JPWO2018061691A1 - 膜の製造方法 - Google Patents
膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018061691A1 JPWO2018061691A1 JP2018542321A JP2018542321A JPWO2018061691A1 JP WO2018061691 A1 JPWO2018061691 A1 JP WO2018061691A1 JP 2018542321 A JP2018542321 A JP 2018542321A JP 2018542321 A JP2018542321 A JP 2018542321A JP WO2018061691 A1 JPWO2018061691 A1 JP WO2018061691A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- raw material
- material solution
- coating blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 168
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 150
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 145
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 142
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 78
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 67
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 27
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 9
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 4
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 218
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 37
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract 3
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 38
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 19
- 230000037230 mobility Effects 0.000 description 18
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 12
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 12
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 7
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 6
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 5
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 4
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- AEOCOSISEQLPHY-UHFFFAOYSA-N 2,8-difluoro-5,11-bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene Chemical compound C1=C2C(C#C[Si](CC)(CC)CC)=C(C=C3C(SC(F)=C3)=C3)C3=C(C#C[Si](CC)(CC)CC)C2=CC2=C1SC(F)=C2 AEOCOSISEQLPHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- RWBMMASKJODNSV-UHFFFAOYSA-N [1]benzothiolo[2,3-g][1]benzothiole Chemical class C1=CC=C2C3=C(SC=C4)C4=CC=C3SC2=C1 RWBMMASKJODNSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N [60]pcbm Chemical compound C123C(C4=C5C6=C7C8=C9C%10=C%11C%12=C%13C%14=C%15C%16=C%17C%18=C(C=%19C=%20C%18=C%18C%16=C%13C%13=C%11C9=C9C7=C(C=%20C9=C%13%18)C(C7=%19)=C96)C6=C%11C%17=C%15C%13=C%15C%14=C%12C%12=C%10C%10=C85)=C9C7=C6C2=C%11C%13=C2C%15=C%12C%10=C4C23C1(CCCC(=O)OC)C1=CC=CC=C1 MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003849 aromatic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 2
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 2
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229940015849 thiophene Drugs 0.000 description 2
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 2
- FMZQNTNMBORAJM-UHFFFAOYSA-N tri(propan-2-yl)-[2-[13-[2-tri(propan-2-yl)silylethynyl]pentacen-6-yl]ethynyl]silane Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(C#C[Si](C(C)C)(C(C)C)C(C)C)=C(C=C4C(C=CC=C4)=C4)C4=C(C#C[Si](C(C)C)(C(C)C)C(C)C)C3=CC2=C1 FMZQNTNMBORAJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 2
- HXEYQGSFZZKULR-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4-tetramethylpentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=C(C)C(C)=C(C)C(C)=C5C=C4C=C3C=C21 HXEYQGSFZZKULR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 1-benzothiophene Chemical compound C1=CC=C2SC=CC2=C1 FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ORMYJVVIKXRZQP-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(3-dodecylthiophen-2-yl)thieno[3,2-b]thiophene Chemical compound C1=CSC(C=2SC=3C=C(SC=3C=2)C2=C(C=CS2)CCCCCCCCCCCC)=C1CCCCCCCCCCCC ORMYJVVIKXRZQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBJIDUSVEICMRY-UHFFFAOYSA-N 2,7-diphenyl-[1]benzothiolo[3,2-b][1]benzothiole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=C2C(SC3=CC(=CC=C33)C=4C=CC=CC=4)=C3SC2=C1 SBJIDUSVEICMRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical class C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- RBSLJAJQOVYTRQ-UHFFFAOYSA-N croconic acid Chemical compound OC1=C(O)C(=O)C(=O)C1=O RBSLJAJQOVYTRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- CZWHMRTTWFJMBC-UHFFFAOYSA-N dinaphtho[2,3-b:2',3'-f]thieno[3,2-b]thiophene Chemical compound C1=CC=C2C=C(SC=3C4=CC5=CC=CC=C5C=C4SC=33)C3=CC2=C1 CZWHMRTTWFJMBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical class [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000002559 palpation Methods 0.000 description 1
- 150000002964 pentacenes Chemical class 0.000 description 1
- AZVQGIPHTOBHAF-UHFFFAOYSA-N perfluoropentacene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(F)C2=C(F)C3=C(F)C4=C(F)C5=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C5C(F)=C4C(F)=C3C(F)=C21 AZVQGIPHTOBHAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NYBWUHOMYZZKOR-UHFFFAOYSA-N tes-adt Chemical compound C1=C2C(C#C[Si](CC)(CC)CC)=C(C=C3C(SC=C3)=C3)C3=C(C#C[Si](CC)(CC)CC)C2=CC2=C1SC=C2 NYBWUHOMYZZKOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNDGEYCCZGRMTN-UHFFFAOYSA-N thieno[3,2-f:4,5-f]bis[1]benzothiophene Chemical compound S1C2=CC=3SC=CC=3C=C2C2=C1C=C(SC=C1)C1=C2 HNDGEYCCZGRMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/15—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating characterised by the solvent used
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/40—Distributing applied liquids or other fluent materials by members moving relatively to surface
- B05D1/42—Distributing applied liquids or other fluent materials by members moving relatively to surface by non-rotary members
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78645—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with multiple gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/484—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the channel regions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/731—Liquid crystalline materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D2252/00—Sheets
- B05D2252/02—Sheets of indefinite length
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
特許文献1の有機半導体膜の製造方法では、接触面と基板の表面の間にくさび状の間隙が設けられ、液滴保持状態を形成するときには、原料溶液の液滴が、基板の表面と接触面の間に保持される。この状態で、原料溶液を接触面に接触するように供給する。接触面により液滴が保持された状態で乾燥プロセスを行って、液滴中の溶媒を蒸発させる。溶媒の蒸発とともに有機半導体材料の結晶化が進展し、接触面の閉鎖側に向かって結晶の成長が進み、有機半導体膜が漸次形成される。
エッジキャスト法では、ゲート絶縁膜上に、ノズルおよびブレードが配置されている。ブレードのゲート絶縁膜表面に対向するエッジ部分にノズルから塗布液を供給する。ノズルおよび基板は、溶媒が蒸発する温度に保持する。エッジ部分に保持される塗布液の量が一定になるように、塗布液を供給し続けながら基板を一方向へ移動する。ノズルから供給された塗布液は、溶媒が蒸発するにつれ、有機半導体材料が結晶化する。
また、塗布ブレードの対向面および少なくとも2つの側面のうち、少なくとも1つの面で、原料溶液が乾燥される特定の方向が定められることが好ましい。
また、塗布ブレードの対向面および少なくとも2つの側面のうち、1つの面だけで、原料溶液が乾燥される特定の方向が定められることが好ましい。また、塗布ブレードの対向面だけで、原料溶液が乾燥される特定の方向が定められることが好ましい。
塗布ブレードは、2つの側面を有し、2つの側面は、それぞれ基板の表面に対して垂直であり、かつ互いに対向して設けられていることが好ましい。
塗布ブレードで基板上に保持された原料溶液は、膜成長界面が原料溶液の中心に向かって湾曲していることが好ましい。
塗布ブレードは基板の表面に対する位置が固定されていることが好ましい。
また、塗布ブレードは原料溶液の周囲の少なくとも一部を開放する開放部を有し、原料溶液の中心から開放部に向かう方向に基板を移動させてもよい。
その場合、原料溶液を基板の表面と塗布ブレードの間に供給しつつ、基板を移動させて膜を連続して形成することが好ましい。
原料溶液の溶媒の沸点をTb℃とし、基板温度をTs℃とするとき、基板温度TsはTb−50℃≦Ts≦Tbの温度に保持されることが好ましい。
膜は、配向性を有する材料からなる。例えば、配向性を有する材料は、結晶を形成する材料または有機半導体である。
なお、以下において数値範囲を示す「〜」とは両側に記載された数値を含む。例えば、εが数値α〜数値βとは、εの範囲は数値αと数値βを含む範囲であり、数学記号で示せばα≦ε≦βである。
「具体的な数値で表された角度」、「平行」、「垂直」および「直交」等の角度は、特に記載がなければ、該当する技術分野で一般的に許容される誤差範囲を含む。
塗布ブレード10は、例えば、矩形状の平板で構成される平面部12と、平面部12に設けられた、少なくとも2つの側面14とを有する。
平面部12は、基板30の表面30aに対して対向する対向面12aを有する。例えば、2つの側面14が対向面12aの周囲に設けられている。図1〜図4において、平面部12の長手方向を第1の方向D1とし、第1の方向D1と直交する方向を第2の方向D2(図1参照)とする。
なお、塗布ブレード10の対向面12aは、基板30の表面30aに対して傾斜していなくてもよく、対向面12aは基板30の表面30aに対して平行でもよい。
傾斜角度θは、例えば、1°〜6°であることが好ましい。より好ましくは、傾斜角度θは3°〜5°である。傾斜角度θが1°〜6°であれば、適量の原料溶液36を保持でき、有機半導体膜であれば移動度が高い等、膜質が優れた膜38を得ることができる。
塗布ブレード10の長さは、特に限定されるものではないが、形成する膜の長さに応じて適宜決定される。塗布ブレード10の長さとは、図1では平面部12の長手方向の長さである。
塗布ブレード10の幅は、特に限定されるものではないが、形成する膜の幅に応じて適宜決定される。塗布ブレード10の幅とは、上述の長手方向と直交する方向の長さ、すなわち、第2の方向D2の長さである。
塗布ブレード10では、平面部12と側面14で囲まれた領域に原料溶液36が保持され、原料溶液36の液溜り34が形成される。液溜り34は、塗布ブレード10の対向面12aおよび側面14と原料溶液36が接している領域である。
第1のギャップG1は、第1の方向D1における液溜り34の一方の端部との隙間である。第2のギャップG2は、第1の方向D1における液溜り34の他方の端部の基板30の表面30aとの隙間である。塗布ブレード10は、2つの側面14が設けられているが、原料溶液36の周囲の少なくとも一部は開放されており、開放部33を有する。具体的には、塗布ブレード10では対向面12aと基板30の表面30aとは第1のギャップG1側が開放されており、開放部33になっている。
第1のギャップG1の大きさd1は、塗布ブレード10を固定して成膜する場合、原料溶液36の乾燥とともに小さくなり、最終的には第2のギャップG2の大きさd2と同じになる。このため、第1のギャップG1の大きさd1は、原料溶液36の供給時の目安となる値である。
供給時の第1のギャップG1の大きさd1は、例えば、0.5mm以上5mm以下である形成する膜の長さによるため、この限りではない。
第2のギャップG2の大きさd2は、塗布ブレード10の側面から基板30を含むデジタル画像を取得し、このデジタル画像をコンピュータに取り込み、そのデジタル画像を基に、基板30の表面30aと塗布ブレード10の対向面12aの角部12d迄の長さをコンピュータ上で測定する。
第2のギャップG2の大きさd2が40μm以下であれば、原料溶液36の振動の発生を抑制し、膜38の膜質を向上させることができる。また、後述のように、基板30または塗布ブレード10を移動させて膜38を形成する場合、液溜り34での原料溶液36の振動の発生を抑制することができ、移動速度を速くすることができる。このため、例えば、薄膜トランジスタを作製した場合、良好な特性のものを高い生産性で得ることができる。
一方、第2のギャップG2の大きさd2が40μmを超えると、液溜り34での原料溶液36の振動が発生し、膜38の膜質が劣化する。このため、例えば、薄膜トランジスタを作製した場合、良好な特性が得られない。
後述の表面エネルギー(溶媒、塗布ブレード10の材質、表面処理)によって、第1のギャップG1の大きさd1、および第2のギャップG2の大きさd2の上限値は変わるため、上述の上限値に限定されるものではない。
後述の表面エネルギー(溶媒、塗布ブレード10の材質、表面処理)によって、隙間G3の大きさd3の上限値は変わるため、上述の上限値に限定されるものではない。
隙間G3の大きさd3は、塗布ブレード10の側面から基板30を含むデジタル画像を取得し、このデジタル画像をコンピュータに取り込み、そのデジタル画像を基に、基板30の表面30aと側面14の底面迄の長さをコンピュータ上で測定する。
具体的には、図5に示すように、開放部33における原料溶液36の液面36aが、原料溶液36の中心に向かって湾曲していることが好ましい。原料溶液36の液面36aの湾曲は、原料溶液36が2つの側面14に引き寄せられて生じる。この場合、原料溶液36の液面36aは平面視で接触辺13側に凹な凹形状となる。原料溶液36の液面36aが湾曲していると、原料溶液36の振動が抑制され、膜厚が薄い膜を得ることができる。
なお、原料溶液36の液面36aは、原料溶液36の中心に対して張り出してもよく、この場合、液面36aは平面視で開放部33側に凸な凸形状となる。原料溶液36の中心とは、原料溶液36の重心のことである。基板30の移動を伴う場合、原料溶液36には第1の方向D1と逆方向に摩擦力が働くため、液面36aは平面視で凸形状になりやすい。
上述の隙間G3の大きさd3と上述の第2のギャップG2の大きさd2とは同じであることに限定されるものではなく、違っていてもよい。
基板30には、例えば、ガラス基板、またはプラスチック基板等が用いられる。
プラスチック基板は、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)およびポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル類、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、エチレンビニルアセテート(EVA)、シクロオレフィンポリマー(COP)およびシクロオレフィンコポリマー(COC)等のポリオレフィン類、またはビニル系樹脂等で構成され、その他、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、またはトリアセチルセルロース(TAC)等で構成される。プラスチック基板は、曲げても折れ曲がらないものであり、例えば、ロールツーロール方式で形成する場合に用いられる。
図7および図8は、本発明の実施形態の膜の製造方法の第1の例の形成工程を工程順に示す模式図である。
基板30の表面30aに、側面14を向けて塗布ブレード10を配置する。このとき、傾斜角度θ、第1のギャップG1、第2のギャップG2および隙間G3を上述のようにして設置する。この状態で、供給管16を介して原料溶液36を、基板30の表面30aと、対向面12aと側面14とで囲まれた領域に供給する。
このとき、基板30は、原料溶液36の種類等に応じて、適正な温度に保持されていることが好ましい。基板30の基板温度は、例えば、ホットプレートを用いて調整することができる。また、原料溶液36を供給前から基板温度と同じ温度に加熱しておくことが好ましい。供給管16も適宜加熱しておくことが好ましい。
上述の特定の方向は、原料溶液36の溶媒の乾燥が進行する方向のことであり、膜38が形成される方向である。また、特定の方向は、上述のように膜成長界面Bg、すなわち原料溶液36の液面36aが移動する方向でもあり、特定の方向のことを塗布方向ともいう。
側面14は、上述のように原料溶液36に表面張力を付与しているが図1に示す塗布ブレード10では、特定の方向の決定には側面14は影響しない。この場合、上述の特定の方向は、塗布ブレード10の平面部12の対向面12aだけで定められる。
なお、塗布ブレード10の形状および大きさ、原料溶液36の表面エネルギーならびに側面14の表面エネルギー等により特定の方向の決定に側面14が影響する場合もある。
原料溶液36の溶媒の蒸発、有機半導体の析出および溶解等により、原料溶液36の振動が生じる。上述の側面14の表面張力により原料溶液36の振動が抑制されるため、連続結晶を安定して作製することができる。表面張力を付与するため、側面14は原料溶液36、特に溶媒に対して濡れ性が高いことが好ましい。
しかしながら、原料溶液36の蒸発箇所と、原料溶液36の液溜り34との間に側面14があるため、実質的に側面14の内部の原料溶液36に振動は伝わりにくい。このことからも原料溶液36の振動が抑制される。
また、2つの側面14を設ける構成としたが、これに限定されるものではなく、側面14は少なくとも1つあればよい。側面14が少なくとも1つあれば、薄膜かつ膜厚等の均一性が高い良質な膜38を得ることができる。
また、エッジキャスト法と呼ばれる成膜方法でも、壁の外周に有機半導体は析出するが、本発明に示す有機半導体膜等の膜との別物である。
エッジキャスト法では、エッジであるガラスに向かって結晶成長を行う塗布方法であるが、本発明に示す有機半導体膜の結晶成長方法は、基本的に側面に向かって結晶成長を行う塗布方法ではない。図1に示す側面14の構成では、結晶成長は側面14に対して垂直であり、側面14に向かって結晶成長を行っていない。
図9は本発明の実施形態の膜の製造方法を利用して製造される薄膜トランジスタの一例を示す模式的断面図である。
図9に示す薄膜トランジスタ40はボトムゲート、トップコンタクト型のトランジスタである。薄膜トランジスタ40は、基板42の表面42aにゲート電極43が形成されている。このゲート電極43を覆う絶縁膜44が基板42の表面42aに形成されている。絶縁膜44の表面44aに有機半導体層46が形成されている。この有機半導体層46が、上述の膜の製造方法で製造される。有機半導体層46の表面46aにソース電極48aとドレイン電極48bが形成されている。
なお、薄膜トランジスタ40では、絶縁膜44の表面44aに有機半導体層46が形成されているが、この場合、上述のように、絶縁膜44の表面44aが基板30の表面30aに相当する。
上述の配向した連続した結晶膜については、有機半導体には電気を流しやすい方向があること、結晶の不連続は抵抗になることのためである。
結晶膜の膜厚を薄く保つことについては、ボトムゲートトップコンタクトの場合の要請である。薄膜トランジスタの電流経路は絶縁膜と有機半導体層の界面近傍となるため、有機半導体層の厚みは抵抗成分になる。一般的には、有機半導体層の厚みは数十nm(数層)であることが望ましい。しかしながら、厚みが薄いほど、塗布形成することが難しくなる。
上述の膜の製造方法を用いることにより、配向した連続した結晶膜であり、かつ膜厚が薄い有機半導体層46を得ることができる。これにより、移動度が高い等の高性能の薄膜トランジスタを得ることができる。
上述の薄膜トランジスタ40の製造以外に、膜の製造方法は、例えば、有機太陽電池等の光電気変換膜および光電気変調膜、有機EL等の電気光変換膜および電気光変調膜、有機強誘電体メモリ等のメモリ、有機導電膜、無機導電膜、偏光膜、光学位相差膜ならびに光導路、光増幅膜、VOC(volatile Organic Compound)センサ等のガスセンサ、ブロックコポリマー等の自己組織化膜、分子配向膜、およびナノ粒子配向膜等の各種の膜の製造に利用可能である。
塗布ブレード10では、平面部12における供給管16の供給口16aは、図10に示すように平面部12の対向面12aと面一であるが、これに限定されるものではなく、図11に示すように供給管16の供給口16aは平面部12の対向面12aから突出していてもよく、図12に示すように供給管16の供給口16aは平面部12の対向面12aよりも引っ込んでいて、平面部12の内部にあってもよい。供給口16aは原料溶液36を供給するためのものである。
図13は本発明の実施形態の膜の製造方法で形成する膜の配置例を示す模式図である。図14〜図17は本発明の実施形態の膜の製造方法の第2の例を工程順に示す模式図である。なお、図13〜図17において、図1〜図6に示す塗布ブレード10および基板30と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。図14〜図16では、傾斜角度θ、第1のギャップG1、第2のギャップG2および隙間G3の図示を省略しているが、傾斜角度θ、第1のギャップG1、第2のギャップG2および隙間G3は図1に示す塗布ブレード10と同じである。
複数の領域39に形成される膜38は、例えば、薄膜トランジスタ40の有機半導体層46に対応するものである。薄膜トランジスタ40を作製する場合には、複数の領域39は規則的に配置されるが、複数の領域39の配置は、作製する対象に応じて適宜決定されるものであり、規則的に配置することに特に限定されるものではない。
塗布ヘッド50では、複数の塗布ブレード11が支持体52に、図13に示す各領域39の配置と同じ配置で設けられている。
塗布ブレード11は、図1に示す塗布ブレード10に比して、平面部12の構成が異なり、それ以外の構成は、図1に示す塗布ブレード10と同じ構成である。塗布ブレード11では平面部12が平板状ではなく、対向面12aを有するブロック状の部材で構成されている。平面部12が支持体52に、各領域39の位置に合わせて取り付けられている。また、各塗布ブレード11に供給管16が設けられている。
なお、膜38の形成時の基板温度等の条件は、例えば、図7および図8に示す膜38の製造方法の第1の例と同じ条件である。
次に、昇降部(図示せず)を用いて、図15に示すように、塗布ヘッド50を近づけて、塗布ブレード11を基板30の表面30aに対して、傾斜角度θ、第1のギャップG1、第2のギャップG2および隙間G3を上述のようにして設置する。この状態で、供給管16から原料溶液36を対向面12aと基板30の表面30aの間に供給する。
基板30は加熱されており、特定の基板温度に保たれている。上述のように原料溶液36は、溶媒が特定の方向に沿って、例えば、第1の方向D1に沿って乾燥する。これにより、図16に示すように膜38が形成される。
次に、原料溶液36の乾燥後、昇降部(図示せず)を用いて、塗布ヘッド50を基板30の表面30aから離間させる。図17に示すように、基板30の表面30aに複数の膜38を形成される。
図18は本発明の実施形態の膜の製造方法に用いられる製造装置の第1の例を示す模式図である。図19は本発明の実施形態の膜の製造方法の第3の例を説明するための模式図であり、図20は本発明の実施形態の膜の製造方法の第3の例を説明するための平面図である。
ステージ64と温度コントローラ66とはドライバ68に接続されており、ドライバ68によりステージ64により基板30の移動、および温度コントローラ66による基板30の温度が制御される。塗布ブレード10は供給管16を介して供給部72に接続されている。
