JP2007260605A - ガス処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】有機溶剤を含有する排ガスを処理するガス処理装置の小型化を目的とする。
【解決手段】有機溶剤ガスを含む排ガスは、配管４から本ガス処理装置に導入され配管５より排ガス中の有機溶剤ガスを実質的含まない状態に除去して大気中に排出される。吸着装置１および吸着装置２は、バルブ７から１４を介して配管によって接続されている。また、吸着装置１および吸着装置２には、減圧脱着手段３が接続されている。脱着動作時に減圧動作を行い、その後パージ動作を行うことによって、小型の真空ポンプを用いて吸着剤から有機溶剤ガスを脱着することが可能となる。
【選択図】図１

Description

本発明は、排ガス中に含まれる有機溶剤などの有害物質を除去するガス処理装置に関する。特に、大気汚染の原因物質である揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含む排ガスを放出する発生源から発生した排ガスからＶＯＣを除去する装置に関する。

従来、この種のガス処理装置は、発生源に設置した局所排気装置のエンドオブパイプで処理する方式が用いられる。

この方式は、局所排気により周囲の空気も同時に吸引するため比較的低濃度の排ガスを処理する必要があり、活性炭やゼオライトなどの吸着剤による吸着・濃縮と濃縮後のガスを処理する方式が用いられることが多い。処理方式としては、冷却凝縮による液化回収、燃焼・触媒燃焼による分解などがある。

例えば、有機溶剤ガスを活性炭やゼオライトなどの吸着剤で吸着し、吸着後の実質的に有機溶剤を含まないガスを大気放出し、吸着剤が有機溶剤で飽和すると熱や圧力を用い脱着再生し、脱着した有機溶剤の濃縮ガスを冷却し液化して回収するものが知られている（例えば、特許文献１）。

以下、その排ガス処理装置について図９を参照しながら説明する。

図に示すように、従来の排ガス処理装置１０１は、有機溶剤ガスを吸着する吸着手段１０２と吸着した有機溶剤ガスを脱着する脱着手段１０３と脱着した有機溶剤ガスを液化する液化手段１０４で構成している。吸着手段１０２は、活性炭、ゼオライトなどの吸着剤を備え、排ガス中の有機溶剤を吸着除去する。吸着剤の破過を予測または検知して、脱着手段１０３によって有機溶剤を脱着し吸着剤を再生する。ここで、脱着手段１０３は、真空ポンプが用いられ、減圧することによって有機溶剤を脱着する。

脱着した有機溶剤ガスは、液化手段１０４に送られ、冷却し液化する。液化手段１０４を通った未凝縮のガスはそのまま、排気されるか、吸着剤に再び戻される。
特開平１１−７１５８４号公報

このような排ガス処理装置では、吸着剤の使用量を少なくし、また、液化、燃焼などの処理手段を小型化して、装置を小型化するとともに、排気ガス中の有機溶剤ガスを確実に除去し、例えば排出ガスの濃度規制値以下の濃度することが要求されている。

しかしながら、従来のガス処理装置では、減圧動作とパージ動作を同時に行うため、真空ポンプの能力は非常に大きなものが必要となり、ガス処理装置が大型化し、非常に高価なものとなっていた。

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、減圧動作とパージ動作を分離することにより、能力の小さな真空ポンプを用いて確実に排ガス中の有機溶剤ガスを除去し、濃縮ガスを高濃度化できる小型で安価なガス処理装置を供給することを目的としている。

本発明の排ガス処理装置は、上記目的を達成するために、吸着と脱着を交互に行う空気中のガス成分を吸着する吸着剤を有する複数の吸着装置と該吸着剤から吸着したガス成分を減圧脱着する減圧脱着手段を備え、吸着動作を行う吸着装置に前記ガス成分を含む空気を通過させ前記吸着装置内の吸着剤に前記ガス成分を吸着させ、実質的に前記ガス成分を含まない空気を放出し、他方、前記吸着装置内の吸着剤に吸着したガス成分を減圧脱着手段により脱着し、該吸着剤を再生するとともに濃縮したガス成分を得ることができる空気中のガス成分を除去するガス処理装置において、脱着動作として減圧脱着手段による減圧動作を行い、その後、前記吸着剤から脱着し、前記吸着装置から排出するパージ空気を流すパージ動作を行うこととしたものである。この手段により、小型の真空ポンプで吸着剤に吸着したガス成分を脱着することができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、減圧脱着手段による減圧動作を行い、その後、パージ空気を流すパージ動作を行う脱着動作を繰返し行うものである、この手段により、より小型の真空ポンプで吸着剤に吸着したガス成分を脱着することができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、パージ動作時の圧力が一定になるように圧力制御手段を設けたものである、この手段により常に最適な脱着動作を行うことができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、脱着したガス成分濃度を測定するガス濃度測定手段を設け、該ガス濃度測定手段の信号より、脱着動作の繰返しの終了を判断して制御するものである、この手段により、常に短時間で脱着動作を完了できるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、脱着したガス成分の濃度を測定するガス濃度測定手段を設け、該ガス濃度測定手段の信号より、パージ動作の終了を判断して制御するものである、この手段により、パージ動作を必要最低限の時間で終了することができるため、より短時間で脱着動作を完了できるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、減圧脱着手段による減圧動作からパージ空気を流すパージ動作への切り替えをタイマーにより制御するものである、この手段により、常に一定の時間減圧動作を行うため減圧動作時の圧力を安定化できるため、よりバラツキの無い減圧動作を行うことができるため、確実に吸着剤に吸着したガス成分を脱着することができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、減圧手段による減圧動作からパージ空気を流すパージ動作へ、減圧した圧力を圧力測定手段によって測定して判断し切り替えるものである、この手段により、減圧動作による減圧圧力を常に一定に制御できるため、より確実に吸着剤に吸着したガス成分を脱着することができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、脱着動作時に吸着装置内の吸着剤を加熱するものである、この手段により、減圧脱着効果に温度上昇による脱着効果を加えることができるため、より短時間で確実に吸着剤に吸着したガス成分を脱着し、高濃度の濃縮ガスを得ることができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、減圧動作時に吸着装置内の吸着材を加熱し、パージ動作時は加熱を停止するものである、この手段によりパージ動作時は余熱を用いることになり、加熱による消費エネルギーを低減することができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、吸着装置内の吸着剤が破過したことを検知する破過検知手段を設け、前記破過検知手段の信号を受けて、脱着動作を開始するものである、この手段により常に吸着剤が破過するまで吸着動作を行うことができるため、装置に導入する排ガス濃度が変動した場合でも、得られる濃縮ガスの濃度を安定化することができ、排ガス濃度に応じて装置を運転するため少ない消費エネルギーで運転することができるガス処理装置を提供できる。

また、他の手段は、破過検知手段が吸着動作中の吸着装置を通過した後のガス濃度を測定するガス濃度検知手段とするものであり、この手段により、装置に導入する排ガス濃度が変動した場合でも、得られる濃縮ガスの濃度を安定化することができ、排ガス濃度に応じて装置を運転するため少ない消費エネルギーで運転することができ、さらに排出ガス濃度を監視することが可能となり、より確実にガス成分を除去することができるガス処理装置を提供できる。

本発明によれば減圧動作とパージ動作を分離することにより小型の真空ポンプで吸着剤からガス成分を脱着できるため、装置を小型で安価にし、省エネルギーで運転することが出来る効果のある排ガス処理装置を提供できる。

また、脱着動作の時間を短縮できる効果のある、効率の良い排ガス処理装置を提供できる。

また、吸着剤から確実にガス成分を脱着できるため、吸着性能が高く、濃縮度が高い効果のある排ガス処理装置を提供できる。

本発明請求項１記載の発明は、吸着と脱着を交互に行う空気中のガス成分を吸着する吸着剤を有する複数の吸着装置と該吸着剤から吸着したガス成分を脱着する減圧脱着手段を備え、吸着動作を行う吸着装置に前記ガス成分を含む空気を通過させ前記吸着装置内の吸着剤に前記ガス成分を吸着させ、実質的に前記ガス成分を含まない空気を放出し、他方、前記吸着装置内の吸着剤に吸着したガス成分を減圧脱着手段により脱着し、該吸着剤を再生するとともに濃縮したガス成分を得ることができる、空気中のガス成分を除去するガス処理装置において、脱着動作として減圧脱着手段による減圧動作を行い、その後、パージ空気を流すパージ動作を行うこととしたものであり、減圧動作とパージ動作を分離し、減圧動作時に減圧脱着手段である真空ポンプで高真空に減圧して、その後にパージガスを流しパージ動作を行うことにより、パージガスを流しながら同時に減圧動作を行うよりも小型の真空ポンプで脱着を行うことが出来るので、装置を小型化できるとともに、真空ポンプが安価になるため安価なガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項２記載の発明は、減圧脱着手段による減圧動作と、パージ空気を流すパージ動作を行う脱着動作を繰返し行うこととしたものであり、脱着動作を繰り返し行うことにより、より小型の真空ポンプを用いて吸着剤からガス成分を脱着することが可能となるとともに、確実に脱着できるため、より小型で安価なガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項３記載の発明は、パージ動作時の圧力が一定になるように圧力制御手段を設けたものであり、圧力制御手段によりパージ空気の導入量と真空ポンプによる排気量を制御してパージ動作時の圧力を一定にすることができるため、吸着剤に吸着した成分ガスを定常条件で脱着することができるため、より確実に短時間で脱着動作を行い、安定した濃縮ガスを得ることができるガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項４記載の発明は、脱着したガス成分濃度を測定するガス濃度測定手段を設け、該ガス濃度測定手段の信号より、脱着動作の繰返しを制御するものであり、吸着剤に吸着したガス成分が脱着することにより、脱着したガスの濃度は、初期は高濃度であるが、徐々に低下していく、よって、ガス成分濃度の変化により、吸着剤からのガス成分の脱着が終了したかどうかの判断が可能となり、脱着動作を終了することが出来るため、より確実に短時間で脱着動作を行い、安定した濃縮ガスを得ることができるガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項５記載の発明は、脱着したガス成分の濃度を測定するガス濃度測定手段を設け、該ガス濃度測定手段の信号より、パージ動作を行う時間を制御するものであり、パージ動作時の脱着したガス成分の濃度は初期は高濃度であるが徐々に低下し、脱着効率が悪く、濃縮率も低下する。ガス成分濃度を測定し、パージ動作時の脱着したガス成分の濃度によりパージ動作の停止を制御することにより、より効率的な脱着動作が可能となるガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項６記載の発明は、減圧脱着手段による減圧動作からパージ空気を流すパージ動作への切り替えをタイマーにより制御するものであり、減圧動作の時間をタイマーで制御することにより、簡易に減圧圧力を定常にすることが出来るため、より効率的な脱着動作が可能となるガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項７記載の発明は、減圧手段による減圧動作からパージ空気を流すパージ動作への切り替えを減圧した圧力を圧力測定手段によって測定して行うものであり、圧力測定手段によって減圧圧力を測定することにより、より高い精度で減圧圧力を定常にすることが出来るため、より効率的な脱着動作が可能となるガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項８記載の発明は、脱着動作時に吸着装置内の吸着剤を加熱するものであり、吸着剤の温度を上げて脱着動作を行うことにより、より吸着剤から成分ガスを脱着しやすくし、より効率的に脱着動作を行うことが出来るガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項９記載の発明は、減圧動作時に吸着装置内の吸着材を加熱し、パージ動作時は加熱を停止するものであり、パージ動作時は、減圧動作時の加熱による余熱を利用することにより、吸着剤の温度を上げることにより、より吸着剤から成分ガスを脱着しやすくし、省エネで脱着動作を行うことが出来るガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項１０記載の発明は、吸着装置内の吸着材が破過したことを検知する破過検知手段を設け、前記破過検知手段の信号を受けて、脱着動作を開始するものであり、常に吸着剤が破過するまでガス成分を吸着するため、脱着する条件を定常にできるとともに、脱着ガス濃度も安定化できる、また、ガス濃度が変動した場合でも変動に応じた動作が可能となるガス処理装置を提供できるという作用を有する。

また、本発明請求項１１記載の発明は、破過検知手段が吸着動作中の吸着装置を通過した後のガス濃度を測定するガス濃度検知手段であるものであり、吸着装置から排出するガス濃度で破過を検知するため、排出ガス濃度を目標濃度以下に容易に制御できるガス処理装置を提供できるという作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１は、本発明の排ガス処理装置の構成を示すブロック図である。

図に示すように、塗装、印刷、工業洗浄など有機溶剤を使用した施設から排出される有機溶剤ガスを含む排ガスは、配管４から本ガス処理装置に導入され配管５より排ガス中の有機溶剤ガスを実質的含まない状態に除去して大気中に排出される。吸着装置１および吸着装置２は、バルブ７からバルブ１４を介して配管によって接続されている。図において吸着動作用の配管を実線で、脱着動作用の配管を点線で示している。ここで、吸着装置１および吸着装置２には、吸着剤として目的とする有機溶剤ガスを吸着できる活性炭、ゼオライト、アルミナ、シリカゲルなどの吸着剤が、粒状もしくはペレットもしくはハニカム状の基材に担持した形で充填されている。また、吸着装置１および吸着装置２には、減圧脱着手段３が接続されている。ここで、減圧脱着手段３は、吸着剤に吸着した有機溶剤を減圧脱着するもので、当該既知の方法を用いることができる。ここでは、減圧脱着手段３を真空ポンプとして説明する。

