JP2003014632A - 紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システム - Google Patents
紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システムInfo
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- JP2003014632A JP2003014632A JP2001196478A JP2001196478A JP2003014632A JP 2003014632 A JP2003014632 A JP 2003014632A JP 2001196478 A JP2001196478 A JP 2001196478A JP 2001196478 A JP2001196478 A JP 2001196478A JP 2003014632 A JP2003014632 A JP 2003014632A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガスセル内に導入するガス圧に変動があって
もガス濃度を的確に測定できる紫外線吸収等によるガス
濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システムを提供
する。 【解決手段】 ガスセル１２内に導入したガスの濃度を
紫外線吸収分析によりモニターする方法において、ガス
セル１２内圧力をモニターし、その圧力に応じて計測濃
度を補正するようにしたものである。
もガス濃度を的確に測定できる紫外線吸収等によるガス
濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システムを提供
する。 【解決手段】 ガスセル１２内に導入したガスの濃度を
紫外線吸収分析によりモニターする方法において、ガス
セル１２内圧力をモニターし、その圧力に応じて計測濃
度を補正するようにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼排ガス中のＳ
Ｏ2 等のガス濃度を紫外線吸収分析等によりモニターす
る方法に係り、特に、ガスセル内に導入する測定ガスの
ガス圧力が変化してもガス濃度を的確に検出するための
紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法
及び補正システムに関するものである。
Ｏ2 等のガス濃度を紫外線吸収分析等によりモニターす
る方法に係り、特に、ガスセル内に導入する測定ガスの
ガス圧力が変化してもガス濃度を的確に検出するための
紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法
及び補正システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、紫外線吸収分析でのガス中の濃
度の検出は、既知濃度の紫外線吸収スペクトルをとり、
吸光度を濃度毎にプロットした検量線を作成した後で、
未知濃度の吸光度と対比することで、ガスの濃度を求め
ている。
度の検出は、既知濃度の紫外線吸収スペクトルをとり、
吸光度を濃度毎にプロットした検量線を作成した後で、
未知濃度の吸光度と対比することで、ガスの濃度を求め
ている。
【０００３】検量線による濃度の測定は、ランベルトベ
ールの法則により作成した検量線が、直線になるので、
その直線の式を求めれば、吸光度の代入で濃度が求めら
れるという原理による。
ールの法則により作成した検量線が、直線になるので、
その直線の式を求めれば、吸光度の代入で濃度が求めら
れるという原理による。
【０００４】この検量線に基づくボイラの排煙中のＳＯ
2 等のガス濃度を紫外線吸収分析により測定する場合、
煙道中の排ガスをポンプの吸引力でガスセル内に導入
し、そのガスセルに紫外線を透過して吸収スペクトルを
求めて計測することが行われている。
2 等のガス濃度を紫外線吸収分析により測定する場合、
煙道中の排ガスをポンプの吸引力でガスセル内に導入
し、そのガスセルに紫外線を透過して吸収スペクトルを
求めて計測することが行われている。
【０００５】この際、排煙中には、ＳＯ2 の他にＳＯ3
が含まれ、両者の吸収スペクトル帯が同じために、これ
らを個々に計測することが困難であったが、本出願人が
先に出願した特願平１１−３７４１０６号（発明の名
称：煙道中のＳＯ3 ガスの濃度算出方法）により、ＳＯ
2 とＳＯ3 の濃度を検出することが可能となった。この
濃度算出方法は、ＳＯ3 の濃度を検出する際に妨害ガス
となるＳＯ2 を混入したガスで、ＳＯ3 の組成比を変え
