JPWO2019058824A1 - ロボットハンド、ロボット装置及び電子機器の製造方法 - Google Patents

Abstract

本技術の一形態に係るロボットハンドは、ハンド本体と、吸着ユニットと、フィンガユニットとを具備する。上記ハンド本体は、ベース部を有する。上記吸着ユニットは、上記ベース部に取り付けられ、第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する。上記フィンガユニットは、上記ベース部に取り付けられ、上記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有する。【選択図】図３

Description

本技術は、例えば、電子機器の製造に用いられるロボットハンド、ロボット装置及び電子機器の製造方法に関する。

近年、電子機器の製造工程にロボット装置が広く用いられている。この種のロボット装置は、ロボットハンドのワーク保持機構として、ワークを真空吸着することが可能な吸着パッドを有する吸着方式と、ワークを把持することが可能なフィンガを有するクランプ方式とが知られている。

吸着方式のロボットハンドは、平面上に載置されたワークを拾い上げる際に有利であるが、吸着力が弱いと移動途中や姿勢変換の際にワークが吸着パッドから脱落するおそれがある。一方、クランプ方式のロボットハンドは、ワークを直接把持するため比較的高い保持力が得られるものの、ワークがＦＦＣのような厚みの小さい帯状部材の場合、平面状に載置されたワークを安定に把持することができない。

そこで、吸着方式とクランプ方式とを兼ね備えたロボットハンドが知られている。例えば特許文献１には、吸着力によりワークを保持可能な吸着パッドと、吸着パッドに保持されたワークをその両側方から挟み込んで保持する一対の把持爪とを有するワーク把持装置が知られている。

特開２０１０−８２７４８公報

特許文献１に記載の把持装置において、一対の把持爪は、各々の間隔を変化させる動きしかできない。このため、吸着パッドで保持されたワークの姿勢変換に際しては ロボットハンド全体の姿勢変換が必要であり、限られたスペースでのワークの姿勢変換が困難である。

以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、ハンド全体の姿勢を変化させることなくワークの吸着から姿勢変換までの一連の動作を実現することが可能なロボットハンド、ロボット装置及び電子機器の製造方法を提供することにある。

本技術の一形態に係るロボットハンドは、ハンド本体と、吸着ユニットと、フィンガユニットとを具備する。
上記ハンド本体は、ベース部を有する。
上記吸着ユニットは、上記ベース部に取り付けられ、第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する。
上記フィンガユニットは、上記ベース部に取り付けられ、上記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有する。

上記ロボットハンドにおいては、第１及び第２のフィンガ部が回動軸のまわりに各々独立して回動可能に構成されているため、吸着ユニットで保持されたワークを上記回動軸のまわりに任意の角度回転させた姿勢に変換することができる。

上記ハンド本体は、上記第１及び第２の軸にそれぞれ交差する第３の軸に平行な関節軸をさらに有し、上記ベース部は、上記関節軸のまわりに回動可能に構成されてもよい。
これにより、吸着ユニット及びフィンガユニットを関節軸のまわりに回動させることができるとともに、フィンガユニットを回動軸及び関節軸の他軸まわりに回動させることができる。

上記ハンド本体は、上記第１及び第２のフィンガ部をそれぞれ上記回動軸のまわりに回動させる第１及び第２のワイヤ駆動機構をさらに有してもよい。
各ワイヤ駆動機構におけるワイヤのバネ性を利用して個々のフィンガ部の回転動作のタイミングずれや位置ずれを吸収して、ワークをより適正に把持することができる。

上記第１及び第２のワイヤ駆動機構は、ワイヤ張力をそれぞれ検出することが可能な検出機構を含むワイヤ張力調整ユニットを有してもよい。
これにより、各ワイヤ駆動機構におけるワイヤ張力を適切に調整することができる。

上記ハンド本体は、上記ベース部を上記関節軸のまわりに回動させる第３のワイヤ駆動機構をさらに有してもよい。
ベース部の回動駆動源をフィンガユニットのそれと同一方式で構成することができるため、システムの簡素化を図ることができるとともに、各駆動源の制御の親和性を高めることができる。

上記フィンガユニットは、典型的には、上記吸着部に吸着されたワークを把持することが可能に構成される。
これにより、ワークの吸着保持から姿勢変換まで一連の動作で実現することができる。

上記第１及び第２のフィンガ部はそれぞれ、１８０度の可動範囲を有してもよい。
これにより、フィンガユニットによりワークの表裏を反転することが可能である。

上記フィンガユニットは、上記吸着部に吸着されたワークを上記一軸方向から挟み込むことが可能に構成されてもよい。
これにより、厚みがなく柔軟性のある薄手のワークであっても、フィンガユニットによって適切に保持することができる。

本技術の一形態に係るロボット装置は、ロボットアームと、ハンド本体と、吸着ユニットと、フィンガユニットとを具備する。
上記ハンド本体は、ベース部を有し、上記ロボットアームに取り付けられる。
上記吸着ユニットは、上記ベース部に取り付けられ、第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する。
上記フィンガユニットは、上記ベース部に取り付けられ、上記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有し、上記吸着部に吸着されたワークを把持することが可能に構成される。

本技術の一形態に係る電子機器の製造方法は、接続部材を有する電子機器の製造方法であって、ロボットハンドのベース部に取り付けられ第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する吸着ユニットによって上記接続部材を吸着することを含む。
上記ベース部に取り付けられ上記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有するフィンガユニットによって、上記吸着部に吸着された上記接続部材が把持される。
上記接続部材を把持したフィンガユニットを上記回動軸のまわりに回動させることで、上記接続部材の姿勢が変化させられる。

以上のように、本技術によれば、ハンド全体の姿勢を変化させることなくワークの吸着から姿勢変換までの一連の動作を実現することができる。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。

本技術の一実施形態に係るロボット装置を示す概略正面図である。 上記ロボット装置におけるハンド部の構成を示す概略斜視図である。 上記ハンド部の要部の拡大図である。 上記ハンド部の要部正面図である。 上記ハンド部の要部左側面図である。 上記ハンド部の要部右側面図である。 上記ハンド部におけるフィンガユニットの開放状態を示す要部正面図である。 図７の底面図である。 上記ロボット装置におけるワイヤ駆動機構の構成を示す図である。 上記ロボット装置による動作説明図であって、ワークの吸着工程を示す図である。 上記ロボット装置による動作説明図であって、ワークの吸着工程を示す図である。 上記ロボット装置による動作説明図であって、ワークの把持工程を示す図である。 上記ロボット装置による動作説明図であって、ワークの姿勢変換工程を示す図である。

以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。

図１は、本技術の一実施形態に係るロボット装置を示す概略正面図である。本実施形態では、電子機器の製造工程に用いられる組立ロボットへの本技術の適用例について説明する。

［ロボット装置の概略構成］
本実施形態のロボット装置１は、組立ロボット１００と、電子機器Ｅの半完成品を支持する作業台２と、組立ロボット１００の駆動を制御するコントローラ３とを備える。

組立ロボット１００は、ハンド部１０１（ロボットハンド）と、ハンド部１０１を６軸自由度で任意の座標位置へ移動させることが可能な多関節アーム１０２（ロボットアーム）とを有する。

ハンド部１０１は、ワークとして、ケーブル、ハーネス、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）のように先端部に接続部を有する柔軟性の線状あるいは帯状の接続部材Ｃを把持し、これを所定の姿勢に変換して電子機器Ｅの所定部位に組み付けることが可能に構成される。

多関節アーム１０２は、作業台２又は作業台２に近接して配置された図示しない駆動ユニットに接続される。多関節アーム１０２は、ハンド部１０１を移動させ、あるいはその姿勢を変換する搬送機構として構成される。多関節アーム１０２は、典型的には、垂直多関節アーム、水平多関節アーム等で構成されるが、ＸＹＺ直交ロボット（３軸ロボット）等で構成されてもよい。

コントローラ３は、典型的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やメモリを有するコンピュータで構成され、組立ロボット１００の駆動を上記メモリに格納されたプログラムに従って制御するように構成される。

［組立ロボット］
図２は、組立ロボット１００のハンド部１０１の構成を示す概略斜視図、図３は、ハンド部１０１の要部の拡大図である。
同図に示すように、ハンド部１０１は、ハンド本体１０と、吸着ユニット３０と、フィンガユニット４０とを有する。

（ハンド本体）
ハンド本体１０は、ベース部１１と、機構部１２と、連結部１３とを有する。

ベース部１１は、吸着ユニット３０およびフィンガユニット４０を支持する。ベース部１１は、Ｙ軸方向に平行な回動軸１１１と、Ｘ軸方向に平行な関節軸１１２とを有する。

機構部１２は、大径部１２１と、小径部１２２とを有する多段の円筒形状に形成される。大径部１２１は、多関節アーム１０２に一端（上端）が取り付けられ、小径部１２２は大径部１２１の他端（下端）の中心に設けられる。機構部１２は、回動軸１１１のまわりにフィンガユニットを回転させる駆動源、関節軸１１２のまわりにベース部１１を回転させる駆動源、これら駆動源の動力伝達機構や調整機構等を収容する。

連結部１３は、ベース部１１と機構部１２の小径部１２２との間を連結する。連結部１３は、機構部１２における各種駆動源の動力をベース部１１の各部へ伝達する動力伝達部材（駆動ワイヤ）を収容する角筒形状の金属製の筒部を有する。

図４はハンド部１０１の要部正面図、図５は同左側面図、図６は同右側面図、図７はフィンガユニット４０の開放状態を示す要部正面図、図８は図７の底面図である。以下、吸着ユニット３０およびフィンガユニット４０の詳細について説明する。

（吸着ユニット）
本実施形態において吸着ユニット３０は、吸着部３１１を有する吸着ノズル３１と、吸着ノズル３１をＺ軸方向に往復移動させる駆動シリンダ３２と、吸着ノズル３１と駆動シリンダ３２との間を固定する固定部材３３と、駆動シリンダ３２とベース部１１との間を連結する連結部材３４とを有する。

吸着ノズル３１は、一端部（下端部）に吸着部３１１、他端部（上端部）に図示しない負圧源と接続される接続部３１２をそれぞれ有する。上記負圧源は、例えば機構部１２に設置された小型ポンプで構成される。

吸着部３１１による接続部材Ｃの吸着位置は特に限定されず、本実施形態では、図８に示すように、接続部材Ｃの接続部Ｃｅ側の端部近傍位置とされる。吸着位置はまた、接続部材Ｃの幅方向中央領域に限られず、図８に示すように、接続部材Ｃの幅方向中央から一方側（フィンガユニット４０側）の縁部に偏った位置であってもよい。

駆動シリンダ３２は、連結部材３４に固定され、Ｚ軸方向に伸縮可能な駆動ロッド３２１を有する。固定部材３３は、吸着ノズル３１と駆動ロッド３２１とを相互に連結し、駆動ロッド３２１の駆動により吸着ノズル３１（吸着部３１１）をＺ軸方向に平行移動させることが可能に構成される。固定部材３３と連結部材３４との間にはＺ軸方向に平行移動可能なガイド部材３５が固定されており、これにより吸着部３１１のＺ軸方向に沿った移動精度が確保される。

連結部材３４は、駆動シリンダ３２を支持する第１の端部３４１と、ベース部１１に固定される第２の端部３４２とを有する。第２の端部３４２は、回動軸１１１と関節軸１１２との間にネジ部材等の適宜の締結具を用いて固定される。これにより吸着ユニット３０は、ベース１１とともに関節軸１１２のまわりに回動可能に構成される。

（フィンガユニット）
フィンガユニット４０は、第１のフィンガ部４１と、第２のフィンガ部４２とを有する。第１及び第２のフィンガ部４１，４２は、ベース部１１に取り付けられ、回動軸１１１のまわりに各々独立して回動可能に構成される。

フィンガユニット４０は、吸着部３１１に吸着されたワークを把持することが可能に構成される。本実施形態では、フィンガユニット４０は、吸着部に吸着された接続部材Ｃをその厚み方向（Ｚ軸方向）から挟み込むことが可能に構成される。

第１及び第２のフィンガ部４１，４２は、相互に近接するクランプ位置と、相互に離間する開放位置との間を個々に独立して回動することが可能に構成される。各フィンガ部４１，４２の可動範囲（最大回動角度）は特に限定されず、本実施形態では１８０度である。

フィンガユニット４０は、開放位置において吸着ユニット３０と干渉しないように、吸着ユニット３０に対してＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ所定の間隔をあけて配置される（図７参照）。フィンガユニット４０は、その先端（下端）が、吸着部３１１の最下降位置よりも上方側に位置する高さに設定される。

本実施形態において、第１及び第２のフィンガ部４１，４２は、金属材料、合成樹脂材料等の適宜の材料で構成される。第１及び第２のフィンガ部４１，４２は、Ｙ軸方向に幅方向を有するクランプ面をそれぞれ有し、ワークを当該クランプ面で挟持するように構成される。

