KR20210118897A - 유기 용제 회수 시스템 - Google Patents

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츠토무 스기우라
다이키 고노
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도요보 가부시키가이샤
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Abstract

유기 용제 회수 시스템은, 각각이 제1 흡착재를 포함하는 적어도 3개의 처리조와, 수증기 공급부와, 연결 유로와, 취출 유로와, 희석 가스 공급 유로를 갖는 유기 용제 회수 장치와, 제2 흡착재를 포함하고, 흡착부와 탈착부를 갖는 유기 용제 농축 장치와, 농축 가스를 희석 가스 공급 유로로 되돌리는 복귀 유로를 구비한다.

Description

유기 용제 회수 시스템
본 발명은 유기 용제 회수 시스템에 관한 것이다.
종래, 유기 용제를 함유하는 가스로부터 유기 용제를 회수하는 시스템이 알려져 있다. 예를 들어 일본 특허 공개 제2014-147863호 공보(이하, 「특허문헌 1」이라고 한다.)에는, 3개의 처리조와, 피처리 가스 공급부와, 연결 유로와, 수증기 공급부와, 희석 가스 공급 유로를 구비하는 가스 처리 장치가 개시되어 있다. 피처리 가스 공급부는, 유기 용제를 함유하는 피처리 가스(원 가스)를 각 처리조에 공급한다. 각 처리조는 피처리 가스에 포함되는 유기 용제를 흡착 가능한 흡착재(활성 탄소 섬유 등)를 갖고 있다. 연결 유로는 3개의 처리조의 2개를 직렬로 연결하고 있다. 구체적으로, 제1 흡착 공정에서 사용되는 처리조에서 처리된 피처리 가스는 연결 유로를 통하여 제2 흡착 공정에서 사용되는 처리조로 도입되고, 거기서 추가로 피처리 가스로부터 유기 용제가 회수된다. 또한, 제2 흡착 공정에서 처리된 후의 가스는 청정 공기로서 계외로 취출된다. 수증기 공급부는, 흡착재에 흡착된 유기 용제를 당해 흡착재로부터 탈착하기 위한 수증기를 각 처리조에 공급한다. 수증기 공급부는 제1 흡착 공정 및 제2 흡착 공정에서 사용되지 않는 나머지 처리조에 수증기를 공급한다. 즉, 특허문헌 1에 기재되는 가스 처리 장치에서는, 2개의 처리조에 있어서 연속적으로 흡착 공정이 실시되고, 그 동안 나머지 처리조에 있어서 탈착 공정이 실시된다. 탈착 공정이 실시된 처리조는 이어서 제2 흡착 공정에서 사용되고, 그 후 제1 흡착 공정에서 사용된다. 희석 가스 공급 유로는, 연결 유로에 희석 가스(외기나 질소 가스 등)를 공급하기 위한 유로이다. 희석 가스는, 탈착 공정 후의 제2 흡착 공정에서 사용되는 처리조의 흡착재를 건조시키기 위해 당해 처리조에 공급된다.
또한, 일본 특허 공개 제2014-240052호 공보(이하, 「특허문헌 2」라고 한다.)에는, 2개의 처리조를 갖는 제1 흡탈착 장치와, 제1 흡탈착 장치 중 어느 처리조로부터 배출된 피처리 가스에 포함되는 유기 용제를 회수하는 제2 흡탈착 장치를 구비하는 유기 용제 회수 시스템이 개시되어 있다. 각 처리조는, 피처리 가스에 포함되는 유기 용제를 흡착 가능한 제1 흡탈착 소자(활성 탄소 섬유 등)를 갖고 있다. 각 처리조에서는 흡착 공정과 탈착 공정이 교호로 행해진다. 제2 흡탈착 장치는, 처리조로부터 배출된 피처리 가스에 포함되는 유기 용제를 흡착 가능한 제2 흡탈착 소자를 갖고 있다. 제2 흡탈착 장치는, 제2 흡탈착 소자에 의해 피처리 가스에 포함되는 유기 용제를 흡착하는 제1 처리부와, 제2 흡탈착 소자에 흡착된 유기 용제를 제2 흡탈착 소자로부터 탈착하는 제2 처리부를 갖고 있다. 제2 처리부로부터 배출된 피처리 가스는, 제1 흡탈착 장치의 각 처리조에 피처리 가스(원 가스)를 공급하는 유로로 되돌려진다.
일본 특허 공개 제2014-147863호 공보 일본 특허 공개 제2014-240052호 공보
특허문헌 1에 기재된 가스 처리 장치에서는, 2개의 처리조에 있어서 연속적으로 흡착 공정이 실시됨으로써 유기 용제의 제거율이 높아지고 있고, 특허문헌 2에 기재된 유기 용제 회수 시스템에서는, 제1 흡탈착 장치 중 어느 처리조와 제2 흡탈착 장치의 제1 처리부에 있어서 연속적으로 흡착 공정이 실시됨으로써 유기 용제의 제거율이 높아지고 있다. 그러나, 이러한 유기 용제 회수 시스템에 있어서, 유기 용제의 제거율을 더욱 높이고 싶다는 요구가 있다.
이러한 요구에 대응시켜, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 바와 같이 2개의 처리조에 있어서 연속적으로 흡착 공정을 실시한 후, 특허문헌 2에 기재된 바와 같이 제2 흡착재에 의해 더욱 흡착 공정을 실시하는 것이 고려된다. 이 경우, 제2 흡착재로부터 탈착된 유기 용제를 포함하는 피처리 가스는, 처리조에 피처리 가스(원 가스)를 공급하는 유로로 되돌려진다.
그러나 그 경우, 제1 흡착 공정에서 사용되는 처리조에는, 원 가스와 제2 흡착재로부터 탈착된 유기 용제를 포함하는 피처리 가스의 양쪽이 공급되고, 제2 흡착 공정에서 사용되는 처리조에는, 또한 희석 가스가 추가적으로 공급되는 것이 되기 때문에 각 처리조에 공급되는 풍량이 증대된다. 이 풍량에 맞추어 각 처리조를 대형화시키고 설계할 필요가 있기 때문에, 설비 전체적으로도 대형화가 불가피하다.
본 발명의 목적은, 유기 용제의 제거율 향상 시의 설비 전체의 대형화를 억제 가능한 유기 용제 회수 시스템을 제공하는 것이다.