ガイドレール74はモータ78に接続されており、モータ78により、塗布ブレード10が第1の方向D1と、第1の方向D1の反対方向に移動する。
ドライバ68、供給部72およびモータ78は制御部79に接続されており、ドライバ68、供給部72およびモータ78は制御部79で制御される。
ステージ64は基板30を上述の第1の方向D1とその反対方向、および第2の方向D2とその反対方向に移動させることができれば、その構成は特に限定されるものではない。ステージ64は、第1の方向D1および第2の方向D2のそれぞれと直交する第3の方向D3に基板30を移動させることができる構成でもよい。
供給部72、供給管16は適時加熱温調していることが望ましい。望ましくは基板温度と同程度の温度とする。加熱により膜形成用の原料溶液36を確実に溶解させておくことにより安定的に原料溶液36の供給ができる。また、供給時に原料溶液36と基板30との温度差が小さいほど、安定した液溜り34(図2参照)を形成できる。
キャリッジ76の位置はガイドレール74に設けられたリニアスケール(図示せず)の読み取り値から算出することができ、これにより、塗布ブレード10の第1の方向D1における位置を算出することができる。キャリッジ76は、塗布ブレード10の取り付け高さと、傾斜角度θを変えることができるものである。また、塗布ブレード10の対向面12a(図2参照)の移動速度はモータ78により調整される。
製造装置60では、塗布ブレード10を第1の方向D1とその反対方向に移動させることができ、基板30を第1の方向D1とその反対方向に移動させることができる。
塗布ブレード10の対向面12aを基板30の表面30aに対して、上述の第1のギャップG1、第2のギャップG2および隙間G3を設けた状態とし、対向面12aが傾斜角度θ傾斜して配置される。
次に、供給部72(図18参照)から供給管16を介して液溜り34に原料溶液36を供給する。このとき、基板30の基板温度は、上述の温度コントローラ66(図18参照)で予め定められた温度にされている。
なお、方向DBは、原料溶液36の中心から開放部33に向かう方向であり、上述の第1の方向D1の反対の方向と同じ方向である。方向DFは方向DBの逆方向であり、第1の方向D1と同じ方向である。
また、基板30を移動させて成膜する場合、上述のように第2のギャップG2の大きさd2の下限は10μmであり、隙間G3の大きさd3の下限は10μmである。原料溶液36を供給しながら成膜するため、第1のギャップG1の大きさd1が変わらない状態で成膜することができる。なお、第1のギャップG1の大きさd1は変わってもよい。連続的に膜を形成する場合でも、第2のギャップG2の大きさd2と隙間G3の大きさd3は同じであってもよく、違っていてもよい。
結晶成長部Cgについては、液溜り34と膜38を含むデジタル画像を取得し、このデジタル画像をコンピュータに取り込み、そのデジタル画像を基に、液溜り34と膜38の境界近傍を目視観察することで、結晶成長部Cgを特定することができる。
なお、基板30を方向DBに移動させて膜38を連続して形成することについて説明したが、これに限定されるものではなく、塗布ブレード10を予め定められた移動速度で、方向DFに移動させることでも上述のように膜38を方向DFに連続して形成することができる。
より好ましくは、膜38形成時の基板温度Tsは、Tb−20℃≦Ts≦Tbである。なお、基板温度Tsは、基板30の表面30aの温度のことである。
また、膜38の形成は、例えば、大気中、大気圧下でなされる。
膜38の製造方法では、塗布ブレード10の対向面12aと基板30の表面30aとの距離をセンサ70(図18参照)で測定し、第1のギャップG1、第2のギャップG2および隙間G3を保ち、基板30が方向DBに移動される。
なお、図21の製造装置60aにおいて、図18に示す製造装置60と同一構成物には、同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図21に示す製造装置60aは、図18の製造装置60に比して、ステージ64が設けられておらず、基板30の搬送形態が巻出しロール80と巻取りロール82に張架されており、基板30の表面30a側に、上述のように塗布ブレード10が配置され、裏面30b側に温度コントローラ66が配置されている点が異なり、それ以外の構成は図18の製造装置60と同様の構成である。
有機半導体の種類は特に制限されず、公知の有機半導体を使用することができる。具体的には、6,13−ビス(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセン(TIPSペンタセン)、テトラメチルペンタセン、パーフルオロペンタセン等のペンタセン類、TES−ADT(5,11−ビス(トリエチルシリルエチニル)アントラジチオフェン)、diF−TES−ADT(2,8−ジフルオロ−5,11−ビス(トリエチルシリルエチニル)アントラジチオフェン)等のアントラジチオフェン類、DPh−BTBT(2,7−ジフェニル[1]ベンゾチエノ[3,2−b][1]ベンゾチオフェン)、Cn−BTBT(ベンゾチエノベンゾチオフェン)等のベンゾチエノベンゾチオフェン類、C10−DNBDT(3,11-didecyl-dinaphtho[2,3-d:2’,3’-d’]-benzo[1,2-b:4,5-b’]dithiophene)、Cn−DNTT(dinaphtho[2,3-b:2',3'-f]thieno[3,2-b]thiophene)等のジナフトチエノチオフェン類、ペリキサンテノキサンテン等のジオキサアンタントレン類、ルブレン類、C60、PCBM([6,6]-Phenyl-C61-Butyric Acid Methyl Ester)等のフラーレン類、銅フタロシアニン、フッ素化銅フタロシアニン等のフタロシアニン類、P3RT(ポリ(3−アルキルチオフェン))、PQT(ポリ[5,5'−ビス(3−ドデシル−2−チエニル1)−2,2'−ビチオフェン])、P3HT(ポリ(3−ヘキシルチオフェン))等のポリチオフェン類、ポリ[2,5−ビス(3−ドデシルチオフェン−2−イル)チエノ[3,2−b]チオフェン](PBTTT)等のポリチエノチオフェン類等が例示される。
また、溶媒の種類も特に制限されず、メタノール、エタノール等のアルコール系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶媒;ベンゼン、チオフェン等の芳香族系溶剤、および、それらのハロゲン(塩素、臭素等)置換体(ハロゲン化芳香族系溶媒);テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル等のエーテル系溶媒;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド系溶媒;ジメチルスルホキシド、スルホラン等のスルホン酸系溶媒等が挙げられる。
まず、ガラス基板を洗浄した後、メタルマスクを用いた真空蒸着によりゲートパターンを作製した。密着層として厚さ10nmのCr(クロム)を蒸着した後、Ag(銀)を用いて厚さ40nmのゲート電極を形成した。
次に、厚さ0.5μmのポリイミド絶縁膜を、スピンコートにてガラス基板上に塗布し、硬化することで形成した。
次に、ガラス基板をステージ上のホットプレートに設置し、基板の表面を温度100℃、120℃または140℃にして、下記に示す原料溶液を塗布し、有機半導体膜を形成し、有機半導体層を得た。
塗布ブレードには、スライドグラスを使用した。傾斜角度が1°〜6°の角度になるように、ガラス基板の表面に対するスライドグラスの高さを調整した。
スライドグラスは18mm,24mm,32mm幅のものを使用した。
