JPWO2018101255A1 - 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法 - Google Patents

有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2018101255A1
JPWO2018101255A1 JP2018554156A JP2018554156A JPWO2018101255A1 JP WO2018101255 A1 JPWO2018101255 A1 JP WO2018101255A1 JP 2018554156 A JP2018554156 A JP 2018554156A JP 2018554156 A JP2018554156 A JP 2018554156A JP WO2018101255 A1 JPWO2018101255 A1 JP WO2018101255A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
organic solvent
adsorbent
desorption
treated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018554156A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7103226B2 (ja
Inventor
瞬 坂口
敏明 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyobo Co Ltd
Original Assignee
Toyobo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyobo Co Ltd filed Critical Toyobo Co Ltd
Publication of JPWO2018101255A1 publication Critical patent/JPWO2018101255A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7103226B2 publication Critical patent/JP7103226B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0454—Controlling adsorption
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/06—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with moving adsorbents, e.g. rotating beds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/38—Removing components of undefined structure
    • B01D53/44—Organic components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/81—Solid phase processes
    • B01D53/82—Solid phase processes with stationary reactants
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/81—Solid phase processes
    • B01D53/83—Solid phase processes with moving reactants
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/96—Regeneration, reactivation or recycling of reactants

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

本発明の有機溶剤回収システムは、有機溶剤処理装置とバックアップ装置と、これらの間に設置され、有機溶剤処理装置からの処理済ガスの排出先を切り替える切替部と、処理済ガスを第１吸着処理の初期に外部に放出した後に処理済ガスをバックアップ装置に導入するように切替部を制御する制御部と、を備える。

Description

本発明は、有機溶剤含有ガスの処理に用いられる有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法に関するものである。
導入された有機溶剤含有ガスから有機溶剤を回収して清浄化した処理済ガスを排出する装置として、従来、次のような装置が知られている。吸着材として粒状活性炭または繊維状活性炭を充填させた処理槽へ有機溶剤含有ガスを供給し吸着材へ吸着させて清浄化した処理済ガスを排出する吸着工程と、処理槽へ水蒸気を導入して有機溶剤を吸着材から脱着する脱着工程とを交互に繰り返し、脱着された有機溶剤を含有した水蒸気を液化回収することで、排ガス中から有機溶剤を回収する有機溶剤処理装置である（例えば、特許文献１、２参照）。
一般的に上述の有機溶剤処理装置は、処理対象の排ガス中に含まれる有機溶剤の種類、濃度、及び排ガスの温湿度、風量といった条件を基にして最適なサイズが選定される。
ところが、工場などから排出されるガスに含まれる有機溶剤の濃度は一定であることは殆ど無く、濃度が変動することは常である。ここで、多少の濃度変動であれば有機溶剤処理装置の処理性能への影響は少ない。しかしながら、非定常的な操業によって有機溶剤の濃度が大きく変動し高濃度となった場合、有機溶剤処理装置の吸着処理能力を超えてしまい、処理済ガス中に有機溶剤がリークしてしまうといった問題が発生する。
上述の問題を解決する為に、有機溶剤処理装置の上流に濃度平準化装置を設置し、排ガス中の有機溶剤濃度が変動し高濃度となった場合、濃度を平準化させることで、有機溶剤処理装置への影響を少なくする技術が提唱されている（例えば、特許文献３参照）。
また、上述の問題を解決する他の方策として、有機溶剤を吸着する吸着工程と、水蒸気によって脱着する脱着工程とを交互に繰り返す有機溶剤処理装置から排出される処理済ガスを、吸着材を担持したハニカム構造の管状孔を有機溶剤含有ガスの通路とした回転ドラム型有機溶剤処理装置に導入し、前記有機溶剤処理装置から排出される微少な有機溶剤をバックアップ処理すると共に、前記回転ドラム型有機溶剤処理装置の脱着処理ガスを前記有機溶剤処理装置に戻すよう構成されるシステムが提唱されている（例えば、特許文献４参照）。
日本国特許公報「特公昭６４−１１３２６号」 日本国公開特許公報「特開２００１−１７９０４１号」 日本国公開実用新案公報「実開昭５１−４４７４５号」 日本国特許公報「特許第３８４１４７９号」
しかし、有機溶剤処理装置の上流に濃度平準化装置を設置して、有機溶剤濃度を平準化させる従来技術では、高濃度の有機溶剤を含む排ガスの発生が長期間に及ぶ場合、これを平準化させるためには、濃度平準化装置を大型化する必要があり、コストが大きくなるという問題が発生する。
また、有機溶剤処理装置から排出される微少な有機溶剤をバックアップ装置で処理する従来技術では、次のような問題がある。前段の有機溶剤処理装置が水蒸気脱着を行うため、脱着水蒸気の凝縮水の一部が吸着材に残留することにより、脱着工程から切り替わった後の吸着工程の初期において、水蒸気凝縮水のミストが処理済ガス中に含まれることで、後段のバックアップ装置の処理性能を低下させてしまう。そのため、ミストによる性能低下を防ぐために、有機溶剤処理装置とバックアップ装置との間に水蒸気を冷却・除去できるよう大型の冷却機構（例えばコンデンサー）を設ける必要があるが、そうすることで、余分なイニシャルコスト、ランニングコストがかかってしまう。
そこで、本発明は上記課題に鑑みなされ、その目的は、被処理ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上を図ることができ、かつ、システムを大型化することなく、より低コストで運転可能な有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法を提供することにある。
本発明者等は、従来技術の課題を解決するため鋭意検討した結果、ついに本発明を完成するに至った。即ち本発明は以下の通りである。
本発明の有機溶剤回収システムは、有機溶剤を含有する被処理ガスから当該有機溶剤を除去して清浄化ガスを排出する有機溶剤回収システムであって、
第１吸着材が充填された処理槽を有し、前記処理槽に前記被処理ガスを導入して当該被処理ガスに含まれる有機溶剤を前記第１吸着素材に吸着させ、処理済ガスを排出する第１吸着処理と、前記処理槽に第１脱着用ガスを供給して有機溶剤を前記第１吸着素材から脱着し、濃縮された有機溶剤を含有する第１脱着ガスを排出する第１脱着処理と、を繰り返す有機溶剤処理装置と、
第２吸着材を有し、前記処理済ガスを導入して当該処理済ガスに含まれる有機溶剤を前記第２吸着材に吸着させ、清浄化ガスを排出する第２吸着処理と、前記第２吸着材に第２脱着用ガスを供給して、濃縮された有機溶剤を含有する第２脱着ガスを排出する第２脱着処理と、を行うバックアップ装置と、
前記有機溶剤処理装置と前記バックアップ装置との間に設置され、前記処理済ガスの排出先を切り替える切替部と、
前記処理済ガスを前記第１吸着処理の初期に外部に放出した後に前記処理済ガスを前記バックアップ装置に導入するように、前記切替部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
本発明の有機溶剤回収システムでは、前記制御部は、タイマー制御により、前記第１吸着処理の初期の一定期間に外部に放出し、一定期間後に前記処理済ガスを前記バックアップ装置に導入するように前記切替部を制御してもよい。
本発明の有機溶剤回収システムは、前記有機溶剤処理装置から排出された前記処理済ガスの濃度を測定するガス濃度計を備え、前記制御部は、前記ガス濃度計による測定値が所定値を上回ると、前記処理済ガスを外部に放出する状態から前記バックアップ装置に導入する状態に前記切替部を制御してもよい。
本発明の有機溶剤回収システムは、前記有機溶剤処理装置から排出された前記処理済ガスの露点を測定する露点計を備え、前記制御部は、前記露点計による測定値が所定値を下回ると、前記処理済ガスを外部に放出する状態から前記バックアップ装置に導入する状態に前記切替部を制御してもよい。
また、本発明の有機溶剤回収システムでは、前記第２吸着材は筒状に設けられ、前記バックアップ装置は、前記第２吸着材をその筒軸周りに回転することで、前記第２吸着処理に用いる吸着領域と前記第２脱着処理に用いる脱着領域とを切り替えてもよい。
また、本発明の有機溶剤回収システムでは、前記第２吸着材は円筒状に設けられ、前記バックアップ装置は、吸着とスチームによる脱着をバッチ処理で交互に行う２槽以上の吸着槽と脱着された有機溶剤を液化回収するための凝縮器を備える有機溶剤回収装置であってもよい。
また、本発明の有機溶剤回収システムでは、前記バックアップ装置は、前記第２吸着材が充填された処理槽を有し、前記第２吸着処理と前記第２脱着処理を交互に行う吸脱着処理装置と、前記第２脱着ガスから有機溶剤を液化回収する凝縮器とを備えていてもよい。
また、本発明の有機溶剤回収システムでは、前記バックアップ装置から排出された前記第２脱着ガスを前記被処理ガスに混入させるラインを備えていてもよい。
また、本発明の有機溶剤回収システムでは、前記凝縮器での未濃縮の前記第２脱着ガスを、前記被処理ガスに混入させるラインを備えていてもよい。
また、本発明の有機溶剤回収システムでは、前記切替部は、ダンパーにより構成されていてもよい。
また、本発明の有機溶剤回収システムでは、前記第１吸着材は活性炭素繊維または粒状活性炭の少なくとも一つを含んでいてもよい。また、前記第２吸着材は活性炭、ゼオライトまたはシリカゲルの少なくとも一つを含んでいてもよい。
本発明の有機溶剤回収方法は、有機溶剤を含有する被処理ガスから当該有機溶剤を除去して清浄化ガスを排出する有機溶剤回収方法であって、
第１吸着材に前記被処理ガスを導入して当該被処理ガスに含まれる有機溶剤を前記第１吸着素材に吸着させ、処理済ガスを排出する第１吸着処理と、前記第１吸着材に第１脱着用ガスを供給して前記第１吸着素材から有機溶剤を脱着し、濃縮された有機溶剤を含有する第１脱着ガスを排出する第１脱着処理と、を繰り返すステップと、
前記処理済ガスを前記第１吸着処理の初期に外部に放出した後に前記処理済ガスを第２吸着材に導入するように、前記処理済ガスの排出先を切り替えるステップと、
前記処理済ガスを導入して当該処理済ガスに含まれる有機溶剤を前記第２吸着材に吸着させ、清浄化ガスを排出する第２吸着処理と、前記第２吸着材に第２脱着用ガスを供給して、濃縮された有機溶剤を含有する第２脱着ガスを排出する第２脱着処理と、を行うステップと、を含むことを特徴とする。
本発明の有機溶剤回収システムによると、処理済ガスの排出先を切り替える切替ダンパーと、処理済ガスを、第１吸着処理の初期の外部に放出した後に、前記処理済ガスをバックアップ装置に導入するように、切替ダンパーを制御する制御部を備えている。そのため、被処理ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図ることができ、かつ、システムを大型化することなく、より低コストで運転可能な有機溶剤回収システムを提供することができる。
本発明の実施形態の有機溶剤回収システムにおける構成を示す概略図である。 本発明の実施形態の有機溶剤回収システムにおける別の構成を示す概略図である。 有機溶剤処理装置から排出される処理済ガスの有機溶剤濃度、露点、温度の経時変化を示すグラフである。
以下、本発明の実施の形態の有機溶剤回収システム１００について、図１を参照にして説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する構成、部材については、図中に同一の符号を付し、説明は繰り返さない。
本実施形態の有機溶剤回収システム１００は、有機溶剤処理装置１と連続式バックアップ装置２とを備えている。
有機溶剤処理装置１は、被処理ガス（有機溶剤含有ガス）を処理して処理済ガスを排出する装置であり、図１に示すように、それぞれに第１吸着材１４が充填された処理槽１３を２つ備えている。本実施形態では有機溶剤処理装置１は、２つの処理槽１３を備えているが、備える数に限定はなく、１つでも、３つ以上でもよい。
第１吸着材１４は、粒状、粉体状、繊維状、ハニカム状の活性炭、ゼオライト、シリカゲルや活性アルミナなどを用いることができるが、特に活性炭素繊維を用いることが好ましい。活性炭素繊維は表面にミクロ孔を有することと繊維状構造であることより、被吸着物質の吸着速度及び脱着速度が速い為、被処理ガスを効率よく処理することができるからである。
有機溶剤処理装置１は、処理槽１３に被処理ガスを導入して有機溶剤を第１吸着材１４に吸着させて処理済ガスを排出する吸着処理（第１吸着処理）を実施する。また、処理槽１３に第１脱着用ガスを導入して第１吸着材１４から有機溶剤を脱着する脱着処理（第１脱着処理）を実施する。本実施形態では、第１脱着用ガスとして水蒸気を用いる。なお、図１は、向かって右の処理槽１３にて吸着処理、向かって左の処理槽１３にて脱着処理を実施している状態を示している。
処理槽１３には上ダンパー１６および下ダンパー１５が取付けられており、これらダンパーの開閉によりガスの流路を切替えることができる。
被処理ガスは被処理ガス供給ライン１１より原ガス送風機１２へ送り込まれ、下ダンパー１５及び上ダンパー１６が開いて吸着処理できる状態となっている処理槽（吸着槽）１３に導入される。処理槽１３での吸着処理により、被処理ガスは、有機溶剤が処理槽１３の第１吸着材１４にて吸着されて、処理済ガスとなって処理槽１３に接続された第１排出ライン１７より排出される。
一方、下ダンパー１５及び上ダンパー１６が閉じられて脱着処理できる状態となっている処理槽（脱着槽）１３には、その処理槽１３と接続した水蒸気供給ライン１８から第１脱着用ガスとして水蒸気が導入される。処理槽１３への水蒸気の導入により第１吸着材１４に吸着された有機溶剤の脱着処理が行われる。
このように、被処理ガスを処理槽１３に導入し第１吸着材１４に有機溶剤を吸着させる吸着処理と、処理槽１３に脱着用ガスを導入し第１吸着材１４から有機溶剤を脱着させる脱着処理とを、下ダンパー１５及び上ダンパー１６の開閉操作によって交互に繰り返し行うことで、連続して有機溶剤含有ガスを清浄化することができる。
第１吸着材１４から脱着された第１脱着ガスである有機溶剤を含む水蒸気は、処理槽１３に接続した脱着水蒸気ライン１９を経由して凝縮器２０へ供給され、凝縮器２０にて有機溶剤と水とに液化凝縮される。その後、回収液タンク２１にて回収される。凝縮器２０では、冷水を用いて冷却することで有機溶剤を凝縮するものとするが、これに限定されない。
なお、凝縮器２０で凝縮しきれなかった未凝縮の脱着ガスは、戻りガスライン２８を通じて原ガス送風機１２の上流側に戻され、被処理ガスに混入される。
処理槽１３にて吸着処理された後に第１排出ライン１７から排出された処理済ガスは、三方ダンパー（切替部）２２に導入される。三方ダンパー２２は、第１排出ライン１７、放出ライン３０、導入ライン３１と接続している。第１排出ライン１７から三方ダンパー２２を通って放出ライン３０へ排出された処理済ガスは、外部に放出される。第１排出ライン１７から三方ダンパー２２を通って導入ライン３１へ排出された処理済ガスは、処理済ガス送風機２３へ送り込まれ、連続式バックアップ装置２に導入される。三方ダンパー２２から放出ライン３０と導入ライン３１とのどちらに排出するかは、後段で説明する。
なお、本実施形態では、処理漕１３から排出された処理済ガスの排出先を切り替えを三方ダンパーにて行っているが、これの構成に限定されず、切り替を行う切替部は別の構成であってもよい。
連続式バックアップ装置２は、処理済ガス送風機２３と、第２吸着材２４と、脱着送風機２６と、ヒーター２７と、を備えている。本実施形態では第２吸着材２４は、吸着ゾーン（吸着領域）２４ａと脱着ゾーン（脱着領域）２４ｂとに区分されて使用される筒状吸着体であり、その筒軸回りに回転されて使用される。
連続式バックアップ装置２は、有機溶剤処理装置１から排出され処理済ガス送風機２３で送られてきた処理済ガスを、筒状吸着体である第２吸着材２４をその筒軸回りに回転させて、第２吸着材２４の吸着ゾーン２４ａに導入する。これにより、処理済ガス中の微量の有機溶剤ガスを吸着処理（第２吸着処理）し、清浄化ガスとして第２排出ライン２５より外部に排出する。また、脱着送風機２６より導入されヒーター２７により加熱された外気または清浄化ガスの一部を第２脱着用ガスとして第２吸着材２４の脱着ゾーン２４ｂに供給して、有機溶剤を脱着処理（第２脱着処理）して第２吸着材２４を再生させる。第２吸着材２４の脱着ゾーンより排出された第２脱着ガスを、戻りガスライン２８を経由して被処理ガス供給ライン１１に戻す。
第２吸着材２４は、活性炭またはゼオライトまたはシリカゲルのいずれか１つ以上を含んで構成される構造体、特にハニカム構造体であることが好ましい。吸着材の種類については被処理溶剤の成分によって選択することがより好ましい。また、構造体をハニカム状にすることで低圧損にすることができ、処理済ガス送風機２３、脱着送風機２６の容量を小さくすることができるため経済面で効果的である。
筒状吸着体である第２吸着材２４をその筒軸回りに回転させる方法は特に限定するものではない。例えば、第２吸着材２４の周囲をベルトで固定し、そのベルトをモータを駆動力として回転させることで第２吸着材２４を回転させる方法を採ることができる。
また、有機溶剤回収システム１００では、後段のバックアップ装置として、上述したように筒状吸着体を回転させることで吸着と脱着を連続で行う連続式バックアップ装置２を備えているが、バックアップ装置はこれに限定されない。例えば、図２に示すように、第２吸着材１４０が充填された処理槽１３を有し、吸着処理と脱着処理を交互に行う吸脱着処理装置４と、吸脱着処理装置４からの脱着ガスから有機溶剤を液化回収する凝縮器２０とを備えたバッチ式バックアップ装置３でもよい。バッチ式バックアップ装置３を備えたシステムを、有機溶剤回収システム１００Ａと称する。有機溶剤回収システム１００Ａは、有機溶剤回収システム１００において、連続式バックアップ装置２の代わりにバッチ式バックアップ装置３を備えた構成であり、これ以外は有機溶剤回収システム１００同じ構成である。よって、同じ構成には同じ符号を付し、説明は繰り返さない。有機溶剤回収システム１００Ａでは、バッチ式バックアップ装置３の凝縮器２０で凝縮しきれなかった未凝縮の脱着ガスは、戻りガスライン２８を通じて原ガス送風機１２の上流側に戻され、被処理ガスに混入される。
また、バックアップ装置は、上記した装置以外でも、第２吸着材を設置し通気のみを行う装置やシステムなど様々なＶＯＣ吸着処理装置（システム）でもよい。
ところで、連続式バックアップ装置２の有機溶剤吸着性能は、導入されるガス中の湿度が高い場合、低下する。特に、有機溶剤処理装置１の吸着処理への切り替わり直後、つまり、吸着処理の初期、において、第１吸着材１４に付着した脱着水蒸気由来の水分が、第１排出ライン１７から排出される処理済ガス中に多く含まれてしまう。そのため、三方ダンパー２２が設けられていないと、高温且つ湿潤状態の処理済ガスが連続式バックアップ装置２に導入されることになる。それゆえ、第２吸着材２４に微量残存している有機溶剤成分が処理済ガスによって押し出されて排出されたり、第２吸着材２４の湿りによって吸着効率が低下したりする。
また、有機溶剤処理装置１より排出される処理済ガス中の有機溶剤濃度は、有機溶剤処理装置１の吸着処理への切り替わり直後には低く、吸着処理が進むにつれて上昇していく。そのため、有機溶剤回収システム１００では、有機溶剤処理装置１の第１排出ライン１７に三方ダンパー２２を設け、図示しない制御部により、吸着処理の初期の処理済ガスを放出ライン３０から外部に放出しするよう三方ダンパー２２を制御し、その後に処理済ガスを導入ライン３１から連続式バックアップ装置２に導入するように、三方ダンパー２２を制御する。同様に、有機溶剤回収システム１００Ａでも、図示しない制御部により、三方ダンパー２２を制御する。
図３に、有機溶剤処理装置１から排出される処理済ガスの有機溶剤濃度、露点、温度の経時変化を示す。処理済ガスの有機溶剤濃度は、図３に示すように、周期的に変化する。そこで、有機溶剤回収システム１００では、図示しない制御部が、三方ダンパー２２による有機溶剤処理装置１からの処理済ガスを外部放出する期間を、有機溶剤処理装置１における吸着処理の初期の一定期間として制御する。そして、この一定期間後には処理済ガスを連続式バックアップ装置２に導入するよう制御する。一定期間の制御はタイマー設定で行ってもよい。ここでは、処理済ガスを外部に放出する吸着処理の初期とは、吸着処理のへの切り替わり直後から一定期間である。図３の横軸の記載において、「外部放出」が外部放出されている期間、「バックアップ処理」が連続式バックアップ装置２に導入する期間を示している。
また、例えば、有機溶剤処理装置１の第１排気ライン下流側にガス濃度計を設け、図示しない制御部が、設定した有機溶剤濃度に到達した段階で、外気放出から連続式バックアップ装置２へ導入する経路に切り替えてもよい。ここでは、処理済ガスを外部に放出する吸着処理の初期とは、吸着処理のへの切り替わり直後から設定した有機溶剤濃度に到達するまでの期間である。また、露点計を設けて設定した露点を下回った段階で、外気放出から連続式バックアップ装置２へ導入する経路に切り替えてもよい。ここでは、処理済ガスを外部に放出する吸着処理の初期とは、吸着処理のへの切り替わり直後から設定した露点を下回るまでの期間である。
また、上記いずれかの制御を適宜組み合わせて三方ダンパー２２の制御を行ってもよい。以上のように図示しない制御部が、三方ダンパー２２の切り替えを制御することにより、効率よく有機溶剤含有ガスの浄化能力及び回収効率を向上させることが可能となる。
＜実施例＞
以下に本実施形態の有機溶剤回収システム１００，１００Ａを用いた実施例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の内容に限定されるものではない。
［実施例１］
実施例１では、図１に示す有機溶剤回収システム１００を用いた。
塩化メチレン１０，０００ｐｐｍを含む温度２５℃の被処理ガスを、風量５Ｎｍ３／分で被処理ガス供給ライン１１から原ガス送風機１２にて処理槽１３に導入し、処理槽１３内に搭載した第１吸着材１４にて１１．５分間吸着処理を行った。ここで、第１吸着材１４には、比表面積が１，０００ｍ２／ｇ以上の活性炭素繊維不織布を金枠に円筒状に巻きつけた吸着材を使用した。
次に塩化メチレンを吸着した第１吸着材１４に水蒸気を用いて８分間脱着処理を行った。脱着処理後、次の吸着工程に移行するまで（３．５分間）は待機状態とした。塩化メチレンを含んだ脱着ガスは、脱着水蒸気ライン１９を経由して凝縮器２０へ供給され、凝縮器２０にて塩化メチレンと水とに液化凝縮された。その後、回収液タンク２１にて塩化メチレンと水とに分液された。
有機溶剤処理装置１で吸着処理された後の被処理ガスは、処理済ガスとして第１排出ライン１７より排出され、三方ダンパー２２に導入された。ここで、処理済ガスの露点が２７℃を下回るまでは三方ダンパー２２から放出ライン３０を介して外気に放出し、露点が２７℃を下回った時点で三方ダンパー２２から導入ライン３１を介して連続式バックアップ装置２に導入するように制御した。
連続式バックアップ処理装置２では、有機溶剤処理装置１から排出された処理済ガスを処理済ガス送風機２３にて第２吸着材２４に導入することで吸着処理を行い、清浄化ガスとして第２排出ライン２５から外部に排出した。ここで、第２吸着材２４には、比表面積が１,０００ｍ２／ｇ以上の活性炭を６０％以上配合させたハニカムローターを使用した。
連続式バックアップ処理装置２の吸着ゾーン２４ａにて処理済ガスの吸着処理を行うとともに、脱着送風機２６で処理済ガスの風量０．４Ｎｍ３／分の外気をヒーター２７に導入して１３０℃に加熱し、第２吸着材２４の脱着ゾーン２４ｂに導入して第２吸着材２４を再生させた。また、第２吸着材２４の脱着ゾーン２４ｂより排出された濃縮ガスは戻りガスライン２８を経由して被処理ガス供給ライン１１に戻した。
上記の連続吸脱着処理を実施したところ、三方ダンパー２２から排気ライン３０に排出された処理済ガスに含有される塩化メチレンとの濃度と、連続式バックアップ処理装置２から排出された清浄化ガスに含有される塩化メチレンの濃度は、両方とも平均で１０ｐｐｍ以下であった。
［実施例２］
実施例２では、図２に示す有機溶剤回収システム１００Ａを用いた。
塩化メチレン１０，０００ｐｐｍを含む温度２５℃の被処理ガスを、風量５Ｎｍ３／分で被処理ガス供給ライン１１から原ガス送風機１２にて処理槽１３に導入し、処理槽１３内に搭載した第１吸着材１４にて１１．５分間吸着処理を行った。ここで、第１吸着材１４には、比表面積が１，０００ｍ２／ｇ以上の活性炭素繊維不織布を金枠に円筒状に巻きつけた吸着材を使用した。
次に塩化メチレンを吸着した第１吸着材１４に水蒸気を用いて８分間脱着処理を行った。脱着処理後、次の吸着工程に移行するまで（３．５分間）は待機状態とした。塩化メチレンを含んだ脱着ガスは、脱着水蒸気ライン１９を経由して凝縮器２０へ供給され、凝縮器２０にて塩化メチレンと水とに液化凝縮された。その後、回収液タンク２１にて塩化メチレンと水とに分液された。
有機溶剤処理装置１で吸着処理された後の被処理ガスは、処理済ガスとして第１排出ライン１７より排出され、三方ダンパー２２に導入された。ここで、処理済ガスの露点が２７℃を下回るまでは三方ダンパー２２から放出ライン３０を介して外気に放出し、露点が２７℃を下回った時点で三方ダンパー２２から導入ライン３１を介してバッチ式バックアップ装置３に導入するように制御した。
バッチ式バックアップ処理装置３では、有機溶剤処理装置１から排出された処理済ガスを処理済ガス送風機２３にて第２吸着材２４に導入することで吸着処理を行い、清浄化ガスとして第２排出ライン２５から外部に排出した。ここで、第２吸着材２４には、比表面積が１,０００ｍ２／ｇ以上の活性炭素繊維不織布を金枠に円筒状に巻きつけた吸着材を使用した。
次に処理済ガスを吸着した第２吸着材２４に水蒸気を用いて５分間脱着処理を行った。処理済ガスを含んだ脱着ガスは、脱着水蒸気ライン１９を経由してバッチ式バックアップ処理装置３に接続された凝縮器２０へ供給され、凝縮器２０にて塩化メチレンと水とに液化凝縮された。その後、回収液タンク２１にて塩化メチレンと水とに分液された。
ここで、バッチ式バックアップ処理装置３の凝縮器２０にて凝縮されなかった未凝縮ガスは、戻りガスライン２８を経由して有機溶剤処理装置１の原ガス送風機１２の上流側である被処理ガスライン１１に戻した。
上記の連続吸脱着処理を実施したところ、三方ダンパー２２から排気ライン３０に排出された処理済ガスに含有される塩化メチレンとの濃度と、バッチ式バックアップ処理装置３から排出された清浄化ガスに含有される塩化メチレンの濃度は、両方とも平均で１０ｐｐｍ以下であった。
[比較例１]
比較例１では、実施例１で用いた有機溶剤回収システム１００において、三方ダンパー２２の放出ライン３０への出口を閉じたシステムを用いた。つまり、この比較例１のシステムでは、有機溶剤処理装置１にて吸着処理された後の被処理ガスが常に連続式バックアップ装置２に導入される。
塩化メチレン１０，０００ｐｐｍを含む温度２５℃の被処理ガスを、風量５Ｎｍ３／分で被処理ガス供給ライン１１から原ガス送風機１２にて処理槽１３に導入し、処理槽１３内に搭載した第１吸着材１４にて１１．５分間吸着処理を行った。ここで、第１吸着材１４は実施例１と同様のものを使用した。
次に塩化メチレンを吸着した第１吸着材１４に水蒸気を用いて８分間脱着処理を行った。塩化メチレンを含んだ脱着ガスは、脱着水蒸気ライン１９を経由して凝縮器２０へ供給され、凝縮器２０にて塩化メチレンと水とに液化凝縮された。その後、回収液タンク２１にて塩化メチレンと水とに分液された。
有機溶剤処理装置１で吸着処理された後の被処理ガスは、処理済ガスとして第１排出ライン１７より排出され、連続式バックアップ装置２に導入された。ここで、第２吸着材２４は実施例１と同様のものを使用した。
連続式バックアップ処理装置２では、上記処理済ガスを処理済ガス送風機２３にて第２吸着材２４に導入して連続式バックアップ装置２にて吸着処理を行い、清浄化ガスを第２排出ライン２５から外部に排出した。
連続式バックアップ処理装置２にて処理済ガスの吸着処理を行うとともに、脱着送風機２６で処理済ガスの風量０．４Ｎｍ３／分の外気をヒーター２７に導入して１３０℃に加熱し、第２吸着材２４の脱着ゾーンに導入して第２吸着材２４を再生させた。また、第２吸着材２４の脱着ゾーンより排出された濃縮ガスは戻りガスライン２８を経由して被処理ガス供給ライン１１に戻した。
上記の連続吸脱着処理を実施したところ、連続式バックアップ処理装置２から排出される清浄化ガスに含有される塩化メチレンの濃度は、平均で３０ｐｐｍであった。
[比較例２]
比較例２では、実施例２で用いた有機溶剤回収システム１００Ａにおいて、三方ダンパー２２の放出ライン３０への出口を閉じたシステムを用いた。つまり、この比較例２のシステムでは、有機溶剤処理装置１にて吸着処理された後の被処理ガスが常にバッチ式バックアップ装置３に導入される。
塩化メチレン１０，０００ｐｐｍを含む温度２５℃の被処理ガスを、風量５Ｎｍ３／分で被処理ガス供給ライン１１から原ガス送風機１２にて処理槽１３に導入し、処理槽１３内に搭載した第１吸着材１４にて１１．５分間吸着処理を行った。ここで、第１吸着材１４は実施例２と同様のものを使用した。
次に塩化メチレンを吸着した第１吸着材１４に水蒸気を用いて８分間脱着処理を行った。塩化メチレンを含んだ脱着ガスは、脱着水蒸気ライン１９を経由して凝縮器２０へ供給され、凝縮器２０にて塩化メチレンと水とに液化凝縮された。その後、回収液タンク２１にて塩化メチレンと水とに分液された。
有機溶剤処理装置１で吸着処理された後の被処理ガスは、処理済ガスとして第１排出ライン１７より排出され、導入ライン３１を介してバッチ式バックアップ装置３に導入した。ここで、第２吸着材２４は実施例２と同様のものを使用した。
バッチ式バックアップ処理装置３では、上記処理済ガスを処理済ガス送風機２３にて第２吸着材２４に導入してバッチ式バックアップ装置３にて吸着処理を行い、清浄化ガスを第２排出ライン２５から外部に排出した。
次に処理済ガスを吸着した第２吸着材２４に水蒸気を用いて５分間脱着処理を行った。処理済ガスを含んだ脱着ガスは、脱着水蒸気ライン１９を経由してバッチ式バックアップ処理装置３に接続された凝縮器２０へ供給され、凝縮器２０にて塩化メチレンと水とに液化凝縮された。その後、回収液タンク２１にて塩化メチレンと水とに分液された。
ここで、バッチ式バックアップ処理装置３の凝縮器２０にて凝縮されなかった未凝縮ガスは、戻りガスライン２８を経由して有機溶剤処理装置１の原ガス送風機１２の上流側である被処理ガスライン１１に戻した。
上記の連続吸脱着処理を実施したところ、バッチ式バックアップ処理装置３から排出される清浄化ガスに含有される塩化メチレンの濃度は、平均で３０ｐｐｍであった。
以上の結果より、本実施の形態の有機溶剤回収システム１００を用いることにより、高い除去効率で被処理ガス中に含まれる塩化メチレンを除去可能であることが示された。
なお、上記開示した実施形態および実施例はすべて例示であり制限的なものではない。また、実施形態および実施例に開示された内容を組み合わせた実施形態および実施例も本発明の範囲に含まれる。本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって有効であり、特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内のすべての変更・修正・置き換え等を含むものである。
１ 有機溶剤処理装置
２ 連続式バックアップ装置
３ バッチ式バックアップ装置
４ 吸脱着処理装置
１１ 被処理ガス供給ライン
１２ 原ガス送風機
１３ 処理槽
１４ 第１吸着材
１７ 第１排出ライン
１８ 水蒸気供給ライン
１９ 脱着水蒸気ライン
２０ 凝縮器
２１ 回収液タンク
２２ 三方ダンパー（切替部）
２３ 処理済ガス送風機
２４，１４０ 第２吸着材
２５ 第２排出ライン
２６ 脱着送風機
２７ ヒーター
２８ 戻りガスライン
３０ 放出ライン
３１ 導入ライン
１００ 有機溶剤回収システム
１００Ａ 有機溶剤回収システム

Claims (12)

  1. 有機溶剤を含有する被処理ガスから当該有機溶剤を除去して清浄化ガスを排出する有機溶剤回収システムであって、
    第１吸着材が充填された処理槽を有し、前記処理槽に前記被処理ガスを導入して当該被処理ガスに含まれる有機溶剤を前記第１吸着素材に吸着させ、処理済ガスを排出する第１吸着処理と、前記処理槽に第１脱着用ガスを供給して有機溶剤を前記第１吸着素材から脱着し、濃縮された有機溶剤を含有する第１脱着ガスを排出する第１脱着処理と、を繰り返す有機溶剤処理装置と、
    第２吸着材を有し、前記処理済ガスを導入して当該処理済ガスに含まれる有機溶剤を前記第２吸着材に吸着させ、清浄化ガスを排出する第２吸着処理と、前記第２吸着材に第２脱着用ガスを供給して、濃縮された有機溶剤を含有する第２脱着ガスを排出する第２脱着処理と、を行うバックアップ装置と、
    前記有機溶剤処理装置と前記バックアップ装置との間に設置され、前記処理済ガスの排出先を切り替える切替部と、
    前記処理済ガスを前記第１吸着処理の初期に外部に放出した後に前記処理済ガスを前記バックアップ装置に導入するように、前記切替部を制御する制御部と、
    を備えたことを特徴とする有機溶剤回収システム。
  2. 前記制御部は、タイマー制御により、前記第１吸着処理の初期の一定期間に外部に放出し、一定期間後に前記処理済ガスを前記バックアップ装置に導入するように前記切替部を制御することを特徴とする請求項１に記載の有機溶剤回収システム。
  3. 前記有機溶剤処理装置から排出された前記処理済ガスの濃度を測定するガス濃度計を備え、
    前記制御部は、前記ガス濃度計による測定値が所定値を上回ると、前記処理済ガスを外部に放出する状態から前記バックアップ装置に導入する状態に前記切替部を制御することを特徴とする請求項１に記載の有機溶剤回収システム。
  4. 前記有機溶剤処理装置から排出された前記処理済ガスの露点を測定する露点計を備え、
    前記制御部は、前記露点計による測定値が所定値を下回ると、前記処理済ガスを外部に放出する状態から前記バックアップ装置に導入する状態に前記切替部を制御することを特徴とする請求項１に記載の有機溶剤回収システム。
  5. 前記第２吸着材は筒状に設けられ、
    前記バックアップ装置は、前記第２吸着材をその筒軸周りに回転することで、前記第２吸着処理に用いる吸着領域と前記第２脱着処理に用いる脱着領域とを切り替えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機溶剤回収システム。
  6. 前記バックアップ装置は、
    前記第２吸着材が充填された処理槽を有し、前記第２吸着処理と前記第２脱着処理を交互に行う吸脱着処理装置と、
    前記第２脱着ガスから有機溶剤を液化回収する凝縮器と、を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか1項に記載の有機溶剤回収システム。
  7. 前記バックアップ装置から排出された前記第２脱着ガスを前記被処理ガスに混入させるラインを備えていることを特徴とする請求項１〜５に記載の有機溶剤回収システム。
  8. 前記凝縮器での未濃縮の前記第２脱着ガスを、前記被処理ガスに混入させるラインを備えていることを特徴とする請求項６に記載の有機溶剤回収システム。
  9. 前記切替部は、ダンパーにより構成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の有機溶剤回収システム。
  10. 前記第１吸着材は活性炭素繊維または粒状活性炭の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の有機溶剤回収システム。
  11. 前記第２吸着材は活性炭、ゼオライトまたはシリカゲルの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の有機溶剤回収システム。
  12. 有機溶剤を含有する被処理ガスから当該有機溶剤を除去して清浄化ガスを排出する有機溶剤回収方法であって、
    第１吸着材に前記被処理ガスを導入して当該被処理ガスに含まれる有機溶剤を前記第１吸着素材に吸着させ、処理済ガスを排出する第１吸着処理と、前記第１吸着材に第１脱着用ガスを供給して前記第１吸着素材から有機溶剤を脱着し、濃縮された有機溶剤を含有する第１脱着ガスを排出する第１脱着処理と、を繰り返すステップと、
    前記処理済ガスを前記第１吸着処理の初期に外部に放出した後に前記処理済ガスを第２吸着材に導入するように、前記処理済ガスの排出先を切り替えるステップと、
    前記処理済ガスを導入して当該処理済ガスに含まれる有機溶剤を前記第２吸着材に吸着させ、清浄化ガスを排出する第２吸着処理と、前記第２吸着材に第２脱着用ガスを供給して、濃縮された有機溶剤を含有する第２脱着ガスを排出する第２脱着処理と、を行うステップと、
    を含むことを特徴とする有機溶剤回収方法。
JP2018554156A 2016-12-01 2017-11-28 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法 Active JP7103226B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016233959 2016-12-01
JP2016233959 2016-12-01
PCT/JP2017/042607 WO2018101255A1 (ja) 2016-12-01 2017-11-28 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2018101255A1 true JPWO2018101255A1 (ja) 2019-10-24
JP7103226B2 JP7103226B2 (ja) 2022-07-20

Family

ID=62242220

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018554156A Active JP7103226B2 (ja) 2016-12-01 2017-11-28 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7103226B2 (ja)
KR (1) KR20190084067A (ja)
CN (1) CN110035816A (ja)
WO (1) WO2018101255A1 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210118897A (ko) * 2019-01-31 2021-10-01 도요보 가부시키가이샤 유기 용제 회수 시스템
CN109731440A (zh) * 2019-03-12 2019-05-10 上海锅炉厂有限公司 一种同心双筒吸附处理装置
TW202131987A (zh) * 2019-12-25 2021-09-01 日商東洋紡股份有限公司 有機溶劑回收系統
WO2022014013A1 (ja) * 2020-07-16 2022-01-20 東洋紡株式会社 有機溶剤回収システム
JPWO2022014012A1 (ja) * 2020-07-16 2022-01-20
WO2022054733A1 (ja) * 2020-09-11 2022-03-17 東洋紡株式会社 有機溶剤回収システム
KR102362907B1 (ko) * 2020-12-08 2022-02-14 송철환 유기 용제를 함유하는 배기 가스로부터 유기 용제를 회수하는 유기 용제 회수 시스템 및 유기 용제 회수 방법
WO2024070943A1 (ja) * 2022-09-30 2024-04-04 東洋紡エムシー株式会社 有機溶剤回収システム
WO2024128082A1 (ja) * 2022-12-14 2024-06-20 東洋紡エムシー株式会社 有機溶剤回収システム、および有機溶剤処理システム

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60168515A (ja) * 1984-02-10 1985-09-02 Toyobo Co Ltd 混合溶剤分離回収装置
JPH10286426A (ja) * 1997-04-15 1998-10-27 Kuraray Eng Kk 連続式吸着装置とその使用方法
JP2007105657A (ja) * 2005-10-14 2007-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス処理装置
JP2007253136A (ja) * 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機溶剤回収装置
JP2008000660A (ja) * 2006-06-21 2008-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機溶剤濃縮装置
JP2010203639A (ja) * 2009-03-02 2010-09-16 Matsui Mfg Co 粉粒体材料の除湿乾燥装置、及び粉粒体材料の除湿乾燥方法
CN101915687A (zh) * 2010-08-04 2010-12-15 聚光科技(杭州)股份有限公司 一种应用在分析仪器中的气体预处理方法及装置
JP2012183462A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Toho Kako Kensetsu Kk 有機溶剤の除去方法及び除去装置
JP2014147863A (ja) * 2013-01-31 2014-08-21 Toyobo Co Ltd ガス処理装置およびガス処理方法
JP2015000381A (ja) * 2013-06-17 2015-01-05 東洋紡株式会社 有機溶剤回収システム

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5445405Y2 (ja) 1974-09-30 1979-12-26
JPS6411326A (en) 1987-07-06 1989-01-13 Toshiba Corp Projection aligner
JP3492018B2 (ja) * 1995-05-10 2004-02-03 三菱重工業株式会社 揮発性有機物の回収方法
JP3841479B2 (ja) 1996-05-20 2006-11-01 東邦化工建設株式会社 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法
JP2001179041A (ja) 1999-12-27 2001-07-03 Toyobo Co Ltd ガス処理装置
CN1261190C (zh) * 2003-03-18 2006-06-28 力晶半导体股份有限公司 废气排放处理系统
TW200938292A (en) * 2009-05-27 2009-09-16 Jg Environmental Tech Co Ltd Re-purification device and method for volatile organic substance
JP2014147864A (ja) * 2013-01-31 2014-08-21 Toyobo Co Ltd ガス処理装置およびガス処理方法
CN103990351B (zh) * 2014-05-31 2016-05-25 蔡博 一种挥发性有机废气的净化回收装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60168515A (ja) * 1984-02-10 1985-09-02 Toyobo Co Ltd 混合溶剤分離回収装置
JPH10286426A (ja) * 1997-04-15 1998-10-27 Kuraray Eng Kk 連続式吸着装置とその使用方法
JP2007105657A (ja) * 2005-10-14 2007-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス処理装置
JP2007253136A (ja) * 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機溶剤回収装置
JP2008000660A (ja) * 2006-06-21 2008-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機溶剤濃縮装置
JP2010203639A (ja) * 2009-03-02 2010-09-16 Matsui Mfg Co 粉粒体材料の除湿乾燥装置、及び粉粒体材料の除湿乾燥方法
CN101915687A (zh) * 2010-08-04 2010-12-15 聚光科技(杭州)股份有限公司 一种应用在分析仪器中的气体预处理方法及装置
JP2012183462A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Toho Kako Kensetsu Kk 有機溶剤の除去方法及び除去装置
JP2014147863A (ja) * 2013-01-31 2014-08-21 Toyobo Co Ltd ガス処理装置およびガス処理方法
JP2015000381A (ja) * 2013-06-17 2015-01-05 東洋紡株式会社 有機溶剤回収システム

Also Published As

Publication number Publication date
CN110035816A (zh) 2019-07-19
KR20190084067A (ko) 2019-07-15
JP7103226B2 (ja) 2022-07-20
WO2018101255A1 (ja) 2018-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2018101255A1 (ja) 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法
JP5482776B2 (ja) 有機溶剤含有ガス処理システム
JP5689733B2 (ja) 吸着操作からのｎｆ３の回収
JP2015000381A (ja) 有機溶剤回収システム
JP6236898B2 (ja) 有機溶剤含有ガス処理システム
JPH09308814A (ja) 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法
JP2008273821A (ja) ガス中の二酸化炭素の回収方法
JP2001113116A (ja) 排気処理方法及び排気処理装置
JP2007105657A (ja) ガス処理装置
US10427090B2 (en) Control of swing adsorption process cycle time with ambient CO2 monitoring
JP6897884B2 (ja) 有機溶剤回収システム
JP2011031159A (ja) 有機溶剤回収システム
JP2014117638A (ja) 有機溶剤含有ガス処理システム
JP5862278B2 (ja) 有機溶剤含有ガス処理システム
JP2010142728A (ja) 排ガス処理システム
JP4548891B2 (ja) 有機溶剤の回収方法
JP2009273975A (ja) 有機溶剤含有ガス処理システム
JP5856992B2 (ja) ガス製造方法
JP7494838B2 (ja) 有機溶剤回収システム
JP3922449B2 (ja) 有機溶剤回収システム
JP2007260605A (ja) ガス処理装置
JP3183381B2 (ja) 高濃度有機溶剤含有少風量ガスからの有機溶剤回収方法
WO2021132347A1 (ja) 有機溶剤回収システム
JPH0938445A (ja) 吸着塔の再生方法
JP2012081412A (ja) 溶剤脱水装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211207

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220127

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220607

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220620

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7103226

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350