以上のように構成したガス処理装置について図１および図２を用いてその動作について説明する。

図１において、吸着装置１が吸着動作、吸着装置２が脱着動作を行っている場合、配管４からファンやブロアなどの送風機によって導入した有機溶剤ガスを含む排ガスは、バルブ７を介して吸着装置１に入る。吸着装置１では、吸着剤によって排ガス中の有機溶剤を吸着除去する。吸着装置１を通った排ガスは、バルブ８を通って配管５より実質的に有機溶剤ガスを含まない状態となって大気に放出される。ここで、実質的に有機溶剤ガスを含まない状態というのは、例えば、９０％以上有機溶剤ガスを除去した状態や、有機溶剤ガスの濃度が法規制値以下である状態を示す。

また、同時に、吸着装置２は、脱着動作を行っており、吸着装置２は、減圧動作として減圧脱着手段３の真空ポンプによってバルブ１３を介して数ｋＰａ程度の圧力に減圧される。その後、パージ動作として配管１５よりバルブ１４を介して脱着用のパージ空気が導入され吸着剤から有機溶剤ガスを脱着し、吸着装置２から排出する。このときの減圧動作時より高い圧力、例えば十数ｋＰａ〜数十ｋＰａ、で良い。吸着装置２の吸着剤に吸着していた有機溶剤は、減圧とパージ空気によって吸着剤から脱着され高濃度の有機溶剤を含むガスとして配管６から次の処理工程、例えば、液化や分解などに供給される。ここで、減圧動作とパージ動作は図２に示すフローチャートのように吸着装置２の吸着剤に吸着していた有機溶剤の脱着が終了するまで繰り返し行う。

ここで、各動作の切り替えは、制御手段１６により制御して行う。ここで、制御手段１６は、マイクロコンピュータやシーケンサー、リレーなどを組み合わせた一般的な制御回路と制御ソフトで構成することが出来る。

ここでは、吸着装置が２つの場合を説明したが、３つ以上の吸着装置を用いても同様の作用、効果が得られる。

以上のように、脱着動作時に減圧動作を行い、その後パージ動作を行うことによってパージ動作時の圧力を減圧動作時より高くすることが可能となる。さらに、減圧動作とパージ動作を繰り返し行うことにより、小型の真空ポンプを用いて吸着剤から有機溶剤ガスを脱着することが可能となる。

そのため、装置の小型化、低価格化が可能となるとともに、排ガスからの有機溶剤を確実に除去できるガス処理装置を提供することができる。

（実施の形態２）
図３は、本発明のガス処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本発明実施の形態１と同一の部分には同一番号を付して説明は省略する。

図において、圧力制御手段１７は、バルブ１２およびバルブ１４の開度を調整し、吸着装置１および吸着装置２のパージ動作時にパージ動作時の圧力を設定した圧力に調整する。

上記構成において、吸着剤からの有機溶剤ガスの減圧脱着における脱着性能は、減圧圧力、パージ流量が重要なパラメータであり、パージ動作時の圧力が定常に保たれるため、吸着剤からの有機溶剤ガスの脱着を安定して行うことが出来る。

そのため、減圧動作とパージ動作を分離して行うことにより小型の真空ポンプを用いても効率的に脱着動作を行うことができる。

（実施の形態３）
図４は、本発明のガス処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本発明実施の形態１、２と同一の部分には同一番号を付して説明は省略する。

図において、ガス濃度測定手段１８は減圧脱着手段３である真空ポンプから排出されるガスの濃度を測定し、制御手段１６においてガス濃度が設定値以下判断し、設定値以下であると脱着動作、すなわち減圧動作とパージ動作の繰り返しを終了する。ここで、ガス濃度測定手段１８は、目的とする有機溶剤ガスの濃度を測定できる方法であれば当該既知の方法を用いることができる。たとえば、ＦＩＤ方式の測定装置、ＰＩＤ方式の測定装置、ＮＤＩＲ方式の測定装置などが挙げられる。特に、半導体式のガスセンサを用いれば、小型で低価格な装置で有機溶剤ガス濃度を測定することが可能となる。

上記構成において、一般的に吸着剤から有機溶剤ガスを脱着する場合、脱着が完了すると脱着ガス中の有機溶剤ガスの濃度が低下してくる。すなわち、脱着ガスの有機溶剤ガス濃度が低下することにより、脱着動作の終了を判定し制御手段により減圧動作とパージ動作の繰返しを終了して次の動作に切り替えることが可能である。

（実施の形態４）
図５は、本発明のガス処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本発明実施の形態１〜３と同一の部分には同一番号を付して説明は省略する。

図において、タイマー手段としてタイマー１９は、制御手段１６内に設けられ、減圧脱着手段３である真空ポンプによって減圧動作を行う時間を計測し、設定した時間になると減圧動作を終了し、パージ動作に移行するよう制御手段１６で制御を行う。

上記構成において、真空ポンプによって吸着装置を減圧する時間を設定した時間で一定に制御できるため、簡便に減圧圧力を安定化することが可能となる。そのため、常に安定した脱着動作を行うことが可能となる。

（実施の形態５）
図６は、本発明のガス処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本発明実施の形態１〜４と同一の部分には同一番号を付して説明は省略する。

圧力測定手段２０は、減圧脱着手段３である真空ポンプの入口と吸着装置１および吸着装置２の出口の間に接続し、減圧動作時およびパージ動作時の圧力を測定する。

上記構成において、減圧動作時の圧力を圧力測定手段２０により測定し、制御手段１６に入力する、制御手段１６は圧力が設定した値になると減圧動作からパージ動作へ装置の脱着動作を切り替える。ここで、圧力測定手段２０は、空気の圧力を測定する測定器であれば何でもよく、望ましくは０．１ｋＰａから大気圧の範囲を測定できる圧力センサなどが良い。

上記構成において、脱着動作における減圧動作時の到達圧力を圧力測定手段２０にによって測定して、設定圧力に到達したかどうかを判断して、減圧動作を終了しパージ動作に切り替えることができるため、減圧動作時の圧力を定常化でき、ばらつきなく確実に脱着動作を行うことが可能となる。そのため、安定した濃縮ガスを得ることができるとともに、確実に有機溶剤ガスを除去することが可能となる。

（実施の形態６）
図７は、本発明のガス処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本発明実施の形態１〜５と同一の部分には同一番号を付して説明は省略する。

加熱手段２１ａおよび２１ｂは、それぞれ吸着装置１、吸着装置２に設置されている。ここで、加熱手段２１ａ、２１ｂは、脱着動作時に吸着装置１、および２に内包した吸着剤を加熱するものであり、ヒーターや赤外線、マイクロ波、ＩＨなど当該既知の方法を用いることができる。また、加熱する温度は吸着剤から有機溶剤ガスを脱着する温度で、有機溶剤ガスを分解しない温度であれば良い、一般的に１００℃〜４００℃が望ましい。

上記構成において、脱着動作時の減圧動作が開始すると加熱手段２１ａもしくは２１ｂにより、吸着装置１もしくは２内の吸着剤を加熱する。脱着動作が終了すると加熱を停止する。この動作により、脱着時に吸着剤が加熱され吸着した有機溶剤ガスを脱着し易くなる。よって、効率よく吸着剤から有機溶剤ガスを脱着することができるため、高濃度の濃縮ガスを得やすくなるとともに、確実に有機溶剤ガスを除去することが可能となる。

また、減圧動作時のみ加熱手段により加熱し、パージ動作時は加熱を停止して余熱を用いることによって、より省エネルギーで吸着剤から有機溶剤ガスを脱着することが可能となる。

（実施の形態７）
図８は、本発明のガス処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本発明実施の形態１〜６と同一の部分には同一番号を付して説明は省略する。

破過検知手段としてガス濃度検知手段２２が、吸着装置１および吸着装置２の出口に接続され、ガス濃度を測定する。ここで、破過検知手段として、ガス濃度検知手段２２を挙げたが、吸着剤の破過を検知できる方法であれば良く、吸着剤の温度測定、吸着剤の重量測定などの方法も用いることができる。

また、ガス濃度検知手段２２としては、目的とする有機溶剤の濃度を測定できる方法であれば当該既知の方法を用いることができる。たとえば、ＦＩＤ方式の測定装置、ＰＩＤ方式の測定装置、ＮＤＩＲ方式の測定装置などが挙げられる。特に、半導体式のガスセンサを用いれば、小型で低価格な装置で有機溶剤ガス濃度を測定することが可能となる。

上記構成において、ガス濃度検知手段２２で吸着装置１および吸着装置２の吸着動作時の出口ガスを測定することにより、吸着装置内の吸着剤の有機溶剤ガスの吸着量を知ることができるため、あらかじめ吸着装置内の吸着剤が十分に有機溶剤ガスを吸着して、かつ十分に有機溶剤ガスを除去できる濃度を設定することによって脱着動作への切り替えを判断することができる。

そのため、ガス処理装置に導入される排ガス中の有機溶剤ガス濃度が変動しても、吸着装置の吸着剤への吸着量を安定化することができるので、吸着剤の使用量を低減できる。また、脱着ガスの濃度も安定化することができる。

よって、装置の小型化で低価格化が可能となり、確実な有機溶剤ガスの除去が可能となる。

印刷や塗装、接着、化学製品製造、工業用洗浄などの揮発性有機溶剤を排出する施設に取り付け、排出のガス処理装置として有用である。

本発明の実施の形態１の構成を示すブロック図 本発明の実施の形態１の動作を示すフローチャート 本発明の実施の形態２の動作を示すブロック図 本発明の実施の形態３の動作を示すブロック図 本発明の実施の形態４の動作を示すブロック図 本発明の実施の形態５の構成を示すブロック図 本発明の実施の形態６の構成を示すブロック図 本発明の実施の形態７の構成を示すブロック図 従来のガス回収装置の構成を示すブロック図

符号の説明

１ 吸着装置
２ 吸着装置
３ 減圧脱着手段
１７ 圧力制御手段
１８ ガス濃度測定手段
１９ タイマー
２０ 圧力測定手段
２１ａ 加熱手段
２１ｂ 加熱手段
２２ ガス濃度検知手段

Claims (11)

1. 吸着と脱着を交互に行う空気中のガス成分を吸着する吸着剤を有する複数の吸着装置と該吸着剤から吸着したガス成分を減圧脱着する減圧脱着手段を備え、吸着動作を行う吸着装置に前記ガス成分を含む空気を通過させ前記吸着装置内の吸着剤に前記ガス成分を吸着させ、実質的に前記ガス成分を含まない空気を放出し、他方、前記吸着装置内の吸着剤に吸着したガス成分を減圧脱着手段により脱着し、該吸着剤を再生するとともに濃縮したガス成分を得ることができる空気中のガス成分を除去するガス処理装置において、脱着動作として減圧脱着手段による減圧動作を行い、その後、前記吸着剤から脱着し、前記吸着装置から排出するパージ空気を流すパージ動作を行うことを特徴とするガス処理装置。
2. 減圧脱着手段による減圧動作と、パージ空気を流すパージ動作を行う脱着動作を繰返し行うことを特徴とする請求項１記載のガス処理装置。
3. パージ動作時の圧力が一定になるように圧力制御手段を設けることを特徴とした請求項１または２記載のガス処理装置。
4. 脱着したガス成分濃度を測定するガス濃度測定手段を設け、該ガス濃度測定手段の信号より、脱着動作の繰返しの終了を判断して制御することを特徴とする請求項２記載のガス処理装置。
5. 脱着したガス成分の濃度を測定するガス濃度測定手段を設け、該ガス濃度測定手段の信号より、パージ動作の終了を判断して制御することを特徴とする請求項１、２、３、または４記載のガス処理装置。
6. 減圧脱着手段による減圧動作からパージ空気を流すパージ動作への切り替えをタイマーにより制御することを特徴とする請求項１、２、３、４、または５記載のガス処理装置。
7. 減圧手段による減圧動作からパージ空気を流すパージ動作へ、減圧した圧力を圧力測定手段によって測定して判断し切り替えることを特徴とする請求項１、２、３、４、または５記載のガス処理装置。
8. 脱着動作時に吸着装置内の吸着材を加熱することを特徴とした請求項１、２、３、４、５、６、または７記載のガス処理装置。
9. 減圧動作時に吸着装置内の吸着材を加熱し、パージ動作時は加熱を停止することを特徴とした請求項８記載のガス処理装置。
10. 吸着装置内の吸着材が破過したことを検知する破過検知手段を設け、前記破過検知手段の信号を受けて、脱着動作を開始することを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、または９記載のガス処理装置。
11. 破過検知手段が吸着動作中の吸着装置を通過した後のガス濃度を測定するガス濃度検知手段であることを特徴とする請求項１０記載のガス処理装置。

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