ハンド本体１０は、第１及び第２のフィンガ部４１，４２をそれぞれ回動軸１１１のまわりに回動させる第１及び第２のワイヤ駆動機構Ｄ１，Ｄ２を有する。ハンド本体１０はさらに、ベース部１１を関節軸１１２のまわりに回動させる第３のワイヤ駆動機構Ｄ３を有する。第１〜第３のワイヤ駆動機構Ｄ１〜Ｄ３は、図１に示すように、機構部１２（大径部１２１）の内部に設置される。

第１〜第３のワイヤ駆動機構Ｄ１〜Ｄ３は同一の構成を有し、図９に示すように、モータＭと、プーリＰと、ワイヤＷとを有する。モータＭの回転軸先端には、周面に螺旋状の溝が形成された回転体Ｍａが取り付けられている。回転体Ｍａの周面と駆動対象であるプーリＰとの間には、機構部１２の小径部１２２および連結部１３の内部を介して金属製のワイヤＷが架け渡されている。モータＭは、例えばサーボモータで構成され、ワイヤＷを動力伝達部材として、プーリＰを所望とする回転方向に所望とする回転量（回転角度）で回転させる。

図５及び図６に示すように、第１のワイヤ駆動機構Ｄ１におけるプーリＰ１は、第１のフィンガ部４１の基端部に設けられ、プーリＰ１に架け渡されたワイヤＷ１を介して第１のフィンガ部４１が回動軸１１１のまわりに回動可能に構成される。
第２のワイヤ駆動機構Ｄ２におけるプーリＰ２は、第２のフィンガ部４２の基端部に設けられ、プーリＰ２に架け渡されたワイヤＷ２を介して第２のフィンガ部４２が回動軸１１２のまわりに回動可能に構成される。
そして、図４に示すように、第３のワイヤ駆動機構Ｄ３におけるプーリＰ３は、ベース部１１の上端部に設けられ、プーリＰ３に架け渡されたワイヤＷ３を介してベース部１１が関節軸１１２のまわりに回動可能に構成される。

第１〜第３のワイヤ駆動機構Ｄ１〜Ｄ３の採用により、各フィンガ部４１，４２およびベース部１１をそれぞれ同一方式の駆動系で構成することができるため、システムの簡素化を図ることができるとともに、各駆動源の制御の親和性を高めることができる。

ワイヤＷ１，Ｗ２は、図４に示すように、プーリＰ３に隣接して関節軸１１２に挿通された第１ガイドプーリＧ１と、回動軸１１１と関節軸１１２との間に設けられた一対の第２ガイドプーリＧ２とを介して、プーリＰ１，Ｐ２にそれぞれ架け渡される。一対の第２ガイドプーリＧ２は、図６に示すように、Ｘ軸方向に平行な軸心を有し、Ｙ軸方向に隣接して設けられる。各第２ガイドプーリＧ２は、プーリＰ１，Ｐ２に架け渡されるワイヤＷ１，Ｗ２を個々に独立して支持する２列のプーリ群で構成される。

ワイヤＷ１は、関節軸１１２の中央に配置されたプーリＰ３を挟む内側の一対の第１ガイドプーリＧ１と、一対の第２ガイドプーリのうちの一方とを介してプーリＰ１に架け渡される。ワイヤＷ２は、上記内側の一対の第１ガイドプーリＧ１を挟む外側の一対の第１ガイドプーリＧ１と、一対の第２ガイドプーリのうちの他方とを介して、プーリＰ２に架け渡される。プーリＰ１，Ｐ２は、図５及び図６に示すように、回動軸１１１の軸方向（Ｙ軸方向）に相互に隣接して配置される。

フィンガユニット４０の駆動系にワイヤ駆動機構が採用されることにより、動力伝達機構の簡素化、省スペース化を実現することができる。さらに、ワイヤＷ１，Ｗ２のバネ性を利用して、個々のフィンガ部４１，４２の回転動作のタイミングずれや位置ずれを吸収することができる。

第１〜第３のワイヤ駆動機構Ｄ１〜Ｄ３は、各ワイヤ駆動機構のワイヤ張力をそれぞれ検出することが可能な検出機構を含むワイヤ張力調整ユニットを有する。

図９に示すように、各ワイヤ駆動機構Ｄ１〜Ｄ３において、モータＭは、ロードセルＣを介して基台Ｂ上に設置される。ロードセルＣは、モータＭによるプーリＰの回転駆動時におけるワイヤＷの張力を検出する検出機構を構成する。

ワイヤ張力調整ユニットの構成は特に限定されず、例えば図９に示すように、モータＭとプーリＰとの間に架け渡されたワイヤＷを支持するワイヤ支持部Ｒを備える。ワイヤ支持部Ｒは、モータＭの回転体Ｍａに巻き付けられたワイヤＷの上流側および下流側をそれぞれ支持する一対のローラｒ１１，ｒ１２を有する第１ユニットＲ１と、ワイヤＷの上流側および下流側を共通に支持するローラｒ１２を有する第２ユニットＲ２とを有する。第２ユニットＲ２は、第１ユニットＲ１に対して一軸方向に相対移動可能に構成される。

以上のように構成されるワイヤ支持部Ｒは、ワイヤＷの張力を任意に調整することが可能なワイヤ張力調整ユニットを構成する。ワイヤ支持部Ｒは、ロードセルＣを含む検出機構の出力に基づいて、ワイヤ張力が所定の値または範囲となるようにワイヤＷの張力を調整する。ワイヤＷ（Ｗ１〜Ｗ３）の所定の張力は、各ワイヤ駆動機構Ｄ１〜Ｄ３について同一であってもよいし、異なっていてもよい。

［ロボット装置の動作］
次に、以上のように構成されるロボット装置１００およびハンド部１０１の典型的な動作について説明する。

本実施形態のロボット装置１は、上述のように、ハンド部１０１によってＦＦＣ等の接続部材Ｃの一端側を把持し、これを所定の姿勢に変換して、電子機器Ｅの所定部位へ接続する作業を行う。図１０Ａ〜Ｄは、上記作業に伴うハンド部１０１の一連の動作を説明する模式図である。

ロボット装置１は、接続部材Ｃの吸着工程と、接続部材Ｃの把持工程と、接続部材Ｃの姿勢変換工程とを有する。後述するロボット装置１の各動作は、コントローラ３により制御される。

吸着工程において、ロボット装置１は、アーム部１０１を接続部材Ｃの直上位置で停止させた後、吸着ユニット３０の吸着部３１１を下方へ下降させて接続部材Ｃの端部近傍の表面を吸着保持する（図８、１０Ａ参照）。接続部材Ｃの吸着後、アーム部１０１は、吸着部３１１を上昇させて接続部材Ｃをフィンガユニット４０の側方に配置させる（図１０Ｂ参照）。

接続部材Ｃは、典型的には電子機器Ｗの上面に載置される。接続部材Ｃの直上位置へのアーム部１０１の移動にはカメラが用いられてもよい。当該カメラは、アーム部１０１に設置されてもよいし、多関節アーム１０２に設置されてもよい。

把持工程において、アーム部１０１は、吸着部３１１で吸着された接続部材Ｃをフィンガユニット４０によって把持する（図１０Ｃ参照）。図示の例では、第１のフィンガ部４１を接続部材Ｃの上面に対向する位置で待機させたまま、第２のワイヤ駆動機構Ｄ２を介して第２のフィンガ部４２を回動軸１１１のまわりに１８０度回動させる。これにより、吸着部３１１に吸着された接続部材Ｃがフィンガユニット４０によりＺ軸方向に挟持される。

フィンガユニット４０による接続部材Ｃの把持工程が完了した後、吸着ユニット３０による接続部材Ｃの吸着動作が解除される。

姿勢変換工程において、アーム部１０１は、接続部材Ｃを把持したフィンガユニット４０を回動軸１１１のまわりに回動させることで、接続部材Ｃを所定の姿勢に変換する。変換後の姿勢は特に限定されず、典型的には、次工程に適した姿勢が採用される。

姿勢変換工程では、第１及び第２のフィンガ部４１，４２は、各々同期して回動軸１１１のまわりに回動する。これにより、接続部材Ｃの把持状態を維持しながら、接続部材Ｃの姿勢を変化させることができる。アーム部１０１は、フィンガユニット４０を回動軸１１１まわりだけでなく、関節軸１１２まわりへも回動させてもよい。これにより、接続部材Ｃの姿勢の自由度が高められる。

接続部材Ｃの姿勢の変換工程が完了した後、アーム部１０１は、接続部材Ｃの接続部Ｃｅ（図８参照）を電子機器Ｗ上の所定の組み込み位置へ搬送し、接続する。

以上のように本実施形態によれば、ワークの吸着保持から姿勢変換まで一連の動作で実現することができる。特に、ＦＦＣのような厚みのないワーク（接続部材Ｃ）であっても、吸着ユニット３０による吸着動作によってワークのピックアップ動作を適正に行うことができる。さらに、吸着ユニット３０に吸着されたワークをフィンガユニット４０により把持することが可能に構成されているため、ワークの保持力が高められ、したがってワークの姿勢変換作業も安定に行うことができる。

本実施形態によれば、第１及び第２のフィンガ部４１，４２が回動軸１１１のまわりに各々独立して回動可能に構成されているため、吸着ユニット３０で保持されたワーク（接続部材Ｃ）を回動軸１１１のまわりに任意の角度回転させた姿勢に安定に変換することができる。これにより、ハンド部１０１の全体の姿勢を変化させることなく、吸着ユニット３０で保持されたワークを他の姿勢に変換することが可能である。したがって、ワークの姿勢変換に必要なスペースを小さくできるため、狭小領域へのワークの搬送が容易となる。

さらに、第１及び第２のフィンガ部４１，４２の駆動源にワイヤ駆動機構Ｄ１，Ｄ２が採用されているため、ワイヤのバネ性を利用して個々のフィンガ部４１，４２の回転動作のタイミングずれや位置ずれを吸収することができる。例えば、２つのフィンガ部４１，４２でワークを把持する場合、それぞれの目標位置（把持位置）を若干オーバーラップした位置に設定したとしても、そのオーバーラップ分をワイヤＷ１，Ｗ２のバネ性で吸収することができる。これにより、ワークを所定の保持力で安定に把持することができる。

しかも、ワイヤＷ１，Ｗ２の張力の検出および調整機構を有しているため、フィンガユニット４０のメンテナンスが容易であり、ワークの種類に応じた張力設定を迅速に行うことができる。

以上、本技術の実施形態について説明したが、本技術は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、種々変更を加え得ることは勿論である。

例えば以上の実施形態では、ワークとして、ＦＦＣのような柔軟性のある線状あるいは帯状の接続部材Ｃを例に挙げて説明したが、ワークの種類はこれに限定されず、例えば、板状、カード状、コイン状、短冊状等の厚みのない他の部材のハンドリングにも、本技術は適用可能である。さらに本技術は、産業用ロボットだけでなく、家庭用ロボット、医療用ロボット等にも適用することが可能である。

吸着ユニット３０においては、吸着ノズル３１を駆動シリンダ３２で昇降移動させることによって吸着部３１１を平行移動可能に構成されたが、吸着ノズル３１自体が伸縮可能な吸着部を有してもよい。

さらに、ワイヤ張力検出機構により検出されたワイヤ張力に基づいて、各ワイヤの張力が所定の値となるように調整ユニットを動的に制御することが可能に構成されてもよい。これにより、リアルタイムでワイヤ張力の調整を行うことが可能となる。

なお、本技術は以下のような構成もとることができる。
（１） ベース部を有するハンド本体と、
前記ベース部に取り付けられ、第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する吸着ユニットと、
前記ベース部に取り付けられ、前記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有するフィンガユニットと
を具備するロボットハンド。
（２）上記（１）に記載のロボットハンドであって、
前記ハンド本体は、前記第１及び第２の軸にそれぞれ交差する第３の軸に平行な関節軸をさらに有し、
前記ベース部は、前記関節軸のまわりに回動可能に構成される
ロボットハンド。
（３）上記（１）又は（２）に記載のロボットハンドであって、
前記ハンド本体は、前記第１及び第２のフィンガ部をそれぞれ前記回動軸のまわりに回動させる第１及び第２のワイヤ駆動機構をさらに有する
ロボットハンド。
（４）上記（３）に記載のロボットハンドであって、
前記第１及び第２のワイヤ駆動機構は、ワイヤ張力をそれぞれ検出することが可能な検出機構を含むワイヤ張力調整ユニットを有する
ロボットハンド。
（５）上記（２）〜（４）のいずれか１つに記載のロボットハンドであって、
前記ハンド本体は、前記ベース部を前記関節軸のまわりに回動させる第３のワイヤ駆動機構をさらに有する
ロボットハンド。
（６）上記（１）〜（５）のいずれか１つに記載のロボットハンドであって、
前記フィンガユニットは、前記吸着部に吸着されたワークを把持することが可能に構成される
ロボットハンド。
（７）上記（１）〜（６）のいずれか１つに記載のロボットハンドであって、
前記第１及び第２のフィンガ部はそれぞれ、１８０度の可動範囲を有する
ロボットハンド。
（８）上記（７）に記載のロボットハンドであって、
前記フィンガユニットは、前記吸着部に吸着されたワークを前記一軸方向から挟み込むことが可能に構成される
ロボットハンド。
（９） ロボットアームと、
ベース部を有し、前記ロボットアームに取り付けられるハンド本体と、
前記ベース部に取り付けられ、第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する吸着ユニットと、
前記ベース部に取り付けられ、前記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有するフィンガユニットと
を具備するロボット装置。
（１０） 接続部材を有する電子機器の製造方法であって、
ロボットハンドのベース部に取り付けられ第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する吸着ユニットによって前記接続部材を吸着し、
前記ベース部に取り付けられ前記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有するフィンガユニットによって、前記吸着部に吸着された前記接続部材を把持し、
前記接続部材を把持したフィンガユニットを前記回動軸のまわりに回動させることで、前記接続部材の姿勢を変化させる
電子機器の製造方法。

１…ロボット装置
３…コントローラ
１０…ハンド本体
１１…ベース部
３０…吸着ユニット
４０…フィンガユニット
４１…第１のフィンガ部
４２…第２のフィンガ部
１００…組立ロボット
１０１…ハンド部
１０２…多関節アーム
３１１…吸着部
Ｃ…線状部材

Claims (10)

1. ベース部を有するハンド本体と、
   前記ベース部に取り付けられ、第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する吸着ユニットと、
   前記ベース部に取り付けられ、前記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有するフィンガユニットと
   を具備するロボットハンド。
2. 請求項１に記載のロボットハンドであって、
   前記ハンド本体は、前記第１及び第２の軸にそれぞれ交差する第３の軸に平行な関節軸をさらに有し、
   前記ベース部は、前記関節軸のまわりに回動可能に構成される
   ロボットハンド。
3. 請求項１に記載のロボットハンドであって、
   前記ハンド本体は、前記第１及び第２のフィンガ部をそれぞれ前記回動軸のまわりに回動させる第１及び第２のワイヤ駆動機構をさらに有する
   ロボットハンド。
4. 請求項３に記載のロボットハンドであって、
   前記第１及び第２のワイヤ駆動機構は、ワイヤ張力をそれぞれ検出することが可能な検出機構を含むワイヤ張力調整ユニットを有する
   ロボットハンド。
5. 請求項２に記載のロボットハンドであって、
   前記ハンド本体は、前記ベース部を前記関節軸のまわりに回動させる第３のワイヤ駆動機構をさらに有する
   ロボットハンド。
6. 請求項１に記載のロボットハンドであって、
   前記フィンガユニットは、前記吸着部に吸着されたワークを把持することが可能に構成される
   ロボットハンド。
7. 請求項１に記載のロボットハンドであって、
   前記第１及び第２のフィンガ部はそれぞれ、１８０度の可動範囲を有する
   ロボットハンド。
8. 請求項７に記載のロボットハンドであって、
   前記フィンガユニットは、前記吸着部に吸着されたワークを前記一軸方向から挟み込むことが可能に構成される
   ロボットハンド。
9. ロボットアームと、
   ベース部を有し、前記ロボットアームに取り付けられるハンド本体と、
   前記ベース部に取り付けられ、第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する吸着ユニットと、
   前記ベース部に取り付けられ、前記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有し、前記吸着部に吸着されたワークを把持することが可能に構成されたフィンガユニットと
   を具備するロボット装置。
10. 接続部材を有する電子機器の製造方法であって、
    ロボットハンドのベース部に取り付けられ第１の軸方向に平行移動可能な吸着部を有する吸着ユニットによって前記接続部材を吸着し、
    前記ベース部に取り付けられ前記第１の軸と交差する第２の軸に平行な回動軸のまわりに各々独立して回動可能な第１及び第２のフィンガ部を有するフィンガユニットによって、前記吸着部に吸着された前記接続部材を把持し、
    前記接続部材を把持したフィンガユニットを前記回動軸のまわりに回動させることで、前記接続部材の姿勢を変化させる
    電子機器の製造方法。

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