ながら吸光度スペクトルをとり、その吸光度スペクトル
データを基に、ＰＬＳ（Partial Least Squares)等によ
る多変量解析により、ＳＯ2 とＳＯ3 検量線を作成し、
その検量線を基に、煙道中の排ガスを紫外線吸収分析し
て排ガス中の、未知濃度のＳＯ2 とＳＯ3 を計測できる
ようにしたものである。
が含まれ、両者の吸収スペクトル帯が同じために、これ
らを個々に計測することが困難であったが、本出願人が
先に出願した特願平１１−３７４１０６号（発明の名
称：煙道中のＳＯ3 ガスの濃度算出方法）により、ＳＯ
2 とＳＯ3 の濃度を検出することが可能となった。この
濃度算出方法は、ＳＯ3 の濃度を検出する際に妨害ガス
となるＳＯ2 を混入したガスで、ＳＯ3 の組成比を変え
ながら吸光度スペクトルをとり、その吸光度スペクトル
データを基に、ＰＬＳ（Partial Least Squares)等によ
る多変量解析により、ＳＯ2 とＳＯ3 検量線を作成し、
その検量線を基に、煙道中の排ガスを紫外線吸収分析し
て排ガス中の、未知濃度のＳＯ2 とＳＯ3 を計測できる
ようにしたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、煙道ダクト
中の圧力変化、またガスセル内に導入する排ガスからダ
ストを除去するためのフィルターの目詰まり程度、ポン
プの吸引力の変化等種々の要因により、ガスセル内圧力
が変化する。ガスセル内のガス圧が変わると吸光度の計
測値も変化してしまうため、計測には、ガスセル内の圧
力を一定に保つ必要がある。
中の圧力変化、またガスセル内に導入する排ガスからダ
ストを除去するためのフィルターの目詰まり程度、ポン
プの吸引力の変化等種々の要因により、ガスセル内圧力
が変化する。ガスセル内のガス圧が変わると吸光度の計
測値も変化してしまうため、計測には、ガスセル内の圧
力を一定に保つ必要がある。
【０００７】しかしながら、ガスセル圧力を一定に保つ
には、一次圧（煙道側）が不安定なことや、一次圧と２
次圧側の圧力差があまりないことにより、ガスセル内圧
力を一定に保つのは困難である。
には、一次圧（煙道側）が不安定なことや、一次圧と２
次圧側の圧力差があまりないことにより、ガスセル内圧
力を一定に保つのは困難である。
【０００８】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、ガスセル内に導入するガス圧に変動があってもガス
濃度を的確に測定できる紫外線吸収等によるガス濃度モ
ニターのガス圧補正方法及び補正システムを提供するこ
とにある。
し、ガスセル内に導入するガス圧に変動があってもガス
濃度を的確に測定できる紫外線吸収等によるガス濃度モ
ニターのガス圧補正方法及び補正システムを提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、ガスセル内に導入したガスの濃
度を紫外線吸収分析によりモニターする方法において、
ガスセル内圧力をモニターし、その圧力に応じて計測濃
度を補正するようにした紫外線吸収等によるガス濃度モ
ニターのガス圧補正方法である。
に、請求項１の発明は、ガスセル内に導入したガスの濃
度を紫外線吸収分析によりモニターする方法において、
ガスセル内圧力をモニターし、その圧力に応じて計測濃
度を補正するようにした紫外線吸収等によるガス濃度モ
ニターのガス圧補正方法である。
【００１０】請求項２の発明は、ガスセル内に導入した
ガスの濃度を紫外線吸収分析によりモニターする方法に
おいて、ガスセル内圧力をモニターし、計測濃度を、モ
ニターしたガスセル内圧力で補正するようにした紫外線
吸収等によるガス濃度補正システムである。
ガスの濃度を紫外線吸収分析によりモニターする方法に
おいて、ガスセル内圧力をモニターし、計測濃度を、モ
ニターしたガスセル内圧力で補正するようにした紫外線
吸収等によるガス濃度補正システムである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適一実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。
を添付図面に基づいて詳述する。
【００１２】先ず、図１により、本発明における煙道中
の排ガスの紫外線吸収分析装置を説明する。
の排ガスの紫外線吸収分析装置を説明する。
【００１３】図１において、１０は、ボイラからの排ガ
スが流れる煙道で、その煙道１０にガス吸込管１１を介
してガスセル１２が接続される。ガス吸込管１１には、
排ガス中のダストを除去するフィルター１３が接続され
る。
スが流れる煙道で、その煙道１０にガス吸込管１１を介