그래서, 본 발명은 다음의 유기 용제 회수 시스템을 제공한다. 구체적으로 본 발명에 기초하는 유기 용제 회수 시스템은, 각각이 피처리 가스에 함유된 유기 용제의 흡탈착이 가능한 제1 흡착재를 포함하고, 상기 제1 흡착재로의 상기 유기 용제의 흡착과 수증기에 의한 상기 제1 흡착재로부터의 상기 유기 용제의 탈착을 교호로 행하는 적어도 3개의 처리조와, 복수의 상기 처리조로부터 선택된 상기 처리조에 상기 수증기를 도입하는 수증기 공급부와, 남은 복수의 상기 처리조를 직렬 다단 접속하는 연결 유로와, 당해 직렬 다단 접속된 복수의 상기 처리조의 상류에 배치된 상기 처리조로부터 도입된 상기 피처리 가스를, 당해 직렬 다단 접속된 복수의 상기 처리조의 상기 제1 흡착재에 의해 상기 유기 용제가 흡착된 제1 처리 가스로서, 당해 직렬 다단 접속된 복수의 상기 처리조의 하류에 배치된 상기 처리조로부터 배출하는 취출 유로와, 상기 연결 유로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급 유로를 갖는 유기 용제 회수 장치와, 상기 유기 용제의 흡착과 탈착이 가능한 제2 흡착재를 포함하고, 상기 제2 흡착재에 의해 상기 취출 유로로부터의 상기 제1 처리 가스에 포함되는 상기 유기 용제를 흡착하고, 제2 처리 가스를 배출하는 흡착부와, 상기 제2 흡착재에 흡착된 상기 유기 용제를 상기 제2 흡착재로부터 탈착하여 농축 가스로서 배출하는 탈착부를 갖는 유기 용제 농축 장치와, 상기 농축 가스를 상기 희석 가스 공급 유로로 되돌리는 복귀 유로를 구비한다.
본 발명에 따르면, 유기 용제의 회수율 향상 시의 설비 전체의 대형화를 억제 가능한 유기 용제 회수 시스템을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 유기 용제 회수 시스템의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 제1 처리조에서 제1 흡착 공정이 행해지고, 제2 처리조에서 제2 흡착 공정이 행해지고, 제3 처리조에서 탈착 공정이 행해지고 있는 상태에 있어서의 가스의 흐름을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 3은 유기 용제 농축 장치의 변형예를 개략적으로 도시하는 도면이다.
본 발명의 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하에서 참조하는 도면에서는, 동일 또는 그것에 상당하는 부재에는 동일한 번호가 붙어 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태의 유기 용제 회수 시스템의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다. 도 1에 도시되는 바와 같이, 유기 용제 회수 시스템(1)은 유기 용제 회수 장치(100)와, 유기 용제 농축 장치(200)와, 이송 유로(300)와, 복귀 유로(400)를 구비하고 있다. 유기 용제 회수 시스템(1)은, 유기 용제 회수 장치(100)에 있어서 유기 용제를 포함하는 피처리 가스로부터 유기 용제의 제거 및 회수를 행한 후, 유기 용제 회수 장치(100)로부터 배출된 제1 처리 가스에 대하여 유기 용제 농축 장치(200)에 있어서 추가로 유기 용제의 제거 및 농축을 행함과 동시에, 유기 용제 농축 장치(200)로부터 배출된 농축 가스를 복귀 유로(400)를 통하여 다시 유기 용제 회수 장치(100)로 되돌리는 시스템이다.
유기 용제란, 염화메틸렌, 클로로포름, 사염화탄소, 염화에틸렌, 트리클로로에틸렌, 테트라클로로에틸렌, O-디클로로벤젠, m-디클로로벤젠, 프레온-112, 프레온-113, HCFC, HFC, 브롬화프로필, 요오드화부틸, 아세트산메틸, 아세트산에틸, 아세트산프로필, 아세트산부틸, 아세트산비닐, 프로피온산메틸, 아크릴산메틸, 아크릴산에틸, 아크릴산부틸, 메타크릴산메틸, 탄산디에틸, 포름산에틸, 디에틸에테르, 디프로필에테르, 테트라히드로푸란, 디부틸에테르, 아니솔, 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, n-부탄올, 2-부탄올, 이소부탄올, t-부탄올, 알릴알코올, 펜탄올, 헵탄올, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 페놀, O-크레졸, m-크레졸, p-크레졸, 크실레놀, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 포론, 아크릴로니트릴, n-헥산, 이소헥산, 시클로헥산, 메틸시클로헥산, n-헵탄, n-옥탄, n-노난, 이소노난, 데칸, 도데칸, 운데칸, 테트라데칸, 데칼린, 벤젠, 톨루엔, m-크실렌, p-크실렌, o-크실렌, 에틸벤젠, 1,3,5-트리메틸벤젠, N-메틸피롤리돈, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드 및 디메틸술폭시드 등을 가리킨다.
유기 용제 회수 장치(100)는 피처리 가스로부터 유기 용제를 제거 및 회수하는 설비이다. 또한, 피처리 가스는, 유기 용제 회수 장치(100)의 계외에 마련된 피처리 가스 공급원(도시 생략)으로부터 유기 용제 회수 장치(100)에 공급된다. 유기 용제 회수 장치(100)는 3개의 처리조(101 내지 103)와, 피처리 가스 공급 유로(L10)와, 연결 유로(L21 내지 L23)와, 취출 유로(L31 내지 L33)와, 수증기 공급 유로(L41 내지 L43)와, 유기 용제 회수 유로(L51 내지 L53)와, 세퍼레이터(120)와, 재공급 유로(L60)와, 희석 가스 공급 유로(L70)와, 가열기(140)와, 개폐 밸브(V70)와, 제어부(150)를 갖고 있다.
각 처리조(101 내지 103)는, 유기 용제의 흡착과 유기 용제의 탈착이 가능한 제1 흡착재(101A 내지 103A)를 갖고 있다. 제1 흡착재(101A 내지 103A)로서, 입자상의 활성탄, 허니콤상의 활성탄, 제올라이트, 활성 탄소 섬유가 있는데, 활성 탄소 섬유를 포함하는 것이 바람직하게 사용된다. 각 처리조(101 내지 103)는, 피처리 가스 공급구로의 피처리 가스의 공급/비공급을 전환하는 개폐 댐퍼(V101 내지 V103), 제1 흡착재(101A 내지 103A) 통과 후의 처리 가스 배출구의 배출/비배출을 전환하는 개폐 댐퍼(V201 내지 V203)를 갖고 있다.
각 처리조(101부터 103)에서는, 제1 흡착재(101A 내지 103A)에 의한 유기 용제의 흡착과 제1 흡착재(101A 내지 103A)로부터의 유기 용제의 탈착이 교호로 행해진다. 상세는 다음과 같다. 즉, 3개의 처리조(101 내지 103) 중 하나의 처리조에 있어서, 피처리 가스 공급원으로부터 공급된 피처리 가스로부터 제1 흡착재에 의해 유기 용제를 흡착하는 제1 흡착 공정이 행해짐과 함께, 3개의 처리조(101 내지 103) 중 다른 처리조에 있어서, 제1 흡착 공정에서 사용된 처리조에 있어서 처리된 후의 피처리 가스(제1 흡착 공정 가스)로부터 제1 흡착재에 의해 유기 용제를 흡착하여 제1 처리 가스를 배출하는 제2 흡착 공정이 행해지고, 그 동안 나머지 하나의 처리조에 있어서, 제1 흡착재로부터 유기 용제를 탈착하는 탈착 공정이 행해진다. 각 처리조(101 내지 103)에서는, 탈착 공정, 제2 흡착 공정, 제1 흡착 공정 및 탈착 공정이 이 순서대로 반복 행해진다. 또한, 도 1에서는 제1 처리조(101)에 있어서 제1 흡착 공정이 행해지고, 제2 처리조(102)에 있어서 제2 흡착 공정이 행해지고, 제3 처리조(103)에 있어서 탈착 공정이 행해지고 있는 상태가 도시되어 있다.
피처리 가스 공급 유로(L10)는 각 처리조(101 내지 103)에 피처리 가스를 공급하기 위한 유로이다. 피처리 가스 공급 유로(L10)의 상류측의 단부는 피처리 가스 공급원에 접속되어 있다. 피처리 가스 공급 유로(L10)에는 송풍기(F1)가 마련되어 있다. 피처리 가스 공급 유로(L10) 중 송풍기(F1)의 상류측의 부위에는, 각 처리조(101 내지 103)에 유입되는 피처리 가스의 온도 및 습도를 원하는 범위로 조정하기 위한 쿨러(C1) 및 히터(H1)가 마련되어 있다. 이들 장치 기기는 피처리 가스의 가압, 온도 및 습도에 따라 적절하게 설치하면 된다.
피처리 가스 공급 유로(L10)는, 각 처리조(101 내지 103)에 피처리 가스를 공급하는 분지 유로(L11 내지 L13)를 갖고 있다. 분지 유로(L11)에는 개폐 밸브(V11)가 마련되어 있다. 분지 유로(L12)에는 개폐 밸브(V12)가 마련되어 있다. 분지 유로(L13)에는 개폐 밸브(V13)가 마련되어 있다.
각 연결 유로(L21 내지 L23)는, 3개의 처리조(101 내지 103) 중 하나의 처리조(제1 흡착 공정에서 사용되는 처리조)의 제1 흡착재에 있어서 유기 용제가 흡착된 후의 피처리 가스가, 3개의 처리조(101 내지 103) 중 하나의 처리조와는 상이한 다른 처리조(제2 흡착 공정에서 사용되는 처리조)에 있어서의 피처리 가스 공급구에 도입되도록, 하나의 처리조와 다른 처리조를 연결하고 있다. 구체적으로 제1 연결 유로(L21)는, 제1 처리조(101)에 있어서의 처리 가스 배출구와 제2 처리조(102)에 있어서의 피처리 가스 공급구를 연결하고 있다. 제2 연결 유로(L22)는, 제2 처리조(102)에 있어서의 처리 가스 배출구와 제3 처리조(103)에 있어서의 피처리 가스 공급구를 연결하고 있다. 제3 연결 유로(L23)는, 제3 처리조(103)에 있어서의 처리 가스 배출구와 제1 처리조(101)에 있어서의 피처리 가스 공급구를 연결하고 있다.
각 연결 유로(L21 내지 L23)는 서로 합류하는 합류 유로(L20)를 갖고 있다. 합류 유로(L20)에는 송풍기(F2)가 마련되어 있다. 제1 연결 유로(L21) 중 합류 유로(L20)로부터 다시 분지된 부위에는, 개폐 밸브(V21)가 마련되어 있다. 제2 연결 유로(L22) 중 합류 유로(L20)로부터 다시 분지된 부위에는, 개폐 밸브(V22)가 마련되어 있다. 제3 연결 유로(L23) 중 합류 유로(L20)로부터 다시 분지된 부위에는, 개폐 밸브(V23)가 마련되어 있다.
취출 유로(L31 내지 L33)는, 각 처리조(101 내지 103)에서 흡착 처리된 후의 피처리 가스인 제1 처리 가스를 취출하기 위한 유로이다. 취출 유로(L31 내지 L33)는, 각 처리조(101 내지 103)에 있어서의 처리 가스 배출구에 접속되어 있다. 제1 취출 유로(L31)에는 개폐 밸브(V31)가 마련되어 있다. 제2 취출 유로(L32)에는 개폐 밸브(V32)가 마련되어 있다. 제3 취출 유로(L33)에는 개폐 밸브(V33)가 마련되어 있다. 각 취출 유로(L31 내지 L33)는 서로 합류하는 합류 유로(L30)를 갖고 있다.
수증기 공급 유로(L41 내지 L43)는, 제1 흡착재(101A 내지 103A)에 흡착된 유기 용제를 제1 흡착재(101A 내지 103A)로부터 탈착하기 위한 수증기를 각 처리조(101 내지 103)에 공급하기 위한 유로이다. 수증기는 수증기 공급부(110)로부터 공급된다. 또한, 수증기 공급부(110)는 유기 용제 회수 장치(100) 내에 마련되어도 되고, 유기 용제 회수 장치(100)의 계외에 마련되어도 된다.
제1 수증기 공급 유로(L41)는, 수증기 공급부(110)와 제1 처리조(101)를 접속하고 있다. 제1 수증기 공급 유로(L41)에는 개폐 밸브(V41)가 마련되어 있다. 제2 수증기 공급 유로(L42)는 수증기 공급부(110)와 제2 처리조(102)를 접속하고 있다. 제2 수증기 공급 유로(L42)에는 개폐 밸브(V42)가 마련되어 있다. 제3 수증기 공급 유로(L43)는 수증기 공급부(110)와 제3 처리조(103)를 접속하고 있다. 제3 수증기 공급 유로(L43)에는 개폐 밸브(V43)가 마련되어 있다.
유기 용제 회수 유로(L51 내지 L53)는, 제1 흡착재(101A 내지 103A)로부터 탈착된 유기 용제를 포함하는 수증기(탈착 가스)를 회수하기 위한 유로이다. 각 유기 용제 회수 유로(L51 내지 L53)는, 각 처리조(101 내지 103)에 접속되어 있다. 각 유기 용제 회수 유로(L51 내지 L53)는 서로 합류하는 합류 유로(L50)를 갖고 있다. 합류 유로(L50)에는 응축기(122)가 마련되어 있다. 응축기(122)는 합류 유로(L50)를 흐르는 탈착 가스를 냉각함으로써 당해 탈착 가스를 응축시켜, 응축액(탈착 가스의 응축에 의해 생성된 수분과 액상의 유기 용제의 혼합액)을 배출시킨다.
세퍼레이터(120)는 합류 유로(L50)의 하류측의 단부에 마련되어 있다. 세퍼레이터(120)에는,응축액이 유입된다. 그 후, 세퍼레이터(120) 내에 있어서, 응축액은 분리 배수의 액상(유기 용제를 약간 포함하는 경우도 있는 수증기의 응축수)과 회수 용제의 액상으로 상 분리되고, 회수 용제가 유기 용제 회수 장치(100)의 계외로 취출된다. 또한, 세퍼레이터(120)의 상부에는, 기상의 유기 용제가 존재하는 공간(벤트 가스)이 형성된다.
재공급 유로(L60)는, 세퍼레이터(120)와 피처리 가스 공급 유로(L10)를 접속하는 유로이다. 재공급 유로(L60)의 상류측의 단부는 세퍼레이터(120)의 상부(세퍼레이터(120) 중 기상의 유기 용제가 존재하는 부위)에 접속되어 있다. 재공급 유로(L60)의 하류측의 단부는, 피처리 가스 공급 유로(L10) 중 쿨러(C1)의 상류측의 부위에 접속되어 있다. 이 때문에, 세퍼레이터(120) 내에 존재하는 기상의 유기 용제는, 재공급 유로(L60) 및 피처리 가스 공급 유로(L10)를 통하여 다시 각 처리조(101 내지 103)에 공급되는 것이 바람직하다.
배수 처리 설비(130)는 상기 분리 배수에 포함되는 유기 용제를 제거하는 설비이다. 세퍼레이터(120)의 분리 배수의 액상으로부터 공급되고, 분리 배수로부터 유기 용제를 제거하여 처리수를 유기 용제 회수 장치(100)의 계외로 배출한다. 구체적인 배수 처리 설비(130)는 분리 배수를 폭기 처리함으로써 분리 배수 중에 포함되는 유기 용제를 휘발시키고, 유기 용제를 포함하는 폭기 가스와 처리수로 분리하는 폭기 설비 등을 들 수 있다. 또한, 폭기 가스는 폭기 가스 공급 유로(L61)를 통하여 피처리 가스 공급 유로(L10) 중 쿨러(C1)의 상류측의 부위에 접속된다. 도시하지 않았지만, 폭기 가스 공급 유로에는 폭기 가스 중의 수분을 제거할 목적으로 제습 수단을 마련해도 된다.
희석 가스 공급 유로(L70)는, 탈착 공정 후의 제1 흡착재(101A 내지 103A)의 건조를 촉진하기 위한 희석 가스를 연결 유로(L21 내지 L23)에 공급하기 위한 유로이다. 희석 가스는 외기, 계장용 공기, 질소 가스, 아르곤 가스 중 적어도 하나를 포함하는 가스로 구성된다. 또한, 희석 가스는 유기 용제 회수 장치(100)의 계외로부터 공급된다.
가열기(140)는 희석 가스 공급 유로(L70)에 마련되어 있다. 가열기(140)는, 희석 가스의 온도가 연결 유로(L21 내지 L23)를 흐르는 피처리 가스의 온도(40℃ 정도)보다 높아지도록 희석 가스를 가열한다.
개폐 밸브(V70)는 희석 가스 공급 유로(L70)에 마련되어 있다. 개폐 밸브(V70)는 개방도의 조정이 가능하다.
다음에, 유기 용제 농축 장치(200)에 대하여 설명한다. 유기 용제 농축 장치(200)는, 유기 용제 회수 장치(100)로부터 배출된 제1 처리 가스로부터 추가로 유기 용제를 제거하는 설비이다. 유기 용제 농축 장치(200)는 흡착체(201)를 갖고 있다.
흡착체(201)는, 합류 유로(L30)를 통하여 배출된 제1 처리 가스에 포함되는 유기 용제를 흡착 가능한 제2 흡착재(201A)를 갖고 있다. 흡착체(201)는, 제2 흡착재(201A)에 의해 제1 처리 가스에 포함되는 유기 용제를 흡착하는 흡착부(202)와, 제2 흡착재(201A)에 흡착된 유기 용제를 제2 흡착재(201A)로부터 탈착하는 탈착부(203)를 갖고 있다. 제1 처리 가스를 흡착부(202)에 통과시킴으로써 추가로 유기 용제가 제거된 청정 가스인 제2 처리 가스를 배출할 수 있고, 흡착 완료 후에 탈착부(203)에서 제1 처리 가스보다 소풍량의 가열 가스를 통과시키켜 제2 흡착재(201A)에 흡착된 유기 용제를 탈착시킴으로써, 유기 용제가 농축된 농축 가스를 배출시킨다.
본 실시 형태에서, 흡착체(201)는 원판상(디스크형)의 로터이다. 흡착부(202)와 탈착부(203)를 흡착체(201)가 회전함으로써 흡착과 탈착을 전환하고 있다. 이 흡착체(201)의 구조는 특허문헌 2의 기재 내용과 마찬가지이다. 또한, 흡착체(201)는 소위 실린더형으로 형성되어도 된다. 실린더형의 흡착체(201)는 블록상으로 분할된 복수의 제2 흡착재(201A)가 원통상으로 배치되어 있다. 이 흡착체(201)에서는, 제2 흡착재(201A)의 일부가, 제2 흡착재(201A)의 외측으로부터 내측을 향하여 공급된 제1 처리 가스에 포함되는 유기 용제를 흡착하는 흡착부(202)를 구성함과 함께, 제2 흡착재(201A)의 잔부가, 제2 흡착재(201A)의 내측으로부터 외측을 향하여 가열 공기를 공급함으로써 제2 흡착재(201A)에 흡착된 유기 용제를 제2 흡착재(201A)로부터 탈착하는 탈착부(203)를 구성한다.
이송 유로(300)는, 유기 용제 회수 장치(100)로부터 유기 용제 농축 장치(200)에 피처리 가스를 보내기 위한 유로이다. 이송 유로(300)의 상류측의 단부는 합류 유로(L30)에 접속되어 있다. 이송 유로(300)의 하류측의 단부는 흡착체(201)의 흡착부(202)에 접속되어 있다. 즉, 이송 유로(300)는 제1 처리 가스를 흡착부(202)에 보내기 위한 유로이다.
이송 유로(300)에는 송풍기(F3)가 마련되어 있다. 이송 유로(300) 중 송풍기(F3)의 상류측의 부위에는, 흡착부(202)에 유입되는 제1 처리 가스의 습도를 원하는 범위로 조정하기 위한 쿨러(C2) 및 히터(H2)가 마련되어 있다.
복귀 유로(400)는, 유기 용제 농축 장치(200)로부터 유기 용제 회수 장치(100)에 농축 가스를 복귀시키기 위한 유로이다. 복귀 유로(400)는 탈착부(203)와 희석 가스 공급 유로(L70)를 접속하고 있다. 구체적으로, 복귀 유로(400)의 하류측의 단부는 희석 가스 공급 유로(L70) 중 가열기(140)의 하류측의 부위에 접속되어 있다.
복귀 유로(400)에는 송풍기(F5)가 마련되어 있다. 송풍기(F5)의 풍량은, 송풍기(F3)의 풍량의 예를 들어 10분의 1 정도로 설정된다.
본 실시 형태에서 유기 용제 농축 장치(200)는, 흡착부(202)로부터 배출된 제2 처리 가스(청정 가스)를 청정 가스 배출 유로(L202)로부터 외부로 송출한다. 또한, 유기 용제 농축 장치(200)는 접속 유로(L80)와 히터(H3)를 더 갖고 있다.
접속 유로(L80)는 청정 가스 배출 유로(L202)와 탈착부(203)를 접속하고 있고, 제2 처리 가스의 일부를 탈착부(203)에서의 탈착에 이용하도록 하고 있다. 접속 유로(L80)에는 송풍기(F4)가 마련되어 있다. 또한, 탈착부(203)에서의 탈착에 외기를 이용하는 구성이어도 된다.
히터(H3)는 접속 유로(L80)에 마련되어 있다. 보다 상세하게는, 히터(H3)는 접속 유로(L80) 중 송풍기(F4)의 하류측의 부위에 마련되어 있다. 이 히터(H3)는, 복귀 유로(400)를 흐르는 농축 가스의 온도가 연결 유로(L21 내지 L23)를 흐르는 피처리 가스의 온도보다 높아지도록 접속 유로(L80)를 흐르는 제2 처리 가스를 가열한다. 예를 들어 히터(H3)는, 접속 유로(L80)를 흐르는 제2 처리 가스의 온도가 130℃ 내지 180℃ 정도가 되도록 제2 처리 가스를 가열한다. 이 경우, 탈착부(203)로부터 배출된 제2 처리 가스의 온도는 60℃ 내지 80℃ 정도가 된다.
제어부(150)는 개폐 밸브(V70)의 개방도를 제어한다. 구체적으로 제어부(150)는, 제2 흡착 공정에서 사용되는 처리조(연결 유로(L21 내지 L23)로 연결된 2개의 처리조(101 내지 103) 중 피처리 가스의 흐름에 있어서의 하류측에 배치된 처리조)에 유입되는 피처리 가스의 온도가 소정 범위(예를 들어, 60℃ 내지 80℃)로 유지되도록 개폐 밸브(V70)의 개방도를 제어한다. 복귀 유로(400)를 통하여 희석 가스 공급 유로(L70)에 도입되는 제2 처리 가스의 온도는 희석 가스의 온도보다 높기 때문에, 예를 들어 연결 유로에 유입되는 혼합 가스(희석 가스 및 제2 처리 가스의 혼합 가스)의 온도를 낮출 경우에, 제어부(150)는 개폐 밸브(V70)의 개방도를 높인다.
또한, 제2 흡착 공정에서 사용되는 처리조에 유입되는 혼합 가스의 온도는 온도 센서(152)에 의해 검출된다. 온도 센서(152)는 합류 유로(L20)에 마련되어 있다.
제어부(150)는, 희석 가스 공급 유로(L70) 중 당해 희석 가스 공급 유로(L70)와 복귀 유로(400)의 하류측의 단부의 접속부의 상류측을 흐르는 희석 가스의 유량보다, 복귀 유로(400)를 흐르는 제2 처리 가스의 유량 쪽이 커지도록 개폐 밸브(V70)의 개방도를 제어하는 것이 바람직하다.
제어부(150)는, 각 처리조(101 내지 103)가 상기와 같이 제2 흡착 공정, 제1 흡착 공정 및 탈착 공정의 순으로 사용되도록, 각 개폐 밸브(V11 내지 V13, V21 내지 V23, V41 내지 V43) 및 개폐 댐퍼(V101 내지 V103, V201 내지 V203)의 개폐를 제어한다.
다음에, 유기 용제 회수 시스템(1)의 동작에 대하여 설명한다. 여기서는, 도 2를 참조하면서 유기 용제 회수 시스템(1)의 동작의 일례를 설명한다. 도 2는, 제1 처리조(101)에서 제1 흡착 공정이 행해지고, 제2 처리조(102)에서 제2 흡착 공정이 행해지고, 제3 처리조(103)에서 탈착 공정이 행해지고 있는 상태에 있어서의 가스의 흐름을 개략적으로 도시하는 도면이다. 또한, 도 2에서는, 제1 처리조(101), 제2 처리조(102) 및 흡착체(201)에 있어서 흡착 처리되는 가스의 흐름이 굵은 실선으로 표시되어 있고, 제3 처리조(103)에 공급되는 수증기 및 제1 흡착재(103A)로부터 탈착된 유기 용제를 포함하는 가스의 흐름이, 사선의 해칭이 실시된 선으로 표시되어 있다.
또한, 각 처리조에서는 제1 흡착 공정→탈착 공정→제2 흡착 공정→제1 흡착 공정→…의 순으로 처리가 반복된다.
도 2에 도시되는 상태에서는, 개폐 밸브(V11, V21, V32, V43) 및 개폐 댐퍼(V101, V102, V201, V202)가 열려 있고, 개폐 밸브(V12, V13, V22, V23, V31, V33, V41, V42) 및 개폐 댐퍼(V103, V203)가 닫혀 있다.
도 2에 도시되는 상태에서는, 피처리 가스 공급원으로부터 피처리 가스 공급 유로(L10) 및 분지 유로(L11)를 통하여 제1 처리조(101)에 피처리 가스가 공급되고, 제1 처리조(101)의 제1 흡착재(101A)에 피처리 가스에 포함되는 유기 용제가 흡착된다(제1 흡착 공정). 그 후, 피처리 가스는 제1 연결 유로(L21)를 통하여, 복귀 유로(400)를 통하여 복귀된 제2 처리 가스와 함께 제2 처리조(102)에 공급되고, 제2 처리조(102)의 제1 흡착재(102A)에 공급된 가스에 포함되는 유기 용제가 추가로 흡착된다(제2 흡착 공정). 제2 처리조(102)에서의 제2 흡착 공정(의 특히 초기 단계)에서는, 공급된 가스에 의해 제1 흡착재(102A)가 건조된다. 제2 흡착 공정은 수증기를 사용한 탈착 공정 후에 실시되므로, 제1 흡착재(102A)는 수분을 포함하고 있고, 흡착 성능의 향상을 위해 건조가 필요하다. 이 건조에 대해서는 후단에서 다시 설명한다. 또한, 이 제2 흡착 공정에서 행해지는 건조가 건조 공정으로서 분리된 시스템, 즉 각 처리조가 제1 흡착 공정→탈착 공정→→건조 공정→제2 흡착 공정→제1 흡착 공정→…의 순으로 처리하는 시스템이어도, 본 시스템으로 대응할 수 있다.
그리고, 제2 처리조(102)로부터 배출된 제1 처리 가스는, 제2 취출 유로(L32) 및 이송 유로(300)를 통하여 유기 용제 농축 장치(200)의 흡착체(201)로 보내지고, 흡착부(202)에 있어서 제1 처리 가스에 포함되는 유기 용제가 흡착된다. 그 후, 흡착부(202)로부터 배출된 제2 처리 가스는 유기 용제 회수 시스템(1)의 계외로 취출되고, 그의 일부는 접속 유로(L80)를 통하여 탈착부(203)로 보내진다. 이때, 탈착부(203)로 보내지는 제2 처리 가스는 히터(H3)로 가열된다.
다음에, 탈착부(203)로부터 배출된 농축 가스는 복귀 유로(400)를 통하여 희석 가스 공급 유로(L70)로 되돌려진다. 복귀 유로(400)를 통하여 복귀된 농축 가스는, 제1 처리조(101)로부터 배출된 피처리 가스 및 계외로부터 공급되는 희석 가스와 함께 제1 연결 유로(L21)를 통하여 제2 처리조(102)에 공급된다. 이때, 제2 처리조(102)에 유입되는 가스의 온도가 소정 범위로 유지되도록, 제어부(150)가 개폐 밸브(V70)의 개방도(제2 처리조(102)로의 가스의 공급량)를 제어한다.
한편, 제3 처리조(103)에는, 수증기 공급부(110)로부터 제3 수증기 공급 유로(L43)를 통하여 수증기가 공급됨으로써, 제1 흡착재(103A)로부터 유기 용제가 탈착된다(탈착 공정). 그리고, 제1 흡착재(103A)로부터 탈착된 유기 용제를 포함하는 수증기는 유기 용제 회수 유로(L53)를 통하여, 응축기(122)로 응축된 후에 세퍼레이터(120)에 유입된다. 세퍼레이터(120)로 상 분리된 회수 용제는 유기 용제 회수 장치(100)의 계외로 취출되고, 세퍼레이터(120)에 존재하는 벤트 가스는, 재공급 유로(L60)를 통하여 피처리 가스 공급 유로(L10)로 되돌려진다. 분리 배수는 배수 처리 설비(130)에서 처리되고, 처리수는 유기 용제 회수 장치(100)의 계외로 취출되고, 폭기 가스는 폭기 가스 공급 유로(L61)를 통하여 피처리 가스 공급 유로(L10)로 되돌려진다.
이상으로 설명한 바와 같이 본 실시 형태의 유기 용제 회수 시스템(1)에서는, 제2 흡착재(201A)로부터 탈착된 피처리 가스가 복귀 유로(400)를 통하여 희석 가스 공급 유로(L70)로 되돌려지기 때문에, 그만큼 연결 유로(L21 내지 L23)에 공급하는 희석 가스의 유량을 저감시킴으로써, 연결 유로(L21 내지 L23)로 연결된 2개의 처리조 중 하류측에 배치된 처리조에 공급되는 풍량의 현저한 증대를 회피하면서, 2개의 처리조와 흡착체(201)의 흡착부(202)에 있어서 연속적으로 피처리 가스에 포함되는 유기 용제를 회수하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 유기 용제 회수 시스템(1)에서는 설비의 대형화를 회피하면서, 유기 용제의 회수율을 향상시키는 것이 가능해진다.
또한, 금회 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 실시 형태의 설명이 아니고 청구범위에 의해 나타내며, 또한 청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.
예를 들어, 유기 용제 회수 장치(100)는 4개 이상의 처리조를 갖고 있어도 된다. 그 경우, 하나의 처리조에 있어서 탈착 공정이 행해지고, 그 동안 서로 연결 유로로 직렬이 되도록 연결된 나머지 3개 이상의 처리조에 있어서 다단계로 흡착 공정이 행해진다.
또한, 복귀 유로(400)의 하류측의 단부는, 예를 들어 합류 유로(L20) 중 온도 센서(152)의 상류측의 부위에 접속되어도 된다.
또한, 유기 용제 농축 장치(200)로 바꾸어, 도 3에 도시되는 유기 용제 농축 장치(500)가 사용되어도 된다. 유기 용제 농축 장치(500)는 제4 처리조(501)와, 제5 처리조(502)를 갖고 있다. 제4 처리조(501) 및 제5 처리조(502)는 송풍기(F3)의 하류이며 또한 송풍기(F5)의 상류에 서로 병렬이 되도록 마련되어 있다. 제4 처리조(501)는 제4 흡착재(501A)를 갖고 있다. 제5 처리조(502)는 제5 흡착재(502A)를 갖고 있다. 제4 처리조(501) 및 제5 처리조(502)에 접속된 각 유로에는, 개폐 밸브(V51 내지 V58)가 마련되어 있다.
혹은, 유기 용제 농축 장치(200)로 바꾸어, 국제 공개 제2013/187274호에 개시되는 용제 처리 장치가 사용되어도 된다.
여기서, 농축 가스의 이용에 관하여 상세하게 설명한다.
유기 용제 회수 장치(100)에 있어서, 제1 흡착재(101A 내지 103A)는 수분을 포함한 상태에서는 충분한 흡착 성능이 얻어지지 않는다. 따라서, 제1 흡착 공정 및 제2 흡착 공정 모두 충분한 제1 흡착재(101A 내지 103A)의 건조가 요구된다. 탈착 공정에 있어서는 수증기를 사용하기 때문에, 탈착 완료 후의 제1 흡착재(101A 내지 103A)는 수증기 유래의 수분을 포함하고 있다. 따라서, 특별히 건조가 요구되는 것은 탈착 완료 후, 즉 제2 흡착 공정을 실시하는 제1 흡착재(101A 내지 103A)이다.
제2 흡착 공정에 있어서, 건조는 제1 흡착 공정에서 배출된 가스의 통기에 의해 흡착과 동시에 행해지지만, 충분한 건조가 얻어지지 않는 경우가 있다. 그래서 본 시스템(1)에서는, 희석 가스 또한 농축 가스를 건조의 보조 가스로서 공급하여 사용한다. 제1 흡착재(101A 내지 103A)의 충분한 건조를 얻기 위해, 상기 기재된 가열기(140)를 병용하는 경우도 있다. 제1 흡착 공정에서 배출된 가스와 농축 가스로 충분한 건조를 할 수 있으면, 희석 가스의 추가는 없어도 된다.
이상으로 설명한 본 유기 용제 회수 시스템(1)은, 유기 용제 회수 장치(100)에 있어서 제1 흡착 공정, 제2 흡착 공정 모두 90％ 이상의 유기 용제 제거율로 설계된다. 따라서, 제1 처리 가스는 피처리 가스에 대하여 99％ 이상 유기 용제가 제거되게 된다. 또한, 유기 용제 농축 장치(200)에 있어서도 90％ 이상의 유기 용제 제거 효율로 제거되고, 5배 이상 농축된 농축 가스를 얻도록 설계된다. 이 경우, 농축 가스에 포함되는 유기 용제 농도는, 유기 용제 회수 장치(100)에 있어서의 제1 흡착 공정 후의 피처리 가스 중의 유기 용제 농도 이하인 것을 계산할 수 있다.
가령 특허문헌 2에 기재된 유로로 농축 가스를 반송하는 경우, 농축 가스분의 풍량이 유기 용제 회수 장치(100)에 부하됨으로써 피처리 가스 공급 유로(L10)를 흐르는 피처리 가스 풍량이 증가되므로, 장치가 대형화된다. 상술한 바와 같이 농축 가스에 포함되는 유기 용제 농도는 낮으므로, 제1 흡착재의 탑재 중량에 현저한 증가는 없지만, 처리 풍량이 증가함으로써 장치를 구성하는 송풍기(F1), 유로(L11 내지 13 등), 개폐 밸브(V101 내지 103 등)는 농축 가스 풍량 상당분 대형화된다. 그것에 부수하여, 희석 가스 풍량, 유기 용제 농축 장치(200) 사이즈도 대형화된다. 그것에 대하여, 본 유기 용제 회수 시스템(1)에서는 농축 가스를 희석 가스의 일부로서 사용하기 때문에, 유기 용제 회수 장치(100)의 피처리 가스 공급 유로(L10)를 흐르는 피처리 가스의 풍량이 증가하지 않으므로, 유기 용제 회수 장치(100) 및 유기 용제 농축 장치(200)의 대형화를 억제할 수 있다. 따라서, 본 유기 용제 회수 시스템(1)에서는 설비의 대형화를 회피하면서, 유기 용제의 회수율을 향상시키는 것이 가능해진다.
여기서 희석 가스는 외기를 사용하는 경우가 많아, 지역이나 날씨에 의해 온도ㆍ습도가 변동되기 쉬우므로 가열기(140)를 마련함으로써 일정한 건조 능력을 확보할 수 있다. 본 유기 용제 회수 시스템(1)에서는 유기 용제 농축 장치(200)의 농축 가스를 일부 사용하고, 부족분을 계외로부터 외기 등을 공급하여 희석 가스로 한다. 농축 가스는 히터(H3)로 가열된 제2 처리 가스가 탈착부(203)를 통과한 후의 가온된 가스이며, 일정한 건조 능력을 가질 뿐만 아니라, 온ㆍ습도가 안정되어 있다. 따라서, 희석 가스에 전부 외기를 사용하는 경우와 비교하여, 가열기(140)의 소형화나 이러한 승온 에너지를 삭감할 수 있거나, 계절ㆍ날씨 변동을 받기 어려운 이점이 있다.
또한, 복귀 유로(400)의 하류측의 단부는, 희석 가스 공급 유로(L70) 중 상기 가열기(140)의 하류측의 부위에 접속되어 있는 것이 바람직하다.
이 양태에서는, 복귀 유로(400)를 통하여 희석 가스 공급 유로(L70)로 되돌려진 피처리 가스가 가열기(140)를 통과하지 않기 때문에, 가열기(140)의 한층 더한 소형화나 에너지 절약이 가능해진다.
또한, 본 유기 용제 회수 시스템(1)에 있어서, 희석 가스 공급 유로(L70) 중 당해 희석 가스 공급 유로(L70)와 복귀 유로(400)의 하류측의 단부의 접속부의 상류측의 부위에 마련된 개폐 밸브와, 개폐 밸브의 개방도를 제어하는 제어부를 더 구비하고 있어도 된다. 이 경우에 있어서, 제어부는 상기 연결 유로로 연결된 2개의 상기 처리조 중 상기 피처리 가스의 흐름에 있어서의 하류측에 배치된 상기 처리조에 유입되는 상기 피처리 가스의 온도가 소정 범위로 유지되도록, 상기 개폐 밸브의 개방도를 제어하는 것이 바람직하다.
실시예
상기 설명한 도 1에 도시하는 유기 용제 회수 시스템(1)을 사용하여 이하의 처리를 실시하였다.
피처리 가스의 일례가 되는 유기 용제 함유 가스에는 염화메틸렌을 26,000ppm 포함하는 25℃의 피처리 가스를 풍량 5.3N㎥/min으로 하고, 유기 용제 회수 시스템 계외로 배출하는 염화메틸렌의 설계 농도는 5ppm 이하로 하였다. 또한, 각 유로는 둥근 덕트를 사용하여 접속하였다.
우선, 피처리 가스를 유기 용제 회수 장치(100)에서 처리하였다. 제1 흡착재에는 활성 탄소 섬유를 사용하였다. 풍량 5.3N㎥/min으로 송풍기(F1)로부터 제1 흡착 공정으로 되어 있는 제1 처리조(101)에 송풍하였다. 계속해서 제1 처리조(101)로부터 배출되는 제1 흡착 공정 출구 가스에는, 제2 흡착 입구 가스로서 제2 흡착 공정으로 되어 있는 제2 처리조(102)에 송풍되었다. 이때, 제2 흡착 입구 가스는 7.5N㎥/min, 45℃가 되도록 희석 가스 및 농축 가스로 조절되었다. 제2 처리조(102)로 처리된 후의 가스는 제1 처리 가스로서 배출하고, 제2 취출 유로(L32) 및 이송 유로(300)를 통하여 유기 용제 농축 장치(200)에 송풍하였다.
제1 처리조(101)로부터 배출되는 제1 흡착 공정 출구 가스의 염화메틸렌 농도가 500ppm에 도달한 시점에서 각 공정을 전환하였다. 제1 처리조(101)가 제1 흡착 공정 및 제2 처리조(102)가 제2 흡착 공정을 행하고 있는 동안, 제3 처리조(103)에는 탈착용 증기를 도입하여 탈착 공정을 행하였다.
유기 용제 농축 장치(200)의 제2 흡착재(201A)에는 제올라이트 허니콤을 사용하였다.
유기 용제 회수 장치(100)로부터 배출된 제1 처리 가스를 흡착부(202)에 통기시키고, 제2 처리 가스를 배출시켰다. 또한, 제2 처리 가스의 일부를 접속 유로(L80)로부터 급기시켜 130℃로 가열시키고, 탈착부(203)에 공급시켜 농축 가스를 배출시켰다. 농축 가스의 전량은 복귀 유로(400)를 통하여 유기 용제 회수 장치(100)의 희석 가스 공급 유로(L70)에 공급시켰다.
이때, 제2 처리 가스(유기 용제 회수 시스템 계외 배출 가스)의 염화메틸렌 농도는 5ppm 이하였다.
또한, 유기 용제 회수 장치(100)의 제1 흡착재에 사용한 활성 탄소 섬유3.8kg/조, 1회의 탈착에 필요한 수증기량은 1.9kg, 유기 용제 농축 장치(200)의 제2 흡착재(201A)에 사용한 제올라이트는 2kg이었다.
<비교예>
실시예와 동일한 피처리 가스를 실시예와 마찬가지로, 유기 용제 회수 장치(100), 유기 용제 농축 장치(200)로 처리하였다. 단, 농축 가스는 유기 용제 회수 장치(100)의 송풍기(F1)의 상류측에 전량 송풍하였다.
그 결과, 제2 처리 가스(유기 용제 회수 시스템 계외 배출 가스)의 염화메틸렌 농도를 5ppm 이하로 할 때의, 유기 용제 회수 장치(100)의 제1 흡착재에 사용한 활성 탄소 섬유 4.3kg/조, 1회의 탈착에 필요한 수증기량은 1.9kg, 유기 용제 농축 장치(200)의 제2 흡착재(201A)에 사용한 제올라이트는 2.2kg이며, 실시예에 대하여 10％ 이상의 각 흡착재량이 필요하였다. 필요한 흡착재량이 많아진다는 것은, 필연적으로 처리조도 흡착체도 커진다.
또한, 송풍기(F1)를 흐르는 피처리 가스 풍량은 농축 가스가 가해지기 때문에 6.5N㎥/min이며, 실시예에 대하여, 유기 용제 회수 장치(100) 및 유기 용제 농축 장치(200) 및 연결에 관한 유로의 둥근 덕트 직경은 10％ 이상 대형화할 필요가 있었다.
이들과 같이 비교예가 실시예와 동일한 처리 능력을 갖기 위해서는, 비교예는 대형화할 필요가 있음을 알 수 있다. 즉, 실시예에서는 설비의 대형화를 회피하면서, 유기 용제의 회수율을 향상시키는 것이 가능하게 되는 것을 알 수 있다.
1: 유기 용제 회수 시스템
100: 유기 용제 회수 장치
101: 제1 처리조
101A: 제1 흡착재
102: 제2 처리조
102A: 제1 흡착재
103: 제3 처리조
103A: 제1 흡착재
110: 수증기 공급부
120: 세퍼레이터
130: 배수 처리 설비
140: 가열기
150: 제어부
152: 온도 센서
200: 유기 용제 농축 장치
201: 흡착체
201A: 제2 흡착재
202: 흡착부
203: 탈착부
300: 이송 유로
400: 복귀 유로
500: 유기 용제 농축 장치
501: 제4 처리조
501A: 제4 흡착재
502: 제5 처리조
502A: 제5 흡착재
H3: 히터
L10: 피처리 가스 공급 유로
L21 내지 L23: 연결 유로
L31 내지 L33: 취출 유로
L40: 수증기 공급 유로
L51 내지 L53: 유기 용제 회수 유로
L60: 재공급 유로
L70: 희석 가스 공급 유로
L80: 접속 유로
V11 내지 V13, V21 내지 V23, V31 내지 V33, V41 내지 V43, V51 내지 V58, V70: 개폐 밸브
V101 내지 V103, V201 내지 V203: 개폐 댐퍼.

Claims (6)

  1. 각각이 피처리 가스에 함유된 유기 용제의 흡탈착이 가능한 제1 흡착재를 포함하고, 상기 제1 흡착재로의 상기 유기 용제의 흡착과 수증기에 의한 상기 제1 흡착재로부터의 상기 유기 용제의 탈착을 교호로 행하는 적어도 3개의 처리조와, 복수의 상기 처리조로부터 선택된 상기 처리조에 상기 수증기를 도입하는 수증기 공급부와, 남은 복수의 상기 처리조를 직렬 다단 접속하는 연결 유로와, 당해 직렬 다단 접속된 복수의 상기 처리조의 상류에 배치된 상기 처리조로부터 도입된 상기 피처리 가스를, 당해 직렬 다단 접속된 복수의 상기 처리조의 상기 제1 흡착재에 의해 상기 유기 용제가 흡착된 제1 처리 가스로서, 당해 직렬 다단 접속된 복수의 상기 처리조의 하류에 배치된 상기 처리조로부터 배출하는 취출 유로와, 상기 연결 유로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급 유로를 갖는 유기 용제 회수 장치와,
    상기 유기 용제의 흡착과 탈착이 가능한 제2 흡착재를 포함하고, 상기 제2 흡착재에 의해 상기 취출 유로로부터의 상기 제1 처리 가스에 포함되는 상기 유기 용제를 흡착하고, 제2 처리 가스를 배출하는 흡착부와, 상기 제2 흡착재에 흡착된 상기 유기 용제를 상기 제2 흡착재로부터 탈착하여 농축 가스로서 배출하는 탈착부를 갖는 유기 용제 농축 장치와,
    상기 농축 가스를 상기 희석 가스 공급 유로로 되돌리는 복귀 유로를 구비하는, 유기 용제 회수 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 희석 가스 공급 유로에 마련되어 있고, 상기 연결 유로를 흐르는 가스가 규정 온도가 되도록 상기 희석 가스를 가열 가능한 가열기를 더 구비하는, 유기 용제 회수 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 복귀 유로의 하류측의 단부는, 상기 희석 가스 공급 유로 중 상기 가열기의 하류측의 부위에 접속되어 있는, 유기 용제 회수 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 희석 가스 공급 유로 중 당해 희석 가스 공급 유로와 상기 복귀 유로의 하류측의 단부의 접속부의 상류측의 부위에 마련된 개폐 밸브와,
    상기 개폐 밸브의 개방도를 제어하는 제어부를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 연결 유로를 흐르는 가스의 온도가 소정 범위로 유지 되도록 상기 개폐 밸브의 개방도를 제어하는, 유기 용제 회수 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 처리 가스의 일부를 상기 탈착부에 도입하는 접속 유로와,
    상기 접속 유로에 마련된 히터를 더 구비하는, 유기 용제 회수 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 히터는, 상기 연결 유로를 흐르는 가스가 규정 온도가 되도록 상기 접속 유로를 흐르는 상기 제2 처리 가스의 일부를 가열하는, 유기 용제 회수 시스템.
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