JPWO2018163388A1 - 部品装着機 - Google Patents

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Abstract

ウエハ供給装置及び部品移載装置に関する制御を行う制御装置と、を備え、制御装置は、ウエハ供給装置に収納されたダイの各々の位置を、ダイの各々に対して割り振られたランクと関連づけて記憶するダイ情報記憶部と、基板に設けられたブロックに装着するダイの条件を取得するブロック情報取得部と、ブロック情報取得部に記憶された内容に基づき、部品移載装置に対し、ピックアップするダイのランクを指定するランク指定部と、ランク指定部による指定、及び、ダイ情報記憶部に記憶された内容に基づき、部品移載装置に対し、ピックアップするダイの位置指定を行う位置指定部と、を備え、位置指定部は、ランク指定部により指定されたランクを有するダイが、ウエハ供給装置に収納された複数のウエハに亘り、連続してピックアップされるように、ダイの位置指定を行う部品装着機。

Description

本発明は、部品装着機に関する。
ダイシング処理により複数のダイ（部品）に分割されたウエハを供給位置に供給し、ダイをピックアップして基板に装着する部品装着機が知られている。特許文献１には、ペレット（ダイ）が有する電気的特性に基づいて各々のペレットを複数のカテゴリに分類（ランク分け）し、そのカテゴリ分類に基づいてペレットをピックアップする順序を決定する技術が開示されている。
特開平３−１６１９４２号公報
上記した特許文献１に記載の技術では、一の基板に対し、電気的特性又はカテゴリ分類が連続する複数のペレットを装着する必要がある場合において、供給位置に供給されたウエハに必要数量のペレットが残存していなければ、当該電気的特性又はカテゴリ分類に属するペレットのピックアップは行われない。従って、供給位置から戻されたウエハには、未使用のペレットが残存する。こうした未使用のペレットは、供給位置に供給するウエハを交換するたびに発生するため、ウエハの使用数が増えるほど未使用のペレットも増えることになる。その結果、部品（ペレット）の供給が非効率的となる。
また一般に、ダイは、下方に設けられたダイシングシートに貼着されており、ダイをピックアップする際に、ダイシングシートごと下方から突き上げられる。そのため、ダイシングシートの突き上げられた部位には、伸びが生じる。従って、ピックアップしようとするダイ間に、ピックアップ済のダイが多く存在すると、当該ダイ間の距離が、ダイシングシートの伸びに起因して広がる。この場合において、ピックアップしようとするダイ間の距離が大きくなるほど、ピックアップ済のダイがピックアップしようとするダイ間に多く存在することになり、ダイシングシートに起因する当該ダイ間の距離が大きく広がる。
この点に関し、上記した特許文献１には、ペレット（ダイ）の選択順が静電容量範囲の小さいカテゴリから静電容量範囲の大きいカテゴリとなるようにすることが記載されている。従って、先に選択されるカテゴリに属するペレットの数が、後に選択されるカテゴリに属するペレットの数よりも多い場合、静電容量範囲の大きいカテゴリに属するペレットをピックアップする際に、ピックアップしようとするペレット間にピックアップ済のペレットが多く存在する。その結果、ピックアップエラーが発生しやすくなる。
本明細書は、部品の供給を効率よく行うことができる部品装着機、及び、部品のピックアップエラーの発生を抑制できる部品装着機を提供することを目的とする。
本明細書は、複数のダイに分割されたウエハを複数収納可能なマガジンを有し、前記マガジンに収納された前記ウエハを供給位置に供給するウエハ供給装置と、前記供給位置に供給された前記ダイをピックアップし、搬送された基板に装着する部品移載装置と、前記ウエハ供給装置及び前記部品移載装置に関する制御を行う制御装置と、を備える第一の部品装着機を開示する。
第一の部品装着機において、前記制御装置は、前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイの各々の位置を、前記ダイの各々に対して割り振られたランクと関連づけて記憶するダイ情報記憶部と、前記基板に設けられたブロックに装着する前記ダイの条件を取得するブロック情報取得部と、前記ブロック情報取得部が取得した内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイのランクを指定するランク指定部と、前記ランク指定部による指定、及び、前記ダイ情報記憶部に記憶された内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイの位置指定を行う位置指定部と、を備える。前記位置指定部は、前記ランク指定部により指定されたランクを有する前記ダイが、前記ウエハ供給装置に収納された複数の前記ウエハに亘り、連続してピックアップされるように、前記ダイの位置指定を行う。
また、本明細書は、複数のダイに分割されたウエハを供給位置に供給するウエハ供給装置と、前記供給位置に供給された前記ダイをピックアップし、搬送された基板に装着する部品移載装置と、前記ウエハ供給装置及び前記部品移載装置に関する制御を行う制御装置と、を備える第二の部品装着機を開示する。
第二の部品装着機において、前記制御装置は、前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイの各々の位置を、前記ダイの各々に対して割り振られたランクと関連づけて記憶するダイ情報記憶部と、前記基板に設けられたブロックに装着する前記ダイの条件を取得するブロック情報取得部と、前記ブロック情報取得部が取得した内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイのランクを指定するランク指定部と、前記ランク指定部による指定、及び、前記ダイ情報記憶部に記憶された内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイの位置指定を行う位置指定部と、を備える。前記ランク指定部は、前記ウエハ供給装置に収納される数量が少ないランクを有する前記ダイから順に指定を行う。
第一の部品装着機によれば、位置指定部は、指定されたランクを有するダイが、ウエハ供給装置に収納された複数のウエハに亘り、連続してピックアップされるように、ダイの位置指定を行う。従って、部品装着機は、未使用となるダイを減らすことができるので、部品の供給を効率よく行うことができる。
第二の部品装着機によれば、ランク指定部は、ウエハ供給装置に収納される数量の少ないランクを有するダイから順に指定を行う。よって、部品装着機は、ピックアップエラーの発生を抑制できる。
本明細書で開示する第一実施形態における部品装着機の斜視図である。 ウエハ供給装置の突き上げポットを側面から見た図である。 部品装着機のブロック図である。 ウエハ供給制御部のブロック図である。 ランク別ダイ総数記憶部に記憶される情報の一例を示す表である。 ダイが装着されたブロックの一例を示す図である。 位置指定部が行う位置指定の一例を示す図であり、ランク１のダイがランク指定されたときの位置指定の順序、及び、ランク９のダイがランク指定されたときの位置指定の順序を示す。 位置指定部が行う位置指定の一例を示す図であり、ランク５のダイがランク指定されたときの位置指定の順序を示す。 第二実施形態におけるランク別ダイ総数算出部が実行する処理の一例を示す表である。 第二実施形態におけるランク別ダイ総数算出部が実行する処理の一例を示す表であり、ランク８及びランク９のダイＤを一単位とするランク指定が終了した後の状態を示す。 位置指定部が行う位置指定の一例を示す図であり、ランク８及びランク９のダイが一単位としてランク指定されたときの位置指定の順序を示す。
１．第一実施形態
１−１：部品装着機１の構成
以下、本開示に係る部品装着機を適用した各実施形態について、図面を参照しながら説明する。まず、図１を参照して、部品装着機１の概略構成を説明する。
図１に示すように、部品装着機１は、基板搬送装置１０と、ウエハ供給装置２０と、部品移載装置３０と、部品撮像装置４０と、基板撮像装置５０と、制御装置１００（図３参照）と、を主に備える。なお、図１において、基板Ｋが搬送される方向をＸ軸方向、Ｘ軸に直交する水平方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直な鉛直方向をＺ軸方向とする。
基板搬送装置１０は、部品を装着する対象となる基板Ｋの搬入及び搬出を行う。基板搬送装置１０は、部品装着機１の機内に搬入した基板Ｋの位置決めを行い、基板Ｋに部品が装着された後、基板Ｋを部品装着機１の機外へ搬出する。
ウエハ供給装置２０は、マガジン収納部２１と、複数のウエハパレット２２と、パレット搬送機構２３と、ウエハ撮像装置２４とを主に備える。マガジン収納部２１は、縦長の直方体形状のハウジング２１ａにより形成され、ウエハＷを複数収納可能である。ハウジング２１ａの上部にはパレット搬入部２１ｂが設けられ、ハウジング２１ａの下部にはパレット排出部２１ｃが設けられる。ハウジング２１ａには、マガジン２１ｄが収容される。マガジン２１ｄは、複数段の収納棚を有する箱状の部材であり、ハウジング２１ａに対して昇降可能に設けられる。マガジン２１ｄの各収納棚には、ウエハパレット２２が引き出し可能に収納される。ウエハパレット２２は、パレット搬入部２１ｂから搬入されてマガジン２１ｄに収納され、使用後にパレット排出部２１ｃから排出される。
ウエハパレット２２は、パレット枠２２ａと、エキスパンド台２２ｂとを備える。パレット枠２２ａは、中央に孔を有する枠体であり、エキスパンド台２２ｂは、パレット枠２２ａの上面の孔まわりに設けられた円環状の部材である。エキスパンド台２２ｂは、ダイシングシートＳに張力を付与した状態で、ダイシングシートＳの周囲を保持する。そのダイシングシートＳには、ダイシング処理により複数のダイＤに分割されたウエハＷが貼着される。
パレット搬送機構２３は、マガジン収納部２１の後方に設けられる。パレット搬送機構２３は、横長の直方体形状の本体部２３ａと、一対のガイドレール２３ｂと、ボールねじ送り機構２３ｃとを主に備える。ウエハパレット２２は、ボールねじ送り機構２３ｃによりマガジン２１ｄから引き出され、一対のガイドレール２３ｂに沿って供給位置まで搬送される。そして、供給位置にあるウエハパレット２２は、ボールねじ送り機構２３ｃによりマガジン２１ｄへ戻される。なお、図１には、１つのウエハパレット２２が供給位置まで搬送された状態が図示されている。ウエハ撮像装置２４は、ウエハＷを上方から撮像するカメラである。
また、図２に示すように、ウエハ供給装置２０は、突き上げポット２５と、ポット移動装置２６と、ポット昇降装置２７とを更に備える。突き上げポット２５は、ダイＤをピックアップする際に、ダイＤをダイシングシートＳごと下方から突き上げる。
ポット移動装置２６は、パレット枠２２ａの内側に配置され、Ｘ方向及びＹ方向（図２前後左右方向）へ移動可能に設けられる。ポット昇降装置２７は、ポット移動装置２６の上面に設けられ、Ｚ方向（図２上下方向）へ昇降可能に設けられる。突き上げポット２５は、ポット昇降装置２７の上面に設けられ、ポット昇降装置２７及び突き上げポット２５は、ポット移動装置２６の移動に伴って、Ｘ方向及びＹ方向へ移動する。そして、突き上げポット２５は、ポット昇降装置２７の上昇に伴って上昇し、ダイシングシートＳを介してダイＤを下方から突き上げる。
また、部品装着機１には、ウエハ供給装置２０を駆動する各種モータ（図示せず）が設けられる。このウエハ供給装置２０を駆動する各種モータには、マガジン２１ｄや、ポット移動装置２６、ポット昇降装置２７を駆動するモータが含まれる。
図１に戻り、説明を続ける。部品移載装置３０は、ヘッド駆動装置３１と、移動台３２と、装着ヘッド３３とを主に備える。ヘッド駆動装置３１は、直動機構により移動台３２をＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動可能に設けられる。装着ヘッド３３は、図示しないフレームを介して移動台３２に固定される。装着ヘッド３３は、供給位置に供給された部品であるダイＤを保持し、位置決めされた基板ＫにダイＤを装着する。また、装着ヘッド３３には、保持ツール３４が着脱可能に設けられ、その保持ツール３４には、複数の部品保持部３５が回転可能、且つ、昇降可能に設けられる。部品保持部３５は、吸着によりダイＤを着脱可能に保持するノズルである。
また、部品装着機１には、部品移載装置３０を駆動する各種モータ（図示せず）が設けられる。この部品移載装置３０を駆動する各種モータには、移動台３２をＸ軸方向へ移動させるＸ軸モータやＹ軸方向へ移動させるＹ軸モータ、装着ヘッド３３をＺ軸まわりに回転させるＲ軸モータ、複数の部品保持部３５の各々をＺ軸まわりに回転させるθ軸モータが含まれる。
部品撮像装置４０は、基板搬送装置１０とウエハ供給装置２０との間に設けられたカメラであり、部品保持部３５に保持されたダイＤを下方から撮像する。基板撮像装置５０は、移動台３２に設けられたカメラであり、基板Ｋを上方から撮像する。
図３に示すように、制御装置１００は、基板搬送制御部１１０と、ウエハ供給制御部１２０と、部品移載制御部１３０と、部品撮像制御部１４０と、基板撮像制御部１５０とを主に備える。基板搬送制御部１１０は、基板搬送装置１０に対し、基板Ｋの搬入、位置決め及び搬出に関する制御を行う。ウエハ供給制御部１２０は、ウエハ供給装置２０に関する全般的な制御を行う。なお、ウエハ供給制御部１２０の詳細については、後述する。
部品移載制御部１３０は、各種モータの駆動制御を行うことにより、移動台３２の位置や部品保持部３５によるダイＤの吸着動作及び装着動作に関する制御を行う。部品撮像制御部１４０は、部品撮像装置４０による撮像を行う。また、部品撮像制御部１４０は、部品撮像装置４０が撮像した撮像結果に基づき、部品保持部３５が保持するダイＤの保持位置や角度等を検出する。そして、部品移載制御部１３０は、必要に応じて各種モータを制御することにより、部品保持部３５が保持するダイＤの向きを変更する。基板撮像制御部１５０は、基板Ｋの表面に付された位置マークを基板撮像装置５０により撮像し、その撮像結果に基づいてダイＤの装着位置の誤差を把握する。部品移載制御部１３０は、必要に応じて各種モータを制御し、基板Ｋに対するダイＤの装着位置の修正を行う。
１−２：ウエハ供給制御部１２０
次に、図４を参照して、ウエハ供給制御部１２０について説明する。図４に示すように、ウエハ供給制御部１２０は、ダイ情報記憶部１２１と、ランク別ダイ総数記憶部１２２と、ブロック情報取得部１２３と、予備設定部１２４と、生産可能数算出部１２５と、ランク指定部１２６と、位置指定部１２７と、ウエハ撮像制御部１２８とを備える。
ダイ情報記憶部１２１は、マガジン２１ｄに収納された全てのウエハＷに含まれるダイＤに関する情報を記憶する。ここで、ウエハＷをマガジン２１ｄに収納する前段階において、ウエハＷに含まれる各々のダイＤには、所定の特性（例えば、抵抗値や周波数など）に基づいたランク分けがなされている。ダイ情報記憶部１２１は、マガジン２１ｄに収納されたダイＤの各々の位置に関する情報を、ダイＤの各々に対して割り振られたランクと関連づけて記憶する。なお、ウエハＷには、ダイＤの位置及びランクに関する情報に関連付けられたバーコードが付されている。部品装着機１は、ウエハ供給装置２０に設けられたバーコードリーダ（図示せず）でバーコードを読み取ることにより、各々のウエハＷのダイＤに関する情報を取得し、ダイ情報記憶部１２１に記憶する。
ランク別ダイ総数記憶部１２２は、ダイ情報記憶部１２１に記憶された内容に基づき、マガジン２１ｄに収納されたダイＤの総数をランク別に記憶する。ここで、図５を参照し、ランク別ダイ総数記憶部１２２に記憶される情報の一例を説明する。ここでは、マガジン２１ｄに同一種のウエハＷが３枚収納され、特性に応じて割り振られた１〜９のランクが各々のダイＤに付されている場合を例に挙げて説明する。
図５に示すように、ウエハ供給制御部１２０は、ダイ情報記憶部１２１に記憶された３枚のウエハＷ１〜Ｗ３の各々に含まれるダイＤのランクに関する情報を取得する。続いて、ウエハ供給制御部１２０は、３枚のウエハＷ１〜Ｗ３に含まれるダイＤの合計をランク別に算出し、算出されたランク別のダイＤの総数をランク別ダイ総数記憶部１２２に記憶する。例えば、図５に示す例において、ランク別ダイ総数記憶部１２２には、ランク１のダイＤが、マガジン２１ｄに（１４＋０＋１２＝）２６個収納されていることが記憶される。
図４に戻り、説明を続ける。ブロック情報取得部１２３は、基板搬送装置１０に搬送される基板Ｋに関する情報を取得し、記憶する。具体的に、基板Ｋの上面には、ダイＤの装着位置となるブロックが設けられ、ブロック情報取得部１２３は、ブロックに装着するダイＤの条件に関する情報を取得し、記憶する。なお、ブロックに装着するダイＤの条件に関する情報は、基板Ｋに対する情報として予め記憶されている場合もあれば、作業者により入力される場合もある。
そして、ブロック情報取得部１２３は、ブロック必要数取得部１２３ａと、ランク条件取得部１２３ｂとを主に備える。ブロック必要数取得部１２３ａは、１つのブロックに装着するダイＤの必要数を取得し、記憶する。ランク条件取得部１２３ｂは、１つのブロックに装着するダイＤのランクに関する条件を取得し、記憶する。
予備設定部１２４は、リカバリ用に確保する予備のダイＤの数量を設定する。即ち、ダイＤの装着作業を行う中で、ダイＤの部品不良や部品保持部３５によるピックアップエラー等が発生するおそれがある。これに対し、部品装着機１は、リカバリに用いるためのダイＤを予め確保しておくことにより、部品不良やピックアップエラー等が発生したとしても、ブロックの装着に必要となるダイＤの数量に不足が生じることを抑制できる。その結果、部品装着機１は、部品不良やピックアップエラー等に起因する未完成のブロックの発生を防止できる。
なお、予備設定部１２４に設定する予備のダイＤの数量は、作業者による入力値を設定してもよく、過去の統計データから推測されるリカバリ率に基づいて算出した値を設定してもよい。
生産可能数算出部１２５は、ブロック情報取得部１２３が取得した内容及びランク別ダイ総数記憶部１２２に記憶された内容に基づき、マガジン２１ｄに収納されたダイＤを用いて生産可能なブロックの数量を算出する。なお、生産可能数算出部１２５は、ランク別のダイＤの総数から予備設定部１２４に設定された予備のダイＤの数量を予め差し引いた上で、生産可能数の算出を行う。そして、ウエハ供給制御部１２０は、算出された生産可能数の値を、例えばモニタ等により表示する。この場合、作業者は、モニタ等を確認することにより、生産可能なブロックの数量を把握することができる。
ランク指定部１２６は、ブロック情報取得部１２３が取得したダイＤの条件、及び、ランク別ダイ総数記憶部１２２に記憶された内容に基づき、部品移載装置３０がピックアップするダイＤのランクを指定する。本実施形態において、ランク指定部１２６は、ピックアップするダイＤのランクとして、単一のランクを指定する。これにより、部品装着機１は、ランク指定部１２６による制御を簡素化できる。また、ランク指定部１２６は、ランク指定の手順として、マガジン２１ｄに収納されたダイＤのうち、ランク別における数量が少ないダイＤから順に指定を行う。
位置指定部１２７は、マガジン２１ｄに収納された複数のダイＤの中から、ピックアップするダイＤの位置指定を行う。ウエハ撮像制御部１２８は、ウエハ撮像装置２４による撮像を行う。そして、ウエハ撮像制御部１２８は、ウエハ撮像装置２４による撮像結果に基づいてダイＤの正確な位置の認識等を行い、部品移載制御部１３０は、ウエハ撮像制御部１２８から得られた情報に基づき、部品移載装置３０の移動制御を行う。
１−３：ランク指定部１２６によるランク指定手順
ここで、図５及び図６を参照して、ランク指定部１２６が行うランク指定の一例を説明する。なお、図５に示す各々のダイＤのランク別数量は、予備設定部１２４に設定された予備用のダイＤの数量を差し引いた後の数量を示す。
ここでは、１つのブロックに装着するダイＤの必要数量を「９」とし、１つのブロックに異なるランクのダイＤを混在させる場合、「隣り合う２ランクまで」であることを条件として設定する。例えば、１つのブロックに装着するダイＤのランクがすべて「ランク１」（同一ランク）である場合や、１つのブロックに装着するダイＤのランクが「ランク１及びランク２」（隣り合う２ランク）である場合は、上記条件を満たす。一方、１つのブロックに装着するダイＤのランクが「ランク１及びランク３」である（ランクが隣りあっていない）場合や、「ランク１、ランク２及びランク３」である（３つのランクが混在する）場合は、上記条件を満たさない。
図５に示すように、マガジン２１ｄに収納されたダイＤをランク別で見ると、ダイＤの総数が最も少ないのは、「ランク１」のダイＤである。従って、ランク指定部１２６は、部品移載装置３０がピックアップするダイＤのランクとして、「ランク１」を指定する。そして、位置指定部１２７は、最初に、ウエハＷ１の中から、「ランク１」を有するダイＤの位置指定を行う。
ここで、１つのブロックあたりのダイＤの必要数量は「９」である。これに対し、ウエハＷ１には「ランク１」のダイＤが１４個含まれる。即ち、ウエハＷ１には、「ランク１」を有するダイＤが９個以上含まれている。従って、図６に示すように、１番目のブロックＢ１に装着するダイＤは、ウエハＷ１のみにより供給される。
１番目のブロックＢ１に対するダイＤの装着が終了した後、２番目のブロックＢ２に対するダイＤの装着を開始するにあたり、ウエハＷ１において残存する「ランク１」のダイＤの数量は５個となる。即ち、ウエハＷ１に残存する「ランク１」のダイＤは、９個未満であり、２番目のブロックＢ２に装着する「ランク１」のダイＤをウエハＷ１からピックアップしようとすると、４個の不足が生じる。そこで、ランク指定部１２６は、マガジン２１ｄに収納されるウエハＷ２及びウエハＷ３の中から、不足分となる４個の「ランク１」のダイＤを供給できるか否かの判定を行う。
図５に示す例において、ウエハＷ２には、「ランク１」を有するダイＤがないものの、ウエハＷ３には、「ランク１」を有するダイＤが１２個含まれている。従ってこの場合、まず、位置指定部１２７は、ウエハＷ１に残存する「ランク１」のダイＤの位置指定を行い、２番目のブロックＢ２に「ランク１」のダイＤを装着する。続いて、ウエハ供給制御部１２０は、ウエハＷ１を供給位置からマガジン２１ｄに戻した後、ウエハＷ３をマガジン２１ｄから供給位置へ搬送する。そして、位置指定部１２７は、ウエハＷ３に含まれる「ランク１」のダイＤの中から、４個の「ランク１」のダイＤの位置指定を行う。その結果、図６に示すように、２番目のブロックＢ２には、ウエハＷ１及びウエハＷ３から供給された「ランク１」のダイＤのみが装着される。
このように、位置指定部１２７は、ランク指定部１２６により指定されたランクを有するダイＤが、マガジン２１ｄに収納された複数のウエハＷに亘り、連続してピックアップされるように、ダイＤの位置指定を行う。これにより、部品装着機１は、１枚のウエハＷに含まれるダイＤだけを対象としてダイＤの位置指定を行い、全てのランクに対するピックアップが終了した後に新たなウエハＷに交換する場合と比べて、未使用となるダイＤを減らすことができる。よって、部品装着機１は、部品としてのダイＤの供給を効率よく行うことができる。
２番目のブロックＢ２に対するダイＤの装着が終了した後、３番目のブロックＢ３に対するダイＤの装着を開始するにあたり、ウエハＷ３における「ランク１」のダイＤの残数は、８個である。即ち、ウエハＷ３に残存する「ランク１」のダイＤが９個未満となり、３番目のブロックＢ３に装着する「ランク１」のダイＤをウエハＷ３からピックアップしようとすると、１個の不足が生じる。さらに、マガジン２１ｄに収納されるウエハＷ１及びウエハＷにおいても、「ランク１」を有するダイＤは、残存していない。
この場合、ランク指定部１２６は、不足分のダイＤを、「ランク１」と隣り合うランクである「ランク２」のダイＤにより補う。その結果、図６に示すように、３番目のブロックＢ３には、「ランク１」のダイＤと「ランク２」のダイＤとが混在した状態で装着される。なおこの場合、「ランク２」のダイＤは、ウエハＷ３からピックアップしてもよく、ウエハＷ１又はウエハＷ２からピックアップしてもよい。
このように、位置指定部１２７は、新たなブロックの装着を開始するにあたり、指定しようとするランクを有するダイＤのマガジン２１ｄにおける総数が、ブロックに装着するダイＤの必要数に満たない場合に、当該ブロックにおける不足分のダイＤを、指定しようとするランクとは異なるランクを有するダイＤであって、ブロックに装着する条件を満たすダイＤにより補う。これにより、部品装着機１は、未使用となるダイＤを減らすことができると共に、未完成のブロックの発生を防止できる。なおこの場合において、ブロックに装着する条件を満たすダイＤがマガジン２１ｄに残存していなければ、部品装着機１は、指定しようとするダイＤのピックアップを中止する。そして、ランク指定部１２６は、指定しようとしていたダイＤとは異なるランクのダイＤを、部品移載装置３０がピックアップするダイＤのランクとして指定する。
ここで、ダイ情報記憶部１２１には、ウエハＷにおけるダイＤの位置を、各々のダイＤが有するランクに関連付けたウエハマップデータが記憶されている。そして、位置指定部１２７は、ウエハマップデータに基づき、ピックアップするダイＤの位置を推定し、ダイＤの位置指定を行う。具体的に、位置指定部１２７は、直前にピックアップしたダイＤの位置を基準として、次にピックアップするダイＤの位置を推定する。そして、ウエハ供給制御部１２０は、推定された位置へポット移動装置２６を移動させた後、ポット昇降装置２７を上昇させて突き上げポット２５を突き上げる（図２参照）。
これにより、推定された位置にあるダイＤが突き上げられ、その突き上げられたダイＤが部品保持部３５により吸着される。このとき、ダイＤは、ダイシングシートＳごと突き上げポット２５に突き上げられるので、ダイシングシートＳには、ダイＤがピックアップ済となった部位において、伸びが生じる。
この点に関し、図７に示すように、「ランク１」や「ランク９」のダイＤのような、ランク別における数量が少ないダイＤは、同一ランクを有するダイＤ間の距離が大きくなる。そして、同一ランクを有するダイＤ間に、ダイＤがピックアップされてダイシングシートＳに伸びが発生した部位が多く存在した状態において、同一ランクを有するダイＤ間の距離は、ダイシングシートＳが伸びた分だけ広がる。このような場合、当該同一ランクを有するダイＤ間の距離と、ウエハマップデータに基づいて推定される距離との誤差が大きくなるので、ピックアップエラーが発生しやすくなる。
この点に関し、ランク指定部１２６は、マガジン２１ｄに収納されたダイＤのうち、ランク別における数量が少ないダイＤから順に指定を行う。この場合、ランク別における数量が少ないダイＤをピックアップする際に、同一ランクを有するダイＤ間に、ダイＤがピックアップされてダイシングシートＳに伸びが発生した部位が多く存在した状態となることを防止できる。その結果、同一ランクを有するダイＤ間の距離が、ダイシングシートＳの伸びに起因して広がることを抑制できるので、部品装着機１は、ピックアップエラーの発生を抑制できる。
一方、図８に示すように、「ランク５」のダイＤのような、ランク別における数量が多いダイＤをピックアップする場合は、ランク別における数量が少ないダイＤをピックアップする場合と比べて、同一ランクを有するダイＤ間の距離が短くなる。その結果、同一ランクを有するダイＤ間に、ダイＤがピックアップされてダイシングシートＳに伸びが発生した部位が多く存在した状態となることを防止できる。従って、部品装着機１は、ピックアップエラーの発生を抑制できる。
このように、部品装着機１は、ランク指定部１２６による指定、及び、ダイ情報記憶部１２１に記憶された内容に基づき、部品移載装置３０に対し、ピックアップするダイＤの位置指定を行う位置指定部１２７、を備える。そして、位置指定部１２７は、ランク指定部１２６により指定されたランクを有するダイＤが、ウエハ供給装置２０に収納された複数のウエハＷに亘り、連続してピックアップされるように、ダイＤの位置指定を行う。これにより、部品装着機１は、未使用となるダイＤを減らすことができるので、部品としてのダイＤの供給を効率よく行うことができる。
また、ランク指定部１２６は、ウエハ供給装置２０に収納されるダイＤのうち、ランク別における数量が少ないダイＤから順に指定を行うので、部品装着機１は、ピックアップエラーの発生を抑制することができる。
また、ランク別ダイ総数記憶部１２２は、ウエハ供給装置２０に収納されたダイＤの総数をランク毎に記憶し、生産可能性算出部１２５は、ウエハ供給装置２０に収納されたウエハＷにより生産可能なブロックの数量を算出する。従って、作業者は、ウエハ供給装置２０に収納されたウエハＷにより生産可能なブロックの数量を把握することができる。
また、予備設定部１２４は、ウエハ供給装置２０に収納されたダイＤの一部を、リカバリに用いる予備のダイＤとしてランク毎に設定する。そして、生産可能数算出部１２５は、ウエハ供給装置２０に収納されたダイＤのランク毎の総数から、予備設定部１２４に設定された予備のダイＤのランク毎の数量を差し引いた状態で、ブロックの生産可能数を算出する。これにより、部品装着機１は、部品不良やピックアップエラー等が発生したとしても、ブロックの装着に必要となるダイＤの数量に不足が生じることを抑制できる。従って、部品装着機１は、部品不良やピックアップエラー等に起因する未完成のブロックの発生を防止できる。
また、ランク指定部１２６は、ピックアップするダイＤのランクとして、単一のランクを指定するので、部品装着機１は、ランク指定部１２６による制御を簡素化できる。さらに、ランク指定部１２６は、新たなブロックに対する装着を開始するにあたり、指定しようとするランクを有するダイＤのウエハ供給装置２０における総数が、ブロックに装着するダイＤの必要数に満たない場合に、指定しようとするランクのダイＤの指定を中止する。これにより、部品装着機１は、ランク指定部１２６，３２６による制御を簡素化できる。
２．第二実施形態
次に、第二実施形態について説明する。第一実施形態では、ランク指定部１２６が単一のランクを指定し、位置指定部１２７は、単一のランクのダイＤが連続してピックアップされるようにダイＤの位置指定を行う。これに対し、第二実施形態では、ランク指定部３２６が複数のランクを一単位として指定し、位置指定部１２７は、ダイＤが一単位ごとに連続してピックアップされるように、ダイＤの位置指定を行う。なお、上記した第一実施形態と同一の部品には同一の符号を付し、その説明を省略する。また、第二実施形態における部品装着機２０１は、制御装置３００のウエハ供給制御部３２０の構成を除き、第一実施形態における部品装着機１と同等の構成を有する。
２−１：ウエハ供給制御部３２０
まず、第二実施形態におけるウエハ供給制御部３２０について説明する。ウエハ供給制御部３２０は、ダイ情報記憶部１２１と、ランク別ダイ総数記憶部１２２と、ブロック情報取得部１２３と、予備設定部１２４と、生産可能数算出部１２５と、ランク指定部３２６（図２参照）と、位置指定部１２７と、ウエハ撮像制御部１２８と、を備える。
本実施形態において、ランク指定部３２６は、ピックアップするダイＤのランクとして、複数のランクを一単位として指定可能である。本実施形態において、ランク指定部３２６は、ピックアップするダイＤのランクとして隣り合う２つのランク（例えば、ランク１とランク２、ランク３とランク４等）を一単位としたランク指定を行う。そして、位置指定部１２７は、ウエハ供給装置２０に収納された全てのウエハＷに亘り、ダイＤが一単位ごとに連続してピックアップされるように、ダイＤの位置指定を行う。なお、位置指定部１２７による位置指定の手順は、第一実施形態と同様とする。
２−２：ランク指定部３２６によるランク指定手順
ここで、図９を参照して、ランク指定部３２６が行うランク指定の一例を説明する。なお、ブロックに装着するダイＤの条件は、第一実施形態と同様であるものとする。図９に示すように、マガジン２１ｄに収納されたダイＤを単位別で見た場合に、ダイＤの合計総数が少ない組み合わせは、「ランク８及びランク９」である。従って、ランク指定部３２６は、部品移載装置３０がピックアップするダイＤのランクとして、「ランク８及びランク９」を指定する。そして、位置指定部１２７は、最初に、ウエハＷ１の中から、「ランク８又は９」を有するダイＤの位置指定を行う。
ここで、マガジン２１ｄに収納されるダイＤのうち、「ランク８」と「ランク９」とのダイＤの合計総数は、８２個である。従って、１〜９番目までのブロックに装着するダイＤのランクは、「ランク８又はランク９」のみとなる。
そして、９番目のブロックに対するダイＤの装着が終了した後、１０番目のブロックに対するダイＤの装着を開始するにあたり、マガジン２１ｄにおける「ランク８又はランク９」のダイＤの残数は、１個となる。即ち、マガジン２１ｄに残存する「ランク８又はランク９」のダイＤの残数が９個未満となり、「ランク８又はランク９」のダイＤが８個不足する。
そこで、位置指定部１２７は、「ランク８及びランク９」を一単位としてダイＤの位置指定を行うにあたり、９番目のブロックに対するダイＤの装着が終了した段階で、「ランク９」のダイＤがマガジン２１ｄに残存しないように、ダイＤの位置指定を行う。
そして、１０番目のブロックに対するダイＤの装着が開始するにあたり、位置指定部１２７は、マガジン２１ｄに残存する1個の「ランク８」を有するダイＤを装着した後、「ランク８」と隣り合うランクである「ランク７」のダイＤがピックアップされるように、ダイＤの位置指定を行う。これにより、１０番目のブロックには、ランク８とランク７とが混在して装着されるため、１０番目のブロックは、ブロック情報取得部１２３に記憶されたダイＤの条件を満たす。このようにして、部品装着機２０１は、マガジン２１ｄに収納された「ランク８」及び「ランク９」を有するダイＤを使いきることができる。従って、部品装着機２０１は、未使用となるダイＤを減らすことができるので、部品としてのダイＤの供給を効率よく行うことができる。
また、図１１に示すように、ランク指定部３２６は、隣り合う２ランクのダイＤを一単位としてランク指定を行うので、単一のランクをランク指定する場合と比べて、ピックアップしようとするダイＤ間の距離を小さくすることができる。よって、部品装着機２０１は、ピックアップエラーを抑制することができる。さらに、部品装着機２０１は、単一のランクをランク指定する場合と比べて、供給位置に供給するウエハＷの交換回数を減らすことができるので、部品としてのダイＤの装着作業効率を向上させることができる。
３．その他
以上、上記実施形態に基づき本開示を説明したが、本開示は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変形改良が可能であることは容易に推察できるものである。
例えば、上記各実施形態において、本開示が、マガジン２１ｄに同一種のウエハＷが複数収納される場合に適用される例について説明した。しかしながらこれに限られるものではなく、本開示は、マガジン２１ｄに収納されるウエハＷが一枚である場合であっても、適用可能である。この場合においても、ランク指定部１２６，３２６は、マガジン２１ｄに収納される数量が少ないランクを有するダイＤから順に指定を行うので、部品装着機１，２０１は、ピックアップエラーの発生を抑制することができる。
また、上記各実施形態において、１のブロックに対し、ランクの異なるダイが混在して装着される場合のランク混在条件として、「隣り合う２ランクまで」とする場合を例に挙げて説明したが、ランク条件を変更することも当然可能である。また例えば、１のブロックに対してダイＤを装着する際の条件として、ウエハＷに含まれる１〜９までのランクのうち、「一部のランク（例えばランク４〜６まで）のダイＤのみを装着する」といった条件を加えてもよい。この場合、部品装着機１，２０１は、未使用となるダイＤを減らすことができるので、部品としてのダイＤの供給を効率よく行うことができる。
上記各実施形態では、新たなブロックの装着を開始するにあたり、指定しようとするランクを有するダイＤのマガジン２１ｄにおける総数が、ブロックに装着するダイＤの必要数に満たない場合に、位置指定部１２７が、当該ブロックにおける不足分のダイＤを、指定しようとするランクとは異なるランクを有するダイＤであって、ブロックに装着する条件を満たすダイＤにより補う場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではない。例えば、新たなブロックに対するダイＤの装着を開始するにあたり、指定しようとするランクを有するダイＤのマガジン２１ｄにおける総数が、ブロックに装着するダイＤの必要数に満たない場合に、指定しようとするランクのダイＤのピックアップを中止してもよい。この場合、部品装着機１，２０１は、位置指定部１２７による制御を簡素化できる。
また、本実施形態において、ランク指定部１２６，３２６が行うランク指定の手順として、マガジン２１ｄに収納されたダイＤのうち、ランク別における数量が少ないダイＤから順に指定を行う場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、ランクの小さいダイＤから順に（ランク１、ランク２、ランク３、・・ランク９の順に）装着してもよい。この場合においても、位置指定部１２７が、ウエハ供給装置２０に収納された複数のウエハＷに亘り、指定されたランクのダイＤを連続してピックアップするように、ダイＤの位置指定を行う。従って、部品装着機１，２０１は、未使用となるダイＤを減らすことができるので、部品としてのダイＤの供給を効率よく行うことができる。
１，２０１：部品装着機、 ２０：ウエハ供給装置、 ２１ｄ：マガジン、 ３０：部品移載装置、 １００，３００：制御装置、 １２１：ダイ情報記憶部、 １２２：ランク別ダイ総数記憶部、 １２３：ブロック情報取得部、 １２３ａ：ブロック必要数取得部、 １２４：予備設定部、 １２５：生産可能数算出部、 １２６，３２６：ランク指定部、 １２７：位置指定部、 Ｄ：ダイ、 Ｋ：基板、 Ｗ：ウエハ

Claims (9)

  1. 複数のダイに分割されたウエハを複数収納可能なマガジンを有し、前記マガジンに収納された前記ウエハを供給位置に供給するウエハ供給装置と、
    前記供給位置に供給された前記ダイをピックアップし、搬送された基板に装着する部品移載装置と、
    前記ウエハ供給装置及び前記部品移載装置に関する制御を行う制御装置と、
    を備え、
    前記制御装置は、
    前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイの各々の位置を、前記ダイの各々に対して割り振られたランクと関連づけて記憶するダイ情報記憶部と、
    前記基板に設けられたブロックに装着する前記ダイの条件を取得するブロック情報取得部と、
    前記ブロック情報取得部に記憶された内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイのランクを指定するランク指定部と、
    前記ランク指定部による指定、及び、前記ダイ情報記憶部に記憶された内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイの位置指定を行う位置指定部と、
    を備え、
    前記位置指定部は、前記ランク指定部により指定されたランクを有する前記ダイが、前記ウエハ供給装置に収納された複数の前記ウエハに亘り、連続してピックアップされるように、前記ダイの位置指定を行う、部品装着機。
  2. 前記ランク指定部は、前記ウエハ供給装置に収納される前記ダイのうち、ランク別における数量が少ない前記ダイから順に指定を行う、請求項１に記載の部品装着機。
  3. 複数のダイに分割されたウエハを供給位置に供給するウエハ供給装置と、
    前記供給位置に供給された前記ダイをピックアップし、搬送された基板に装着する部品移載装置と、
    前記ウエハ供給装置及び前記部品移載装置に関する制御を行う制御装置と、
    を備え、
    前記制御装置は、
    前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイの各々の位置を、前記ダイの各々に対して割り振られたランクと関連づけて記憶するダイ情報記憶部と、
    前記基板に設けられたブロックに装着する前記ダイの条件を取得するブロック情報取得部と、
    前記ブロック情報取得部が取得した内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイのランクを指定するランク指定部と、
    前記ランク指定部による指定、及び、前記ダイ情報記憶部に記憶された内容に基づき、前記部品移載装置に対し、ピックアップする前記ダイの位置指定を行う位置指定部と、
    を備え、
    前記ランク指定部は、前記ウエハ供給装置に収納される数量が少ないランクを有する前記ダイから順に指定を行う、部品装着機。
  4. 前記ブロック情報取得部は、前記ブロックに装着する前記ダイの必要数を取得するブロック必要数取得部を備え、
    前記制御装置は、前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイの総数をランク毎に記憶するランク別ダイ総数記憶部と、
    前記ブロック必要数取得部が取得した内容、及び、前記ランク別ダイ総数記憶部に記憶された内容に基づき、前記ウエハ供給装置に収納された前記ウエハにより生産可能な前記ブロックの数量を算出する生産可能数算出部と、
    を備える、請求項１−３の何れか一項に記載の部品装着機。
  5. 前記制御装置は、前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイの一部を、リカバリに用いる予備の前記ダイとしてランク毎に設定する予備設定部を備え、
    前記生産可能数算出部は、前記ウエハ供給装置に収納された前記ダイのランク毎の総数から、前記予備設定部に設定された前記予備の前記ダイのランク毎の数量を差し引いた状態で、前記ブロックの生産可能数を算出する、請求項４に記載の部品装着機。
  6. 前記ランク指定部は、ピックアップする前記ダイのランクとして、単一のランクを指定する、請求項１−５の何れか一項に記載の部品装着機。
  7. 前記ランク指定部は、ピックアップする前記ダイのランクとして、複数のランクを一単位として指定可能であり、
    前記位置指定部は、前記ウエハ供給装置に収納された全ての前記ウエハに亘り、前記ダイが前記一単位ごとに連続してピックアップされるように、前記ダイの位置指定を行う、請求項１−５の何れか一項に記載の部品装着機。
  8. 前記ランク指定部は、新たな前記ブロックに対する装着を開始するにあたり、指定しようとするランクを有する前記ダイの前記ウエハ供給装置における総数が、前記ブロックに装着する前記ダイの必要数に満たない場合に、前記指定しようとするランクの前記ダイの指定を中止する、請求項１−７の何れか一項に記載の部品装着機。
  9. 前記ランク指定部は、新たな前記ブロックの装着を開始するにあたり、指定しようとするランクを有する前記ダイの前記ウエハ供給装置における総数が、前記ブロックに装着する前記ダイの必要数に満たない場合に、当該ブロックにおける不足分の前記ダイを、前記指定しようとするランクとは異なるランクを有する前記ダイであって、前記ブロックに装着する条件を満たす前記ダイにより補う、請求項１−７の何れか一項に記載の部品装着機。
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