JPWO2018167602A1 - 半導体装置の作製方法、及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態では、本発明の一態様の剥離方法及び半導体装置の作製方法について図1〜図7を用いて説明する。
本実施の形態では、まず、基板上に、第1の材料層と第2の材料層とを積層して形成する。ここでは、第1の材料層として金属化合物層を形成し、第2の材料層として樹脂層を形成する。そして、光を照射することで、金属化合物層と樹脂層とを分離する。
ここでは、基板上に第1の材料層を形成する工程、第1の材料層上に第2の材料層を形成する工程、第1の材料層と第2の材料層とを積層した状態で加熱する工程、及び、第1の材料層と第2の材料層とを分離する工程を有する、剥離方法について説明する。また、ここでは、当該剥離方法を用いて、トランジスタを有する半導体装置を作製する場合を例に挙げて説明する。加熱する工程では、第1の材料層に、第2の材料層と接する第1の化合物層と、第1の化合物層よりも基板側に位置する第2の化合物層と、が形成される。また、加熱する工程は、第2の材料層を硬化する工程を兼ねることができる。これにより、半導体装置の製造における工程数を減らすことができ、製造コストを低減することができる。
剥離方法例1では、金属層102を加熱することで、金属化合物層105を形成した。本剥離方法例2では、金属層102の少なくとも一部を酸化させて、金属酸化物を含む層103を形成し、金属酸化物を含む層103を加熱することで、金属化合物層105を形成する方法について主に説明する。金属酸化物を含む層103を形成することで、剥離に要する力を低減させ、剥離の歩留まりを高めることができる。
剥離方法例1では、金属層102を加熱することで、金属化合物層105を形成した。本剥離方法例3では、金属層102と金属窒化物層104を積層した状態で加熱することで、金属化合物層105を形成する方法について主に説明する。
ここでは、基板上に第1の材料層を形成する工程、第1の材料層を第1の温度で加熱する工程、第1の温度で加熱された第1の材料層上に第2の材料層を形成する工程、第1の材料層と第2の材料層とを積層した状態で第2の温度で加熱する工程、及び、第1の材料層と第2の材料層とを分離する工程を有する、剥離方法について説明する。ここで、第1の温度は、第2の温度よりも高い温度である。第1の温度で加熱することで、第1の材料層に、第1の化合物層と、第1の化合物層よりも基板側に位置する第2の化合物層と、が形成される。第1の材料層を十分に高い温度で加熱することで、第1の材料層と第2の材料層との剥離性を高めることができる。一方、第2の温度は、第1の温度よりも低くすることができる。そのため、第2の材料層の材料は、高い耐熱性を求められず、選択の幅が広い。また、第2の材料層を加熱する温度が低いと、可視光に対する透過性が低下しにくい。このように、加熱工程を異なる温度で2回行うことで、高い剥離性と、第2の材料層の高い可視光透過性を両立できる。
剥離方法例5では、金属層102の表面処理と加工のタイミングについて主に説明する。金属層102に対して表面処理及び加工の双方を行う場合、表面処理を行ってから加工する方法(工程1)と、加工してから表面処理を行う方法(工程2)の2通りが考えられる。
本実施の形態では、金属化合物層と樹脂層とを分離する原理の一例について、図8〜図11を用いて説明する。
本実施の形態では、発光装置の作製方法及び表示装置の作製方法について、図12〜図20を用いて説明する。また、これら装置を作製するための製造装置について、図21及び図22を用いて説明する。
本作製方法例1では、有機EL素子を有する発光装置を例に挙げて説明する。当該発光装置は、基板に可撓性を有する材料を用いることで、フレキシブルデバイスとすることができる。
本作製方法例2では、トランジスタ及び有機EL素子を有する表示装置(アクティブマトリクス型の有機EL表示装置ともいう)を例に挙げて説明する。さらに、本作製方法例2では、トランジスタ、有機EL素子、及び検知素子を有する表示装置(入出力装置、タッチパネルともいえる、以下、タッチパネルと記す)についても説明する。これらの表示装置は、基板に可撓性を有する材料を用いることで、フレキシブルデバイスとすることができる。
次に、図21を用いて、積層体の作製装置の一例を説明する。図21に示す積層体の作製装置は、本発明の一態様の剥離方法を用いて作製基板から機能層を剥離し、機能層を別の基板に転置することができる。図21に示す積層体の作製装置を用いて、半導体装置、表示装置等の積層体を作製することができる。
本実施の形態では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができる金属酸化物について説明する。以下では特に、金属酸化物とCAC(Cloud−Aligned Composite)−OSの詳細について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図23及び図24を用いて説明する。
まず、作製基板上に機能層を形成する前までの工程について、図4を用いて説明し、次に、作製基板上に機能層を形成する工程以降について、図2を用いて説明する。
次に、剥離前の試料A1及び試料A2について、断面STEM観察を行った結果を示す。なお、いずれの試料も金属化合物層105及び樹脂層123が形成された後の断面観察結果である。具体的には、試料A1については、機能層135を形成した後に断面STEM観察を行い、試料A2については、樹脂層123を形成した後に断面STEM観察を行った。
次に、図2(B)に示すように、作製基板101側からレーザ光155を照射した。その後、作製基板101から樹脂層123を剥離した。
次に、剥離後の試料A1及び試料A2について、断面STEM観察を行った。図26(A)に、試料A1の作製基板101側の断面観察結果を示し、図26(B)に、試料A1の基板146側の断面観察結果を示し、図26(C)に、試料A2の作製基板101側の断面観察結果を示す。
次に、剥離後の試料A1及び試料A2についてXPS分析を行い、金属化合物層105の深さ方向に対する酸素原子(O)、チタン原子(Ti)、窒素原子(N)、及びシリコン原子(Si)の割合を求めた。ここでは、剥離により露出した金属化合物層105の表面側からスパッタリング及び測定を行った。
まず、作製基板上に機能層を形成する前までの工程について、図1及び図5を用いて説明し、次に、作製基板上に機能層を形成する工程以降について、図2を用いて説明する。
次に、試料B1及び試料B2について、断面STEM観察を行った結果を示す。なお、いずれの試料も金属化合物層105及び樹脂層123が形成された後の断面観察結果である。
次に、図2(B)に示すように、作製基板101側からレーザ光155を照射した。その後、作製基板101から樹脂層123を剥離した。
次に、試料B1及び試料B2についてXPS分析を行い、金属化合物層105の深さ方向に対する酸素原子(O)、チタン原子(Ti)、窒素原子(N)、及びシリコン原子(Si)の割合を求めた。ここでは、金属化合物層105の表面側からスパッタリング及び測定を行った。
本実施例の試料の作製方法について、図6(A)、(B1)、(B2)を用いて説明する。本実施例では、2種類の試料(試料C1及び試料C2)を作製した。試料C1は2つ作製し、断面観察及びXPS分析に1つずつ用いた。試料C2は1つ作製し、XPS分析に用いた。
試料C1について、断面STEM観察を行った結果を示す。
次に、試料C1及び試料C2についてXPS分析を行い、金属化合物層105の深さ方向に対する酸素原子(O)、チタン原子(Ti)、窒素原子(N)、及びシリコン原子(Si)の割合を求めた。ここでは、金属化合物層105の表面側からスパッタリング及び測定を行った。
実施例3の結果から、金属化合物層105に含まれる窒素が供給されるタイミングは、窒素を含む雰囲気下でのベークであると示唆された。そこで、本実施例の試料Dでは、樹脂層123となる第1の層122を形成する前に、金属層102に対して窒素を含む雰囲気下でベークを行い、金属化合物層105を形成した。そして、樹脂層123の材料に、実施例1で用いたポリイミド樹脂よりも耐熱性の低いアクリル樹脂を用い、樹脂層123を形成する際のベークを実施例1よりも低温で行った。このような試料Dを作製し、剥離性を評価した。試料Dは3つ作製し、剥離前の断面観察、剥離後のXPS分析、剥離後の断面観察に1つずつ用いた。
次に、剥離前の試料Dについて、断面STEM観察を行った結果を示す。
次に、図2(B)に示すように、作製基板101側からレーザ光155を照射した。その後、作製基板101から樹脂層123を剥離した。
次に、剥離後の試料Dについて、断面STEM観察を行った。図32(B)に、試料Dの作製基板101側の断面観察結果を示し、図32(C)に、試料Dの基板146側の断面観察結果を示す。
次に、剥離後の試料DについてXPS分析を行い、金属化合物層105の深さ方向に対する酸素原子(O)、チタン原子(Ti)、窒素原子(N)、及びシリコン原子(Si)の割合を求めた。ここでは、剥離により露出した金属化合物層105の表面側からスパッタリング及び測定を行った。
まず、作製基板上に機能層を形成する前までの工程について、図7を用いて説明し、次に、作製基板上に機能層を形成する工程以降について、図2を用いて説明する。
次に、図2(B)に示すように、作製基板101側からレーザ光155を照射した。その後、作製基板101から樹脂層123を剥離した。
次に、剥離後の試料E1及び試料E2について、断面STEM観察を行った。図34(A)に、試料E1の作製基板101側の断面観察結果を示し、図34(B)に、試料E2の作製基板101側の断面観察結果を示す。
まず、本実施例の試料Fにおける作製基板上に機能層を形成する前までの工程について、図4を用いて説明し、次に、作製基板上に機能層を形成する工程以降について、図2を用いて説明する。
次に、剥離後の試料Fについて、ToF−SIMS分析を行った。ここでは、剥離により露出した樹脂層123の表面からチタン(Ti)に由来するピークが検出されるか否かを確認した。図35に、ToF−SIMSによる測定結果(縦軸:Count、横軸m/z)を示す。なお、測定エリアのサイズは、200μm×200μmである。
図36(A1)、(B1)、(C1)、(D1)、及び(E1)を用いて、試料G1の作製方法を説明する。図36(A2)、(B2)、(C2)、(D2)、及び(E2)を用いて、比較試料G2の作製方法を説明する。
次に、図36(D1)、(D2)に示すように、作製基板101側からレーザ光155を照射した。
次に、各試料における、剥離により露出した面(以下、剥離面とも記す)の表面観察を、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて行った。図37に各試料(SampleG1、Comparative sample G2)における剥離面(Formation substrate 101 side、Substrate 146 side)のSEM写真を示す。図37(A)は、試料G1の、作製基板101側の剥離面のSEM写真である。図37(B)は、試料G1の、基板146側の剥離面のSEM写真である。図37(C)は、比較試料G2の、作製基板101側の剥離面のSEM写真である。図37(D)は、比較試料G2の、基板146側の剥離面のSEM写真である。
図36(A1)、(B1)、(C1)、(D1)、及び(E1)を用いて、本実施例のトランジスタの作製方法について説明する。
レーザ光照射による剥離前後のトランジスタのId−Vg特性を図38に示す。図38には、Vd=0.1Vの結果とVd=10Vの結果を示す。図38において、点線(dot)は剥離前(before separation)の結果であり、実線(line)は剥離後(after separation)の結果である。図38において、剥離前後のId−Vg特性は、概略重なっている。図38に示すように、剥離前後で特性に大きな変化は見られず、チャネル長2μmであっても、ノーマリーオフ特性を示していることがわかった。
図36(A1)、(B1)、(C1)、(D1)、及び(E1)を用いて、本実施例のトランジスタの作製方法について説明する。
次に、剥離後のトランジスタに対して、ストレス試験を行った。ストレス試験としては、GBT(Gate Bias Temperature)ストレス試験を用いた。GBTストレス試験は加速試験の一種であり、長期間の使用によって起こるトランジスタの特性変化を、短時間で評価することができる。ここでは、GBTストレス試験として、トランジスタが形成されている基板を60℃に保持し、トランジスタのソースとドレインに0V、ゲートに30Vまたは−30Vの電圧を印加し、この状態を1時間保持した。このとき、ゲートに正の電圧を印加する試験をPBTS、負の電圧を印加する試験をNBTSと表記する。また、10000lxの白色LED光を照射した状態でゲートに30Vまたは−30Vの電圧を印加し、この状態を1時間保持した。このとき、ゲートに正の電圧を印加する試験をPBITS、負の電圧を印加する試験をNBITSと表記する。
本実施例で作製したフレキシブルOLEDディスプレイは、表示領域が対角8.67インチ、有効画素数が1080×1920、精細度が254ppi、開口率が46.0%である、アクティブマトリクス型の有機ELディスプレイである。フレキシブルOLEDディスプレイには、スキャンドライバが内蔵されており、COFを用いてソースドライバが外付けされている。
次に、フレキOLEDディスプレイに対して、繰り返し曲げ試験を行った。繰り返し曲げ試験は、図42(B)、(C)に示すブック型繰り返し曲げ試験機を用いて行った。図41(B)に曲げ試験の様子を示す。
本実施例で作製したフレキシブルOLEDディスプレイは、表示領域が対角8.34インチ、有効画素数が7680×4320(8K4K)、精細度が1058ppi、画素サイズが24μm×24μmである、アクティブマトリクス型の有機ELディスプレイである。フレキシブルOLEDディスプレイには、スキャンドライバが内蔵されており、ソースドライバICが外付けされている。
11 領域
14 作製基板
20 金属化合物層
23 樹脂層
26 線状ビーム
27 加工領域
55 レーザ光
56 積層体
56a 被剥離体
56b 支持体
57a 第1の層
57b 第2の層
58 作製基板
59 積層体
101 作製基板
101a 作製基板
101b 作製基板
102 金属層
102a 金属層
103 金属酸化物を含む層
103a 金属酸化物を含む層
104 金属窒化物層
105 金属化合物層
105a 金属化合物層
105b 金属化合物層
110 プラズマ
111 第1の化合物層
111a 第1の化合物層
112 第2の化合物層
112a 第2の化合物層
113 第3の化合物層
113a 第3の化合物層
122 第1の層
122a 第1の層
123 樹脂層
123a 樹脂層
123b 樹脂層
135 機能層
141 絶縁層
145 接着層
146 基板
153 器具
154 領域
155 レーザ光
156 加工領域
157 液体供給機構
158 異物
159 領域
160 発光素子
161 第1の電極
162 EL層
163 第2の電極
165 絶縁層
167 絶縁層
171 導電層
172 補助配線
173 導電層
174 接着層
175 基板
176 接着層
177 基板
178 絶縁層
181 導電層
182 導電層
183 導電層
184 絶縁層
185 絶縁層
191 絶縁層
195 接着層
196 オーバーコート
197 着色層
198 遮光層
201 導電層
202 絶縁層
203a 導電層
203b 導電層
204 半導体層
204a チャネル領域
204b 低抵抗領域
205 導電層
206 絶縁層
207 絶縁層
208 絶縁層
209 絶縁層
210 トランジスタ
211 絶縁層
212 絶縁層
213 絶縁層
214a チャネル領域
214b 低抵抗領域
214c LDD領域
220 トランジスタ
224 半導体層
225 不純物半導体層
226 絶縁層
230 トランジスタ
240 トランジスタ
600 テープ
601 支持体
602 テープリール
604 方向転換ローラ
606 押圧ローラ
606a 円筒
606b 円柱
607 方向転換ローラ
609 キャリアプレート
610 レーザ照射ユニット
610a レーザ光
610b レーザ光
610c レーザ光
610d レーザ光
610e 線状ビーム
613 リール
614 乾燥機構
617 ローラ
620 イオナイザ
630 基板反転ユニット
631 ガイドローラ
632 ガイドローラ
633 ガイドローラ
634 ガイドローラ
635 光学系
639 イオナイザ
640 加工領域
641 基板ロードカセット
642 基板アンロードカセット
643 搬送ローラ
644 搬送ローラ
645 搬送ローラ
646 搬送ローラ
650 ミラー
659 液体供給機構
660 エキシマレーザ装置
665 ガイドローラ
666 ガイドローラ
670 分離テープ
671 支持体
672 テープリール
673 リール
674 ガイドローラ
675 押圧ローラ
676 方向転換ローラ
677 ガイドローラ
678 ガイドローラ
679 ガイドローラ
680 レンズ
683 リール
7000 表示部
7100 テレビジョン装置
7101 筐体
7103 スタンド
7111 リモコン操作機
7200 ノート型パーソナルコンピュータ
7211 筐体
7212 キーボード
7213 ポインティングデバイス
7214 外部接続ポート
7300 デジタルサイネージ
7301 筐体
7303 スピーカ
7311 情報端末機
7400 デジタルサイネージ
7401 柱
7411 情報端末機
9000 筐体
9001 表示部
9003 スピーカ
9005 操作キー
9006 接続端子
9007 センサ
9008 マイクロフォン
9055 ヒンジ
9200 携帯情報端末
9201 携帯情報端末
9202 携帯情報端末
Claims (25)
- 基板上に、第1の材料層と第2の材料層とを積層して形成する工程、及び、
前記第1の材料層と前記第2の材料層とを分離する工程を有し、
前記第2の材料層は、前記第1の材料層を介して、前記基板上に形成され、
前記第1の材料層は、前記第2の材料層と接する第1の化合物層と、前記第1の化合物層よりも前記基板側に位置する第2の化合物層と、を有し、
前記第1の化合物層は、前記第1の材料層に含まれる層のうち、酸素が最も多く含まれている層であり、
前記第2の化合物層は、前記第1の材料層に含まれる層のうち、窒素が最も多く含まれている層であり、
前記第2の材料層は、樹脂を有し、
前記分離する工程では、前記第1の材料層と前記第2の材料層との界面または前記界面近傍に光が照射されることにより、前記第1の材料層と前記第2の材料層とが分離する、半導体装置の作製方法。 - 基板上に、第1の材料層を形成する工程、
前記第1の材料層上に、第2の材料層を形成する工程、
前記第1の材料層と前記第2の材料層とを積層した状態で加熱する工程、及び、
前記第1の材料層と前記第2の材料層とを分離する工程を有し、
前記加熱する工程では、前記第1の材料層に、前記第2の材料層と接する第1の化合物層と、前記第1の化合物層よりも前記基板側に位置する第2の化合物層と、が形成され、
前記第1の化合物層は、前記第1の材料層に含まれる層のうち、酸素が最も多く含まれている層であり、
前記第2の化合物層は、前記第1の材料層に含まれる層のうち、窒素が最も多く含まれている層であり、
前記第2の材料層は、樹脂を有し、
前記分離する工程では、前記第1の材料層と前記第2の材料層との界面または前記界面近傍に光が照射されることにより、前記第1の材料層と前記第2の材料層とが分離する、半導体装置の作製方法。 - 基板上に、第1の材料層を形成する工程、
前記第1の材料層を、第1の温度で加熱する工程、
前記第1の温度で加熱された前記第1の材料層上に、第2の材料層を形成する工程、
前記第1の材料層と前記第2の材料層とを積層した状態で、第2の温度で加熱する工程、及び、
前記第1の材料層と前記第2の材料層とを分離する工程を有し、
前記第1の温度は、前記第2の温度よりも高い温度であり、