濃度0.05〜0.3質量%に調整した原料溶液を塗布ブレードの下に、長さが10〜20mm程度になるように供給した。原料溶液供給後、側面として、直方体形状のガラス材を設置した。ガラス材にはサイズ20mm×5mm×2mmのものを用いた。
塗布ブレードをガラス基板上に静置して、位置を固定した状態で、塗布ブレードと基板の接触辺92a(図23参照)に向かって原料溶液が蒸発により減少し、有機半導体膜が形成された。
原料溶液としては、有機半導体にC4−TBBT(チエノ[3,2−f:4,5−f’]ビス[1]ベンゾチオフェン)を用い、溶媒にアニソールを用いた。原料溶液は、上述の有機半導体の濃度が0.1質量%となるようにアニソールに加熱溶解させたものとした。
次に、有機半導体層上に、メタルマスクを用いた真空蒸着法により、厚さ70nmのAu(金)膜をソースドレイン電極として形成した。有機半導体の塗布幅に対して中央付近に薄膜トランジスタを作製するように電極の位置調整を行った。
塗布ブレードについては、幅18mmのスライドグラスを用い、傾斜角度4°で設置した。基板温度を120℃とした。原料溶液の溶液濃度については0.05〜0.3質量%の範囲で良質な膜が得られるよう、濃度調整を行いながら検討した。溶液長12mmまで原料溶液を導入した。溶液長の値は図26のy軸の値である。
溶液長の数値は第1の方向D1と平行なY方向における長さの値とした。幅はY方向と直交するX方向における長さの値とした。
実施例2については、側面のガラス材にUV(Ultraviolet)処理を施した。
比較例1は、図24および図25に示す構成であり、塗布ブレード100は平面部102だけの構成であり、側面にガラス材を設けていない構成とした。図25の符号102aは接触辺を示す。なお、図25は図24のA1−A2線による断面図である。
塗布ブレードについては、幅18mmのスライドグラスを用い、傾斜角度1°〜6°の範囲で設置した。基板温度を100℃、120℃または140℃とした。原料溶液の溶液濃度については0.05〜0.3質量%の範囲で良質な膜が得られるよう、濃度調整を行いながら検討した。溶液長12mmまで原料溶液を導入した。溶液長の値は図26のy軸の値である。
薄膜トランジスタ素子特性を評価するために、後に詳述するが、実施例1、実施例2および比較例1と同様に、図26に示す9つの各領域S1〜S9について、それぞれ飽和移動度を測定し、その平均値にて、薄膜トランジスタ素子特性を評価した。
なお、下記表1および表2では、薄膜トランジスタ素子特性を「TFT特性」と記す。
<膜厚>
形成した有機半導体膜の膜厚については、図26に示すように領域SをS1〜S9の合計9つの領域に分けて、各領域S1〜S9の膜厚を測定した。有機半導体膜の膜厚の測定には触診式段差計(DEKTAK)を用いた。領域Sは図22に示す実施例に用いられる塗布ブレードおよび図24に示す比較例に用いられる塗布ブレードについて、それぞれ同じ範囲で設定した。図22および図24に示す領域Sの範囲は、y方向について12mmとし、x方向について18mmとした。
薄膜トランジスタ素子特性ついては、半導体パラメータアナライザ(Agilent製 4156C)を用いて、作製した薄膜トランジスタの飽和移動度を測定した。
飽和移動度に関しては、膜厚と同じく、図26に示す領域SをS1〜S9の合計9つの領域に分けて、各領域S1〜S9について飽和移動度を測定した。
測定した飽和移動度μに基づき、以下の評価基準で薄膜トランジスタ素子特性を評価した。
A 飽和移動度μが1.0cm2/Vs以上
B 飽和移動度μが0.1cm2/Vs以上1.0cm2/Vs未満
C 飽和移動度μが0.01cm2/Vs以上0.1cm2/Vs未満
D 飽和移動度μが0.01cm2/Vs未満
実施例1では図27に示すように均一な膜38が得られたのに対して、比較例1は、図28に示すように一部に濁った領域104があり、不均一な膜38が形成された。濁った領域104は、膜厚が不均一であったり、結晶が不連続、または配向が揃っていない領域である。濁った領域104は、側面がないことにより、原料溶液の蒸発と溶解が繰り返し起こり、余計な核生成が起った結果できたものと考えらえる。
なお、塗布ブレードについて、幅24mm、および幅32mmのスライドグラスを用いた場合の結果は示さないが、幅18mmのスライドグラスと同様の結果が得られた。
初めに供給する溶液の長さに関しても、10〜20mmの範囲で同様の傾向が得られた。
12 平面部
12a 対向面
12c 箇所
12d 角部
13 92a、102a 接触辺
14、94 側面
14b 端面
16 供給管
16a 供給口
30 基板
30a 表面
30b 裏面
33 開放部
34 液溜り
36 原料溶液
36a 液面
38 膜
39 領域
40 薄膜トランジスタ
42 基板
42a、44a、46a 表面
43 ゲート電極
44 絶縁膜
46 有機半導体層
48a ソース電極
48b ドレイン電極
50 塗布ヘッド
52 支持体
60、60a 製造装置
62 ケーシング
62a 内部
64 ステージ
66 温度コントローラ
68 ドライバ
70 センサ
72 供給部
74 ガイドレール
76 キャリッジ
78 モータ
79 制御部
80 巻出しロール
82 巻取りロール
90、100 塗布ブレード
92、102 平面部
104 領域
Bg 膜成長界面
Cg 結晶成長部
D1 第1の方向
D2 第2の方向
D3 第3の方向
DB 方向
DF 方向
G1 第1のギャップ
G2 第2のギャップ
G3 隙間
S、S1、S2、S3、S4、S5、S6、S7、S8、S9 領域
θ 傾斜角度
Claims (15)
- 膜を形成する材料および溶媒を含む原料溶液を基板上に供給し、前記溶媒を乾燥させることにより前記膜を前記基板上に形成する膜の製造方法であって、
前記原料溶液を前記基板上に保持する塗布ブレードが用いられ、
前記塗布ブレードは、前記基板の表面に対向する対向面と、前記対向面の周囲に設けられた、前記原料溶液と接する、少なくとも1つの側面を有し、
前記原料溶液の前記溶媒を特定の方向に沿って乾燥させて前記膜を形成することを特徴とする膜の製造方法。 - 少なくとも前記塗布ブレードの前記対向面および2つの前記側面の3面が前記原料溶液と接する請求項1に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードの前記対向面および少なくとも2つの前記側面のうち、少なくとも1つの面で、前記原料溶液が乾燥される前記特定の方向が定められる請求項1または2に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードの前記対向面および少なくとも2つの前記側面のうち、1つの面だけで、前記原料溶液が乾燥される前記特定の方向が定められる請求項1〜3のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードの前記対向面だけで、前記原料溶液が乾燥される前記特定の方向が定められる請求項4に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードは、2つの側面を有し、2つの前記側面は、それぞれ前記基板の表面に対して垂直であり、かつ互いに対向して設けられている請求項1〜5のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードの前記対向面は、前記基板の表面に対して傾斜している請求項1〜6のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードの前記対向面の、前記基板の表面に対する傾斜角度は1°〜6°である請求項7に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードで前記基板上に保持された前記原料溶液は、膜成長界面が前記原料溶液の中心に向かって湾曲している請求項1〜8のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードは前記基板の表面に対する位置が固定されている請求項1〜9のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記塗布ブレードは前記原料溶液の周囲の少なくとも一部を開放する開放部を有し、前記原料溶液の中心から前記開放部に向かう方向に前記基板を移動させる請求項1〜9のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記原料溶液を前記基板の表面と前記塗布ブレードの間に供給しつつ、前記基板を移動させて前記膜を連続して形成する請求項11に記載の膜の製造方法。
- 前記原料溶液の前記溶媒の沸点をTb℃とし、基板温度をTs℃とするとき、前記基板温度TsはTb−50℃≦Ts≦Tbの温度に保持される請求項1〜12のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記膜は、配向性を有する材料からなる請求項1〜13のいずれか1項に記載の膜の製造方法。
- 前記配向性を有する材料は、結晶を形成する材料または有機半導体である請求項14に記載の膜の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016187918 | 2016-09-27 | ||
JP2016187918 | 2016-09-27 | ||
PCT/JP2017/032216 WO2018061691A1 (ja) | 2016-09-27 | 2017-09-07 | 膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018061691A1 true JPWO2018061691A1 (ja) | 2019-07-04 |
JP6683820B2 JP6683820B2 (ja) | 2020-04-22 |
Family
ID=61762859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018542321A Active JP6683820B2 (ja) | 2016-09-27 | 2017-09-07 | 膜の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190173013A1 (ja) |
EP (1) | EP3520906A4 (ja) |
JP (1) | JP6683820B2 (ja) |
CN (1) | CN109789440A (ja) |
TW (1) | TW201834292A (ja) |
WO (1) | WO2018061691A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112774944A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-05-11 | 刘雁燕 | 一种水性聚氨酯薄膜制备系统 |
JPWO2022196365A1 (ja) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008073633A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Sony Corp | 塗布装置、実装装置、塗布方法、電子部品の製造方法及び電子部品 |
JP2008078456A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Sony Corp | 塗布装置、実装装置、塗布方法、電子部品の製造方法及び電子部品 |
WO2011040155A1 (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | 国立大学法人大阪大学 | 有機半導体膜の製造方法および有機半導体膜アレイ |
JP2013077799A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-25 | Denso Corp | 有機半導体装置の製造方法 |
JP2014175555A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Toshiba Corp | ペースト供給ユニット |
JP2014210217A (ja) * | 2013-04-17 | 2014-11-13 | 古河電気工業株式会社 | 塗膜材の塗布装置、長尺部材への塗膜形成方法 |
WO2015133312A1 (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-11 | 富士フイルム株式会社 | 有機半導体膜の形成方法および有機半導体膜の形成装置 |
JP2015209729A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 和義 大串 | 塗工装置及び塗工ヘッド |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1989008553A1 (en) * | 1988-03-14 | 1989-09-21 | Sili-Tex, Inc. | Silicone polymer fiber encapsulated webs |
WO1995005901A1 (de) * | 1993-08-26 | 1995-03-02 | Steag Micro-Tech Gmbh Sternenfels | Vorrichtung zur belackung von substraten in der halbleiterfertigung |
JPH10261578A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-09-29 | Nec Kansai Ltd | レジスト塗布装置 |
TWI242663B (en) * | 2002-07-09 | 2005-11-01 | Seiko Epson Corp | Jetting method of liquid, jetting apparatus of liquid, production method of substrate for electro-optical apparatus and production method of electro-optical apparatus |
US8053171B2 (en) * | 2004-01-16 | 2011-11-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Substrate having film pattern and manufacturing method of the same, manufacturing method of semiconductor device, liquid crystal television, and EL television |
CN201436079U (zh) * | 2009-03-04 | 2010-04-07 | 温州神力机械制造有限公司 | Tgg革用光固化涂布机 |
WO2016031968A1 (ja) | 2014-08-29 | 2016-03-03 | 国立大学法人東京大学 | 半導体膜の製造方法、半導体膜及び電界効果トランジスタ |
-
2017
- 2017-09-07 JP JP2018542321A patent/JP6683820B2/ja active Active
- 2017-09-07 CN CN201780055274.2A patent/CN109789440A/zh active Pending
- 2017-09-07 EP EP17855649.4A patent/EP3520906A4/en not_active Withdrawn
- 2017-09-07 WO PCT/JP2017/032216 patent/WO2018061691A1/ja unknown
- 2017-09-15 TW TW106131644A patent/TW201834292A/zh unknown
-
2019
- 2019-02-07 US US16/270,289 patent/US20190173013A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008073633A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Sony Corp | 塗布装置、実装装置、塗布方法、電子部品の製造方法及び電子部品 |
JP2008078456A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Sony Corp | 塗布装置、実装装置、塗布方法、電子部品の製造方法及び電子部品 |
WO2011040155A1 (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | 国立大学法人大阪大学 | 有機半導体膜の製造方法および有機半導体膜アレイ |
JP2013077799A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-25 | Denso Corp | 有機半導体装置の製造方法 |
JP2014175555A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Toshiba Corp | ペースト供給ユニット |
JP2014210217A (ja) * | 2013-04-17 | 2014-11-13 | 古河電気工業株式会社 | 塗膜材の塗布装置、長尺部材への塗膜形成方法 |
WO2015133312A1 (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-11 | 富士フイルム株式会社 | 有機半導体膜の形成方法および有機半導体膜の形成装置 |
JP2015209729A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 和義 大串 | 塗工装置及び塗工ヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3520906A4 (en) | 2019-08-28 |
CN109789440A (zh) | 2019-05-21 |
WO2018061691A1 (ja) | 2018-04-05 |
EP3520906A1 (en) | 2019-08-07 |
JP6683820B2 (ja) | 2020-04-22 |
US20190173013A1 (en) | 2019-06-06 |
TW201834292A (zh) | 2018-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Pei et al. | Overestimation of carrier mobility in organic thin film transistors due to unaccounted fringe currents | |
US7816672B2 (en) | Wiring pattern, electronic device, organic semiconductor device, layered wiring pattern, and layered wiring substrate using the wiring pattern | |
US10549311B2 (en) | Manufacturing device of organic semiconductor film | |
EP2110856A1 (en) | Thin film semiconductor device fabrication method and thin film semiconductor device | |
US10608119B2 (en) | Method of manufacturing film using alignment material | |
US10468597B2 (en) | Method of manufacturing organic semiconductor film | |
JP6683820B2 (ja) | 膜の製造方法 | |
US20120104366A1 (en) | Surface-treated substrate for an inkjet printer | |
US20160336512A1 (en) | Method of forming organic semiconductor film and organic semiconductor film forming device | |
JP5868757B2 (ja) | 薄膜トランジスタとその製造方法及び表示装置 | |
JP6259390B2 (ja) | 有機トランジスタの製造方法、有機トランジスタ | |
Duan et al. | Patterning 2D Organic Crystalline Semiconductors via Thermally Induced Self‐Assembly | |
BR102020020683A2 (pt) | Sistema mecânico para deposição de filmes finos por lâmina | |
Wang et al. | Morphology of inkjet printed 6, 13 bis (tri-isopropylsilylethynyl) pentacene on surface-treated silica | |
Onojima et al. | Preparation of wettability-controlled surface by electrostatic spray deposition to improve performance uniformity of small molecule/polymer blend organic field-effect transistors | |
JP2008147465A (ja) | トランジスタの製造方法、トランジスタ、トランジスタ回路、電子デバイスおよび電子機器 | |
JP2006281137A (ja) | 膜付き基板の製造方法、および電子機器の製造方法 | |
Park et al. | Formation of highly crystalline organic semiconductor thin films by inkjet printed thickness gradients |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190214 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6683820 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |