JPWO2018043641A1 - メタルマスク用素材およびその製造方法 - Google Patents
メタルマスク用素材およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018043641A1 JPWO2018043641A1 JP2018537394A JP2018537394A JPWO2018043641A1 JP WO2018043641 A1 JPWO2018043641 A1 JP WO2018043641A1 JP 2018537394 A JP2018537394 A JP 2018537394A JP 2018537394 A JP2018537394 A JP 2018537394A JP WO2018043641 A1 JPWO2018043641 A1 JP WO2018043641A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- less
- rolling
- metal mask
- sample
- surface roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/08—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing nickel
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
- C21D8/02—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips
- C21D8/0221—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips characterised by the working steps
- C21D8/0236—Cold rolling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
- C21D8/02—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips
- C21D8/04—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips to produce plates or strips for deep-drawing
- C21D8/0421—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips to produce plates or strips for deep-drawing characterised by the working steps
- C21D8/0436—Cold rolling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/46—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for sheet metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/02—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/04—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing manganese
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
- Metal Rolling (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
Description
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、0.05μm≦Ra≦0.25μm、Rz≦1.5μm以下、スキューネスRskが0未満であり、
前記メタルマスク用素材から長さ150mm、幅30mmの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の60%を除去したときの反り量が15mm以下である、板厚が0.01mm以上0.10mm未満であるメタルマスク用素材である。
好ましくは、前記スキューネスRskが−3.0以上である。
好ましくは、前記メタルマスク用素材の圧延方向におけるスキューネスRskと圧延方向と直交する方向におけるスキューネスRskとの差が0.7以下である。
好ましくは、前記メタルマスク用素材の圧延方向における表面粗さRaと圧延方向と直交する方向における表面粗さRaとの差が0.02μm未満である。
好ましくは、前記メタルマスク用素材から長さ150mm、幅30mmの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の20%、30%、50%のいずれかを除去したときの反り量が15mm以下である。
前記冷間圧延用素材に対する仕上冷間圧延工程の最終パスにおける条件が、圧下率:35%以下、圧延ロールの噛み込み角:1.0°未満であり、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、0.05μm≦Ra≦0.25μm、Rz≦1.5μm以下、スキューネスRskが0未満であるとともに、
前記メタルマスク用素材から長さ150mm、幅30mmの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の60%を除去したときの反り量が15mm以下であり、
仕上冷間圧延後の素材の板厚が0.01mm以上0.10mm未満であることを特徴とするメタルマスク用素材の製造方法である。
好ましくは、前記圧延ロールの噛み込み角が0.4°未満である。
好ましくは、前記仕上冷間圧延工程における最終パスの圧下率が15%以下である
好ましくは、前記仕上冷間圧延工程の最終パスに用いるロールの円周方向(ロールの回転方向)と直交する方向の表面粗さRaが0.05〜0.25μmである。
好ましくは、前記仕上冷間圧延工程の圧延速度が60m/min以上である、請求項6〜8のいずれかに記載のメタルマスク用素材の製造方法。
本発明のメタルマスク用素材を、質量%で、C:0.01%以下、Si:0.5%以下、Mn:1.0%以下、Ni:30〜50%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物である化学組成のFe−Ni合金とした理由は以下のとおりである。
[C:0.01質量%以下]
Cは、エッチング性に影響を及ぼす元素である。Cが過度に多く含まれるとエッチング性を阻害するため、Cの上限を0.01%とした。Cは0%でも良いが、製造工程上少なからず含まれるものであるため、下限は特に限定しない。
[Si:0.5質量%以下、Mn:1.0質量%以下]