前記第1の温度で加熱する工程では、前記第1の材料層に、前記第2の材料層と接する第1の化合物層と、前記第1の化合物層よりも前記基板側に位置する第2の化合物層と、が形成され、
前記第1の化合物層は、前記第1の材料層に含まれる層のうち、酸素が最も多く含まれている層であり、
前記第2の化合物層は、前記第1の材料層に含まれる層のうち、窒素が最も多く含まれている層であり、
前記第2の材料層は、樹脂を有し、
前記分離する工程では、前記第1の材料層と前記第2の材料層との界面または前記界面近傍に光が照射されることにより、前記第1の材料層と前記第2の材料層とが分離する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記第1の材料層は、前記第2の化合物層よりも前記基板側に位置する第3の化合物層を有する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記光は、180nm以上450nm以下の波長を有する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記光は、308nmまたはその近傍の波長を有する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記光は、レーザ装置を用いて照射される、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記光は、線状レーザ装置を用いて照射される、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記光のエネルギー密度は、300mJ/cm2以上360mJ/cm2以下である、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記基板、前記第1の材料層、及び前記第2の材料層の積層構造の、前記光の吸収率は、80%以上100%以下である、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記第1の材料層は、チタン、モリブデン、アルミニウム、タングステン、シリコン、インジウム、亜鉛、ガリウム、タンタル、及び錫のうち一つまたは複数を有する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記第1の化合物層は、酸化チタンを有し、
前記第2の化合物層は、窒化チタンまたは酸窒化チタンを有する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記第2の材料層は、厚さが0.1μm以上5μm以下の領域を有する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記第2の材料層は、ポリイミド樹脂またはアクリル樹脂を有する、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記第2の材料層は、波長450nm以上700nm以下の範囲の光の透過率の平均値が70%以上である、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記分離する工程は、分離界面に液体を供給しながら行う、半導体装置の作製方法。 - 請求項16において、
前記液体は水を含む、半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記第1の材料層の表面にプラズマ処理を行う工程と、
前記プラズマ処理が行われた前記第1の材料層を、島状に加工する工程と、を有し、
前記第2の材料層は、前記島状に加工された前記第1の材料層の端部を覆うように形成される、半導体装置の作製方法。 - 請求項18において、
前記プラズマ処理では、酸素または水蒸気のうち一方または双方を含む雰囲気に、前記第1の材料層の表面を曝す、半導体装置の作製方法。 - 基板、接着層、樹脂層、及び機能層をこの順で積層して有し、
前記機能層は、トランジスタを有し、
前記樹脂層の前記接着層側の面に対して行う表面分析において、チタンが検出される、半導体装置。 - 請求項20において、
前記表面分析は、飛行時間型二次イオン質量分析法を用いて行われる、半導体装置。 - 請求項20において、
前記トランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を有し、
前記樹脂層は、ポリイミド樹脂を有する、半導体装置。 - 請求項20において、
前記トランジスタは、チャネル形成領域に水素化アモルファスシリコンを有し、
前記樹脂層は、アクリル樹脂を有する、半導体装置。 - 請求項20において、
前記トランジスタは、チャネル形成領域にポリシリコンを有し、
前記樹脂層は、ポリイミド樹脂を有する、半導体装置。 - 請求項20において、
前記基板は、可撓性を有する、半導体装置。
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