してガスセル１２が接続される。ガス吸込管１１には、
排ガス中のダストを除去するフィルター１３が接続され
る。
【００１４】ガスセル１２は、出口管１４を介してトラ
ップ１５が接続される。トラップ１５は、導入した排ガ
スを冷却するクーラ１６内に収容される。
ップ１５が接続される。トラップ１５は、導入した排ガ
スを冷却するクーラ１６内に収容される。
【００１５】トラップ１５からの排気管１７には、半導
体圧力センサからなる圧力計１８が接続されると共に煙
道１０からの排ガスをガスセル１２を通して吸引排気す
るためのポンプ２０が接続される。
体圧力センサからなる圧力計１８が接続されると共に煙
道１０からの排ガスをガスセル１２を通して吸引排気す
るためのポンプ２０が接続される。
【００１６】排気管１７の下流側は図示していないが、
排ガスを煙道１０に戻すようにしても或いは他の排気処
理系に供給するようにしてもよい。
排ガスを煙道１０に戻すようにしても或いは他の排気処
理系に供給するようにしてもよい。
【００１７】ガスセル１２の一方には、ガスセル１２に
紫外線を透過するためのＸｅランプ等の光源２１が設け
られると共に分光器及び光検出器２２が設けられ、その
検出信号２５がデータ処理装置２４に入力される。
紫外線を透過するためのＸｅランプ等の光源２１が設け
られると共に分光器及び光検出器２２が設けられ、その
検出信号２５がデータ処理装置２４に入力される。
【００１８】この光源２１と分光器及び光検出器２２
は、図では、光源２１からの紫外線ＵＶをガスセル１２
を１回透過させ、その吸光度を分光器及び光検出器２２
で検出する例を示しているが、反射ミラーを用いてガス
セル１２内を複数回反射させて光路長を長くして吸光度
を計測するようにする。
は、図では、光源２１からの紫外線ＵＶをガスセル１２
を１回透過させ、その吸光度を分光器及び光検出器２２
で検出する例を示しているが、反射ミラーを用いてガス
セル１２内を複数回反射させて光路長を長くして吸光度
を計測するようにする。
【００１９】分光器及び光検出器２２は、紫外線（領域
０〜４００ｎｍ）中の２００〜３５０ｎｍの範囲の波長
を分光し、それを検出素子に入射し、その検出素子で検
出された吸光度データがデータ処理装置２４に入力され
て演算される。
０〜４００ｎｍ）中の２００〜３５０ｎｍの範囲の波長
を分光し、それを検出素子に入射し、その検出素子で検
出された吸光度データがデータ処理装置２４に入力され
て演算される。
【００２０】この図１において、ポンプ２０の吸引によ
りガスセル１２内には、煙道１０内の排ガスがフィルタ
ー１３で除塵されて導入される。この排ガス中には、Ｓ
Ｏ3とＳＯ2 が含まれるが、上述した先願の発明に基づ
くＳＯ3 とＳＯ2 の検量線を基にＳＯ3 とＳＯ2 の濃度
を求めることができる。
りガスセル１２内には、煙道１０内の排ガスがフィルタ
ー１３で除塵されて導入される。この排ガス中には、Ｓ
Ｏ3とＳＯ2 が含まれるが、上述した先願の発明に基づ
くＳＯ3 とＳＯ2 の検量線を基にＳＯ3 とＳＯ2 の濃度
を求めることができる。
【００２１】この場合、ガスセル１２内の圧力が変動す
ると、吸光度の計測値も変化する。そこで、ガスセル１
２内のガス圧と検量線の関係を調べたところ、ガス圧と
検量線の傾きは比例しており、ガス圧が判れば濃度の補
正が可能なことが判った。しかし、ガスセル１２内は、
約３００〜４００℃あり、現状では高温使用で且つ応答
速度の速い圧力計はないため、ガスセル１２内の排ガス
を出口管１４からトラップ１５に排出し、そこで排ガス
の温度を１００℃以下まで、クーラ１６で冷却し、その
冷却後の排ガスを排気管１７に接続した半導体圧力セン
サ等からなる圧力計１８で圧力を検出し、その圧力信号
２６をデータ処理装置２４に入力する。
ると、吸光度の計測値も変化する。そこで、ガスセル１
２内のガス圧と検量線の関係を調べたところ、ガス圧と
検量線の傾きは比例しており、ガス圧が判れば濃度の補
正が可能なことが判った。しかし、ガスセル１２内は、
約３００〜４００℃あり、現状では高温使用で且つ応答
速度の速い圧力計はないため、ガスセル１２内の排ガス
を出口管１４からトラップ１５に排出し、そこで排ガス
の温度を１００℃以下まで、クーラ１６で冷却し、その
冷却後の排ガスを排気管１７に接続した半導体圧力セン
サ等からなる圧力計１８で圧力を検出し、その圧力信号
２６をデータ処理装置２４に入力する。
【００２２】この際、排ガス中のＳＯ3 は、トラップ１
５内での冷却で、硫酸になるか或いは排ガス中にアンモ
ニアが含まれていた場合には、酸性硫安又は硫安となっ
て捕集され、排気管１７に、ＳＯ3 が流れないため、圧
力計１８及びポンプ２０の腐食からの保護が可能とな
る。また圧力計１８を排気管１７に接続し、この検出圧
力をガスセル１２内の圧力とするが、圧力の伝搬は瞬時
であり、ガスセル１２から離れていても実質的にガスセ
ル１２の圧力を検出していることと等価であり、圧力計
１８を、高温と腐食環境から保護できる点で有利であ
る。
５内での冷却で、硫酸になるか或いは排ガス中にアンモ
ニアが含まれていた場合には、酸性硫安又は硫安となっ
て捕集され、排気管１７に、ＳＯ3 が流れないため、圧
力計１８及びポンプ２０の腐食からの保護が可能とな
る。また圧力計１８を排気管１７に接続し、この検出圧
力をガスセル１２内の圧力とするが、圧力の伝搬は瞬時
であり、ガスセル１２から離れていても実質的にガスセ
ル１２の圧力を検出していることと等価であり、圧力計
１８を、高温と腐食環境から保護できる点で有利であ
る。
【００２３】次に、ガスセル１２内のガス圧力と検量線
の関係を説明する。
の関係を説明する。
【００２４】（１）試験方法
圧力依存性の確認試験パラメータを表１の条件で、紫外
線吸収スペクトルを採取し、検量線を作成した。
線吸収スペクトルを採取し、検量線を作成した。
【００２５】
【表１】
【００２６】この確認試験は、ＳＯ2 濃度が０，１００
０，１５００ｐｐｍのサンプルにそれぞれＳＯ3 濃度を
０，１０，２０，３０と変えて合計１２のガスサンプル
に対して、設定圧力（任意）を０ＭＰａとし、その圧力
に対して−０．０１ＭＰａ、−０．０１５ＭＰａにセル
圧力を保って紫外線吸収スペクトルを採取し、上述した
先願発明の手法に則ってＳＯ2 とＳＯ3 の検量線を求め
た。
０，１５００ｐｐｍのサンプルにそれぞれＳＯ3 濃度を
０，１０，２０，３０と変えて合計１２のガスサンプル
に対して、設定圧力（任意）を０ＭＰａとし、その圧力
に対して−０．０１ＭＰａ、−０．０１５ＭＰａにセル
圧力を保って紫外線吸収スペクトルを採取し、上述した
先願発明の手法に則ってＳＯ2 とＳＯ3 の検量線を求め
た。
【００２７】（２）試験結果
先ず、ＳＯ2 の計測結果を図２と表２に示す。
【００２８】
【表２】
【００２９】図２は、２６０ｎｍのＳＯ2 吸光度を濃度
ごとにプロットしたもので、計測圧力ごとに示したもの
である。
ごとにプロットしたもので、計測圧力ごとに示したもの
である。
【００３０】図２は、圧力ごとに検量線が異なっている
ことを示している。しかし、各圧力の比は略同じであ
り、吸光度の大きさはセル中の分子数に依存していると
考えられる。
ことを示している。しかし、各圧力の比は略同じであ
り、吸光度の大きさはセル中の分子数に依存していると
考えられる。
【００３１】図３は圧力による分子数を補正してプロッ
トしたものである。各プロットは分子数から、下式
（１）により、１気圧の濃度に換算してプロットした。
トしたものである。各プロットは分子数から、下式
（１）により、１気圧の濃度に換算してプロットした。
【００３２】
換算濃度＝ 濃度 × ０．１（ＭＰａ）／［０．１（ＭＰａ）＋
セルゲージ圧（ＭＰａ）］ …（１）
圧力で補正すると、図３に示すように、異なっていた検
量線の傾き（ｙ＝０．００１６ｘ＋０．００２２２）が
一つにまとめられた。
量線の傾き（ｙ＝０．００１６ｘ＋０．００２２２）が
一つにまとめられた。
【００３３】なお、Ｒは相関係数であり、Ｒ2 が０．９
９８３と、Ｒがより１に近いことが分かる。
９８３と、Ｒがより１に近いことが分かる。
【００３４】同様に、図４に、ＰＬＳ回帰分析により圧
力補正によるＳＯ2 の検量線の計算結果を示した。ＰＬ
Ｓ回帰分析においても圧力補正すればよいことが分かっ
た。
力補正によるＳＯ2 の検量線の計算結果を示した。ＰＬ
Ｓ回帰分析においても圧力補正すればよいことが分かっ
た。
【００３５】図５は、ＳＯ2 を０、１０００、１５００
ｐｐｍ、また圧力を０、−０．０１、−０．０１５ＭＰ
ａと変化させたときのＳＯ3 の濃度算出結果を示したも
のである。
ｐｐｍ、また圧力を０、−０．０１、−０．０１５ＭＰ
ａと変化させたときのＳＯ3 の濃度算出結果を示したも
のである。
【００３６】図５において、横軸に示す濃度は圧力補正
を行った調整濃度（標準ガスを決められた組成比で調整
した濃度）であり、縦軸に示す濃度は採集して求めたス
ペクトルからＰＬＳ回帰計算を実施して計算した出力濃
度であり、検量線の傾き（ｙ＝０．９９５２ｘ＋５．５
８５８）、相関係数Ｒ2 は０．９９９７であった。
を行った調整濃度（標準ガスを決められた組成比で調整
した濃度）であり、縦軸に示す濃度は採集して求めたス
ペクトルからＰＬＳ回帰計算を実施して計算した出力濃
度であり、検量線の傾き（ｙ＝０．９９５２ｘ＋５．５
８５８）、相関係数Ｒ2 は０．９９９７であった。
【００３７】なお、上記（１）式を一般的に記述すると
以下のようになる。
以下のようになる。
【００３８】
検量線作成時；
濃度 ＝ 調整濃度 × 基準とする圧力（絶対圧）／計測時の圧力（絶対圧
）
…（２）
サンプル計測時；
濃度 ＝ 計測濃度 × 検量線作成時に基準とした圧力（絶対圧）／計測時
の圧力（絶対圧） …（３）
次に計測時のガス濃度補正システムのフローを説明す
る。
る。
【００３９】先ず検量線作成時のフローチャートを図６
により説明する。
により説明する。
【００４０】図６に示すように、計測時、基準となるガ
ス圧を決定（通常１気圧）する（Ｓ１０）。次にガス圧
力モニターしながら、ガス組成を変えて吸収スペクトル
を採取する（Ｓ１１）。
ス圧を決定（通常１気圧）する（Ｓ１０）。次にガス圧
力モニターしながら、ガス組成を変えて吸収スペクトル
を採取する（Ｓ１１）。
【００４１】採取した吸収スペクトルから求めた濃度を
上記（２）式により計測時ガス圧で補正する（Ｓ１
３）。
上記（２）式により計測時ガス圧で補正する（Ｓ１
３）。
【００４２】補正した濃度と吸光度で検量線を作成し
（Ｓ１４）、検量線作成のフローを終了する（Ｓ１
５）。
（Ｓ１４）、検量線作成のフローを終了する（Ｓ１
５）。
【００４３】サンプル計測時のフローチャートを図７に
より説明する。
より説明する。
【００４４】図７に示すように、ガス圧力をモニターし
ながら、サンプルスペクトルを採取する（Ｓ２０）。
ながら、サンプルスペクトルを採取する（Ｓ２０）。
【００４５】次に、採取した吸収スペクトルから求めた
濃度を上記（３）式により計測時ガス圧力で補正する
（Ｓ２１）。
濃度を上記（３）式により計測時ガス圧力で補正する
（Ｓ２１）。
【００４６】補正した濃度と図６で求めた検量線よりサ
ンプル濃度を求め（Ｓ２２）、計測フローを終了する
（Ｓ２３）。
ンプル濃度を求め（Ｓ２２）、計測フローを終了する
（Ｓ２３）。
【００４７】このように、本発明では、ガスセル１２内
の圧力とガスの分子数が比例し、同じ濃度でも紫外線吸
収法で計測される濃度は、セル圧力と比例して変化する
ことに着目し、計測時のセル圧力を計測し、そのセル圧
力で補正することで、正確な濃度測定が行える。
の圧力とガスの分子数が比例し、同じ濃度でも紫外線吸
収法で計測される濃度は、セル圧力と比例して変化する
ことに着目し、計測時のセル圧力を計測し、そのセル圧
力で補正することで、正確な濃度測定が行える。
【００４８】なお、上述の実施の形態では、ＳＯ2 とＳ
Ｏ3 濃度の紫外線吸収法による濃度測定を例に説明した
が、他の成分の濃度測定にも適用できる。また、紫外線
吸収法による濃度測定のみならず、ＰＬＳなどスペクト
ル波形を利用した統計的手法においても同様な方法が使
用できる。
Ｏ3 濃度の紫外線吸収法による濃度測定を例に説明した
が、他の成分の濃度測定にも適用できる。また、紫外線
吸収法による濃度測定のみならず、ＰＬＳなどスペクト
ル波形を利用した統計的手法においても同様な方法が使
用できる。
【００４９】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、紫外線吸
収分析等によるガスモニターで、ガスセル内圧力調整を
行うことなく、正確な計測が行える。またガスセル内の
圧力調整を行わないので、簡単で堅牢な装置が製作でき
る。
収分析等によるガスモニターで、ガスセル内圧力調整を
行うことなく、正確な計測が行える。またガスセル内の
圧力調整を行わないので、簡単で堅牢な装置が製作でき
る。
【図１】本発明にガス濃度モニター装置の概要を説明す
る図である。
る図である。
【図２】本発明おいて、各圧力ごとのＳＯ2 検量線を示
す図である。
す図である。
【図３】本発明において、圧力で補正したＳＯ2 検量線
を示す図である。
を示す図である。
【図４】本発明において、ＰＬＳ回帰分析での圧力補正
によるＳＯ2 検量線を示す図である。
によるＳＯ2 検量線を示す図である。
【図５】本発明において、圧力を補正したときのＳＯ3
検量線を示す図である。
検量線を示す図である。
【図６】本発明において、検量線作成時のフローチャー
トを示す図である。
トを示す図である。
【図７】本発明において、計測時のフローチャートを示
す図である。
す図である。
１０ 煙道
１２ ガスセル
１８ 圧力計
２１ 光源
２２ 分光器及び光検出器
２４ データ処理装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小林 健
東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島
播磨重工業株式会社東京エンジニアリング
センター内
(72)発明者 八木 武人