Si、Mnは、通常、脱酸の目的で使用され、Fe−Ni合金に微量含有されているが、過剰に含有すれば偏析を起こし易くなるため、Si:0.5%以下、Mn:1.0%以下とした。好ましいSi量とMn量は、Si:0.1%以下、Mn:0.5%以下である。SiとMnの下限は、例えばSiは0.05%、Mnは0.05%と設定することができる。
[Ni:30〜50質量%]
Niは、熱膨張係数を調整する作用を有し、低熱膨張特性に大きな影響を及ぼす元素である。含有量が30%より少なく、または50%を越えるものでは熱膨張係数を低める効果がなくなるため、Niの範囲は30〜50%とする。好ましいNi量は32〜45%である。
上記以外を構成するのはFe及び不可避的不純物である。
(表面粗さ)
本実施形態のメタルマスク用素材の表面粗さは、算術平均粗さRa(JIS−B−0601−2001に準拠)が0.05〜0.25μmであり、かつ最大高さRz(JIS−B−0601−2001に準拠)が1.5μm以下であることを特徴とする。上記範囲内のRaおよびRzを有することで、本発明の素材は高精度なエッチング加工が可能となる。Raが0.25μmを超える場合、素材表面が粗すぎるためエッチングの進行にばらつきが生じ、高精度なエッチング加工が困難となる。Raが0.05μm未満の場合、レジストの密着性が低下する傾向にある。また上記Raの範囲を満たしていても、Rzが1.5μmを超える場合、素材表面の一部に、粗さ曲線における大きな山部分が形成され、その山部からエッチングが進行してエッチングムラの要因となるため、好ましくない。より好ましいRaの上限は0.13μmであり、より好ましいRzの上限は1.0μmである。Rzの下限は特に限定しないが、Rzが低すぎるとシート状レジストの密着性低下の可能性があるため、Rzの下限を0.3μmに設定すると好ましい。また上記の表面粗さの規定は、局所的なエッチングムラを抑制するために、メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向(以降、「幅方向」または「圧延直角方向とも記載する)の表面粗さと、圧延方向(以降、「長手方向」とも記載する)の表面粗さとの両方で満たすことが好ましい。さらには、素材の圧延直角方向と圧延方向とにおけるRaの差を、0.02μm未満に調整することが好ましい。これにより、エッチングの進行ムラを抑制することができる。なお表面粗さの測定には、一般的に使用されている接触式または非接触式の粗さ計を用いることができる。
本実施形態のメタルマスク用素材は、長さ150mm、幅30mmの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の60%を除去したときの反り量が15mm以下であることを特徴とする。上記に示すように、残留応力を低減させることで、応力のバランスがより崩れる板厚中央付近のエッチングを行っても、変形を抑制し、良好にエッチング加工を進行させることができる。そのため多様な深さのハーフエッチングに対応でき、エッチングパターンの自由度を向上させることができる。好ましくは、前記試料の板厚の20%、30%、50%のいずれかを除去したときの反り量が15mm以下である。より好ましくは、前記試料の板厚の20、30、50%のいずれを除去しても反り量が15mm以下である。またこの反り量は13mm以下が好ましく、11mm以下がより好ましく、9mm以下がさらに好ましい。最も好ましくは、応力バランスが崩れやすく、大きな反りが発生しやすい、試料の板厚を50%除去した際における反り量が9mm以下であり、板厚の20%または30%を除去した際における反り量が6mm以下であることが好ましい。本実施形態では、切り出した試料の長さ方向が圧延方向となるように試料を切断し、反りを測定している。なお本実施形態における反り量の測定方法は、試料の片側からエッチングで除去した後、カットサンプルの上端を垂直定盤に接する状態で吊り下げ、反りにより垂直定盤から離れたカットサンプルの下端と、垂直定盤との水平距離を反り量として測定している。
本実施形態の製造方法は、例えば、真空溶解−熱間鍛造−熱間圧延−冷間圧延という工程を適用することができる。必要に応じて、冷間圧延前の段階で1200℃程度で均質化熱処理を行い、冷間圧延工程中には、冷間圧延材の硬さを低減するために800〜950℃の焼鈍を1回以上行うことができる。上記冷間圧延工程では、表面のスケールを除去する研磨工程や、素材端部のオフゲージ部(板厚が厚い部分)の除去および圧延加工で発生する耳波部を除去するために耳切り工程を行ってもよい。熱処理工程時に使用する炉も、縦型炉、横型炉(水平炉)等既存のものを使用しても良いが、通板中の折れの防止や、素材の急峻度をより高めるために、自重によるたわみが発生し難い縦型炉を使用することが好ましい。
本実施例のメタルマスク用素材の化学組成を表1に示す。本実施例のFe−Ni合金は、真空溶解−熱間鍛造−均質化熱処理−熱間圧延で厚さ2〜3mmに仕上げる工程の後、冷間圧延を実施した。熱間圧延後のFe−Ni合金には2回の焼鈍を含む冷間圧延を行い、Fe−Ni合金冷間圧延材を作製した。仕上冷間圧延の最終パス前のFe−Ni合金冷間圧延材のそれぞれの厚さは、0.0208mm(試料No.1)と0.054mm(試料No.2)であり、試料No.1は仕上冷間圧延後に0.020mm(圧下率4%)、試料No.2は仕上冷間圧延後に0.050mm(圧下率7%)となるように圧延条件を調整した。この時の試料No.1のロールの噛み込み角は0.26°であり、仕上圧延時のパス数は7回であった。また試料No.2のロールの噛み込み角は0.51°であり、仕上圧延時のパス数4回であった。また、試料No.1と試料No.2において、仕上冷間圧延時の圧延速度は平均80m/minであった。また、仕上冷間圧延に用いたロールの円周方向(ロールの回転方向)と直交する方向の粗さRaが0.05〜0.2μmの範囲内であるロールを用いた。仕上冷間圧延後には、500℃の温度で1分間歪取り焼鈍を行った。
次に、試料No.1の長さ150mm、幅30mmのカットサンプルを複数準備し、エッチングの除去量を表3に示すように変更した本発明例の試料No.3〜5を作成し、反り量の測定を行った。反り量の測定方法や使用したエッチング液は、実施例1で使用したものと同様である。結果を表3に示す。
Claims (10)
- 質量%で、C:0.01%以下、Si:0.5%以下、Mn:1.0%以下、Ni:30〜50%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物からなるメタルマスク用素材であって、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、0.05μm≦Ra≦0.25μm、Rz≦1.5μm以下、スキューネスRskが0未満であり、
前記メタルマスク用素材から長さ150mm、幅30mmの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の60%を除去したときの反り量が15mm以下であり、板厚が0.01mm以上0.10mm未満であるメタルマスク用素材。 - 前記スキューネスRskが−3.0以上である、請求項1に記載のメタルマスク用素材。
- 前記メタルマスク用素材の圧延方向におけるスキューネスRskと圧延方向と直交する方向におけるスキューネスRskとの差が0.7以下である、請求項1または2に記載のメタルマスク用素材。
- 前記メタルマスク用素材の圧延方向における表面粗さRaと圧延方向と直交する方向における表面粗さRaとの差が0.02μm未満である、請求項1〜3のいずれかに記載のメタルマスク用素材。
- 前記メタルマスク用素材から長さ150mm、幅30mmの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の20%、30%、50%のいずれかを除去したときの反り量が15mm以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のメタルマスク用素材。
- 質量%で、C:0.01%以下、Si:0.5%以下、Mn:1.0%以下、Ni:30〜50%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物からなる冷間圧延用素材を冷間圧延してメタルマスク用素材を得るメタルマスク用素材の製造方法であって、
前記冷間圧延用素材に対する仕上冷間圧延工程における最終パスの条件が、圧下率:35%以下、圧延ロールの噛み込み角:1.0°未満であり、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、0.05μm≦Ra≦0.25μm、Rz≦1.5μm以下、スキューネスRskが0未満であるとともに、
前記メタルマスク用素材から長さ150mm、幅30mmの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の60%を除去したときの反り量が15mm以下であり、
仕上冷間圧延後の素材の板厚が0.01mm以上0.10mm未満であることを特徴とするメタルマスク用素材の製造方法。 - 前記圧延ロールの噛み込み角が0.4°未満である、請求項6に記載のメタルマスク用素材の製造方法。
- 前記仕上冷間圧延工程における最終パスの圧下率が15%以下である、請求項6または7に記載のメタルマスク用素材の製造方法。
- 前記仕上冷間圧延工程の最終パスに用いるロールの円周方向と直交する方向の表面粗さRaが0.05〜0.25μmである、請求項6〜8のいずれかに記載のメタルマスク用素材の製造方法。
- 前記仕上冷間圧延工程の圧延速度が60m/min以上である、請求項6〜9のいずれかに記載のメタルマスク用素材の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016169880 | 2016-08-31 | ||
JP2016169880 | 2016-08-31 | ||
PCT/JP2017/031348 WO2018043641A1 (ja) | 2016-08-31 | 2017-08-31 | メタルマスク用素材およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018043641A1 true JPWO2018043641A1 (ja) | 2019-06-24 |
JP6807038B2 JP6807038B2 (ja) | 2021-01-06 |
Family
ID=61305126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018537394A Active JP6807038B2 (ja) | 2016-08-31 | 2017-08-31 | メタルマスク用素材およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3508604B1 (ja) |
JP (1) | JP6807038B2 (ja) |
KR (1) | KR102200854B1 (ja) |
CN (1) | CN109642289B (ja) |
WO (1) | WO2018043641A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2019098168A1 (ja) | 2017-11-14 | 2019-11-14 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
KR20210049888A (ko) | 2018-09-27 | 2021-05-06 | 닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤 | 메탈 마스크 재료 및 그의 제조 방법과 메탈 마스크 |
CN116987977B (zh) * | 2023-09-25 | 2024-01-02 | 安泰科技股份有限公司 | 一种fmm掩模用铁镍基精密合金材料、合金带材及冶炼工艺 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0474850A (ja) * | 1990-07-17 | 1992-03-10 | Nkk Corp | シャドウマスク用Fe―Ni合金薄板およびその製造方法 |
JP2001098347A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-04-10 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd | Fe−Ni系シャドウマスク用材料 |
JP2002241901A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Nkk Corp | シャドウマスク用素材及びその製造方法 |
JP2003183774A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-07-03 | Nippon Mining & Metals Co Ltd | エッチング後の形状が良好なシャドウマスク用条材 |
JP2006097073A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Hitachi Metals Ltd | Fe−Ni系合金薄板材の製造方法 |
JP2016135505A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | 日立金属株式会社 | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2842022B2 (ja) * | 1992-02-13 | 1998-12-24 | 日本鋼管株式会社 | Fe−Ni系シャドウマスク用薄板およびその製造方法 |
JPH1060525A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-03 | Nkk Corp | 板形状および耐熱収縮性に優れた低熱膨張合金薄板の製 造方法 |
DE60040004D1 (de) * | 1999-06-10 | 2008-10-02 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd | Material auf fe-ni-basis für lochmaske |
JP2001038403A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Nisshin Steel Co Ltd | シャドウマスク用薄板の製造方法 |
JP2001179305A (ja) * | 2000-12-18 | 2001-07-03 | Toshiba Corp | シャドウマスク用原板の製造方法 |
JP2005144466A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Jfe Steel Kk | エッチング性に優れたシャドウマスク用Fe−Ni系合金薄板の製造方法 |
JP5294072B2 (ja) | 2009-03-18 | 2013-09-18 | 日立金属株式会社 | エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 |
JP5721691B2 (ja) | 2012-11-20 | 2015-05-20 | Jx日鉱日石金属株式会社 | メタルマスク材料及びメタルマスク |
CN105803333A (zh) * | 2015-01-20 | 2016-07-27 | 日立金属株式会社 | Fe-Ni系合金薄板的制造方法 |
-
2017
- 2017-08-31 KR KR1020197005475A patent/KR102200854B1/ko active IP Right Review Request
- 2017-08-31 WO PCT/JP2017/031348 patent/WO2018043641A1/ja unknown
- 2017-08-31 EP EP17846645.4A patent/EP3508604B1/en active Active
- 2017-08-31 CN CN201780052358.0A patent/CN109642289B/zh active Active
- 2017-08-31 JP JP2018537394A patent/JP6807038B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0474850A (ja) * | 1990-07-17 | 1992-03-10 | Nkk Corp | シャドウマスク用Fe―Ni合金薄板およびその製造方法 |
JP2001098347A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-04-10 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd | Fe−Ni系シャドウマスク用材料 |
JP2002241901A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Nkk Corp | シャドウマスク用素材及びその製造方法 |
JP2003183774A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-07-03 | Nippon Mining & Metals Co Ltd | エッチング後の形状が良好なシャドウマスク用条材 |
JP2006097073A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Hitachi Metals Ltd | Fe−Ni系合金薄板材の製造方法 |
JP2016135505A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | 日立金属株式会社 | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102200854B9 (ko) | 2022-07-20 |
KR102200854B1 (ko) | 2021-01-11 |
EP3508604B1 (en) | 2020-12-09 |
EP3508604A4 (en) | 2020-01-01 |
CN109642289A (zh) | 2019-04-16 |
WO2018043641A1 (ja) | 2018-03-08 |
KR20190034263A (ko) | 2019-04-01 |
JP6807038B2 (ja) | 2021-01-06 |
CN109642289B (zh) | 2021-06-01 |
EP3508604A1 (en) | 2019-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6646882B2 (ja) | メタルマスク用素材およびその製造方法 | |
KR101164739B1 (ko) | 에칭가공용 소재의 제조방법 및 에칭가공용 소재 | |
US20170274432A1 (en) | Non-oriented electrical steel sheet and manufacturing method thereof | |
JP6598007B2 (ja) | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 | |
US20190071758A1 (en) | Martensitic stainless steel foil and manufacturing method thereof | |
JP2018178197A (ja) | 無方向性電磁鋼板及びその製造方法 | |
JP6807038B2 (ja) | メタルマスク用素材およびその製造方法 | |
JP2021014639A (ja) | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 | |
JP7156279B2 (ja) | メタルマスク用薄板の製造方法及びメタルマスク用薄板 | |
JP6424875B2 (ja) | 方向性電磁鋼板およびその製造方法 | |
JP2014073518A (ja) | 方向性電磁鋼板の製造方法 | |
JP7348524B2 (ja) | 方向性電磁鋼板の表面に形成された溝を消失させる、鋼板の処理方法 | |
MX2022015468A (es) | Lamina de acero y metodo para producir la misma. | |
JP3562492B2 (ja) | フォトエッチング加工用ステンレス鋼板およびその製造方法 | |
JP5928396B2 (ja) | 冷間圧延用高炭素熱延鋼板の製造方法 | |
WO2024070489A1 (ja) | 無方向性電磁鋼板および無方向性電磁鋼板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200528 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6807038 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |