JPWO2019123811A1 - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1.1)弾性波装置の全体構成
以下、実施形態1に係る弾性波装置1について、図面を参照して説明する。
次に、弾性波装置1の各構成要素について、図面を参照して説明する。
積層型基板2は、図3に示すように、高音速支持基板21と、低音速膜23と、圧電体部24と、を含む。高音速支持基板21では、圧電体部24を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜23は、高音速支持基板21上に形成されている。ここにおいて、「高音速支持基板21上に設けられている」とは、高音速支持基板21上に直接的に設けられている場合と、高音速支持基板21上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜23では、圧電体部24を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部24は、低音速膜23上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜23上に設けられている」とは、低音速膜23上に直接的に設けられている場合と、低音速膜23上に間接的に設けられている場合と、を含む。圧電体部24は、高音速支持基板21上に間接的に設けられている。この場合、弾性波装置1では、高音速支持基板21と圧電体部24との間に低音速膜23が設けられていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、弾性波装置1では、圧電体部24内及び弾性波が励振されているIDT電極3内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、弾性波装置1では、低音速膜23が設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Q値を高めることができる。
2つの反射器8は、圧電体部24上に設けられている。より詳細には、2つの反射器8は、圧電体部24の一の主面241上に設けられている。ここで、2つの反射器8は、第2方向D2において3つのIDT電極3のうち両側のIDT電極3それぞれにおける真ん中のIDT電極3とは反対側に、1つずつ配置されている。以下では、説明の便宜上、3つのIDT電極3を区別する場合に、複数のIDT電極3のうち第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3の一方をIDT電極3A、他方をIDT電極3Bと称することもある。図1及び2の例では、3つのIDT電極3のうち真ん中のIDT電極3をIDT電極3Aと称し、両端のIDT電極3をIDT電極3Bと称する。
IDT電極3は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、白金(Pt)、金(Au)、銀(Ag)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。また、IDT電極3は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。IDT電極3の厚さは、例えば、150nmである。
図4は、図1及び2の真ん中のIDT電極3Aの左側の端に位置する第1電極指6と、図1及び2の左側のIDT電極3Bの右側の端に位置する第1電極指6と、を含む拡大図である。図1、2及び4において「H」の記号が表記されている高電位側部分と、「E」の記号が表記されている低電位側部分とは、電位が異なる。例えば、図4において、IDT電極3Aの左側の端に位置する第1電極指6と、IDT電極3Bの右側の端に位置する第1電極指6とは、電位が異なる。また、図4において、IDT電極3Aの左側の端に位置する第1電極指6と、この第1電極指6に近接する、IDT電極3Aの第2バスバー5とは、電位が異なる。また、図4において、IDT電極3Bの右側の端に位置する第1電極指6と、この第1電極指6に近接する、IDT電極3Bの第2バスバー5とは、電位が異なる。また、IDT電極3Aの第2バスバー5とIDT電極3Bの第2バスバー5とは、電位が異なる。
複数のIDT電極3のうち第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3の一方を第1IDT電極、他方を第2IDT電極としたとき、第1IDT電極(IDT電極3A又は3B)では、第2IDT電極(IDT電極3B又は3A)に最も近い第1電極指6に関して、例えば、図4に示すように、第1距離L1が第2距離L2よりも短い。第1距離L1は、第1方向D1に沿った中央部60の中心線6Xと太幅部62の第2IDT電極側の外縁621との第2方向D2における最大距離である。第2距離L2は、中心線6Xと太幅部62の第2IDT電極とは反対側の外縁622との第2方向D2における最大距離である。第1電極指6の中央部60の第2方向D2における幅をW0とすると、第1距離L1及び第2距離L2は、いずれもW0/2よりも長い。実施形態1に係る弾性波装置1では、隣り合う2つのIDT電極3のペアにおいて、IDT電極3Aを第1IDT電極とすると、IDT電極3Bが第2IDT電極となり、IDT電極3Bを第1IDT電極とすると、IDT電極3Aが第2IDT電極となる。第1IDT電極において第2IDT電極に最も近い第1電極指6の太幅部62が、第1方向D1において中央部60と重なる部分620から、第2方向D2において互いに反対向きに突出している2つの突部6210、6220を含んでいる(図4参照)。突部6210は、第2方向D2において中央部60よりも第2IDT電極側に突出している。突部6220は、第2方向D2において中央部60よりも第2IDT電極側とは反対の第2電極指7側に突出している。
実施形態1に係る弾性波装置1は、第1端子11と、第2端子12と、圧電体部24と、複数のIDT電極3と、を備える。第2端子12は、第1端子11の電位よりも低い電位になる。複数のIDT電極3は、圧電体部24上に設けられており、第1端子11及び第2端子12と電気的に接続されている。複数のIDT電極3の各々は、第1バスバー4と、第2バスバー5と、複数の第1電極指6と、複数の第2電極指7と、を有する。第2バスバー5は、第1方向D1において第1バスバー4に対向している。複数の第1電極指6は、第1バスバー4に接続され第1方向D1において第1バスバー4から第2バスバー5側に延びている。複数の第2電極指7は、第2バスバー5に接続され第1方向D1において第2バスバー5から第1バスバー4側に延びている。複数の第1電極指6と複数の第2電極指7とが、第1方向D1に直交する第2方向D2において、互いに離隔して並んでいる。第1バスバー4及び第2バスバー5の各々は、開口部40、50と、内側バスバー部42、52と、外側バスバー部41、51と、連結部43、53と、を含む。内側バスバー部42、52は、第1方向D1において開口部40、50よりも複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7を含む一群の電極指側に位置している。外側バスバー部41、51は、第1方向D1において開口部40、50から見て内側バスバー部42、52とは反対側に位置している。連結部43、53は、第1方向D1において内側バスバー部42、52と外側バスバー部41、51とを連結している。複数のIDT電極3のうち第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3の一方を第1IDT電極、他方を第2IDT電極としたとき、第1IDT電極の一群の電極指のうち第2IDT電極に最も近い電極指(第1電極指6)と、第2IDT電極の一群の電極指のうち第1IDT電極に最も近い電極指(第1電極指6)と、の一方が第1端子11に接続され、他方が第2端子12に接続されている。第1IDT電極では、一群の電極指のうち第2IDT電極に最も近い第1電極指6が、第2IDT電極に最も近い第1電極指6の第1方向D1の中央部60よりも第2方向D2の幅が大きな太幅部62を含む。第1IDT電極では、第2IDT電極に最も近い第1電極指6に関し、第1方向D1に沿った中央部60の中心線6Xと太幅部62の第2IDT電極側の外縁621との第2方向D2における最大距離である第1距離L1が、中心線6Xと太幅部62の第2IDT電極とは反対側の外縁622との第2方向D2における最大距離である第2距離L2よりも短い。
以下では、実施形態1の変形例1に係る弾性波装置1aについて、図7及び8を参照して説明する。
以下では、実施形態1の変形例2に係る弾性波装置1bについて、図9を参照して説明する。
以下では、実施形態1の変形例3に係る弾性波装置1bについて、図10を参照して説明する。
複数のIDT電極3の各々におけるIDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、IDT電極3では、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指は、第1電極指6である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端に位置する電極指が第1電極指6で、他方の端に位置する電極指が第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第1電極指6と複数の第2電極指7とが、第1方向D1に直交する第2方向D2において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第1電極指6と第2電極指7とが1本ずつ離隔して並んでいる領域と、第1電極指6又は第2電極指7が第2方向D2において2つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3のうち少なくとも一方のIDT電極3で、一群の電極指のうち第2方向Dにおいて他方のIDT電極3に最も近い電極指の太幅部に関し、第1距離L1が第2距離L2よりも短くなっていればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつESD耐性の向上を図ることが可能となる。また、IDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれにおいては、少なくとも1つの第1電極指6及び第2電極指7が太幅部62、72を有していればよい。
(2.1)弾性波装置の構成
以下、実施形態2に係る弾性波装置1dについて、図11及び12を参照して説明する。
実施形態2に係る弾性波装置1dは、第1端子11(図1参照)と、第2端子12(図1参照)と、圧電体部24と、複数のIDT電極3と、を備える。第2端子12は、第1端子11の電位よりも低い電位になる。複数のIDT電極3は、圧電体部24上に設けられており、第1端子11及び第2端子12と電気的に接続されている。複数のIDT電極3の各々は、第1バスバー4と、第2バスバー5と、複数の第1電極指6と、複数の第2電極指7と、を有する。第2バスバー5は、第1方向D1において第1バスバー4に対向している。複数の第1電極指6は、第1バスバー4に接続され第1方向D1において第1バスバー4から第2バスバー5側に延びている。複数の第2電極指7は、第2バスバー5に接続され第1方向D1において第2バスバー5から第1バスバー4側に延びている。複数の第1電極指6と複数の第2電極指7とが、第1方向D1に直交する第2方向D2において、互いに離隔して並んでいる。第1バスバー4及び第2バスバー5の各々は、開口部40、50と、内側バスバー部42、52と、外側バスバー部41、51と、連結部43、53と、を含む。内側バスバー部42、52は、第1方向D1において開口部40、50よりも複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7を含む一群の電極指側に位置している。外側バスバー部41、51は、第1方向D1において開口部40、50から見て内側バスバー部42、52とは反対側に位置している。連結部43、53は、第1方向D1において内側バスバー部42、52と外側バスバー部41、51とを連結している。複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれの少なくとも1つの第1電極指6、第2電極指7が、第1方向D1の中央部60、70よりも第2方向D2の幅が大きな太幅部62、72を含む。複数のIDT電極3のうち第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3の一方を第1IDT電極、他方を第2IDT電極としたとき、第1IDT電極の一群の電極指のうち第2IDT電極に最も近い電極指(第1電極指6)と、第2IDT電極の一群の電極指のうち第1IDT電極に最も近い電極指(第1電極指6)と、の一方が第1端子11に接続され、他方が第2端子12に接続されている。第1IDT電極では、第2IDT電極に最も近い第1電極指6に太幅部62を有せず、第2IDT電極に最も近い第1電極指6以外の第1電極指6の少なくとも1つに太幅部62を有する。
以下では、実施形態2の変形例1に係る弾性波装置1eについて、図13を参照して説明する。
以下では、実施形態2の変形例2に係る弾性波装置1fについて、図14を参照して説明する。
実施形態2の変形例3に係る弾性波装置1gでは、図15に示すように、積層型基板2gが、高音速膜22と、低音速膜23と、圧電体部24と、を含む。高音速膜22は、支持基板20上に設けられている。ここにおいて、「支持基板20上に設けられている」とは、支持基板20上に直接的に設けられている場合と、支持基板20上に間接的に設けられている場合と、を含む。高音速膜22では、圧電体部(圧電膜)24を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜23は、高音速膜22上に設けられている。ここにおいて、「高音速膜22上に設けられている」とは、高音速膜22上に直接的に設けられている場合と、高音速膜22上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜23では、圧電体部24を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部24は、低音速膜23上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜23上に設けられている」とは、低音速膜23上に直接的に設けられている場合と、低音速膜23上に間接的に設けられている場合と、を含む。変形例3に係る弾性波装置1gに関し、実施形態2に係る弾性波装置1d(図11及び12参照)と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
実施形態2の変形例4に係る弾性波装置1hは、図16に示すように、圧電体部24hが圧電基板により構成されており、実施形態2に係る弾性波装置1dにおける高音速支持基板21及び低音速膜23を備えていない。変形例4に係る弾性波装置1hに関し、実施形態2に係る弾性波装置1d(図11及び12参照)と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
複数のIDT電極3の各々におけるIDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、IDT電極3では、一群の電極指のうち第2方向D2の両方の端それぞれに位置する電極指は、第1電極指6である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端に位置する電極指が第1電極指6で、他方の端に位置する電極指が第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第1電極指6と複数の第2電極指7とが、第1方向D1に直交する第2方向D2において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第1電極指6と第2電極指7とが1本ずつ離隔して並んでいる領域と、第1電極指6又は第2電極指7が第2方向D2において2つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3のうち少なくとも一方のIDT電極3で、一群の電極指のうち第2方向Dにおいて他方のIDT電極3に最も近い電極指に太幅部を有せず、他方のIDT電極3に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも1つに太幅部を有していればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつESD耐性の向上を図ることが可能となる。また、IDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれにおいては、少なくとも1つの第1電極指6及び第2電極指7が太幅部62、72を有していればよい。
以上説明した実施形態等から以下の態様が開示されている。
2、2g 積層型基板
20 支持基板
21 高音速支持基板
211 第1主面
212 第2主面
22 高音速膜
23 低音速膜
24、24h 圧電体部
241、241h 一の主面
3 IDT電極
3A IDT電極(第1IDT電極又は第2IDT電極)
3B IDT電極(第2IDT電極又は第1IDT電極)
4 第1バスバー
40 開口部
41 外側バスバー部
42 内側バスバー部
5 第2バスバー
50 開口部
51 外側バスバー部
52 内側バスバー部
6 第1電極指
6X 中心線
60 中央部
601 外縁
61 先端部
62 太幅部
621 外縁
622 外縁
6210 突部
6220 突部
63 基端部
64 太幅部
7 第2電極指
7X 中心線
70 中央部
71 先端部
72 太幅部
73 基端部
74 太幅部
8 反射器
9 電極指
D1 第1方向
D2 第2方向
L1 第1距離
L2 第2距離
L01 距離
W0 幅
W01 幅
A1 領域(外側バスバー領域)
A2 領域(連結領域)
A3 領域(内側バスバー領域)
A4 領域(ギャップ領域)
A5 領域(太幅領域)
A6 領域(中央領域)
A7 領域(太幅領域)
A8 領域(ギャップ領域)
A9 領域(内側バスバー領域)
A10 領域(連結領域)
A11 領域(外側バスバー領域)
積層型基板2は、図3に示すように、高音速支持基板21と、低音速膜23と、圧電体部24と、を含む。高音速支持基板21では、圧電体部24を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜23は、高音速支持基板21上に設けられている。ここにおいて、「高音速支持基板21上に設けられている」とは、高音速支持基板21上に直接的に設けられている場合と、高音速支持基板21上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜23では、圧電体部24を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部24は、低音速膜23上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜23上に設けられている」とは、低音速膜23上に直接的に設けられている場合と、低音速膜23上に間接的に設けられている場合と、を含む。圧電体部24は、高音速支持基板21上に間接的に設けられている。この場合、弾性波装置1では、高音速支持基板21と圧電体部24との間に低音速膜23が設けられていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、弾性波装置1では、圧電体部24内及び弾性波が励振されているIDT電極3内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、弾性波装置1では、低音速膜23が設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Q値を高めることができる。
以下では、実施形態1の変形例3に係る弾性波装置1cについて、図10を参照して説明する。
複数のIDT電極3の各々におけるIDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、IDT電極3では、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指は、第1電極指6である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端に位置する電極指が第1電極指6で、他方の端に位置する電極指が第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第1電極指6と複数の第2電極指7とが、第1方向D1に直交する第2方向D2において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第1電極指6と第2電極指7とが1本ずつ離隔して並んでいる領域と、第1電極指6又は第2電極指7が第2方向D2において2つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3のうち少なくとも一方のIDT電極3で、一群の電極指のうち第2方向D2において他方のIDT電極3に最も近い電極指の太幅部に関し、第1距離L1が第2距離L2よりも短くなっていればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつESD耐性の向上を図ることが可能となる。また、IDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれにおいては、少なくとも1つの第1電極指6及び第2電極指7が太幅部62、72を有していればよい。
複数のIDT電極3の各々におけるIDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、IDT電極3では、一群の電極指のうち第2方向D2の両方の端それぞれに位置する電極指は、第1電極指6である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端に位置する電極指が第1電極指6で、他方の端に位置する電極指が第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指のうち第2方向D2の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第2電極指7であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第1電極指6と複数の第2電極指7とが、第1方向D1に直交する第2方向D2において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第1電極指6と第2電極指7とが1本ずつ離隔して並んでいる領域と、第1電極指6又は第2電極指7が第2方向D2において2つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第2方向D2において隣り合う2つのIDT電極3のうち少なくとも一方のIDT電極3で、一群の電極指のうち第2方向D2において他方のIDT電極3に最も近い電極指に太幅部を有せず、他方のIDT電極3に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも1つに太幅部を有していればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつESD耐性の向上を図ることが可能となる。また、IDT電極3における複数の第1電極指6及び複数の第2電極指7それぞれにおいては、少なくとも1つの第1電極指6及び第2電極指7が太幅部62、72を有していればよい。
Claims (6)
- 第1端子と、
前記第1端子の電位よりも低い電位になる第2端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第1端子及び前記第2端子と電気的に接続されている、複数のIDT電極と、を備え、
前記複数のIDT電極の各々は、
第1バスバーと、
第1方向において前記第1バスバーに対向している第2バスバーと、
前記第1バスバーに接続され前記第1方向において前記第1バスバーから前記第2バスバー側に延びている複数の第1電極指と、
前記第2バスバーに接続され前記第1方向において前記第2バスバーから前記第1バスバー側に延びている複数の第2電極指と、を有し、
前記複数の第1電極指と前記複数の第2電極指とが、前記第1方向に直交する第2方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第1バスバー及び前記第2バスバーの各々は、
開口部と、
前記第1方向において前記開口部よりも前記複数の第1電極指及び前記複数の第2電極指を含む一群の電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第1方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第1方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数のIDT電極のうち前記第2方向において隣り合う2つのIDT電極の一方を第1IDT電極、他方を第2IDT電極としたとき、
前記第1IDT電極の前記一群の電極指のうち前記第2IDT電極に最も近い電極指と、前記第2IDT電極の前記一群の電極指のうち前記第1IDT電極に最も近い電極指と、の一方が前記第1端子に接続され、他方が前記第2端子に接続されており、
前記第1IDT電極では、前記第1IDT電極の前記一群の電極指のうち前記第2IDT電極に最も近い電極指が、前記第2IDT電極に最も近い電極指の前記第1方向の中央部よりも前記第2方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第1IDT電極では、前記第2IDT電極に最も近い電極指に関し、
前記第1方向に沿った前記中央部の中心線と前記太幅部の前記第2IDT電極側の外縁との前記第2方向における最大距離である第1距離が、前記中央部の中心線と前記太幅部の前記第2IDT電極とは反対側の外縁との前記第2方向における最大距離である第2距離よりも短い、
弾性波装置。 - 前記第1IDT電極では、前記第2IDT電極に最も近い電極指に関し、
前記第1距離が、前記中央部の中心線と前記中央部の前記第2IDT電極側の外縁との前記第2方向における距離と同じである、
請求項1に記載の弾性波装置。 - 第1端子と、
前記第1端子の電位よりも低い電位になる第2端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第1端子及び前記第2端子と電気的に接続されている、複数のIDT電極と、を備え、
前記複数のIDT電極の各々は、
第1バスバーと、
第1方向において前記第1バスバーに対向している第2バスバーと、
前記第1バスバーに接続され前記第1方向において前記第1バスバーから前記第2バスバー側に延びている複数の第1電極指と、
前記第2バスバーに接続され前記第1方向において前記第2バスバーから前記第1バスバー側に延びている複数の第2電極指と、を有し、
前記複数の第1電極指と前記複数の第2電極指とが、前記第1方向に直交する第2方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第1バスバー及び前記第2バスバーの各々は、
開口部と、
前記第1方向において前記開口部よりも前記複数の第1電極指及び前記複数の第2電極指を含む一群の電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第1方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第1方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第1電極指及び前記複数の第2電極指それぞれの少なくとも1つの電極指が、前記少なくとも1つの電極指の前記第1方向の中央部よりも前記第2方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記複数のIDT電極のうち前記第2方向において隣り合う2つのIDT電極の一方を第1IDT電極、他方を第2IDT電極としたとき、
前記第1IDT電極の前記一群の電極指のうち前記第2IDT電極に最も近い電極指と、前記第2IDT電極の前記一群の電極指のうち前記第1IDT電極に最も近い電極指と、の一方が前記第1端子に接続され、他方が前記第2端子に接続されており、
前記第1IDT電極では、前記第2IDT電極に最も近い電極指に前記太幅部を有せず、前記第2IDT電極に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも1つに前記太幅部を有する、
弾性波装置。 - 前記複数のIDT電極が前記第2方向において並んでおり、
前記第2方向において並んでいる前記複数のIDT電極のうち両側のIDT電極それぞれの、隣りのIDT電極とは反対側で前記圧電体部上に1つずつ設けられており、前記複数のIDT電極により励振された弾性波を反射する2つの反射器を更に備える、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波装置。 - 前記複数の第1電極指及び前記複数の第2電極指それぞれの少なくとも1つの電極指の先端部が、前記太幅部を含む、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波装置。 - 前記圧電体部と前記複数のIDT電極のうち1つのIDT電極とを含む積層体は、前記積層体の厚さ方向からの平面視で、前記第1方向にいて互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第1方向において中央に位置しており、前記複数の第1電極指の中央部と前記複数の第2電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第1バスバーの前記外側バスバー部及び前記第2バスバーの前記外側バスバー部をそれぞれ含む2つの外側バスバー領域と、
前記第1バスバーの前記内側バスバー部及び前記第2バスバーの前記内側バスバー部をそれぞれ含む2つの内側バスバー領域と、
前記第1バスバーの開口部及び前記第2バスバーの開口部をそれぞれ含む2つの連結領域と、
前記複数の第1電極指と前記第2バスバーとの間のギャップ及び前記複数の第2電極指と前記第1バスバーとの間のギャップそれぞれを含む2つのギャップ領域と、
前記複数の第1電極指の少なくとも1つの電極指の太幅部及び前記複数の第2電極指の少なくとも1つの電極指の太幅部それぞれを含む2つの太幅領域と、を含み、
前記2つの外側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
前記2つの内側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
前記2つの連結領域では、前記2つの外側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
前記2つのギャップ領域では、前記2つの内側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
前記2つの太幅領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性波装置。
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