JPWO2019043759A1 - 多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 光軸に対して同一平面上に軸対称に配置される1対の電流線を複数有する多極子レンズであって、
前記電流線は、前記光軸に対して平行に配置される主線部と、前記主線部に対向して配置される戻り線部とを有し、
前記戻り線部に流れる電流の向きは、前記光軸に平行な成分では前記主線部に流れる電流の向きと逆方向であり、
前記光軸と前記戻り線部との距離は、前記光軸と前記主線部との距離よりも大きく設定され、励起する多極子場において前記電流線に電流を供給する電源の電源安定性起因ノイズが所定レベル以下となるように設定される多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記多極子場の強度一定の条件において、前記戻り線がない場合の電源安定性起因ノイズ量に対する前記戻り線を有する場合の電源安定性起因ノイズ量は、前記光軸と前記主線部との距離に対する前記光軸と前記戻り線部との距離に依存して変化するとともに、所定の距離において最小値をとり、
前記光軸と前記戻り線部との距離を、前記最小値を与える前記所定の距離よりも大きくとる多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記光軸と前記戻り線部との距離を、前記光軸と前記主線部との距離に対して1.5倍から5倍の間の距離とする多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記電流線の前記主線部と前記戻り線との間に磁性体を有しない多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記電流線の前記戻り線部の外周に円環状の磁路を有し、
前記磁路の内径と前記戻り線部との距離は、前記光軸と前記戻り線部との距離以下とされる多極子レンズ。 - 光軸に対して同一平面上に軸対称に配置される1対の電流線を複数有する多極子レンズであって、
前記電流線は、前記光軸に対して平行に配置される主線部と、前記主線部に対向して多重化されて配置される戻り線部と、前記戻り線部に対向して配置される最外周部とを有し、
前記戻り線部に流れる電流の向きは、前記光軸に平行な成分では前記主線部及び前記最外周部に流れる電流の向きと逆方向であり、
前記光軸と前記戻り線部との距離は、前記光軸と前記主線部との距離よりも大きく設定され、前記光軸と前記最外周部との距離よりも小さく設定される多極子レンズ。 - 請求項6において、
前記光軸と前記戻り線部との距離は、励起する多極子場において前記電流線に電流を供給する電源の電源安定性起因ノイズが所定レベル以下となるように設定される多極子レンズ。 - 請求項6において、
前記電流線の前記主線部と前記戻り線との間に磁性体を有しない多極子レンズ。 - 請求項6において、
前記電流線の前記戻り線部と前記最外周部との間に円環状の磁路を有する多極子レンズ。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の多極子レンズを多段に有する収差補正器。
- 1次電子線を放出する電子銃と、
前記1次電子線が入射され、多段の多極子レンズを有する収差補正器と、
前記収差補正器を通過した1次電子線が入射される対物レンズとを有し、
前記多極子レンズは、光軸に対して同一平面上に軸対称に配置される1対の電流線を複数有し、前記電流線は、前記光軸に対して平行に配置される主線部と、前記主線部に対向して配置される戻り線部とを有し、前記戻り線部に流れる電流の向きは、前記光軸に平行な成分では前記主線部に流れる電流の向きと逆方向であり、前記光軸と前記戻り線部との距離は、前記光軸と前記主線部との距離よりも大きく設定され、励起する多極子場において前記電流線に電流を供給する電源の電源安定性起因ノイズが所定レベル以下となるように設定される荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記収差補正器は6極子場を用いた収差補正器である荷電粒子線装置。 - 1次電子線を放出する電子銃と、
前記1次電子線が入射され、多段の多極子レンズを有する収差補正器と、
前記収差補正器を通過した1次電子線が入射される対物レンズとを有し、
前記多極子レンズは、光軸に対して同一平面上に軸対称に配置される1対の電流線を複数有し、前記電流線は、前記光軸に対して平行に配置される主線部と、前記主線部に対向して多重化されて配置される戻り線部と、前記戻り線部に対向して配置される最外周部とを有し、前記戻り線部に流れる電流の向きは、前記光軸に平行な成分では前記主線部及び前記最外周部に流れる電流の向きと逆方向であり、前記光軸と前記戻り線部との距離は、前記光軸と前記主線部との距離よりも大きく設定され、前記光軸と前記最外周部との距離よりも小さく設定される荷電粒子線装置。 - 請求項13において、
前記収差補正器は6極子場を用いた収差補正器である荷電粒子線装置。
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