JPWO2019130951A1

JPWO2019130951A1 - 搬送装置

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Publication number: JPWO2019130951A1
Application number: JP2019562870A
Authority: JP
Inventors: 和也橋本; 陽一岸田
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Read Corp
Priority date: 2017-12-26
Filing date: 2018-11-27
Publication date: 2021-03-04
Anticipated expiration: 2038-11-27
Also published as: CN111511665A; JP7167944B2; WO2019130951A1; CN111511665B

Abstract

積み重ねられた薄板状のワークＷを上側から順次吸着し持ち上げて搬送する搬送装置１は、吸着ノズル１６でワークＷを吸着して搬送する、吸着搬送部１０と、吸着ノズル１６に振動を付与する、エアバイブレータ２０と、吸着ノズル１６で吸着したワークＷの表面に圧縮空気を吹き付けることにより、ワークＷを撓ませる、空気吐出部３０と、を備える。

Description

本発明は搬送装置に関し、詳細には、積み重ねられた薄板状のワークを上側から順次吸着し持ち上げて搬送する搬送装置に関するものである。

従来、パネル部品等、積み重ねられた薄板状のワークを吸着ノズルで吸着することにより、ワークを上側から順次持ち上げて搬送する搬送装置が知られている。このような搬送装置においては、複数のワークを搬送しないようにワークを一枚ずつ分離して搬送する必要がある。このため、搬送装置で搬送する際に、一枚目のワークと二枚目以降のワークとを確実に分離するための技術が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２を参照）。

特許文献１には、最上部に位置するパネルの上面に重ね合わされる合紙に二個の吸着パッドを吸着させ、吸着パッドを合紙の紙面内側方向に近づけて合紙を撓ませ、合紙と最上層のパネルとの密着状態を解除する技術が記載されている。

また、特許文献２には、最上層の板材の少なくとも端部を持ち上げる分離用保持器と、最上層の板材の端部に超音波振動を与える超音波振動子と、超音波振動によって最上層の板材とその直下の板材の間に生じた隙間に気体を吹き込むエアノズルと、を備える技術が記載されている。

特開２００９−１８８９８号公報特開２００９−９６６０４号公報

上記特許文献１に記載の技術をワークの搬送装置に適用しようとした場合、ワークに二個の吸着パッドを吸着させて近づける必要がある。しかし、吸着パッドを二個設けた場合、搬送装置の装置構成が大掛かりとなり、装置コストが増加する要因となる。

また、ワークの一箇所を吸着パッドで吸着し、他の箇所をロボットアーム等で押圧してワークを撓ませる構成も考えられる。しかし、ワークにおける押圧された部分に傷がついたり、内部回路が破損したりする可能性があるため、上記構成は採用し難い。

さらに、特許文献２に記載の技術によれば、最上層のワークと二枚目のワークとの間に空気が入り込むまでに時間がかかるため、ワーク同士を分離するのに時間がかかっていた。

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、本発明が解決しようとする課題は、薄板状のワークの積層体からワークを吸着して搬送する際に、簡易な構成で、ワークを傷つけることなく短時間で搬送することが可能となる、搬送装置を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下に構成する搬送装置を提供する。

本発明の一例に係る搬送装置は、積み重ねられた薄板状のワークを上側から順次吸着し持ち上げて搬送する搬送装置であって、吸着ノズルで前記ワークを吸着して搬送する、吸着搬送部と、前記吸着ノズルに振動を付与する、振動発生部と、前記吸着ノズルで吸着した前記ワークの表面に圧縮空気を吹き付けることにより、前記ワークを撓ませる、空気吐出部と、を備えるものである。

第一実施形態に係る搬送装置を示す全体正面図。ワーク吸着時の搬送装置を示す拡大正面図。ワーク上昇時の搬送装置を示す拡大正面図。吹き付け時の搬送装置を示す拡大正面図。ワーク搬送時の搬送装置を示す拡大正面図。ワークの吸着部分及び吹き付け箇所を示す平面図。第二実施形態に係る搬送装置を示す拡大正面図。第二実施形態に係る搬送装置においてワークの吸着部分及び吹き付け箇所を示す平面図。

＜搬送装置１＞
まず、図１から図６を用いて、本発明の第一実施形態に係る搬送装置１について説明する。図１に示す矢印は搬送装置１の方向を示している。本実施形態に係る搬送装置１は、水平に積み重ねられた薄板状のワークＷの積層体ＷＬから、ワークＷを上側から順次吸着し持ち上げて搬送するためのものである。本実施形態において、積層体ＷＬの最上部に位置するワークＷを「第一ワークＷ１」と記載し、第一ワークＷ１の直下（上から二番目）に位置するワークＷを「第二ワークＷ２」と記載する（図２を参照）。

搬送装置１は、吸着搬送部１０、振動発生部であるエアバイブレータ２０、及び、空気吐出部３０を主な構成要素として備えている。本実施形態に係る搬送装置１において、各構成要素は図示しない制御部によって駆動制御されている。以下、各構成要素について順に説明する。

吸着搬送部１０は、吸着ノズル１６でワークＷを吸着して搬送するための構成である。吸着搬送部１０は、搬送ガイド１１、搬送機構１２、昇降ガイド１３、昇降機構１４、吸気パイプ１５、吸着ノズル１６、吸気機構１７、及び、吸気ホース１８等で構成される。

搬送機構１２はワークＷを左右水平方向（図１中に示す矢印Ｈ方向）に搬送するための機構である。搬送機構１２は水平方向に架け渡されている搬送ガイド１１に沿って移動可能に構成されている。搬送機構１２からは下方に昇降ガイド１３が垂下されており、昇降ガイド１３には昇降機構１４が設けられている。昇降機構１４は昇降ガイド１３に沿って上下方向（図１中に示す矢印Ｖ方向）に昇降可能に構成されている。

昇降機構１４からは下方に吸気パイプ１５が垂下されており、吸気パイプ１５の下端部には吸着ノズル１６が設けられている。吸気パイプ１５は吸気ホース１８を介して吸気機構１７と接続されている。吸気機構１７は図示しない真空ポンプ及びバルブを備えており、制御部が吸気機構１７を駆動させることにより、吸気ホース１８及び吸気パイプ１５を介して吸着ノズル１６から吸気を行う。

吸着搬送部１０においては、制御部が搬送機構１２及び昇降機構１４を駆動させることにより、吸着ノズル１６及び吸着ノズル１６に吸着されるワークＷを上下方向及び左右方向に変位させることを可能としている。なお、吸着搬送部の構成は本実施形態に限定されず、他の構成としても差し支えない。例えば、吸着ノズル１６を複数の関節を備えるロボットアームの先端に装着し、ロボットアームを駆動させることにより吸着ノズル１６及びワークＷを変位させる構成とすることも可能である。

図１に示す如く、昇降ガイド１３には振動発生部であるエアバイブレータ２０が設けられている。本実施形態において、制御部がエアバイブレータ２０を駆動することにより、吸気パイプ１５を介して吸着ノズル１６に振動を付与するように構成される。

なお、振動発生部は吸着ノズル１６に振動を付与する構成であれば良く、その実施形態はエアバイブレータに限定されない。例えば、振動発生部として振動モータ、プッシュ／プルソレノイドを採用することも可能である。また、振動発生部が吸着ノズル１６に付与する振動は継続的に発生するものに限らない。例えば、振動発生部にウェイトハンマーを設け、ウェイトハンマーが発生した単発的な衝撃を吸着ノズル１６に加える構成も、「振動発生部による吸着ノズル１６への振動の付与」とする。

図１に示す如く、吸着ノズル１６の下方には、多数のワークＷが積層された積層体ＷＬを収容する収容ケースＣｗが床面Ｆに載置されている。本実施形態において積層体ＷＬは、ワークＷの平面視における中央部分Ｃ（図６を参照）が吸着ノズル１６の直下から左方向に遷移した位置に配置される。換言すれば、吸着ノズル１６によるワークＷの吸着部分Ｐ１（図６を参照）が、ワークＷの中央部分Ｃから右方向側に遷移して配置されているのである。また、本実施形態においては図６に示すごとく、ワークＷの右端部には接続端子Ｔが配置されている。

図１に示す如く、吸着搬送部１０における吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６と隣接する位置には、空気吐出部３０が配設されている。空気吐出部３０は吐出ノズル３１、ノズル支持部３２、吐出機構３３、及び、送気ホース３４等で構成されている。

吐出ノズル３１は昇降機構１４に一体的に組付けられたノズル支持部３２に支持されており、昇降機構１４の昇降に伴って上下に変位するように構成されている。吐出ノズル３１は、吸着ノズル１６がワークＷを吸着して持ち上げた際に、ワークＷの表面のうち左側端部に、ワークＷの表面に対して直交する角度で圧縮空気を吹き付けることが可能な位置（ワークＷを持ち上げた位置の少し左側上方の位置）及び姿勢（ワークＷの表面に直交する姿勢）で配置されている（図４を参照）。本実施形態においては、吐出ノズル３１を昇降機構１４と一体的に配置することにより、吸着ノズル１６がワークＷを持ち上げた際にワークＷが吐出ノズル３１に接触することが無いように構成している。

吐出ノズル３１は送気ホース３４を介して吐出機構３３と接続されている。吐出機構３３は図示しない圧縮ポンプ及びバルブを備えており、制御部が吐出機構３３を駆動させることにより、送気ホース３４を介して吐出ノズル３１から圧縮空気を吐出する。なお、床面Ｆに立設した柱で吐出ノズル３１を支持することにより、空気吐出部３０と吸着搬送部１０とを分離して構成することも可能である。

図４に示す如く、空気吐出部３０は、吸着ノズル１６が吸着したワークＷの表面に、吐出ノズル３１が圧縮空気を吹き付けることにより、ワークＷを撓ませるように構成されている。本実施形態においては、ワークＷにおいて吐出ノズル３１に圧縮空気が吹き付けられる部分を「吹き付け箇所Ｐ２」と記載する。図６に示す如く、本実施形態における吹き付け箇所Ｐ２はワークＷの左端部に配置される。

次に、図２から図５を用いて、本実施形態に係る搬送装置１によるワークＷの搬送の手順について説明する。まず、昇降機構１４を駆動させて、図２中の矢印Ｖｄに示す如く吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６を下降させ、吸着ノズル１６を積層体ＷＬにおける第一ワークＷ１に当接させる。そして、吸気機構１７を駆動させて、図２中の破線矢印Ａ１に示す如く吸着ノズル１６で第一ワークＷ１を吸着する。吸着ノズル１６による第一ワークＷ１の吸着は、搬送装置１による搬送が終了するまで継続される。

次に、昇降機構１４を駆動させて、図３中の矢印Ｖｕに示す如く吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６を上昇させ、第一ワークＷ１を持ち上げる。この際、第二ワークＷ２が第一ワークＷ１に密着し、第一ワークＷ１と一緒に持ち上げられる場合がある。

次に、図４に示す如く、エアバイブレータ２０を駆動させて、吸気パイプ１５を介して吸着ノズル１６に振動を付与する。同時に、吐出機構３３を駆動させて、図４中の矢印Ａ２に示す如く吐出ノズル３１から圧縮空気を吐出する。吐出ノズル３１から吐出された圧縮空気は図４に示す如く第一ワークＷ１の左端部（吹き付け箇所Ｐ２）に吹き付けられ、第一ワークＷ１は左端部が撓む。吸着ノズル１６から受ける振動と、第一ワークＷ１の撓みにより、第二ワークＷ２は第一ワークＷ１から離脱し、図４中の矢印Ｄに示す如く収容ケースＣｗに落下する。

なお、本実施形態においては図４に示す如く、ある程度の高さまで第一ワークＷ１及び第二ワークＷ２を持ち上げた段階で、エアバイブレータ２０による振動の付与と、吐出ノズル３１からの圧縮空気の吐出を行っているが、昇降機構１４による吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６の上昇が始まってすぐにこれらの振動の付与及び圧縮空気の吐出を行う構成とすることも可能である。

次に、搬送機構１２を駆動させて、図５中の矢印Ｈｒに示す如く吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６を水平に変位させ、第一ワークＷ１を搬送する。その後、搬送機構１２により元の位置（図１を参照）に戻った吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６により、次のワークＷを搬送するのである。

なお、第二ワークＷ２が第一ワークＷ１に吸着しない場合や、持ち上げられる途中で落下する場合もある。これらの場合は上記の如く構成された搬送装置１におけるワークＷの搬送に関して特に支障はない。このため、本実施形態においては、第二ワークＷ２が第一ワークＷ１に吸着していない場合についての説明は省略する。

上記の如く、本実施形態に係る搬送装置１においては、エアバイブレータ２０による振動と、空気吐出部３０から吐出する圧縮空気による第一ワークＷ１の撓みと、により、第二ワークＷ２が第一ワークＷ１に吸着している場合に第二ワークＷ２を第一ワークＷ１から離脱させる構成としている。これにより、複数の吸着ノズルを設けない簡易な構成、かつ、非接触で（ワークＷを傷つけることなく）第二ワークＷ２を第一ワークＷ１から分離することができる。

また、空気吐出部３０からの圧縮空気は第一ワークＷ１と第二ワークＷ２との間に入り込む必要がなく、第一ワークＷ１を撓ませるだけで良い。このため、空気吐出部３０から圧縮空気を吐出した瞬間に第二ワークＷ２を第一ワークＷ１から分離することができるため、ワークＷを短時間で搬送することが可能となる。

また、本実施形態に係る搬送装置１において、空気吐出部３０の吐出ノズル３１は、吸着ノズル１６で第一ワークＷ１を持ち上げた際に、第一ワークＷ１における吸着ノズル１６側（上側）から、第一ワークＷ１の表面に向けて、第一ワークＷ１の表面と交差する角度で圧縮空気を吹き付けている。これにより、第一ワークＷ１を、第二ワークＷ２が落下する方向である下方に撓ませることができる。即ち、第一ワークＷ１の撓みによって、第二ワークＷ２に対して落下させる力を付与することができるため、第一ワークＷ１と第二ワークＷ２とを分離し易くすることが可能となる。

また、本実施形態に係る搬送装置１において、空気吐出部３０の吐出ノズル３１は、第一ワークＷ１の表面に対して直交する角度で圧縮空気を吹き付けている。これにより、圧縮空気の持つ運動エネルギーを効果的に（エネルギーの損失を少なくして）第一ワークＷ１に伝達することができる。このため、斜めに圧縮空気を吹き付ける構成と比較した場合、同じ空気量で第一ワークＷ１をより撓ませることができるため、第二ワークＷ２との分離が容易となる。

また、本実施形態に係る搬送装置１においては図６に示す如く、吸着ノズル１６によるワークＷの吸着部分Ｐ１が、ワークＷの中央部分Ｃから右端方向側に遷移して配置され、また、吐出ノズル３１は、ワークＷの左端部の吹き付け箇所Ｐ２に圧縮空気を吹き付ける構成としている。これにより、吸着部分Ｐ１と吹き付け箇所Ｐ２との距離を大きくすることができるため、ワークＷに生じる曲げモーメントを大きくすることができる。これにより、ワークＷに生じる撓みをより大きくして、他のワークＷと容易に分離することが可能となる。

また、本実施形態に係る搬送装置１においては図６に示す如く、ワークＷの右端部に接続端子Ｔが設けられ、吸着ノズル１６によるワークＷの吸着部分Ｐ１は、ワークＷにおける接続端子Ｔが設けられた側である右側に配置されている。これにより、吐出ノズル３１による吹き付け箇所Ｐ２を接続端子Ｔから遠ざけることができるため、圧縮空気の吹き付け時に、パーティクル等の微小な異物が接続端子Ｔに付着することを抑制できる。

なお、本実施形態に係る搬送装置１において、空気吐出部３０は、ワークＷの表面に圧縮空気を継続的に吹き付ける構成としているが、圧縮空気を間欠的に吹き付ける構成とすることも可能である。このように構成することにより、ワークＷに撓みが生じた後に弾性により形状が回復する回数を多くすることができるため、ワークＷを他のワークと容易に分離することが可能となる。

＜別実施形態＞
次に、図７及び図８を用いて、本発明の別実施形態に係る搬送装置について説明する。本実施形態に係る搬送装置は、前記第一実施形態に係る搬送装置１に対して、空気吐出部の数が異なるだけである。このため、以下においては、第一実施形態と同様の構成は詳細な説明を省略し、異なる構成を中心に説明する。

図７に示す如く、本実施形態に係る搬送装置において、吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６の左側で隣接する位置には第一吐出ノズル３１ａを備える第一空気吐出部３０ａが配設されている。また、吸気パイプ１５及び吸着ノズル１６の右側で隣接する位置には第二吐出ノズル３１ｂを備える第二空気吐出部３０ｂが配設されている。第一空気吐出部３０ａ及び第二空気吐出部３０ｂは、それぞれ図示しない送気ホース及び吐出機構等を備えて構成されている。

第一吐出ノズル３１ａは、吸着ノズル１６がワークＷを吸着して持ち上げた際に、ワークＷの表面のうち左前角部に圧縮空気を吹き付けることが可能な位置（ワークＷを持ち上げた位置の少し左前側上方の位置）に先端部が配置されている。また、第二吐出ノズル３１ｂは、吸着ノズル１６がワークＷを吸着して持ち上げた際に、ワークＷの表面のうち右後角部に圧縮空気を吹き付けることが可能な位置（ワークＷを持ち上げた位置の少し右後側上方の位置）に先端部が配置されている。

図７に示す如く、第一・第二空気吐出部３０ａ・３０ｂは、吸着ノズル１６が吸着したワークＷの表面に、第一・第二吐出ノズル３１ａ・３１ｂが圧縮空気を吹き付けることにより、ワークＷを撓ませるように構成されている。本実施形態においては図８に示す如く、ワークＷにおいて第一吐出ノズル３１ａに圧縮空気が吹き付けられる部分を「第一吹き付け箇所Ｐ２」と記載する。また、ワークＷにおいて第二吐出ノズル３１ｂに圧縮空気が吹き付けられる部分を「第二吹き付け箇所Ｐ３」と記載する。図８に示す如く、本実施形態における第一吹き付け箇所Ｐ２はワークＷの左前角部に配置され、第二吹き付け箇所Ｐ３はワークＷの右後角部に配置される。

本実施形態に係る搬送装置においては図７に示す如く、エアバイブレータ２０を駆動させて、吸気パイプ１５を介して吸着ノズル１６に振動を付与する。同時に、第一空気吐出部３０ａ及び第二空気吐出機構３０ｂの吐出機構を駆動させて、図７中の矢印Ａ２及び矢印Ａ３に示す如く、第一吐出ノズル３１ａ及び第二吐出ノズル３１ｂから圧縮空気を吐出する。

各吐出ノズル３１ａ・３１ｂから吐出された圧縮空気は図８に示す如く、第一ワークＷ１の左前角部（吹き付け箇所Ｐ２）及び右後角部（吹き付け箇所Ｐ３）に吹き付けられ、第一ワークＷ１は両角部が撓む。吸着ノズル１６から受ける振動と、第一ワークＷ１の撓みにより、第二ワークＷ２が第一ワークＷ１に吸着している場合に第二ワークＷ２は第一ワークＷ１から離脱し、図７中の矢印Ｄに示す如く収容ケースＣｗに落下する。このように本実施形態においては、第一ワークＷ１に対して圧縮空気を二箇所に吹き付ける構成とすることにより、第一ワークＷ１の撓みをより大きくして第二ワークＷ２と容易に分離することを可能としている。

また、本実施形態に係る搬送装置は、ワークＷが矩形板状に形成され、第一吹き付け箇所Ｐ２はワークＷの左前角部に配置され、第二吹き付け箇所Ｐ３はワークＷの右後角部に配置される。換言すれば、ワークＷにおいて、第一吹き付け箇所Ｐ２と第二吹き付け箇所Ｐ３とは、図８に示す如くワークＷにおける同一の対角線ＤＬ上に配置されている。

上記の如く構成することにより、第一吹き付け箇所Ｐ２と第二吹き付け箇所Ｐ３との距離を最大限に大きくすることができるため、ワークＷに生じる曲げモーメントを大きくすることができる。これにより、ワークＷに生じる撓みをより大きくして、他のワークＷと容易に分離することが可能となる。

上記の如く、本発明の一例に係る搬送装置は、積み重ねられた薄板状のワークを上側から順次吸着し持ち上げて搬送する搬送装置であって、吸着ノズルで前記ワークを吸着して搬送する、吸着搬送部と、前記吸着ノズルに振動を付与する、振動発生部と、前記吸着ノズルで吸着した前記ワークの表面に圧縮空気を吹き付けることにより、前記ワークを撓ませる、空気吐出部と、を備えるものである。

この構成によれば、薄板状のワークの積層体からワークを吸着して搬送する際に、簡易な構成で、ワークを傷つけることなく短時間で搬送することが可能となる。

また、前記空気吐出部は、前記ワークにおける前記吸着ノズル側から、前記ワークの表面に向けて前記表面と交差する角度で圧縮空気を吹き付けることが好ましい。

この構成によれば、ワークの撓みにより他のワークと分離し易くすることが可能となる。

また、前記空気吐出部は、前記ワークの表面に対して直交する角度で圧縮空気を吹き付けることが好ましい。

この構成によれば、ワークをより撓ませることができるため、他のワークとの分離が容易となる。

また、前記吸着搬送部による前記ワークの吸着部分は、前記ワークの中央部分から一端方向側に遷移して配置され、前記空気吐出部は、前記ワークの他端方向側の端部に圧縮空気を吹き付けることが好ましい。

この構成によれば、ワークの撓みをより大きくして他のワークと容易に分離することが可能となる。

また、前記ワークの端部には接続端子が設けられ、前記吸着搬送部による前記ワークの吸着部分は、前記ワークにおける前記接続端子が設けられた側に配置されることが好ましい。

この構成によれば、圧縮空気の吹き付け時に、パーティクル等の微小な異物が接続端子に付着することを抑制できる。

また、前記吸着搬送部による前記ワークの吸着部分は、前記ワークの中央部分に配置され、前記空気吐出部は、前記ワークの一端方向側の端部に圧縮空気を吹き付ける第一空気吐出部と、前記ワークの他端方向側の端部に圧縮空気を吹き付ける第二空気吐出部と、が設けられることが好ましい。

また、前記ワークは矩形板状に形成され、前記ワークにおいて、前記第一空気吐出部に圧縮空気を吹き付けられる第一吹き付け箇所と、前記第二空気吐出部に圧縮空気を吹き付けられる第二吹き付け箇所とは、前記ワークにおける同一の対角線上に配置されることが好ましい。

また、前記空気吐出部は、前記ワークの表面に圧縮空気を間欠的に吹き付けることが好ましい。

この構成によれば、ワークを他のワークと容易に分離することが可能となる。

このような搬送装置によれば、薄板状のワークの積層体からワークを吸着して搬送する際に、簡易な構成で、ワークを傷つけることなく短時間で搬送することが可能となる。

この出願は、２０１７年１２月２６日に出願された日本国特許出願特願２０１７−２４９３４８を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。なお、発明を実施するための形態の項においてなされた具体的な実施態様又は実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、本発明は、そのような具体例のみに限定して狭義に解釈されるべきものではない。

１搬送装置
１０吸着搬送部１１搬送ガイド
１２搬送機構１３昇降ガイド
１４昇降機構１５吸気パイプ
１６吸着ノズル１７吸気機構
１８吸気ホース
２０エアバイブレータ（振動発生部）
３０空気吐出部３０ａ第一空気吐出部
３０ｂ第二空気吐出部３１吐出ノズル
３１ａ第一吐出ノズル３１ｂ第二吐出ノズル
３２ノズル支持部３３吐出機構
３４送気ホースＣ中央部
Ｃｗ収容ケースＤＬ対角線
Ｆ床面Ｐ１吸着部分
Ｐ２吹き付け箇所（第一吹き付け箇所）
Ｐ３吹き付け箇所（第二吹き付け箇所）
Ｔ接続端子
ＷワークＷ１第一ワーク
Ｗ２第二ワークＷＬワーク積層体

Claims

積み重ねられた薄板状のワークを上側から順次吸着し持ち上げて搬送する搬送装置であって、
吸着ノズルで前記ワークを吸着して搬送する、吸着搬送部と、
前記吸着ノズルに振動を付与する、振動発生部と、
前記吸着ノズルで吸着した前記ワークの表面に圧縮空気を吹き付けることにより、前記ワークを撓ませる、空気吐出部と、を備える、搬送装置。
前記空気吐出部は、前記ワークにおける前記吸着ノズル側から、前記ワークの表面に向けて前記表面と交差する角度で圧縮空気を吹き付ける、請求項１に記載の搬送装置。
前記空気吐出部は、前記ワークの表面に対して直交する角度で圧縮空気を吹き付ける、請求項２に記載の搬送装置。
前記吸着ノズルによる前記ワークの吸着部分は、前記ワークの中央部分から一端方向側に遷移して配置され、
前記空気吐出部は、前記ワークの他端方向側の端部に圧縮空気を吹き付ける、請求項１から請求項３の何れか１項に記載の搬送装置。
前記ワークの端部には接続端子が設けられ、
前記吸着ノズルによる前記ワークの吸着部分は、前記ワークにおける前記接続端子が設けられた側に配置される、請求項４に記載の搬送装置。
前記吸着ノズルによる前記ワークの吸着部分は、前記ワークの中央部分に配置され、
前記空気吐出部は、前記ワークの一端方向側の端部に圧縮空気を吹き付ける第一空気吐出部と、前記ワークの他端方向側の端部に圧縮空気を吹き付ける第二空気吐出部と、が設けられる、請求項１から請求項３の何れか１項に記載の搬送装置。
前記ワークは矩形板状に形成され、
前記ワークにおいて、前記第一空気吐出部に圧縮空気を吹き付けられる第一吹き付け箇所と、前記第二空気吐出部に圧縮空気を吹き付けられる第二吹き付け箇所とは、前記ワークにおける同一の対角線上に配置される、請求項６に記載の搬送装置。
前記空気吐出部は、前記ワークの表面に圧縮空気を間欠的に吹き付ける、請求項１から請求項７の何れか１項に記載の搬送装置。