JP2001179305A - シャドウマスク用原板の製造方法 - Google Patents
シャドウマスク用原板の製造方法Info
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- JP2001179305A JP2001179305A JP2000383567A JP2000383567A JP2001179305A JP 2001179305 A JP2001179305 A JP 2001179305A JP 2000383567 A JP2000383567 A JP 2000383567A JP 2000383567 A JP2000383567 A JP 2000383567A JP 2001179305 A JP2001179305 A JP 2001179305A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッチング加工により開孔マトリックスを形
成した際に、孔径や孔形状にばらつきが発生することを
防止でき、かつエッチング後の焼鈍工程においても焼き
付きを生じない高品位のシャドウマスク用原板の製造方
法。 【解決手段】 所望組成となるように成分金属を所定量
配合した後溶解し、鋳造して得られた合金塊を所定厚さ
の原板とするシャドウマスク用原板の製造方法におい
て、最終圧延工程としてダル加工により原板表面にダル
ロール表面の凹凸を転写する加工を施す。
成した際に、孔径や孔形状にばらつきが発生することを
防止でき、かつエッチング後の焼鈍工程においても焼き
付きを生じない高品位のシャドウマスク用原板の製造方
法。 【解決手段】 所望組成となるように成分金属を所定量
配合した後溶解し、鋳造して得られた合金塊を所定厚さ
の原板とするシャドウマスク用原板の製造方法におい
て、最終圧延工程としてダル加工により原板表面にダル
ロール表面の凹凸を転写する加工を施す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はシャドウマスク用原
板の製造方法に関する。
板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、カラー受像管の蛍光面の直前に
は、所定の設計基準に基づいてマトリックス状に穿設さ
れた、多数の開孔を有するシャドウマスクが配設されて
いる。そして、カラー受像管に対する高精細度化の要求
に伴い、このようなシャドウマスクにおいても高精密化
が要求され、その要求は年々厳しさを増している。
は、所定の設計基準に基づいてマトリックス状に穿設さ
れた、多数の開孔を有するシャドウマスクが配設されて
いる。そして、カラー受像管に対する高精細度化の要求
に伴い、このようなシャドウマスクにおいても高精密化
が要求され、その要求は年々厳しさを増している。
【０００３】通常、後方の電子銃から射出された電子ビ
ームは、シャドウマスクの開孔を透過して蛍光面におけ
る所定位置の蛍光ドットを照射し、そこにカラー画像を
現出させるが、このとき射出された電子ビームの全てが
開孔を通過するわけではなく、開孔を通過する電子ビー
ムは全体の約１／３以下であり、残りの電子ビームはシ
ャドウマスクを直撃してこれを加熱する。その結果、シ
ャドウマスクは熱膨張して開孔の位置が設計基準からず
れて変位するため、蛍光面における色ずれ現象を招くこ
とがある。そのため最近では、低熱膨張特性を備えたＮ
ｉ−Ｆｅ系合金、例えば３６ｍａｓｓ％Ｎｉ−Ｆｅ合金
（アンバー合金）でシャドウマスク自体を構成し、色ず
れ現象を防止することが試みられている。
ームは、シャドウマスクの開孔を透過して蛍光面におけ
る所定位置の蛍光ドットを照射し、そこにカラー画像を
現出させるが、このとき射出された電子ビームの全てが
開孔を通過するわけではなく、開孔を通過する電子ビー
ムは全体の約１／３以下であり、残りの電子ビームはシ
ャドウマスクを直撃してこれを加熱する。その結果、シ
ャドウマスクは熱膨張して開孔の位置が設計基準からず
れて変位するため、蛍光面における色ずれ現象を招くこ
とがある。そのため最近では、低熱膨張特性を備えたＮ
ｉ−Ｆｅ系合金、例えば３６ｍａｓｓ％Ｎｉ−Ｆｅ合金
（アンバー合金）でシャドウマスク自体を構成し、色ず
れ現象を防止することが試みられている。
【０００４】ところで、このようなＮｉ−Ｆｅ系合金か
らシャドウマスクを製造する場合、まずは所定の合金組
成に調整され溶解鋳造された素材塊に、常法により鍛
造、圧延、焼鈍等の各処理を施して所定の厚さにし、か
つ必要な幅寸法にスリットして原板とする。次いで、こ
の原板の開孔位置をエッチングして、所定形状の電子ビ
ーム透過孔をマトリックス状に穿設する。エッチング方
法としては、まず原板にフォトレジストを塗布、乾燥
し、レジスト膜を形成した後、シャドウマスクのパター
ンを焼き付けたワーキングネガ（ネガ）を、レジスト膜
を設けた板上に配置し、真空引きにより密着させる。次
いで、水銀ランプ等により光（ＵＶ光）を照射してレジ
ストを感光させた後、現像、乾燥、焼き付けを順に行っ
てから、エッチング液で腐食して穿孔する方法が採られ
ている。さらに、こうしてエッチングが終了したシャド
ウマスクにおいては、プレス成形性を向上させるため
に、焼鈍が行われている。
らシャドウマスクを製造する場合、まずは所定の合金組
成に調整され溶解鋳造された素材塊に、常法により鍛
造、圧延、焼鈍等の各処理を施して所定の厚さにし、か
つ必要な幅寸法にスリットして原板とする。次いで、こ
の原板の開孔位置をエッチングして、所定形状の電子ビ
ーム透過孔をマトリックス状に穿設する。エッチング方
法としては、まず原板にフォトレジストを塗布、乾燥
し、レジスト膜を形成した後、シャドウマスクのパター
ンを焼き付けたワーキングネガ（ネガ）を、レジスト膜
を設けた板上に配置し、真空引きにより密着させる。次
いで、水銀ランプ等により光（ＵＶ光）を照射してレジ
ストを感光させた後、現像、乾燥、焼き付けを順に行っ
てから、エッチング液で腐食して穿孔する方法が採られ
ている。さらに、こうしてエッチングが終了したシャド
ウマスクにおいては、プレス成形性を向上させるため
に、焼鈍が行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｎｉ−Ｆｅ系合金等からなるシャドウマスク用原板で
は、エッチングにより形成された開孔（電子ビーム透過
孔）の径や形状にばらつきが発生し易く、開孔部に光を
透過させた際にむらが生じるといった難点があった。そ
のため、近年のカラー受像管における高精細度化の要求
に充分に応えることができないという問題があった。
Ｎｉ−Ｆｅ系合金等からなるシャドウマスク用原板で
は、エッチングにより形成された開孔（電子ビーム透過
孔）の径や形状にばらつきが発生し易く、開孔部に光を
透過させた際にむらが生じるといった難点があった。そ
のため、近年のカラー受像管における高精細度化の要求
に充分に応えることができないという問題があった。
【０００６】また、一般にエッチング後の焼鈍は、原板
を複数枚重ねて行っているが、この焼鈍の際に原板に焼
き付きが生じ易いという問題もあった。
を複数枚重ねて行っているが、この焼鈍の際に原板に焼
き付きが生じ易いという問題もあった。
【０００７】本発明は、このような従来の課題に対処す
るためになされたもので、本発明の目的は、エッチング
加工により開孔マトリックスを形成した際に、孔径や孔
形状にばらつきが発生することを防止でき、かつエッチ
ング後の焼鈍工程においても焼き付きを生じない高品位
のシャドウマスク用原板の製造方法を提供することにあ
る。
るためになされたもので、本発明の目的は、エッチング
加工により開孔マトリックスを形成した際に、孔径や孔
形状にばらつきが発生することを防止でき、かつエッチ
ング後の焼鈍工程においても焼き付きを生じない高品位
のシャドウマスク用原板の製造方法を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段と作用】本発明者らは、上
記したエッチングむらの原因について検討を重ねた結
果、原板の表面状態が大きく影響し、その表面状態が不
適当な場合に、原板上に形成されるレジスト膜の密着性
が不充分となり、エッチング時のレジスト膜の剥離およ
びこれによるサイドエッチングが生じ、孔径や孔形状に
ばらつきが生じることを見出だした。また、原板の表面
状態が不適当な場合には、原板の表面状態がその上のレ
ジスト膜にまで影響するため、ネガを密着させるために
行っている真空引きが不充分となり、ネガと原板との間
に空隙が生じ、これが開孔精度を低下させる原因となっ
ているという知見を得た。
記したエッチングむらの原因について検討を重ねた結
果、原板の表面状態が大きく影響し、その表面状態が不
適当な場合に、原板上に形成されるレジスト膜の密着性
が不充分となり、エッチング時のレジスト膜の剥離およ
びこれによるサイドエッチングが生じ、孔径や孔形状に
ばらつきが生じることを見出だした。また、原板の表面
状態が不適当な場合には、原板の表面状態がその上のレ
ジスト膜にまで影響するため、ネガを密着させるために
行っている真空引きが不充分となり、ネガと原板との間
に空隙が生じ、これが開孔精度を低下させる原因となっ
ているという知見を得た。
【０００９】請求項１記載の第１の発明のシャドウマス
ク用原板の製造方法は、所望組成となるように成分金属
を所定量配合した後溶解し、鋳造して得られた合金塊を
所定厚さの原板とするシャドウマスク用原板の製造方法
において、最終圧延工程としてダル加工により原板表面
にダルロール表面の凹凸を転写する加工を施す工程を有
することを特徴とする。
ク用原板の製造方法は、所望組成となるように成分金属
を所定量配合した後溶解し、鋳造して得られた合金塊を
所定厚さの原板とするシャドウマスク用原板の製造方法
において、最終圧延工程としてダル加工により原板表面
にダルロール表面の凹凸を転写する加工を施す工程を有
することを特徴とする。
【００１０】また請求項２記載の第２の発明のシャドウ
マスク用原板の製造方法は、所望組成となるように成分
金属を所定量配合した後溶解し、鋳造して得られた合金
塊を所定厚さの原板とするシャドウマスク用原板の製造
方法において、前記合金塊に熱間圧延、冷間圧延、焼鈍
を順次行い、その後最終圧延としてダル加工により原板
表面にダルロール表面の凹凸を転写する加工を施すこと
を特徴とする。
マスク用原板の製造方法は、所望組成となるように成分
金属を所定量配合した後溶解し、鋳造して得られた合金
塊を所定厚さの原板とするシャドウマスク用原板の製造
方法において、前記合金塊に熱間圧延、冷間圧延、焼鈍
を順次行い、その後最終圧延としてダル加工により原板
表面にダルロール表面の凹凸を転写する加工を施すこと
を特徴とする。
【００１１】本発明のシャドウマスク用原板を構成する
合金は、特に限定されるものではなく、各種合金を適用
することが可能であり、例えばＮｉ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ
−Ｃｒ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ−
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｆｅ系合金等が好適である。
合金は、特に限定されるものではなく、各種合金を適用
することが可能であり、例えばＮｉ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ
−Ｃｒ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ−
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｆｅ系合金等が好適である。
【００１２】本発明のシャドウマスク用原板の製造方法
は、例えば次のようなものである。すなわち、まず所望
する組成となるように、Ｎｉ、Ｆｅ等の各成分金属を所
定量配合してこれを溶解し、合金塊を鋳造する。次い
で、得られた合金塊に鍛造、圧延、焼鈍等の各処理を施
して所定の厚さ（通常０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ）の原板
とするが、最終圧延工程で、以下に示すようなダル加工
を施す。すなわち、ロール表面が任意の表面状態とされ
た圧延ロールを使用して仕上げを行い、原板表面にロー
ル表面の凹凸を転写する。
は、例えば次のようなものである。すなわち、まず所望
する組成となるように、Ｎｉ、Ｆｅ等の各成分金属を所
定量配合してこれを溶解し、合金塊を鋳造する。次い
で、得られた合金塊に鍛造、圧延、焼鈍等の各処理を施
して所定の厚さ（通常０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ）の原板
とするが、最終圧延工程で、以下に示すようなダル加工
を施す。すなわち、ロール表面が任意の表面状態とされ
た圧延ロールを使用して仕上げを行い、原板表面にロー
ル表面の凹凸を転写する。
【００１３】これにより、本発明の製造方法により得ら
