光学構造の各々における口径は減少され、より特定的には、前記前身光学構造の各々は、受動光学部品を含み、ステップb)で、前記多数の受動光学部品の各々における口径は減少される、請求項26〜29のいずれか1項に記載の方法。
- ステップb)で、前記基板に開口部が生成され、特にステップb)で、前記基板は別々の部分に分割される、請求項26〜30のいずれか1項に記載の方法。
- ステップb)は、前記多数の前身光学構造を、複製を使用して、特にエンボスを使用して製造するステップを含む、請求項26〜31のいずれか1項に記載の方法。
- ステップb)は、
− ソーイング、特にダイシングソーを使用するソーイング、
− レーザー切断、
− レーザーアブレーション、
− ウォータージェット切断、
− ミリング、
− 微細機械加工、
− ミクロトーミング、
− ブレードを使用する切断、
− パンチ切断、
のうちの少なくとも1つを使用して実行される、請求項26〜32のいずれか1項に記載の方法。 - ステップb)は、前記光学構造の少なくとも実質的に平面の縁、特に少なくとも実質的に平面の外縁を生成することを含む、請求項26〜33のいずれか1項に記載の方法。
- ステップb)は、複数の前記多数の前身光学構造から材料が除去される線に沿って、処理ステップを実行することを含み、特に、前記線は直線である、請求項26〜34のいずれか1項に記載の方法。
- ステップb)は、前記光学構造の内縁を生成することを含み、特に前記縁は楕円の線を表わす、請求項26〜35のいずれか1項に記載の方法。
- 前記多数の前身光学構造の各々は、主要部分と、加えて、前記主要部分を少なくとも部分的に包囲する包囲部分とを含み、特に、前記主要部分は、受動光学部品、より特定的にはレンズを形成する、請求項26〜36のいずれか1項に記載の方法。
- 前記光学構造は、前記基板の一部を含む、請求項26〜37のいずれか1項に記載の方法。
- 前記装置は、
− 受動光学部品、
− レンズ、
− 光学モジュール、
− マルチチャネル光学モジュール、
− 光電子モジュール、
− マルチチャネル光電子モジュール、
− 光学装置、
− マルチチャネル光学装置、
− ウェーハ、
− ウェーハスタック、
− 写真装置、
− 通信装置、
− スマートフォン、
− センサ、
− 近接センサ、
− 周辺光センサ、
のうちの少なくとも1つである、請求項26〜38のいずれか1項に記載の方法。 - 基板と前記基板上に存在する受動光学部品とを含む装置であって、前記受動光学部品は開口部を含む、装置。
- 前記受動光学部品は、光軸を有するレンズであり、前記光軸は前記開口部を貫通する、請求項40に記載の装置。
- M≧2個で一組の光学構造を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
E) M個で一組の前身光学構造が存在する基板を提供するステップと、
F) 前記前身光学構造が前記基板上に存在する間、前記前身光学構造のうちの少なくとも第1の前身光学構造から材料を除去するステップとを含み、
ステップF)により、前記基板は別々の部分に分割されない、方法。 - ステップF)により、前記基板に開口部が生成されない、請求項42に記載の方法。
- ステップF)は線に沿って実行される、請求項42または請求項43に記載の方法。
- ステップF)の間、材料は、前記M個の前身光学構造のうちの少なくとも2つの隣接する前身光学構造から除去される、請求項42〜44のいずれか1項に記載の方法。
- ステップF)に従って材料を除去することによって得られた前記前身光学構造のうちの前記第1の前身光学構造は、前記一組の前記光学構造のうちの1つである、請求項42〜45のいずれか1項に記載の方法。
- ステップE)で提供された前記基板上に、各々M個で一組の光学構造が多数のN組存在している、請求項42〜46のいずれか1項に記載の方法。
- 前記M個の前身光学構造のうちの前記第1の前身光学構造は、前身受動光学部品と、加えて、前記前身受動光学部品を少なくとも部分的に包囲する包囲部分とを含む、請求項42〜47のいずれか1項に記載の方法。
- ステップF)で、前記包囲部分の材料が除去される、請求項48に記載の方法。
- ステップF)で、前記前身受動光学部品の材料は除去されず、前記前身受動光学部品は、前記一組の前記光学構造のうちの第1の光学構造に含まれる受動光学部品と同一である、請求項48または請求項49に記載の方法。
