JPWO2018100638A1 - レーザ加工システム及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.概要
2.比較例に係るレーザ加工システム
2.1 レーザ加工システムの構成
2.2 レーザ加工システムの動作
2.3 課題
3.第1実施形態のレーザ加工システム
3.1 構成
3.2 動作
3.3 作用
3.4 変形例
4.第2実施形態のレーザ加工システム
4.1 構成
4.2 動作
4.3 作用
4.4 変形例
5.第3実施形態のレーザ加工システム
5.1 構成
5.2 動作
5.3 作用
6.レーザ加工装置の変形例
6.1 変形例1
6.2 変形例2
6.3 変形例3
7.レーザ装置の変形例
7.1 変形例1
7.2 変形例2
8. 7.2の変形例2における固体レーザ装置の変形例
本開示は、被加工物にレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムに関する。
2.1 レーザ加工システムの構成
図1は、比較例に係るレーザ加工システムの構成を概略的に示す。レーザ加工システム2は、レーザ装置3と、レーザ加工装置4とを備えている。レーザ装置3とレーザ加工装置4は光路管5によって接続されている。
図2及び図3を参照しながら、レーザ加工システム2の動作を説明する。図2に示すように、レーザ加工を行う場合には、被加工物41がXYZステージ34のテーブル33にセットされる(S100)。レーザ加工制御部32は、初期の加工位置の位置データをXYZステージ34にセットする(S110)。XYZステージ34で、被加工物41を初期のレーザ加工位置に移動する(S120)。具体的には、被加工物41は、XY平面内の位置と、Z軸方向の位置が位置決めされる。Z軸方向の位置について、レーザ加工制御部32は、集光レンズ36dから出射するパルスレーザ光が、被加工物41の表面において所望の照射径Dで集光される位置に被加工物41が移動される。ここで本明細書では、パルスレーザ光の照射径Dは、被加工物41の表面に照射されるパルスレーザビームの直径と定義する。
F=Et/S[mJ/cm2]・・・・・・(1)
ここで、Sは照射面積であり、照射径をDとすると、S=π(D/2)2[cm2]となる。
Fm=Em/Sm[mJ/cm2]となる。
図4は、ArFエキシマレーザ光の狭帯域化しない自然発振(Free Running)のスペクトル波形FRを示す。スペクトル波形FRは、中心波長が約193.4nmであり、スペクトル線幅が半値全幅(FWHM)で約450pmである。酸素は、レーザ光を吸収する吸収帯である複数の吸収ラインを有していることが知られている。従って、図4に示すように、酸素を含むガス中、例えば、空気中において自然発振した場合のスペクトル波形FRairは、複数の吸収ラインにおいてエネルギの吸収が生じる。このため、スペクトル波形FRairは、酸素を含まない窒素ガス(N2)中におけるスペクトル波形FRN2と比較して、複数の吸収ラインにおいて光強度Iの落ち込みが生じる。ここで、図4の縦軸の相対強度は、光強度Iを規格化した値である。
3.1 構成
図5は、第1実施形態に係るレーザ加工システム2Aの構成を概略的に示す。第1実施形態のレーザ加工システム2Aは、図1を参照しながら説明した比較例のレーザ加工システム2のレーザ装置3及びレーザ加工装置4に代えて、レーザ装置3A及びレーザ加工装置4Aを備えている。第1実施形態の以下の説明において、比較例のレーザ加工システム2との相違点を中心に説明する。
T=π(D/2)2(F/Et)・・・・・(3)
ここで、Fはフルーエンス、Etは目標パルスエネルギ、Dは被加工物41の表面におけるパルスレーザ光の照射径である。
図7から図11を参照しながら、レーザ加工システム2Aの動作を説明する。図7に示すように、レーザ加工を行う場合には、被加工物41がXYZステージ34のテーブル33にセットされる(S1000)。レーザ加工制御部32Aは、初期の加工位置の位置データをXYZステージ34にセットする(S1100)。XYZステージ34で、被加工物41を初期のレーザ加工位置に移動する(S1200)。具体的には、被加工物41は、XY平面内の位置と、Z軸方向の位置が位置決めされる。Z軸方向の位置について、レーザ加工制御部32Aは、集光レンズ36dから出射するパルスレーザ光が、被加工物41の表面において所望の照射径Dで集光される位置に被加工物41を移動する。ここまでの動作は、図2において示した比較例のレーザ加工システム2のS100からS120までの動作と同様である。
レーザ加工システム2Aは、レーザ加工においては、パルスレーザ光の波長として、非吸収ラインを使用する。そのため、被加工物41が酸素を含むガス中に存在する場合でも、酸素による光吸収がほとんど生じないので、パルスレーザ光の波面の歪みによる集光性能の低下が抑制される。集光性能の低下によって引き起こされる、フルーエンスの不安定化や加工精度の悪化が抑制される。また、光強度Iの低下も抑制される。
上記例において、被加工物41の位置を固定した状態で表面洗浄及びデブリ洗浄を行っているが、図12及び図13のフローチャートに示す変形例のように、表面洗浄及びデブリ洗浄において被加工物41を移動させて、パルスレーザ光の照射領域を拡大してもよい。
4.1 構成
図14から図17は、第2実施形態のレーザ加工システム2Bを示す。図14に示すように、第2実施形態のレーザ加工システム2Bは、レーザ装置3Aと、レーザ加工装置4Bとを備えている。レーザ装置3Aは、第1実施形態と同様である。レーザ加工装置4Bは、第1実施形態のレーザ加工装置4Aの構成に加えて、照射面積可変機構61を備えている。レーザ加工制御部32Bは、第1実施形態のレーザ加工制御部32Aに対して、照射面積可変機構61を制御する機能が追加されている。レーザ加工システム2Bのそれ以外の構成は、第1実施形態のレーザ加工システム2Aと同様であるので、以下、相違点を中心に説明する。
第2実施形態のレーザ加工システム2Bの動作は、全体的な動作については、第1実施形態の図7のフローチャートと同様であり、表面洗浄とデブリ洗浄の動作が異なる。第2実施形態において、表面洗浄は、図15に示すS1300Bのフローチャートに従って実行され、デブリ洗浄は、図16に示すS1500Bのフローチャートに従って実行される。
第2実施形態のように、照射面積可変機構61を設けることで、レーザ加工時とオゾン洗浄時とにおいてパルスレーザ光の照射面積を変えることができる。これにより、オゾン洗浄時には洗浄面積を広げることが可能になる。加えて、照射面積を変化させることで、フルーエンスFも変更することができるため、効率的である。
なお、第2実施形態において集光レンズ36dを移動させる例で説明したが、集光レンズ36dの代わりに、XYZステージ34を制御して、被加工物41を固定するテーブル33を光軸方向に移動させてもよい。こうしても照射面積を変更することができる。この場合には、XYZステージ34が照射面積可変機構61を構成する。
図18から図27に示す第3実施形態のレーザ加工システム2Cは、被加工物41に対するレーザ加工の本加工を行う前にプレ加工を行って、吸収ラインと非吸収ラインの間で、本加工に使用するパルスレーザ光の最適波長λoptを探索する。そして、探索した最適波長λoptのパルスレーザ光を使用して本加工を行う。
図18に示すように、レーザ加工システム2Cは、レーザ装置3Cとレーザ加工装置4Cを備えている。レーザ装置3Cは、第1実施形態のレーザ制御部13Aの代わりにレーザ制御部13Cを備えている。それ以外は、第1実施形態のレーザ装置3Aと同様である。レーザ加工装置4Cは、観察装置66を備えている点と、レーザ加工制御部32Aの代わりにレーザ加工制御部32Cを備えている点が、レーザ加工装置4Aと相違する。それ以外はレーザ加工装置4Aと同様である。以下、相違点を中心に説明する。
図20に示すように、レーザ加工システム2Cの全体的な動作は、まず、レーザ加工の本加工に使用する最適波長を探索する動作からはじまる(SP100)。
評価値DebN=(Dout−Din)/D0・・・・(4)
ここで、D0はパルスレーザ光の照射径であり、Dinは加工穴68の径であり、加工穴68の外周に発生するDoutはデブリ57の径である。
吸収ラインと非吸収ラインの間で、デブリが少なく加工状態が良好となる最適波長λoptを探索して、最適波長λoptでレーザ加工の本加工を行うため、レーザ加工とオゾン洗浄を1つの工程で行うことができる。これにより、レーザ加工のスループットの低下を抑制することができる。
なお、本例では、加工状態を計測するため、観察装置66を使用したが、観察装置66の代わりに顕微鏡を使用して加工状態を計測してもよい。顕微鏡は、レーザ加工システム2Cに含まれてもよい。この場合において、被加工物41は、レーザ加工システム2Cでプレ加工がされた後、たとえば、XYZステージ34の制御により、顕微鏡による計測位置に位置決めされる。被加工物41は、計測位置に位置決めされた後、顕微鏡によって加工状態が計測される。顕微鏡を使用することにより、観察装置66を使用する場合と比べて、加工状態を表す高精細な観察画像が得られるため、より精度の高い評価が可能となる。
評価値Deb#ar#N=Sm/Snd・・・・(5)
ここで、図27に示すように、Smは、加工穴68の加工面積Smであり、Sndは、加工面積Smとデブリ57の面積の合計面積である。
上記実施形態におけるレーザ加工装置は種々の変形が可能である。例えば、レーザ加工装置として、図28から図31に示すレーザ加工装置を使用してもよい。
図28に示す変形例1のレーザ加工装置4Dは、第1実施形態のレーザ加工装置4Aの光学システム36に代えて、光学システム71を備えており、それ以外は同様である。以下、相違点を中心に説明する。
図29に示す変形例2のレーザ加工装置4Eは、第1実施形態のレーザ加工装置4Aの光学システム36に代えて、光学システム73を備えており、それ以外は同様である。以下、相違点を中心に説明する。
図30に示す変形例3のレーザ加工装置4Fは、図28の変形例1のレーザ加工装置4Dのシールド53を小型のシールド77に変更し、さらに、排気装置78を追加したものである。それ以外は、図28のレーザ加工装置4Dと同様であり、以下、相違点を中心に説明する。
上記実施形態において、波長可変レーザ装置に相当するレーザ装置は種々の変形が可能である。例えば、レーザ装置として、図32から図34に示すレーザ装置を使用してもよい。
図32に示す変形例1のレーザ装置3Dは、第1実施形態のレーザ装置3Aに、増幅器に相当するパワーオシレータPOを追加したものであり、それ以外は同様である。パワーオシレータPOは、マスターオシレータMOとモニタモジュール11の間のパルスレーザ光の光路上に配置されている。パワーオシレータPOは、マスターオシレータMOから出力されたパルスレーザ光のエネルギを増幅する増幅器である。
レーザ加工システムにおいて、図33に示す変形例2のレーザ装置3Eを用いてもよい。レーザ装置3Eは、マスターオシレータ83と、増幅器84とを備えている。モニタモジュール11は第1実施形態のレーザ装置3Aと同様である。マスターオシレータ83は、固体レーザ装置であり、シード光を出力する半導体レーザ86と、シード光を増幅するチタンサファイヤ増幅器87と、波長変換システム88とを備えている。
図34に示す固体レーザシステム83Aは、図33に示すレーザ装置3Eにおいてマスターオシレータ83として示した固体レーザ装置の変形例である。固体レーザシステム83Aは、第1の固体レーザ装置111と、第2の固体レーザ装置112と、ダイクロイックミラー113と、高反射ミラー114と、波長変換システム115と、同期回路116と、固体レーザ制御部89Aと、を備えている。
次に、固体レーザシステム83Aの動作を説明する。レーザ制御部13Eは、レーザ加工制御部32Aからレーザ発振準備信号を受信すると、受信したレーザ発振準備信号を固体レーザ制御部89Aに送信する。固体レーザ制御部89Aは、このレーザ発振準備信号に基づいて、第1及び第2のシードレーザ120,130と、第1及び第2の増幅器122,132に含まれる各CW励起半導体レーザとの発振動作を開始させる。
Claims (20)
- 被加工物にレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムは、以下を備える:
A.酸素が光吸収する波長である吸収ラインと、前記吸収ラインより酸素による光吸収量が少ない波長である非吸収ラインのそれぞれのレーザ光を出力する波長可変レーザ装置;
B.前記被加工物に前記レーザ光を照射する光学システム;及び
C.前記波長可変レーザ装置を制御するレーザ制御部であって、酸素を含むガス中において前記被加工物の表面を前記レーザ加工する際に、前記波長可変レーザ装置が出力する前記レーザ光の波長を前記非吸収ラインに設定し、かつ、酸素を含むガス中において前記被加工物の表面をオゾン洗浄する際に、前記波長可変レーザ装置が出力する前記レーザ光の波長を前記吸収ラインに設定するレーザ制御部。 - 請求項1に記載のレーザ加工システムであって、
前記オゾン洗浄には、前記レーザ加工の後に、前記被加工物の表面からデブリを除去するデブリ洗浄が含まれる。 - 請求項2に記載のレーザ加工システムであって、
前記オゾン洗浄には、さらに、前記レーザ加工の前に、前記被加工物の表面に付着した付着物を除去する表面洗浄が含まれる。 - 請求項1に記載のレーザ加工システムであって、
前記レーザ光は、ArFエキシマレーザ光である。 - 請求項1に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える:
D:前記被加工物の表面において、前記光学システムが照射する前記レーザ光の照射面積を変化させる照射面積可変機構;及び
E:前記照射面積可変機構を制御して、前記オゾン洗浄の際における前記照射面積を、前記レーザ加工の際における前記照射面積よりも大きくするレーザ加工制御部。 - 請求項1に記載のレーザ加工システムであって、
前記波長可変レーザ装置は、マスターオシレータと、マスターオシレータが出力する前記レーザ光を増幅する増幅器とを含む。 - 請求項1に記載のレーザ加工システムであって、
前記レーザ制御部は、前記レーザ加工時と前記オゾン洗浄時とで、前記レーザ光のエネルギを変更する。 - 請求項1に記載のレーザ加工システムであって、
F:前記波長可変レーザ装置が出力する前記レーザ光の透過率を変化させて、前記レーザ光のエネルギを変化させるアッテネータを備えている。 - 請求項1に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える:
G:前記被加工物を囲うシールド;及び
H:前記シールド内に前記酸素を含むガスを供給するガス供給口。 - 請求項9に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える:
I:前記シールド内のガスを吸引により排気する排気装置。 - 被加工物にレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法は、以下のステップを備える:
A.波長可変レーザ装置が出力する前記レーザ光の波長を、酸素が光吸収する波長である吸収ラインよりも光吸収量が少ない波長である非吸収ラインに設定する非吸収ライン設定ステップ;
B.前記酸素を含むガス中において、前記非吸収ラインの前記レーザ光を前記被加工物に照射して、前記レーザ加工を行うレーザ加工ステップ;
C.波長可変レーザ装置が出力する前記レーザ光の波長を、前記吸収ラインに設定する第1吸収ライン設定ステップ;及び
D.前記酸素を含むガス中において、前記吸収ラインの前記レーザ光を前記被加工物に照射して、被加工物の表面のデブリをオゾン洗浄するデブリ洗浄ステップ。 - 請求項11に記載のレーザ加工方法であって、
E.前記第1非吸収ライン設定ステップ及び前記レーザ加工ステップの前に、波長可変レーザ装置が出力する前記レーザ光の波長を、前記吸収ラインに設定する第2吸収ライン設定ステップ;及び
F.前記第2吸収ライン設定ステップの後、かつ、前記非吸収ライン設定ステップ及び前記レーザ加工ステップの前に、前記酸素を含むガス中において、前記吸収ラインの前記レーザ光を前記被加工物に照射して、被加工物の表面の付着物をオゾン洗浄する表面洗浄ステップ。 - 被加工物にレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工システムは、以下を備える:
A.酸素が光吸収する波長である吸収ラインと、前記吸収ラインより酸素による光吸収量が少ない波長である非吸収ラインとの間でレーザ光の波長を変化させて出力することが可能な波長可変レーザ装置;
B.前記被加工物に前記レーザ光を照射する光学システム;
C.前記被加工物に対する前記レーザ加工の本加工を行う前のプレ加工において、前記吸収ラインと前記非吸収ラインとの間で前記レーザ光の波長を変化させながら、前記被加工物の表面に複数の波長で前記レーザ光が照射されるように前記波長可変レーザ装置を制御するレーザ制御部;
D.前記複数の波長で行った前記プレ加工の加工状態に基づいて、前記本加工に使用する前記レーザ光の最適波長を選択する最適波長選択部。 - 請求項13に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える;
E.前記最適波長選択部が選択した最適波長で前記本加工を行うレーザ加工装置。 - 請求項13に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える;
F.前記被加工物の表面を撮像して、前記複数の波長で行った前記プレ加工の波長毎の前記加工状態を表す観察画像を記録する観察装置;及び
G.前記観察画像に基づいて、前記本加工に使用する最適波長を選択する最適波長選択部。 - 請求項13に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える:
H:前記被加工物を囲うシールド;及び
I:前記シールド内に前記酸素を含むガスを供給するガス供給口。 - 請求項16に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える:
J:前記シールド内のガスを吸引により排気する排気装置。 - 請求項13に記載のレーザ加工システムは、さらに、以下を備える;
K.前記プレ加工において、前記波長が変化する毎に、前記被加工物の表面に対して照射される前記レーザ光の照射位置を移動するステージ。 - 被加工物にレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法は、以下のステップを備える:
A.酸素が光吸収する波長である吸収ラインと、前記吸収ラインより酸素による光吸収量が少ない波長である非吸収ラインとの間でレーザ光の波長を変化させて出力することが可能な波長可変レーザ装置を用い、前記吸収ラインと前記非吸収ラインとの間で、前記波長可変レーザ装置が出力する前記レーザ光の波長を変化させながら、前記被加工物の表面に複数の波長で前記レーザ光を照射して、前記被加工物に対する前記レーザ加工の本加工を行う前にプレ加工を行うプレ加工ステップ;及び
B.前記複数の波長で行った前記プレ加工の加工状態に基づいて、前記本加工に使用する前記レーザ光の波長を選択する波長選択ステップ。 - 請求項19に記載のレーザ加工方法は、さらに、以下を備える;
C.前記最適波長選択部が選択した最適波長で前記本加工を行う本加工ステップ。
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Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018025394A1 (ja) * | 2016-08-05 | 2019-05-23 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置 |
US10788676B2 (en) * | 2017-01-16 | 2020-09-29 | Sony Corporation | Branching optical system, imaging apparatus, and imaging system |
CN111148596B (zh) * | 2017-10-04 | 2022-09-16 | 极光先进雷射株式会社 | 激光加工方法以及激光加工系统 |
US11482826B2 (en) * | 2018-01-12 | 2022-10-25 | Ricoh Company, Ltd. | Optical processing apparatus, optical processing method, and optically-processed product production method |
WO2019146021A1 (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | ギガフォトン株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工システム |
JP7221300B2 (ja) * | 2018-12-13 | 2023-02-13 | ギガフォトン株式会社 | レーザ加工装置及び被加工物の加工方法 |
JP7270652B2 (ja) * | 2019-01-23 | 2023-05-10 | ギガフォトン株式会社 | レーザ加工装置及び被加工物の加工方法 |
JP7313453B2 (ja) * | 2019-08-30 | 2023-07-24 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置、レーザ加工システム及び電子デバイスの製造方法 |
JPWO2022162768A1 (ja) * | 2021-01-27 | 2022-08-04 | ||
WO2022249257A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化モジュール、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
WO2023170892A1 (ja) * | 2022-03-10 | 2023-09-14 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置、レーザ加工システム、及びレーザ加工方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07263779A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | エキシマレーザー装置 |
WO2000041225A1 (fr) * | 1998-12-28 | 2000-07-13 | Nikon Corporation | Procede de nettoyage d'un dispositif optique, appareil et procede d'exposition, procede de fabrication du dispositif et dispositif proprement dit |
JP2002118308A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Komatsu Ltd | レーザ装置用筐体、その生産方法、及びその洗浄方法 |
JP2010066597A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | パターン形成方法 |
WO2016006099A1 (ja) * | 2014-07-11 | 2016-01-14 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03157917A (ja) | 1989-11-15 | 1991-07-05 | Nikon Corp | レーザ露光装置 |
GB9514558D0 (en) | 1995-07-17 | 1995-09-13 | Gersan Ets | Marking diamond |
JPH10284792A (ja) | 1997-04-09 | 1998-10-23 | Nikon Corp | レーザ光源、露光装置及び露光方法 |
JPH11224839A (ja) | 1998-02-04 | 1999-08-17 | Canon Inc | 露光装置とデバイス製造方法、ならびに該露光装置の光学素子クリーニング方法 |
JP3982569B2 (ja) | 1998-07-09 | 2007-09-26 | 株式会社小松製作所 | エキシマレーザの波長制御装置 |
JP4197816B2 (ja) * | 1999-12-07 | 2008-12-17 | 株式会社小松製作所 | 波長検出装置 |
JP2001300450A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-10-30 | Toshiba Corp | 洗浄装置および洗浄方法、レチクルの製造方法 |
US6904073B2 (en) * | 2001-01-29 | 2005-06-07 | Cymer, Inc. | High power deep ultraviolet laser with long life optics |
US6704340B2 (en) * | 2001-01-29 | 2004-03-09 | Cymer, Inc. | Lithography laser system with in-place alignment tool |
US6704339B2 (en) * | 2001-01-29 | 2004-03-09 | Cymer, Inc. | Lithography laser with beam delivery and beam pointing control |
US6970492B2 (en) * | 2002-05-17 | 2005-11-29 | Lambda Physik Ag | DUV and VUV laser with on-line pulse energy monitor |
-
2016
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2019
- 2019-04-08 US US16/378,102 patent/US11465233B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07263779A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | エキシマレーザー装置 |
WO2000041225A1 (fr) * | 1998-12-28 | 2000-07-13 | Nikon Corporation | Procede de nettoyage d'un dispositif optique, appareil et procede d'exposition, procede de fabrication du dispositif et dispositif proprement dit |
JP2002118308A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Komatsu Ltd | レーザ装置用筐体、その生産方法、及びその洗浄方法 |
JP2010066597A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | パターン形成方法 |
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