れるシャドウマスク用原板は、その表面の表面粗さを、
ＪＩＳ Ｂ ０６０１による算術平均粗さＲａを０．３
μｍを超えて１μｍ以下、凹凸の平均間隔Ｓｍ（基準長
さ内での断面曲線の平均線上に突出した凸部の間隔の平
均値）を１００μｍ以下、凸部の平均傾斜角Δｑ（粗さ
曲線の二乗平均傾斜角）を２度以上１０度以下、および
相対性スキューネスＲｓｋの値を正、と適正な値とする
ことができる。
れるシャドウマスク用原板は、その表面の表面粗さを、
ＪＩＳ Ｂ ０６０１による算術平均粗さＲａを０．３
μｍを超えて１μｍ以下、凹凸の平均間隔Ｓｍ（基準長
さ内での断面曲線の平均線上に突出した凸部の間隔の平
均値）を１００μｍ以下、凸部の平均傾斜角Δｑ（粗さ
曲線の二乗平均傾斜角）を２度以上１０度以下、および
相対性スキューネスＲｓｋの値を正、と適正な値とする
ことができる。
【００１４】Ｒａが０．３μｍ以下では、原板に対する
レジスト膜の密着性が弱すぎるため、サイドエッチング
が進み過ぎて、孔径および孔形状に乱れが生じ、逆にＲ
ａが１μｍを超えた場合には、レジスト膜の密着性が強
すぎるため、現像後、穿孔されるべき部分にもレジスト
が残存することがあるためである。
レジスト膜の密着性が弱すぎるため、サイドエッチング
が進み過ぎて、孔径および孔形状に乱れが生じ、逆にＲ
ａが１μｍを超えた場合には、レジスト膜の密着性が強
すぎるため、現像後、穿孔されるべき部分にもレジスト
が残存することがあるためである。
【００１５】またＳｍが１００μｍを超えた場合には、
局部的にレジスト膜の密着性が弱くなり、その部分でサ
イドエッチングが過度に進むため、孔形状が乱れるため
である。Ｓｍが適度に小さい場合には、レジスト膜の密
着性が孔のどの部分でも均一となり、孔形状に乱れが生
じない。特に、高温でエッチングする場合や孔径が小さ
い高精度マスクを製造する場合には、Ｓｍを５０μｍ以
下とすることが望ましい。
局部的にレジスト膜の密着性が弱くなり、その部分でサ
イドエッチングが過度に進むため、孔形状が乱れるため
である。Ｓｍが適度に小さい場合には、レジスト膜の密
着性が孔のどの部分でも均一となり、孔形状に乱れが生
じない。特に、高温でエッチングする場合や孔径が小さ
い高精度マスクを製造する場合には、Ｓｍを５０μｍ以
下とすることが望ましい。
【００１６】さらに凸部の傾斜角Δｑが２度未満では、
レジスト膜の密着性が弱すぎるため、サイドエッチング
が進みすぎて孔径および孔形状の乱れが生じ、逆にΔｑ
が１０度を超えた場合には、レジスト膜の密着性が強す
ぎるため、現像後、穿孔されるべき部分にもレジストが
残存することがあるためである。
レジスト膜の密着性が弱すぎるため、サイドエッチング
が進みすぎて孔径および孔形状の乱れが生じ、逆にΔｑ
が１０度を超えた場合には、レジスト膜の密着性が強す
ぎるため、現像後、穿孔されるべき部分にもレジストが
残存することがあるためである。
【００１７】また、本発明で得られるシャドウマスク用
原板においては、エッチング後の焼鈍工程における焼き
付きをより効果的に防止するために、表面粗さを示すそ
の他のパラメータである相対性スキューネスＲｓｋの値
が、正であることが好ましい。
原板においては、エッチング後の焼鈍工程における焼き
付きをより効果的に防止するために、表面粗さを示すそ
の他のパラメータである相対性スキューネスＲｓｋの値
が、正であることが好ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】［実施例］以下、本発明の実施の
形態を実施例に基いて具体的に説明する。
形態を実施例に基いて具体的に説明する。
【００１９】実施例１〜５ まず、所定の成分からなる３６ｍａｓｓ％Ｎｉ−Ｆｅ合
金いわゆるアンバー合金を溶解し、鋳造した後、熱間圧
延、冷間圧延、焼鈍等を順に行い、厚さ０．２５ｍｍの
原板とし、最終圧延工程でダル仕上げ加工を行って、そ
れぞれ表面粗さを表１に示すように調整した。
金いわゆるアンバー合金を溶解し、鋳造した後、熱間圧
延、冷間圧延、焼鈍等を順に行い、厚さ０．２５ｍｍの
原板とし、最終圧延工程でダル仕上げ加工を行って、そ
れぞれ表面粗さを表１に示すように調整した。
【００２０】また、本発明との比較例として、最終のダ
ル仕上げ加工を省く以外は同様にして、シャドウマスク
用原板を作製した。これらの表面粗さを併せて表１に示
す。
ル仕上げ加工を省く以外は同様にして、シャドウマスク
用原板を作製した。これらの表面粗さを併せて表１に示
す。
【００２１】次に、得られた各シャドウマスク用原板の
表面の脱脂を行った後、両面に感光液を塗布してそれぞ
れレジスト膜を形成した。次いで、両面のレジスト膜上
に大小の孔パターンを有するネガを配置し、真空引きに
より密着させた後、ネガの後方から超高圧水銀ランプで
露光することにより、レジストを感光させた。その後、
現像、乾燥、焼き付け硬化を経て、塩化第二鉄溶液を使
用してエッチングを行って、電子ビーム透過孔を形成し
た。
表面の脱脂を行った後、両面に感光液を塗布してそれぞ
れレジスト膜を形成した。次いで、両面のレジスト膜上
に大小の孔パターンを有するネガを配置し、真空引きに
より密着させた後、ネガの後方から超高圧水銀ランプで
露光することにより、レジストを感光させた。その後、
現像、乾燥、焼き付け硬化を経て、塩化第二鉄溶液を使
用してエッチングを行って、電子ビーム透過孔を形成し
た。
【００２２】このようにして製造されたシャドウマスク
を、暗室内で透過光により観察し、むら品位を評価し
た。その結果を表１に示す。なお、むら品位は、むらが
全くなく特に品位が良好なものをＡ、むらがほとんどな
く品位が良好なものをＢ、むらが少しあるが実用上問題
がないものをＣ、むらがあり実用できないものをＤと表
した。
を、暗室内で透過光により観察し、むら品位を評価し
た。その結果を表１に示す。なお、むら品位は、むらが
全くなく特に品位が良好なものをＡ、むらがほとんどな
く品位が良好なものをＢ、むらが少しあるが実用上問題
がないものをＣ、むらがあり実用できないものをＤと表
した。
【００２３】
【表１】
【００２４】表１から明らかなように、各実施例による
シャドウマスク用原板は、表面粗さＲａ、表面粗さの凹
凸の平均間隔Ｓｍ、凸部の平均傾斜角Δｑが適切な範囲
にあるため、むらがなく良好なシャドウマスクが得られ
ている。また、エッチング後の焼鈍工程でも焼き付きが
発生することがなかった。なお、スキューネスＲｓｋに
ついては、実施例全てにおいて正であった。
シャドウマスク用原板は、表面粗さＲａ、表面粗さの凹
凸の平均間隔Ｓｍ、凸部の平均傾斜角Δｑが適切な範囲
にあるため、むらがなく良好なシャドウマスクが得られ
ている。また、エッチング後の焼鈍工程でも焼き付きが
発生することがなかった。なお、スキューネスＲｓｋに
ついては、実施例全てにおいて正であった。
【００２５】これに対して比較例の各原板は、Ｒａ、Ｓ
ｍ、Δｑの中で、少なくとも１つのパラメータが上記適
正な値となっておらず、得られるシャドウマスクはむら
が強く実用に供し得ないものであった。
ｍ、Δｑの中で、少なくとも１つのパラメータが上記適
正な値となっておらず、得られるシャドウマスクはむら
が強く実用に供し得ないものであった。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のシャドウ
マスク用原板の製造方法によれば、適度な表面粗さのシ
ャドウマスク用原板を製造することができ、孔径や孔形
状のばらつきが小さくなり、よってむらのない高品位の
シャドウマスクを得ることができる。したがって、最終
基準に適合し、性能の優れたシャドウマスクが得られ、
近年のカラー受像管の高精細度化の要求を充分に満足さ
せることができると共に、エッチング後の焼鈍工程で焼
き付きが生じることもないので、工業的な価値は極めて
大きい。
マスク用原板の製造方法によれば、適度な表面粗さのシ
ャドウマスク用原板を製造することができ、孔径や孔形
状のばらつきが小さくなり、よってむらのない高品位の
シャドウマスクを得ることができる。したがって、最終
基準に適合し、性能の優れたシャドウマスクが得られ、
近年のカラー受像管の高精細度化の要求を充分に満足さ
せることができると共に、エッチング後の焼鈍工程で焼
き付きが生じることもないので、工業的な価値は極めて
大きい。
Claims (3)
- 【請求項１】 所望組成となるように成分金属を所定量
配合した後溶解し、鋳造して得られた合金塊を所定厚さ
の原板とするシャドウマスク用原板の製造方法におい
て、最終圧延工程としてダル加工により原板表面にダル
ロール表面の凹凸を転写する加工を施す工程を有するこ
とを特徴とするシャドウマスク用原板の製造方法。 - 【請求項２】 所望組成となるように成分金属を所定量
配合した後溶解し、鋳造して得られた合金塊を所定厚さ
の原板とするシャドウマスク用原板の製造方法におい
て、前記合金塊に熱間圧延、冷間圧延、焼鈍を順次行
い、その後最終圧延としてダル加工により原板表面にダ
ルロール表面の凹凸を転写する加工を施すことを特徴と
するシャドウマスク用原板の製造方法。 - 【請求項３】 前記所望組成はＮｉ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ
−Ｃｒ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｆｅ系合金、Ｎｉ−
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｆｅ系合金のいずれか一種である請求項１
または２記載のシャドウマスク用原板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000383567A JP2001179305A (ja) | 2000-12-18 | 2000-12-18 | シャドウマスク用原板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000383567A JP2001179305A (ja) | 2000-12-18 | 2000-12-18 | シャドウマスク用原板の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23802291A Division JP3155782B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | シャドウマスク用原板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001179305A true JP2001179305A (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=18851197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000383567A Pending JP2001179305A (ja) | 2000-12-18 | 2000-12-18 | シャドウマスク用原板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001179305A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10146001B2 (en) | 2016-05-31 | 2018-12-04 | Lextar Electronics Corporation | Lighting system |
| KR20190034263A (ko) * | 2016-08-31 | 2019-04-01 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
-
2000
- 2000-12-18 JP JP2000383567A patent/JP2001179305A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10146001B2 (en) | 2016-05-31 | 2018-12-04 | Lextar Electronics Corporation | Lighting system |
| KR20190034263A (ko) * | 2016-08-31 | 2019-04-01 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
| EP3508604A4 (en) * | 2016-08-31 | 2020-01-01 | Hitachi Metals, Ltd. | MATERIAL FOR METAL MASK, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| KR102200854B1 (ko) | 2016-08-31 | 2021-01-11 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
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