- ステップF)は、ソーイングおよびレーザーアブレーションのうちの少なくとも1つを使用して実行される、請求項42〜50のいずれか1項に記載の方法。
- 前記光学構造のうちの少なくとも1つは切頭レンズであり、または、前記前身光学構造のうちの少なくとも1つは切頭レンズである、請求項42〜51のいずれか1項に記載の方法。
- 前記装置は、
− 受動光学部品、
− レンズ、
− 光学モジュール、
− マルチチャネル光学モジュール、
− 光電子モジュール、
− マルチチャネル光電子モジュール、
− 光学装置、
− マルチチャネル光学装置、
− ウェーハ、
− ウェーハスタック、
− 写真装置、
− 通信装置、
− スマートフォン、
− センサ、
− 近接センサ、
− 周辺光センサ、
のうちの少なくとも1つである、請求項42〜52のいずれか1項に記載の方法。 - 少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
B) マスター製造ステップを実行することによって得ることができるマスターを使用するステップを含み、前記マスター製造ステップは、
j) 複製表面を有する前身マスターを提供し、特に製造するステップと、
jj) 前記前身マスターに材料を追加することによって前記複製表面を修正するステップとを含む、方法。 - 前記マスターは、前記マスター製造ステップを実行することによって得られる、請求項54に記載の方法。
- 前記マスター製造ステップを実行することを含む、請求項54または請求項55に記載の方法。
- ステップB)は、
b1) 前記マスターを使用してツールを製造するステップと、
b2) 前記ツールを使用して、前記少なくとも2つで一組の受動光学部品を製造するステップとを含む、請求項54〜56のいずれか1項に記載の方法。 - ステップb2)は、
b21) 前記ツールを使用してマスターウェーハを製造するステップと、
b22) 前記マスターウェーハを使用して複製ツールを製造するステップと、
b23) 前記複製ツールを使用して、各々少なくとも2つで一組の受動光学部品を多数組製造するステップと、
を含み、前記多数組は、前述の少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む、請求項57に記載の方法。 - − 前記前身マスターの製造は、ダイヤモンド旋削、レーザーアブレーション、微細機械加工、ミリングのうちの少なくとも1つを使用して実行されること、
− 前記前身マスターは、少なくともそれがその複製表面を形成するところで回転対称であること、
のうちの少なくとも1つである、請求項54〜58のいずれか1項に記載の方法。 - ステップj)は、
j1) 各々複製表面を有する少なくとも2つの前身サブマスターを提供し、特に製造するステップと、
j2) 前記少なくとも2つの前身サブマスターを互いに対して固定するステップと、
によって置換えられる、請求項54〜59のいずれか1項に記載の方法。 - 前記前身サブマスターの前記複製表面の各々は、前記一組の受動光学部品における前記受動光学部品のうちの1つの受動光学部品のネガを、少なくとも部分的に表わし、特に、前記前身サブマスターの各々は、少なくともそれがそのそれぞれの複製表面を形成するところで回転対称である、請求項60に記載の方法。
- 前記装置は、
− 受動光学部品、
− レンズ、
− 光学モジュール、
− マルチチャネル光学モジュール、
− 光電子モジュール、
− マルチチャネル光電子モジュール、
− 光学装置、
− マルチチャネル光学装置、
− ウェーハ、
− ウェーハスタック、
− 写真装置、
− 通信装置、
− スマートフォン、
− センサ、
− 近接センサ、
− 周辺光センサ、
のうちの少なくとも1つである、請求項54〜61のいずれか1項に記載の方法。 - 前記一組の前記受動光学部品のうちの少なくとも1つ、特にそれらの各々は、切頭レンズである、請求項54〜62のいずれか1項に記載の方法。
- 前記装置は一組の光学構造を含み、それらは各々、主要部分と、それぞれの主要部分を少なくとも部分的に包囲する包囲部分とを含み、前記主要部分の各々は、前記一組の受動光学部品のうちの前記受動光学部品の1つと同一であり、特に、前記光学構造の各々は一体型部分を形成する、請求項54〜63のいずれか1項に記載の方法。
- 一組の前記光学構造のうちの少なくとも2つにおける包囲部分は、重複しているかまたは部分的に一致している、請求項64に記載の方法。
- 前記複製表面は、
− 前記一組の受動光学部品のうちの1つのみの前記受動光学部品の表面、または
− 前記一組の受動光学部品のうちの各前記受動光学部品の表面、
を少なくとも部分的に表わす、請求項54〜65のいずれか1項に記載の方法。 - 切頭受動光学部品を複製によって製造するためのマスターであって、前記切頭光学部品の各々は、縁と前記縁に隣接する縁面とを生成する切頭により、前身受動光学部品から得ることができる形状を有する受動光学部品であり、前記マスターは複製表面を含み、前記複製表面は、前記縁面を含まない前記切頭受動光学部品の一部の形状に対応する形状を表わす第1の部分を含み、
− 前記複製表面は、前記縁面を表わさない形状を有すること、
− 前記マスターは、複製表面の前記第1の部分に隣接して、複製表面の前記第1の部分から突出する突出部分を含むこと、
のうちの少なくとも1つであり、
特に、前記前身受動光学部品は、少なくとも鏡面対称の形状、より特定的には回転対称の形状を有する、マスター。 - 複製表面の前記第1の部分に隣接して、突出表面と呼ばれる表面を含み、前記突出表面および前記複製表面は、最大で160°、特に最大で135°、より特定的には最大で100°の角度を形成し、特に、前記突出表面は前記突出部分によって形成される、請求項67に記載のマスター。
- 前記突出表面および複製表面の前記第1の部分は、前述の縁を形成すべき位置に縁を形成する、請求項68に記載のマスター。
- 前記マスターは、各々少なくとも2つで一組の受動光学部品を複数組、複製によって製造するためのマスターであり、前記複数組の各々は、第1および第2の隣り合う切頭受動光学部品を含み、
− 前記突出部分は、前記第1の切頭受動光学部品の複製表面の第1の部分と、前記第2の切頭受動光学部品の複製表面の第1の部分との間に配置されること、または
− 前記第1の切頭受動光学部品の複製表面の前記第1の部分は、前記第2の切頭受動光学部品の複製表面の前記第1の部分から、前記突出部分によって分離されること、
のうちの少なくとも1つである、請求項67〜69のいずれか1項に記載のマスター。 - 少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
C) 複製表面を含むマスターを使用するステップを含み、複製表面は、前記受動光学部品の各々について、それぞれの受動光学部品の少なくとも一部の形状に対応する形状を表わす第1の部分を含み、前記マスターは、加えて、前記複製表面の前記第1の部分のうちの少なくとも1つから突出する少なくとも1つの突出部分を含む、方法。 - 前記マスターは、少なくともそれがその複製表面および前記突出部分を形成するところで、一体型部分を形成する、請求項71に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの突出部分は、前記複製表面の前記第1の部分の各々を少なくとも部分的に包囲する、請求項71または請求項72に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの突出部分は、隣り合う第1の部分間の領域において、隣り合う第1の部分間よりも第1の部分同士が離れている領域よりも、前記複製表面からさらに突出している、請求項71〜73のいずれか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの突出部分は、1つの連続する突出部分であり、前記第1の部分の各々は前記突出部分によって包囲されている、請求項71〜74のいずれか1項に記載の方法。
- 前記装置は、
− 受動光学部品、
− レンズ、
− 光学モジュール、
− マルチチャネル光学モジュール、
− 光電子モジュール、
− マルチチャネル光電子モジュール、
− 光学装置、
− マルチチャネル光学装置、
− ウェーハ、
− ウェーハスタック、
− 写真装置、
− 通信装置、
− スマートフォン、
− センサ、
− 近接センサ、
− 周辺光センサ、
のうちの少なくとも1つである、請求項71〜75のいずれか1項に記載の方法。 - 少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む装置を、複製を使用して製造するためのマスターであって、前記マスターは複製表面を含み、複製表面は、前記受動光学部品の各々について、それぞれの受動光学部品の少なくとも一部の形状に対応する形状を表わす第1の部分を含み、前記マスターは、加えて、前記複製表面の前記第1の部分のうちの少なくとも1つから突出する少なくとも1つの突出部分を含む、マスター。
- 前記マスターは、少なくともそれがその複製表面および前記突出部分を形成するところで、一体型部分を形成する、請求項77に記載のマスター。
- 前記装置は、
− 受動光学部品、
− レンズ、
− 光学モジュール、
− マルチチャネル光学モジュール、
− 光電子モジュール、
− マルチチャネル光電子モジュール、
− 光学装置、
− マルチチャネル光学装置、
− ウェーハ、
− ウェーハスタック、
− 写真装置、
− 通信装置、
− スマートフォン、
− センサ、
− 近接センサ、
− 周辺光センサ、
のうちの少なくとも1つである、請求項77または請求項78に記載のマスター。 - 少なくとも2つで一組の受動光学部品を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
D) ツール製造ステップを実行することによって得られるツールを使用するステップを含み、前記ツール製造ステップは、
D1) 基板を提供するステップと、
D2) 各々複製表面を有する1つ以上のマスターを提供するステップと、
D31) 前記基板、および前記1つ以上のマスターのうちの第1のマスターを、それらの間に複製材料の第1の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
D32) 複製材料の前記第1の部分を硬化させるステップと、
D33) 前記基板および前記第1のマスターを互いから離れるように動かすステップと、
を含み、複製材料の前記硬化された第1の部分は前記基板の第1の位置にとどまり、前記ツール製造ステップはさらに、
D41) 前記基板、および前記第1のマスターと同一のまたは異なる前記1つ以上のマスターのうちの第2のマスターを、それらの間に複製材料の第2の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
D42) 複製材料の前記第2の部分を硬化させるステップと、
D43) 前記基板および前記第2のマスターを互いから離れるように動かすステップと、
を含み、複製材料の前記硬化された第2の部分は前記基板の第2の位置にとどまり、前記第2の位置は前記第1の位置とは異なる、方法。 - 前記1つ以上のマスターの前記複製表面は、前記一組の前記受動光学部品のうちの少なくとも1つ、特にまさしく1つについて、それぞれの受動光学部品の表面、および受動光学部品の表面を、それぞれ少なくとも部分的に表わす、請求項80に記載の方法。
- 複製材料の前記硬化された第1および第2の部分は互いに隣接しており、特に、複製材料の前記硬化された第1および第2の部分は、互いに直接、物理的に接触している、請求項80または請求項81に記載の方法。
- 前記ツール製造ステップを実行することを含む、請求項80〜82のいずれか1項に記載の方法。
- ステップD2)で、まさしく1つのマスターが提供され、前記1つのマスターは、ステップD31)およびD32)の最中、それがステップD41)およびD42)の最中に位置付けられる回転配向とは異なる回転配向に位置付けられる、請求項80〜83のいずれか1項に記載の方法。
- 複製材料の前記硬化された第1および第2の部分は、一組の受動光学部品の形状と、それぞれの受動光学部品を少なくとも部分的に包囲する包囲部分の形状とを含む形状を表わす、請求項80〜84のいずれか1項に記載の方法。
- 前記装置は、
− 受動光学部品、
− レンズ、
− 光学モジュール、
− マルチチャネル光学モジュール、
− 光電子モジュール、
− マルチチャネル光電子モジュール、
− 光学装置、
− マルチチャネル光学装置、
− ウェーハ、
− ウェーハスタック、
− 写真装置、
− 通信装置、
− スマートフォン、
− センサ、
− 近接センサ、
− 周辺光センサ、
のうちの少なくとも1つである、請求項80〜85のいずれか1項に記載の方法。
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