東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島
播磨重工業株式会社東京エンジニアリング
センター内
(72)発明者 小原 正孝
東京都江東区豊洲三丁目２番16号 石川島
播磨重工業株式会社東京エンジニアリング
センター技術開発本部内
Ｆターム(参考） 2G059 AA01 BB01 CC06 EE01 EE12
GG10 HH03 HH06 JJ01 JJ13
KK01 LL03 MM01 MM12 MM14
NN01 NN04
Claims (2)
- 【請求項１】 ガスセル内に導入したガスの濃度を紫外
線吸収分析等によりモニターする方法において、ガスセ
ル内圧力をモニターし、その圧力に応じて計測濃度を補
正することを特徴とする紫外線吸収等によるガス濃度モ
ニターのガス圧補正方法。 - 【請求項２】 ガスセル内に導入したガスの濃度を紫外
線吸収分析によりモニターする方法において、ガスセル
内圧力をモニターし、計測濃度を、モニターしたガスセ
ル内圧力で補正することを特徴とする紫外線吸収等によ
るガス濃度補正システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001196478A JP2003014632A (ja) | 2001-06-28 | 2001-06-28 | 紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001196478A JP2003014632A (ja) | 2001-06-28 | 2001-06-28 | 紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003014632A true JP2003014632A (ja) | 2003-01-15 |
Family
ID=19034284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001196478A Pending JP2003014632A (ja) | 2001-06-28 | 2001-06-28 | 紫外線吸収等によるガス濃度モニターのガス圧補正方法及び補正システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003014632A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010048654A (ja) * | 2008-08-21 | 2010-03-04 | Yazaki Corp | 濃度測定装置 |
| JP2010066209A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Yazaki Corp | 濃度測定装置 |
| CN104034675A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-09-10 | 平湖瓦爱乐发动机测试技术有限公司 | 一种用于物质浓度测量的标定系统及物质浓度的测量方法 |
| EP3236240A1 (en) * | 2016-04-18 | 2017-10-25 | Horiba, Ltd.g | Spectroscopic analyzer and spectroscopic analysis method |
| CN108318437A (zh) * | 2018-01-19 | 2018-07-24 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种基于紫外开放可调式多反池技术的便携烟气原位测量系统 |
-
2001
- 2001-06-28 JP JP2001196478A patent/JP2003014632A/ja active Pending
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| US10345230B2 (en) | 2016-04-18 | 2019-07-09 | Horiba, Ltd. | Spectroscopic analyzer and spectroscopic analysis method |
| CN108318437A (zh) * | 2018-01-19 | 2018-07-24 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种基于紫外开放可调式多反池技术的便携烟气原位测量系统 |
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