JP2015534107A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 少なくとも２つで一組の受動光学部品を含む装置を製造するための方法であって、前記方法は、
   Ａ） ツール製造ステップを実行することによって得ることができるツールを使用するステップを含み、前記ツール製造ステップは、
   ｉ） 複製表面を有する前身ツールを製造するステップと、
   ｉｉ） 前記前身ツールから材料を除去することによって前記複製表面を修正するステップと、
   を含み、
   前記前身ツールの前記複製表面の少なくとも１つは回転対称であり、ステップｉｉ）で、前記複製表面は、得られた複製表面が回転対称でないように修正され、
   前記一組の前記受動光学部品のうちの少なくとも１つは、切頭レンズである、方法。
2. 前記前身ツールの前記複製表面は、前身受動光学部品と呼ばれる受動光学部品を複製によって製造するのに好適に形作られており、前記前身受動光学部品を切頭することによって、前記前身受動光学部品から、前記組の受動光学部品のうちの受動光学部品を得ることができる、請求項１に記載の方法。
3. 前記ツールは、前記ツール製造ステップを実行することによって得られる、請求項１または請求項２に記載の方法。
4. 前記ツール製造ステップを実行することを含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
5. ステップＡ）は、
   ａ１） 前記ツールを使用してマスターウェーハを製造するステップと、
   ａ２） 前記マスターウェーハを使用して複製ツールを製造するステップと、
   ａ３） 前記複製ツールを使用して、各々少なくとも２つで一組の受動光学部品を多数組製造するステップと、
   を含み、前記多数組は、前述の少なくとも２つで一組の受動光学部品を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
6. 前記装置は一組の光学構造を含み、それらは各々、主要部分と、それぞれの主要部分を少なくとも部分的に包囲する包囲部分とを含み、前記主要部分の各々は、前記一組の受動光学部品のうちの前記受動光学部品の１つと同一である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
7. 前記光学構造の各々は一体型部分を形成する、請求項６に記載の方法。
8. 前記光学構造のうちの少なくとも２つにおける包囲部分は、重複しているかまたは部分的に一致している、請求項６または７に記載の方法。
9. ステップＡ）は、提示された順に、
   ｒ０） 基板を提供するステップと、
   ｒ１１） 前記基板および前記ツールを、それらの間に複製材料の第１の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
   ｒ１２） 複製材料の前記第１の部分を硬化させるステップと、
   ｒ１３） 前記基板および前記ツールを互いから離れるように動かすステップと、
   を実行することを含み、複製材料の前記硬化された第１の部分は前記基板の第１の位置にとどまり、ステップＡ）はさらに、
   ｒ２１） 前記基板および前記ツールを、それらの間に複製材料の第２の部分を有する状態で、互いに向けて動かすステップと、
   ｒ２２） 複製材料の前記第２の部分を硬化させるステップと、
   ｒ２３） 前記基板および前記ツールを互いから離れるように動かすステップと、
   を実行することを含み、複製材料の前記硬化された第２の部分は前記基板の第２の位置にとどまり、前記第１の位置は前記第２の位置とは異なる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
10. 複製材料の前記硬化された第１および第２の部分は互いに隣接している、請求項９に記載の方法。
11. 複製材料の前記硬化された第１の部分は、前記一組の受動光学部品のうちの第１の受動光学部品を含み、複製材料の前記硬化された第２の部分は、前記一組の受動光学部品のうちの第２の受動光学部品を含む、請求項９または１０に記載の方法。
12. ステップｒ１１）〜ｒ２３）は、複数回、毎回前記基板の異なる領域で実行される、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の方法。
13. ステップｒ１１）〜ｒ２３）は、複数回、毎回前記基板の異なる領域で実行され、それに続き、前記基板と多数のレプリカとを含む、そのようにして得られたウェーハが、複製を使用して複製ウェーハを製造するために使用され、それに続き、前記複製ウェーハが、複製を使用して複数の前記組の受動光学部品を製造するために使用される、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の方法。
14. ステップｒ１１）〜ｒ１３）のうち少なくとも１つが、前記基板の前記複数の異なる領域で実行され、それに続き、ステップｒ２１）〜ｒ２３）が、前記基板の前記複数の異なる領域で実行され、
    一連のステップｒ１１）〜ｒ２３）が、前記基板の前記複数の異なる領域で続いて実行される、請求項１２または１３に記載の方法。
15. 前記ツール製造ステップは、
    ｉ１） 第１の複製表面を有する第１の前身ツールを製造するステップと、
    ｉ２） 第２の複製表面を有する第２の前身ツールを製造するステップと、
    ｉｉ１） 前記第１の前身ツールから材料を除去することによって前記第１の複製表面を修正するステップと、
    ｉｉ２） 前記第２の前身ツールから材料を除去することによって前記第２の複製表面を修正するステップと、
    を含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
16. 前記ツールは、互いに対して固定された、そのようにして得られた修正された第１および第２の前身ツールを含む、請求項１５に記載の方法。
17. 前記ツール製造ステップは、
    − １つ以上のマスターを提供するステップと、
    − 前記１つ以上のマスターを使用して、複製を使用して前記前身ツールを製造するステップとを含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
18. − 前記前身ツールは、少なくともそれがその複製表面を形成するところで、複製材料で作られていること、
    − 前記前身ツールは、少なくともそれがその複製表面を形成するところで、連続部分を形成すること、
    − 前身ツールの複製表面は、前記一組の前記受動光学部品のうちの第１の受動光学部品の少なくとも一部および第２の受動光学部品の少なくとも一部のネガを表わす形状を有すること、
    のうちの少なくとも１つである、請求項１７に記載の方法。
19. 前記１つ以上のマスターの少なくとも１つは、少なくともそれがその複製表面を形成する領域で回転対称である、請求項１７または１８に記載の方法。
20. 前記装置は、
    − 受動光学部品、
    − レンズ、
    − 光学モジュール、
    − マルチチャネル光学モジュール、
    − 光電子モジュール、
    − マルチチャネル光電子モジュール、
    − 光学装置、
    − マルチチャネル光学装置、
    − ウェーハ、
    − ウェーハスタック、
    − 写真装置、
    − 通信装置、
    − スマートフォン、
    − センサ、
    − 近接センサ、
    − 周辺光センサ、
    のうちの少なくとも１つである、請求項１〜１９のいずれか１項に記載の方法。