JP4674417B2 - So3濃度計 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、燃焼排ガス中のSO3 のガス濃度を紫外線吸収分析により計測するSO3 濃度計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、紫外線吸収分析でのガス中の濃度の検出は、既知濃度の紫外線吸収スペクトルをとり、吸光度を濃度毎にプロットした検量線を作成した後で、未知濃度の吸光度と対比することで、ガスの濃度を求めている。
【0003】
検量線による濃度の測定は、ランベルトベールの法則により作成した検量線が、直線になるので、その直線の式を求めれば、吸光度の代入で濃度が求められるという原理による。
【0004】
この検量線に基づくボイラの排煙中のSO2 等のガス濃度を紫外線吸収分析により測定する場合、煙道中の排ガスをポンプの吸引力でガスセル内に導入し、そのガスセルに紫外線を透過して吸収スペクトルを求めて計測することが行われている。
【0005】
この際、排煙中には、SO2 の他にSO3 が含まれ、両者の吸収スペクトル帯が同じために、これらを個々に計測することが困難であったが、本出願人が先に出願した特願平11−374106号(発明の名称:煙道中のSO3 ガスの濃度算出方法)により、SO2 とSO3 の濃度を検出することが可能となった。この濃度算出方法は、SO3 の濃度を検出する際に妨害ガスとなるSO2 を混入したガスで、SO3 の組成比を変えながら吸光度スペクトルをとり、その吸光度スペクトルデータを基に、PLS(Partial Least Squares)等による多変量解析により、SO2 とSO3 検量線を作成し、その検量線を基に、煙道中の排ガスを紫外線吸収分析して排ガス中の、未知濃度のSO2 とSO3 を計測できるようにしたものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、SO3 は、腐食性ガスであり、しかも350℃以下では、排ガス中の水蒸気と結合して硫酸となるため、350℃以上に加熱しなければ、紫外線吸収法での吸収スペクトル分析ができない。
【0007】
また、煙道ダクト中の圧力変化、またガスセル内に導入する排ガスからダストを除去するためのフィルターの目詰まり程度、ポンプの吸引力の変化等種々の要因により、ガスセル内圧力が変化する。ガスセル内のガス圧が変わると吸光度の計測値も変化してしまうため、計測には、ガスセル内の圧力を一定に保つ必要がある。
【0008】
しかしながら、ガスセル圧力を一定に保つには、一次圧(煙道側)が不安定なことや、一次圧と2次圧側の圧力差があまりないことにより、ガスセル内圧力を一定に保つのは困難である。
【0009】
このため、ガスセルに濃度補正用の圧力モニターを設置することが考えられるが、高温に耐え、しかも腐食に強い圧力モニターは、現状ではなく、作るとしても非常に高価なものとなると共に劣悪な環境では、応答性がよく、しかも長期間安定したモニターができない問題がある。
【0010】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、高温の排ガスを導入し、そのガスセル内圧力をモニターしてSO3 濃度を的確に測定できるSO3 濃度計を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1の発明は、ガスセル内に導入した排ガス中のSO3 の濃度を紫外線吸収分析により計測するSO3 濃度計において、ガスセルのガス排出側に排ガスを冷却するクーラー付きトラップを接続し、そのトラップの排気側にガスセル内圧力を検出する圧力モニターを接続したSO3 濃度計である。
【0012】
請求項2の発明は、ガスセルにセル内温度を350〜450℃に保持するヒータを設けた請求項1記載のSO3 濃度計である。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【0014】
先ず、図1により、本発明における煙道中の排ガスの紫外線吸収分析装置を説明する。
【0015】
図1において、10は、ボイラからの排ガスが流れる煙道で、その煙道10にガス吸込管11を介してガスセル12が接続される。ガス吸込管11には、排ガス中のダストを除去するフィルター13が接続される。
【0016】
ガスセル12は、出口管14を介してトラップ15が接続される。トラップ15は、導入した排ガスを冷却するクーラー16が設けられている。
【0017】
トラップ15からの排気管17には、半導体圧力センサからなる圧力モニター18が接続されると共に煙道10からの排ガスをガスセル12を通して吸引排気するためのポンプ20が接続される。
【0018】
排気管17の下流側は図示していないが、排ガスを煙道10に戻すようにしても或いは他の排気処理系に供給するようにしてもよい。
【0019】
ガスセル12には導入した排ガスを350〜450℃に保つためのヒータ19が設けられる。
【0020】
ガスセル12の一方には、ガスセル12に紫外線を透過するためのXeランプ等の光源21が設けられると共に分光器及び光検出器22が設けられ、その検出信号25がデータ処理装置24に入力される。
【0021】
この光源21と分光器及び光検出器22は、図では、光源21からの紫外線UVをガスセル12を1回透過させ、その吸光度を分光器及び光検出器22で検出する例を示しているが、反射ミラーを用いてガスセル12内を複数回反射させて光路長を長くして吸光度を計測するようにする。
【0022】
分光器及び光検出器22は、紫外線(領域0〜400nm)中の200〜350nmの範囲の波長を分光し、それを検出素子に入射し、その検出素子で検出された吸光度データがデータ処理装置24に入力されて演算される。
【0023】
この図1において、ポンプ20の吸引によりセル12内には、煙道10内の排ガスがフィルター13で除塵されて導入される。この排ガス中には、SO3 とSO2 が含まれるが、上述した先願の発明に基づくSO3 とSO2 の検量線を基にSO3 とSO2 の濃度を求めることができる。
【0024】
この場合、ガスセル12内温度が350℃以下となると、排ガス中のSO3 とH2 Oとが結合して硫酸となり、 SO3 の紫外線吸収が無くなるため、ヒータ19によりガスセル内温度を350〜450℃に保つようにする。また、ガスセル12内の圧力が変動すると、吸光度の計測値も変化する。そこで、ガスセル12内のガス圧と検量線の関係を調べたところ、ガス圧と検量線の傾きは比例しており、ガス圧が判れば濃度の補正が可能なことが判った。しかし、ガスセル12内は、約300〜400℃あり、現状では高温使用で且つ応答速度の速い圧力モニターはないため、ガスセル12内の排ガスを出口管14からトラップ15に排出し、そこで排ガスの温度を100℃以下まで、クーラー16で冷却し、その冷却後の排ガスを排気管17に接続した半導体圧力センサ等からなる圧力モニター18で圧力を検出し、その圧力信号26をデータ処理装置24に入力する。
【0025】
この際、排ガス中のSO3 は、トラップ15内での冷却で、硫酸になるか或いは排ガス中にアンモニアが含まれていた場合には、酸性硫安又は硫安となって捕集され、排気管17に、SO3 が流れないため、圧力モニター18及びポンプ20の腐食からの保護が可能となる。また圧力モニター18を排気管17に接続し、この検出圧力をガスセル12内の圧力とするが、圧力の伝搬は瞬時であり、ガスセル12から離れていても実質的にガスセル12の圧力を検出していることと等価であり、圧力モニター18を、高温と腐食環境から保護できる。
【0026】
次に、ガスセル12内のガス圧力と検量線の関係を説明する。
【0027】
(1)試験方法
圧力依存性の確認試験パラメータを表1の条件で、紫外線吸収スペクトルを採取し、検量線を作成した。
【0028】
【表1】
Figure 0004674417
【0029】
この確認試験は、SO2 濃度が0,1000,1500ppmのサンプルにそれぞれSO3 濃度を0,10,20,30と変えて合計12のガスサンプルに対して、設定圧力(任意)を0MPaとし、その圧力に対して−0.01MPa、−0.015MPaにセル圧力を保って紫外線吸収スペクトルを採取し、上述した先願発明の手法に則ってSO2 とSO3 の検量線を求めた。
【0030】
(2)試験結果
先ず、SO2 の計測結果を図2と表2に示す。
【0031】
【表2】
Figure 0004674417
【0032】
図2は、260nmのSO2 吸光度を濃度ごとにプロットしたもので、計測圧力ごとに示したものである。
【0033】
図2は、圧力ごとに検量線が異なっていることを示している。しかし、各圧力の比は略同じであり、吸光度の大きさはセル中の分子数に依存していると考えられる。
【0034】
図3は圧力による分子数を補正してプロットしたものである。各プロットは分子数から、下式(1)により、1気圧の濃度に換算してプロットした。
【0035】
換算濃度= 濃度 × 0.1(MPa)/[0.1(MPa)+セルゲージ圧(MPa)] …(1)
圧力で補正すると、図3に示すように、異なっていた検量線の傾き(y=0.0016x+0.00222)が一つにまとめられた。
【0036】
なお、Rは相関係数であり、R2 が0.9983と、Rがより1に近いことが分かる。
【0037】
同様に、図4に、PLS回帰分析により圧力補正によるSO2 の検量線の計算結果を示した。PLS回帰分析においても圧力補正すればよいことが分かった。
図5は、SO2 を0、1000、1500ppm、また圧力を0、−0.01、−0.015MPaと変化させたときのSO3 の濃度算出結果を示したものである。
【0038】
図5において、横軸に示す濃度は圧力補正を行った調整濃度(標準ガスを決められた組成比で調整した濃度)であり、縦軸に示す濃度は採集して求めたスペクトルからPLS回帰計算を実施して計算した出力濃度であり、検量線の傾き(y=0.9952x+5.5858)、相関係数R2 は0.9997であった。
【0039】
なお、上記(1)式を一般的に記述すると以下のようになる。
【0040】
検量線作成時;
濃度 = 調整濃度 × 基準とする圧力(絶対圧)/計測時の圧力(絶対圧)…(2)
サンプル計測時;
濃度 = 計測濃度 × 検量線作成時に基準とした圧力(絶対圧)/計測時の圧力(絶対圧) …(3)
次に計測時のフローを説明する。
【0041】
先ず検量線作成時のフローチャートを図6により説明する。
【0042】
図6に示すように、計測時、基準となるガス圧を決定(通常1気圧)する(S10)。次にガス圧力モニターしながら、ガス組成を変えて吸収スペクトルを採取する(S11)。
【0043】
採取した吸収スペクトルから求めた濃度を上記(2)式により計測時ガス圧で補正する(S13)。
【0044】
補正した濃度と吸光度で検量線を作成し(S14)、検量線作成のフローを終了する(S15)。
【0045】
サンプル計測時のフローチャートを図7により説明する。
【0046】
図7に示すように、ガス圧力をモニターしながら、サンプルスペクトルを採取する(S20)。
【0047】
次に、採取した吸収スペクトルから求めた濃度を上記(3)式により計測時ガス圧力で補正する(S21)。
【0048】
補正した濃度と図6で求めた検量線よりサンプル濃度を求め(S22)、計測フローを終了する(S23)。
【0049】
このように、ガスセル12内の圧力とガスの分子数が比例し、同じ濃度でも紫外線吸収法で計測される濃度は、セル圧力と比例して変化することに着目し、計測時のセル圧力を計測し、そのセル圧力で補正することで、正確な濃度測定が行える。
【0050】
この際、ガスセル12内の排ガスをヒーター19で350〜450℃の範囲に保ち、そのガスを排出する際に、クーラー16付きトラップ15で冷却することで、排ガス中のSO3 が硫酸としてトラップ15内に捕集できるため、排気管17には、低温で腐食ガスを含まないガスが流れるため圧力モニター18は、一般的な圧力モニターで十分計測可能であり、圧力モニターの寿命を延ばすことができる。
【0051】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、紫外線吸収分析によるSO3 濃度を補正する際のガスセルの圧力を、排ガスを冷却し排ガス中のSO3 を除去した後のガス圧を計測することで圧力モニターの寿命を延ばすことができるとともに、正確なSO3 の濃度計測が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にSO3 濃度計の概要を説明する図である。
【図2】本発明おいて、各圧力ごとのSO2 検量線を示す図である。
【図3】本発明において、圧力で補正したSO2 検量線を示す図である。
【図4】本発明において、PLS回帰分析での圧力補正によるSO2 検量線を示す図である。
【図5】本発明において、圧力を補正したときのSO3 検量線を示す図である。
【図6】本発明において、検量線作成時のフローチャートを示す図である。
【図7】本発明において、計測時のフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
10 煙道
12 ガスセル
15 トラップ
16 クーラー
18 圧力モニター
21 光源
22 分光器及び光検出器
24 データ処理装置

Claims (2)

  1. ガスセル内に導入した排ガス中のSO3 の濃度を紫外線吸収分析により計測するSO3 濃度計において、ガスセルのガス排出側に排ガスを冷却するクーラー付きトラップを接続し、そのトラップの排気側にガスセル内圧力を検出する圧力モニターを接続したことを特徴とするSO3 濃度計。
  2. ガスセルにセル内温度を350〜450℃に保持するヒータを設けた請求項1記載のSO3 濃度計。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107430068A (zh) * 2015-03-31 2017-12-01 日本电信电话株式会社 So3分析方法和分析装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5954652B2 (ja) * 2012-04-27 2016-07-20 パナソニックIpマネジメント株式会社 吸収式冷凍機
JP6916667B2 (ja) * 2017-05-24 2021-08-11 株式会社堀場製作所 プローブデバイス、及び、排ガス分析装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61195330A (ja) * 1985-02-25 1986-08-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 硫黄の検出方法及び装置
JPS62257045A (ja) * 1986-04-30 1987-11-09 Anritsu Corp 紫外線吸収式アンモニアガス分析計
JPH02500541A (ja) * 1987-08-18 1990-02-22 ソシエテ・ナシオナル・エルフ・アキテーヌ 気体混合物中のガスの濃度を測定する方法及びこの方法を実施するための装置
JPH03113369A (ja) * 1989-09-28 1991-05-14 Nkk Corp アンモニア存在下におけるso↓2分析法
JPH03264849A (ja) * 1990-03-15 1991-11-26 Horiba Ltd 酸化法による排ガス中のso↓2測定方法
JPH11295293A (ja) * 1998-04-09 1999-10-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 排ガス中の無水硫酸測定方法及び装置及び無水硫酸中和装置
JP2000009603A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Shimadzu Corp アンモニア分析計
JP2000304695A (ja) * 1999-04-23 2000-11-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 排ガス中の三酸化硫黄濃度測定装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61195330A (ja) * 1985-02-25 1986-08-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 硫黄の検出方法及び装置
JPS62257045A (ja) * 1986-04-30 1987-11-09 Anritsu Corp 紫外線吸収式アンモニアガス分析計
JPH02500541A (ja) * 1987-08-18 1990-02-22 ソシエテ・ナシオナル・エルフ・アキテーヌ 気体混合物中のガスの濃度を測定する方法及びこの方法を実施するための装置
JPH03113369A (ja) * 1989-09-28 1991-05-14 Nkk Corp アンモニア存在下におけるso↓2分析法
JPH03264849A (ja) * 1990-03-15 1991-11-26 Horiba Ltd 酸化法による排ガス中のso↓2測定方法
JPH11295293A (ja) * 1998-04-09 1999-10-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 排ガス中の無水硫酸測定方法及び装置及び無水硫酸中和装置
JP2000009603A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Shimadzu Corp アンモニア分析計
JP2000304695A (ja) * 1999-04-23 2000-11-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 排ガス中の三酸化硫黄濃度測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107430068A (zh) * 2015-03-31 2017-12-01 日本电信电话株式会社 So3分析方法和分析装置

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