JPWO2019176624A1 - ガス分析方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
フーリエ変換赤外分光計はInGaAs検出素子を有する検出器及び光路長0.01m〜2mのシングルパスガスセルを備えており、
セル窓は耐腐食性材料により構成されており、
測定領域は波数3800〜14300cm−1にあり、
所定の波数の光による前記試料における吸収量と予め設定した検量線とから、フッ素系ガス濃度を定量する、ガス分析方法に係る。
フーリエ変換赤外分光光度計は、光源、ビームスプリッター、固定ミラー、可動ミラー、測定セル、検出器および情報処理装置から構成されており、
前記検出器はInGaAs検出素子を有する検出器が備えられており、
前記測定セルは試料ガスの導入口、排出口が設けられると共に、光路長0.01m〜2mのシングルパスガスセルを備えており、
前記測定セルにおけるセル窓は耐腐食性材料により構成されており、
前記光源より発した光は、波数3800〜14300cm−1の範囲で制御されて試料に照射されるように、ビームスプリッター、固定ミラーおよび可動ミラーからなる干渉機構を備えており、
所定の波数の光による前記試料における吸収量と予め設定した検量線とから、フッ素系ガス濃度を定量する情報処理装置を備える、ガス分析装置に係る。
本発明によれば、前処理が不要で、高感度でかつ腐食性ガスの影響を受けにくい、フッ素系ガスの分析装置を提供することができる。
図1に示す構成のフーリエ変換赤外分光光度計であって、検出器はInGaAs検出素子を有する検出器を使用した。ガスセルは反射鏡がないシングルパスの0.10m(10cm)の長さの短光路ガスセルを用いて測定した。
検出器を実施例1のInGaAs検出素子を有する検出器から、MCT検出素子及びTGS検出素子を有する検出器へと変更して、実施例1と同様にフッ化水素標準ガスを測定した。
実施例1及び比較例1で得られたフッ化水素標準ガスのフッ化水素スペクトルから4075cm−1に現れるフッ化水素のピークと4075cm−1のフッ化水素のピークの左右に最隣接するノイズの平均の比(以下、「S/N比」とする)を求め、表1に示した。
実施例2で得た検量線を用いて、フッ化水素を含む腐食性ガス(六フッ化タングステン)を測定した。
2:光源
3:ビームスプリッター
4:可動ミラー
5:固定ミラー
6:測定セル
7:検出器
8:情報処理装置
10:多重反射長光路ガスセル
11:反射鏡
12:ガスセル
20:シングルパスガスセル
21:ガスセル
22,23:ガスの導入口又は排出口
Claims (9)
- 腐食性ガスを含む試料中のフッ素系ガスをフーリエ変換赤外分光光度計により測定する方法であって、
フーリエ変換赤外分光光度計はInGaAs検出素子を有する検出器及び光路長0.01m〜2mのシングルパスガスセルを備えており、
セル窓は耐腐食性材料により構成されており、
測定領域は波数3800〜14300cm−1にあり、
所定の波数の光による前記試料における吸収量と予め設定した検量線とから、フッ素系ガス濃度を定量する、
ガス分析方法。 - フッ素系ガスがフッ化水素である、請求項1に記載の方法。
- セル窓は、CaF2、BaF2、MgF2、LiF及びZnSeからなる群より選ばれる1種である、請求項1又は請求項2に記載の方法。
- 測定領域が波数3950〜4200cm−1にある、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 腐食性ガスを含む試料中のフッ素系ガスを測定するフーリエ変換赤外分光光度計であって、
フーリエ変換赤外分光光度計は、光源、ビームスプリッター、固定ミラー、可動ミラー、測定セル、検出器および情報処理装置から構成されており、
前記検出器はInGaAs検出素子を有する検出器が備えられており、
前記測定セルは試料ガスの導入口、排出口が設けられると共に、光路長0.01m〜2mのシングルパスガスセルを備えており、
前記測定セルにおけるセル窓は耐腐食性材料により構成されており、
前記光源より発した光は、波数3800〜14300cm−1の範囲で制御されて試料に照射されるように、ビームスプリッター、固定ミラーおよび可動ミラーからなる干渉機構を備えており、
所定の波数の光による前記試料における吸収量と予め設定した検量線とから、フッ素系ガス濃度を定量する情報処理装置を備える、
ガス分析装置。 - フッ素系ガスがフッ化水素である、請求項5に記載の装置。
- セル窓は、CaF2、BaF2、MgF2、LiF及びZnSeからなる群より選ばれる1種である、請求項5又は請求項6に記載の装置。
- 波数3950〜4200cm−1の範囲で制御されて試料に照射される、請求項5〜7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記検出器で検出された吸収量によるスペクトルを、前記情報処理装置においてフーリエ変換するときに、アポダイゼーション関数としてTrapeziumを用いる、請求項5〜8のいずれか1項に記載の装置。
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