JPWO2019012577A1 - 基板生産ライン、情報管理装置および情報管理代行装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 上流から下流へと基板を受け渡し可能に配置され前記基板に所定作業を行う複数の作業装置を備える基板生産ラインであって、
前記作業装置の数に応じて複数に区分けされ前記基板に関する基板関連情報を格納する格納領域を有し、前記複数の作業装置のうち前記格納領域にアクセス可能な第1作業装置により前記基板の受け渡しに伴って前記基板関連情報が前記格納領域間で受け渡される共有フォルダと、
前記複数の作業装置のうち前記格納領域にアクセス不能な第2作業装置の代わりに前記共有フォルダにアクセスして、前記基板関連情報が前記格納領域間で受け渡されるように管理する管理代行部と、
を備える基板生産ライン。 - 請求項1に記載の基板生産ラインであって、
前記第1作業装置は、自装置に対応する前記格納領域にアクセスして読み込んだ前記基板関連情報に基づいて前記所定作業または該所定作業前の準備動作を実行可能であり、
前記第2作業装置は、前記基板関連情報を読み込むことなく前記所定作業または該所定作業前の準備動作を実行可能である
基板生産ライン。 - 請求項2に記載の基板生産ラインであって、
前記基板関連情報は、前記基板の幅情報を含み、
前記複数の作業装置は、前記基板の幅に応じて搬送幅をそれぞれ変更可能な搬送装置を備え、
前記第1作業装置は、前記所定作業前の準備動作として、前記基板関連情報に含まれる前記基板の幅情報に基づいて前記搬送装置の搬送幅の変更動作を実行し、
前記第2作業装置は、上流側に隣接する前記作業装置が備える前記搬送装置の搬送幅を検知する幅検知器を備え、前記所定作業前の準備動作として、前記幅検知器により検知した搬送幅に一致するように自装置における前記搬送装置の搬送幅の変更動作を実行する
基板生産ライン。 - 請求項2または3に記載の基板生産ラインであって、
前記第1作業装置は、前記基板関連情報を読み込むと自装置に対応する前記格納領域から前記基板関連情報を削除し、前記所定作業を実行すると前記基板関連情報を作成して下流側に隣接する前記作業装置に対応する前記格納領域に格納し、
前記管理代行部は、前記第2作業装置に対応する前記格納領域から前記基板関連情報を読み込んで該基板関連情報を削除すると共に、該基板関連情報を前記第2作業装置の下流側に隣接する前記作業装置に対応する前記格納領域に格納する
基板生産ライン。 - 基板を受け渡し可能な複数の作業装置が前記基板に行う所定作業の情報を管理する情報管理装置であって、
前記作業装置の数に応じて複数に区分けされ前記基板に関する基板関連情報を格納する格納領域を有し、前記複数の作業装置のうち前記格納領域にアクセス可能な作業装置により前記基板の受け渡しに伴って前記基板関連情報が前記格納領域間で受け渡される共有フォルダと、
前記複数の作業装置のうち前記格納領域にアクセス不能な作業装置の代わりに前記共有フォルダにアクセスして、前記基板関連情報が前記格納領域間で受け渡されるように管理する管理代行部と、
を備える情報管理装置。 - 基板を受け渡し可能で前記基板に所定作業を行う複数の作業装置の数に応じて複数に区分けされ前記基板に関する基板関連情報を格納する格納領域を有する共有フォルダの情報管理を代行する情報管理代行装置であって、
前記共有フォルダは、前記複数の作業装置のうち前記格納領域にアクセス可能な作業装置により前記基板の受け渡しに伴って前記基板関連情報が前記格納領域間で受け渡され、
前記複数の作業装置のうち前記格納領域にアクセス不能な作業装置の代わりに前記共有フォルダにアクセスして、前記基板関連情報が前記格納領域間で受け渡されるように管理する
情報管理代行装置。
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