JPWO2017212841A1 - 容器保管装置及び容器保管方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】容器の蓋から漏れたガスにより、周囲環境が悪化するのを抑制すること。
【解決手段】容器保管装置１Ａは、保管される容器２内にパージガスを供給するパージ装置２４と、容器２の蓋２ｃの近傍に配置されて蓋２ｃの周囲の雰囲気を吸引する吸引装置２４と、を備える。

Description

本発明は、容器保管装置及び容器保管方法に関する。
半導体製造工場等では、半導体ウェハを収容する容器（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）を例えば天井搬送車により搬送する。容器を処理装置に搬送する経路において、容器を一時的に保管するための容器保管装置が設けられる場合がある。この容器保管装置としては、容器内に窒素ガスなどのパージガスを供給するパージ装置を備えた構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の容器保管装置では、容器底面の給気ポートからパージガスが容器内に供給され、容器底面の排気ポートから容器内のガスが排出される。
特表２０１５−５３３０２６号公報
上記した容器は、その側面に物品の出し入れ用の開口を塞ぐ蓋が設けられており、排気ポートから漏れるガス以上に、蓋のシール部等から多くのガスが漏れてしまい、漏れたガスが蓋の周囲に放出される。また、上記した容器保管装置は、一時的な保管場所として提供されているので、フレームだけの開放的な構成となっている場合が多い。そのため、蓋のシール部から漏れたガスが容器保管装置の外側まで放出され、ガスの種類あるいは濃度によっては、周囲環境の悪化を招く。
以上のような事情に鑑み、本発明は、容器の蓋から漏れたガスによる周囲環境の悪化を抑制可能な容器保管装置及び容器保管方法を提供することを目的とする。
本発明に係る容器保管装置は、保管される容器内にパージガスを供給するパージ装置と、容器の蓋の近傍に配置されて蓋の周囲の雰囲気を吸引する吸引装置と、を備える。
また、容器保管装置は、容器を搬送する天井搬送車から容器を移載可能であって、かつ天井近傍に配置されてもよい。また、吸引装置は、蓋に対向して配置されるフードを備えてもよい。また、フードは、容器の側面を囲むように設けられてもよい。また、フードから吸引したガスを排出するための排出経路を備えてもよい。また、吸引装置は、拡散用のファンを備えてもよい。
また、本発明に係る容器保管方法は、保管される容器内にパージガスを供給することと、容器の蓋の周囲の雰囲気を吸引することと、を含む。
また、容器保管方法において、容器内へのパージガスの供給中に容器の蓋の周囲の雰囲気を吸引することを含んでもよい。
本発明に係る容器保管装置は、容器の蓋の近傍に配置されて蓋の周囲の雰囲気を吸引する吸引装置を備えるので、容器の蓋から漏れたガスを吸引装置により吸引し、容器の蓋周辺の環境悪化を抑制することができる。
また、容器を搬送する天井搬送車から容器を移載可能であって、かつ天井近傍に配置される場合、容器保管装置が開放的な構造であっても、吸引装置により容器の蓋から漏れたガスを吸引するので、天井近傍に配置された容器保管装置の周囲環境が悪化するのを抑制できる。また、吸引装置が、蓋に対向して配置されるフードを備える場合、フードによって容器の蓋から漏れたガスを効率よく吸引できる。また、フードが、容器の側面を囲むように設けられる場合、容器の蓋近傍を含めて容器から漏れるガスを容易に吸引できる。また、フードから吸引したガスを排出するための排出経路を備える場合、吸引したガスを排出経路に送ることにより確実にガスを容器周辺から排除できる。また、吸引装置が、拡散用のファンを備える場合、蓋から漏れたガスをファンによって拡散することができ、このガスが蓋近傍に滞留することを抑制できる。
また、本発明に係る容器保管方法は、保管される容器内にパージガスを供給しつつ、容器の蓋の周囲の雰囲気を吸引するので、容器の蓋からガスが漏れてもこのガスを吸引することにより、容器の蓋周辺の環境悪化を抑制することができる。
また、容器内へのパージガスの供給中に容器の蓋の周囲の雰囲気を吸引することを含む場合、パージガスの供給のタイミングに合わせて、容器の蓋の周囲の雰囲気を吸引するので、無駄な吸引を抑制し、稼働コストを低減することができる。
第１実施形態に係る容器保管装置の一例を示す側面図である。 （Ａ）は図１に示す容器保管装置の正面図、（Ｂ）は図１に示す容器保管装置の上面図である。 実施形態に係る容器保管方法の一例を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る容器保管装置の一例を示す図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は上面図、（Ｃ）は（Ａ）に示すＡ−Ａ線に沿った断面を上方から見た図である。 第３実施形態に係る容器保管装置の一例を示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図である。 第４実施形態に係る容器保管装置の一例を示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図である。 第５実施形態に係る容器保管装置の一例を示す側面図である。 （Ａ）は第６実施形態に係る容器保管装置の一例を示す側面図であり、（Ｂ）は他の例を示す側面図である。 第７実施形態に係る容器保管装置の一例を示す側面図である。 第７実施形態に係る容器保管装置の他の例を示す側面図である。 第８実施形態に係る容器保管装置の一例を示す側面図である。 第９実施形態に係る容器保管装置の一例を示す側面図である。 第１０実施形態に係る容器保管装置の一例を示す正面図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。
［第１実施形態］
図１及び図２は、第１実施形態に係る容器保管装置１Ａの一例を示す図である。図１は側面図であり、図２（Ａ）は正面図であり、図２（Ｂ）は上面図である。容器保管装置１Ａは、例えば、半導体デバイスの製造工場に設置され、容器２を保管する。
容器２は、半導体素子の製造に用いられるウェハ、あるいはレチクルなどの物品を収容する。容器２は、例えば、内部をパージ可能なＦＯＵＰ、ＳＭＩＦ Ｐｏｄ、レチクルＰｏｄなどである。図１には、容器２がＦＯＵＰの例を示している。容器２は、本体部２ａと、開口２ｂと、開口２ｂを塞ぐ蓋２ｃとを備える。開口２ｂは、水平方向（図１では＋Ｙ方向）に向くように配置される。ウェハなどの物品は、開口２ｂを介して容器２の内部に収容される。蓋２ｃは、蓋２ｃは、開口２ｂを塞ぐように、容器２に着脱可能に設けられる。本体部２ａは、その底面側に、位置決め用の凹部２ｄを備える。
また、本体部２ａは、底面側に、ガスの導入口２ｅ、ガスの排気口２ｆを備える。導入口２ｅおよび排気口２ｆは、それぞれ、＋Ｙ方向の端部に配置される。導入口２ｅおよび排気口２ｆは、それぞれ、本体部２ａの内部と外部と連通する。導入口２ｅおよび排気口２ｆは、それぞれ、逆止弁（図示せず）が設けられている。容器２の頂部には、例えば、フランジ部２ｇが設けられている。フランジ部２ｇは、基端側の接続部２ｈと、接続部２ｈの上方に取り付けられる矩形板状の被係止部２ｉと、を有している。
容器２は、天井搬送車３などの搬送装置によって、処理装置（図示せず）へ搬送され、また処理装置から搬送される。処理装置は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、エッチング装置などであり、デバイス（例、半導体デバイス）を製造する過程で各種処理を施す。容器保管装置１Ａは、例えば、容器２を搬送する搬送経路に配置され、容器２を一時的に保管する。
天井搬送車３は、容器２を保持して鉛直方向に昇降させる昇降駆動部４と、走行駆動部５とを備える。天井搬送車３は、走行駆動部５の駆動力によって走行レール（軌道）６に沿って走行する。走行レール６は、例えばクリーンルームの天井の近傍に設けられ、Ｘ方向に延びている。走行駆動部５は、走行輪７と、リニアモータ（図示せず）、エンコーダ（図示せず）などを有する。走行輪７は、走行レール６に接するように配置される。エンコーダは、走行輪７の回転数などを検出し、その検出結果を制御部（図示せず）に出力する。制御部は、エンコーダの検出結果に基づいてリニアモータを制御し、天井搬送車３の速度あるいは停止位置の制御を行う。
天井搬送車３には、走行駆動部５から下方に延びる支持軸９が取り付けられている。支持軸９の下部にはＹ方向移動部１０が取り付けられている。Ｙ方向移動部１０の下部には横出し機構１１が取り付けられている。横出し機構１１の下部には昇降駆動部４が取り付けられている。天井搬送車３は、横出し機構１１によって、昇降駆動部４を水平方向に移動させることができる。
Ｙ方向移動部１０は、Ｙ方向ガイド（図示せず）、Ｙ方向駆動部（図示せず）などを有する。Ｙ方向移動部１０は、電動モータ等のＹ方向駆動部からの駆動力によって、横出し機構１１をガイドに沿って＋Ｙ方向または−Ｙ方向に移動可能である。横出し機構１１は、上板１１ａと下板１１ｂとが重ねられて設けられ、上板１１ａがＹ方向移動部１０に対してＹ方向に移動可能であり、下板１１ｂが上板１１ａに対してＹ方向に移動可能である。下板１１ｂには、昇降駆動部４が取り付けられている。これにより、昇降駆動部４をＹ方向に移動することができる。Ｙ方向移動部１０及び横出し機構１１を用いた容器２の移載動作については、後に図９で説明する。なお、天井搬送車３は、Ｙ方向移動部１０及び横出し機構１１を備えなくてもよい。
また、天井搬送車３は、回動部（図示せず）を備えている。回動部は、回動軸（図示せず）、回動駆動部（図示せず）などを有する。この回動軸はＺ方向と平行に配置され、昇降駆動部４に接続される。回動駆動部は、電動モータ等が用いられ、回動軸をＺ方向の周りで回動させる。回動部は、回動駆動部からの駆動力によって回動軸を回動し、昇降駆動部４をＺ方向に平行な軸周りに回動可能である。制御部は、回動部を制御し、昇降駆動部４を目標位置に回動させる。なお、天井搬送車３は回動部を備えなくてもよい。
昇降駆動部４は、容器２を保持する保持部１３と、保持部１３を鉛直方向に移動させる駆動部１４と、を備える。保持部１３は、容器２のフランジ部２ｇを把持することにより、容器２を吊り下げて保持する。保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを容器２の被係止部２ｉの下方に侵入させ、保持部１３を上昇させることで、容器２を保持する。保持部１３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材１３ｂと接続されている。駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより保持部１３を降下させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより保持部１３を上昇させる。昇降駆動部４は、制御部（図示せず）に制御され、所定の速度で保持部１３を降下あるいは上昇させる。また、昇降駆動部４は、制御部に制御され、保持部１３を目標の高さに保持する。
上述のＹ方向移動部１０、横出し機構１１及び昇降駆動部４は、走行駆動部５と一体となってＸ方向に移動する。Ｙ方向移動部１０、横出し機構１１及び昇降駆動部４の−Ｘ側及び＋Ｘ側には、それぞれ、カバー１６ａ、カバー１６ｂが設けられる（図２（Ａ）参照）。カバー１６ａおよびカバー１６ｂは、それぞれ、支持軸９を介して天井搬送車３に支持されており、天井搬送車３と一体となってＸ方向に移動する。
容器保管装置１Ａは、例えば、容器２を搬送する天井搬送車３から容器２を移載可能であって、かつ天井１８近傍に配置される。容器保管装置１Ａは、例えば、天井搬送車３が搬送する容器２を一時的に保管するバッファである。図１および図２において、容器保管装置１Ａは、走行レール６の直下に配置されるアンダートラックバッファ（以下、ＵＴＢと称す）である。容器保管装置１Ａは、支持部２１を介して天井１８に固定され、天井１８の近傍に配置される。
図２に示すように、容器保管装置１Ａは、載置部２２と、パージ装置２３と、吸引装置２４（図１参照）と、を備える。載置部２２は、天井搬送車３によって容器２を移載可能に構成されている。天井搬送車３は、載置部２２の直上から容器２を降下させて、載置部２２に容器２を載置可能である。容器保管装置１Ａに配置される載置部２２の数は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）では４つであるが、１つでもよいし２つ以上の任意の数でもよい。
載置部２２には、容器２を位置決めする複数のピン２５が設けられる。なお、図２（Ｂ）には、載置部２２に載置される容器２を破線で示している。ピン２５は、例えば、３個設けられ、それぞれのピン２５は、容器２の底部に設けられる凹部２ｄの位置に対応して配置され、容器２の底部に設けられる凹部２ｄに嵌まり込むことが可能である。容器２は、載置部２２に載置される際、容器２の凹部２ｄにピン２５が嵌まり込むことで、位置決めされる。なお、凹部２ｄ及びピン２５の形状および個数は、それぞれ、図２に示す構成に限定されず、任意である。
パージ装置２３は、保管される容器２内にパージガスを供給する。パージ装置２３は、例えば、載置部２２のうち、パージガスのパージを行う容器２を載置する載置部２２に設けられている。なお、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）には、４つの載置部２２のうち、−Ｘ側の２つの載置部２２にパージ装置２３が配置される例を示すが、パージ装置２３が配置される載置部２２の数は任意である。
パージ装置２３は、例えば、パージノズル２３ａ、排気ノズル２３ｂ、及び流量制御装置（図示せず）を備える（図２（Ａ）、図２（Ｂ）参照）。パージノズル２３ａ及び排気ノズル２３ｂは、それぞれ、載置部２２の上面に設けられる。パージノズル２３ａ及び排気ノズル２３ｂは、それぞれ、載置部２２の＋Ｙ方向の端部に設けられる。パージノズル２３ａ及び排気ノズル２３ｂは、載置部２２に容器２を載置した際に、それぞれ容器２の導入口２ｅ、排気口２ｆと接続するように配置される。パージノズル２３ａは、配管（図示せず）および流量制御装置を介して、パージガスの供給源（図示せず）と接続される。パージガスは、例えば窒素ガスなど、容器２に収納した物品に対して不活性なガスである。排気ノズル２３ｂは、例えば、配管を介してパージガスの排気経路（図示せず）に接続される。パージ装置２３は、例えば、パージガス源からのパージガスを、パージガスの流量を制御するマスフローコントローラなどの流量制御装置（図示せず）および配管（図示せず）を介して、容器２の導入口２ｅ（図２（Ａ）参照）から内部に供給し、容器２の内部をパージガスでパージする。また、容器２の内部のガスは、排気口２ｆ（図２（Ａ）参照）から容器２の外部に排出される。
ところで、容器２にパージされたパージガスは、容器２の蓋２ｃのシール部分等から漏れることがある。パージガスは、ガスの種類あるいはガスの濃度によっては、人体に悪影響を及ぼす。例えば、容器２が開放的な保管場所に保管される場合、容器２の蓋２ｃから漏れたパージガスが周囲環境の悪化を招くおそれがある。一般的に、容器２の蓋２ｃ近傍で作業する場合、蓋２ｃ近傍の雰囲気は蓋２ｃから漏れるパージガスの濃度が高いおそれがあるため、注意が必要とされる。
吸引装置２４（図１参照）は、容器２の蓋２ｃの近傍に配置されて蓋２ｃの周囲の雰囲気（ガス）を吸引し、容器２の蓋２ｃから漏れたパージガスが蓋２ｃの近傍に滞留するのを抑制する。吸引装置２４は、例えば、フード２６と、ファン３１と、を備える。
フード２６は、吸引するガスの流れをガイドし、ガスの流路を形成（規定）する。フード２６は、例えば、蓋２ｃに対向して配置される。この場合、容器２の蓋２ｃから漏れたガスを効率よく吸引できる。フード２６は、例えば、蓋２ｃの近傍で、蓋２ｃからＹ方向（走行駆動部５の走行方向と直交する方向）に離れた位置に配置される。フード２６は、天井搬送車３が容器２を載置部２２に搬送する際に、天井搬送車３と干渉（衝突）しない場所に配置される。
フード２６は、例えば、壁部２７と、空間部２８と、開口部２９と、を備える。壁部２７は、例えば、上部２７ａと、正面部２７ｂと、側部２７ｃ、側部２７ｄと、底部２７ｅを有する。上部２７ａは、水平面（ＸＹ平面）と平行な面に配置され、また、蓋２ｃの上端（＋Ｚ方向の端）よりも高い位置（＋Ｚ方向の位置）に配置される。また、上部２７ａ（図２（Ｂ）参照）のＸ方向の長さは、蓋２ｃのＸ方向の長さに対して長くなっている。上部２７ａは、その＋Ｘ方向の端と−Ｘ方向の端との間に蓋２ｃが位置するように、配置される。
上部２７ａの＋Ｙ方向の端は、正面部２７ｂと連続している。正面部２７ｂは、ＹＺ平面の断面において、上部２７ａから下方向（−Ｚ方向）に延び、載置部２２の下方において−Ｙ方向に折れ曲がり、底部２７ｅと連続している。上部２７ａの＋Ｘ方向の端及び−Ｘ方向の端には、それぞれ、側部２７ｃ、側部２７ｄが接続される（図２（Ｂ）参照）。側部２７ｃ及び側部２７ｄは、それぞれ、上部２７ａから下方向に延び、底部２７ｅと連続している（図２（Ａ）参照）。底部２７ｅは、載置部２２の下方に、水平面（ＸＹ平面）と平行な面に配置される。
空間部２８は、壁部２７と載置部２２の下面２２ａに囲まれた部分である。空間部２８は、例えば、ＹＺ平面の断面において、Ｌ字状である。空間部２８は、吸引したガスの流路（移動経路）として機能する。
開口部２９は、フード２６内におけるガス流路の一方の端（流入口）である。開口部２９は、載置部２２に載置された容器２の蓋２ｃに向かって開いている。蓋２ｃの周囲のガスは、吸引される際、開口部２９を介して、フード２６の内部の空間部２８に導かれる。開口部２９は、その開口形状が例えば矩形状である。開口部２９は、例えば、蓋２ｃよりも大きく形成されている。開口部２９は、蓋２ｃの外周が開口部２９の内周よりも内側に位置するように、配置される。フード２６内におけるガスの流路の他方の端（排気口）は、排出経路３２に接続される。
排出経路３２は、例えば配管などであり、フード２６の開口部２９から吸引したガスを排出するための経路である。ファン３１は、例えば、空間部２８に設けられ、空間部２８内のガスを排出経路３２へ導く。ファン３１が動作（回転）すると、フード２６内におけるガスの流路が減圧され、蓋２ｃの周囲のガスが開口部２９から吸引される。排出経路３２は、例えば、施設の外部などに接続され、フード２６の開口部２９から吸引したガスは、排出経路３２を介して施設の外部に排出される。
ファン３１は、例えば、制御装置（図示せず）により制御されて、動作する。この制御装置は、ファン３１に電力が供給されるタイミングを制御することによって、ファン３１によって吸気するタイミングを制御する。ファン３１が動作するタイミングは、例えば、容器２にパージガスをパージするときである。例えば、容器２にパージガスが供給される間の少なくとも一部において、ファン３１は動作する。ファン３１は、容器２に対するパージガスの供給開始前から動作を開始してもよいし、容器２に対するパージガスの供給開始後に動作を開始してもよい。また、ファン３１は、容器２に対するパージガスの供給停止前に動作を停止してもよいし、容器２に対するパージガスの供給停止後に動作を停止してもよい。
なお、ファン３１が動作するタイミングは、上記したタイミングに限定されず任意であり、例えば、ファン３１は、パージ装置２３の動作と連動せずに連続的に動作してもよい。また、ファン３１は、パージガスを検出するセンサによりパージガスの濃度を検出して、パージガスの濃度が所定の閾値を超えた場合に動作してもよい。
上記したように開口部２９が蓋２ｃよりも大きく形成されている場合、蓋２ｃから漏れたパージガスを効率よく吸引することができる。なお、開口部２９の大きさおよび形状は、任意である。開口部２９の輪郭は、蓋２ｃと同じ大きさでもよいし、蓋２ｃよりも小さくてもよい。また、開口部２９は、蓋２ｃの外形の周囲に近接する部分のみに設けられてもよい。
上記したように吸引装置２４がファン３１を備える場合、蓋２ｃの周囲のガスを効率よく吸引できる。なお、ファン３１は、空間部２８内に設けられなくてもよい。例えば、ファン３１は排出経路３２に設けられてもよいし、また、開口部２９の近傍に設けられてもよい。吸引装置２４は、ファン３１を備えなくてもよい。例えば、吸引装置２４は、ファン３１に代えて、ファンを用いない吸気装置を備えてもよい。また、ファン３１あるいは吸気装置は、吸引装置２４と別の装置（例、工場の排気設備）であって、フード２６と配管などを介して接続されてもよい。また、ファン３１の数は、２つ以上でもよい。
上記したように容器保管装置１Ａが排出経路３２を備える場合、吸引したガスを排出経路３２に送ることにより、確実にガスを容器２周辺から排除できる。なお、排出経路３２は備えなくてもよい。例えば、フード２６から吸引したガスを拡散により処理する場合、排出経路３２は備えなくてもよいし、また、予め設けられた排出経路（排出管）にフード２６を接続する場合、排出経路３２を備えなくてもよい。
次に、上述のような容器保管装置１Ａの動作に基づき、容器保管方法について説明する。図３は、容器保管方法の一例を示すフローチャートである。なお、容器保管方法を説明する際、適宜図１及び図２を参照する。
天井搬送車３を制御する制御装置は、ステップＳ１において、容器２を保持する（搬送する）天井搬送車３を、容器保管装置１Ａの上方で停止させる。ステップＳ２において、天井搬送車３は、保持する容器２を昇降駆動部４により下降して、パージ装置２３が配置された載置部２２に載置する。ステップＳ３において、パージ装置２３は、容器２内へのパージガスの供給を開始する。例えば、パージ装置２３は、パージガスを容器２の導入口２ｅ（図２（Ａ）参照）から内部に供給し、容器２の内部をパージガスでパージする。続いて、ステップＳ４において、吸引装置２４は蓋２ｃの周囲の雰囲気を吸引する。例えば、吸引装置２４は、ファン３１を動作させることにより蓋２ｃの周囲の雰囲気を吸引し、フード２６の内部の流路及び排出経路３２を介して、蓋２ｃの周囲の雰囲気を施設外に排出する。ステップＳ４の処理は、例えば容器２内へのパージガスの供給中に行われる。この場合、パージガスの供給のタイミングに合わせて、容器２の蓋２ｃの周囲の雰囲気を吸引するので、無駄な吸引を抑制し、稼働コストを低減することができる。
このように、容器保管方法は、保管される容器２内にパージガスを供給しつつ、容器２の蓋２ｃの周囲の雰囲気を吸引するので、容器２の蓋２ｃからガスが漏れてもこのガスを吸引することにより、容器２の蓋２ｃ周辺の環境悪化を抑制することができる。なお、ステップＳ４の処理は、ステップＳ１の処理の開始される前の期間に、開始されてもよい。また、ステップＳ４の処理は、ステップＳ１の処理が開始されてから、ステップＳ２の処理が開始される前までの期間に、開始されてもよい。また、ステップＳ４の処理は、ステップＳ２の処理が開始されてから、ステップＳ３の処理が開始されるよりも前の期間に、開始されてもよい。また、ステップＳ４の処理は、ステップＳ３の処理の終了後に、開始されてもよい。また、本容器保管方法は、ステップＳ１の処理及びステップＳ２の処理の一方または双方を含まなくてもよい。例えば、本容器保管方法は、予め載置部２２に載置される容器２に対して、ステップＳ３及びステップＳ４を行ってもよい。
このように、実施形態に係る容器保管装置１Ａは、容器２の蓋２ｃから漏れたガスを吸引装置２４により吸引するので、容器２の蓋２ｃ周辺の環境悪化を抑制することができる。また、本実施形態の容器保管装置１Ａは、容器２を搬送する天井搬送車３から容器２を移載可能であって、かつ天井１８近傍に配置される。この場合、容器保管装置１Ａが開放的な構造であっても、吸引装置２４により容器２の蓋２ｃから漏れたガスを吸引するので、天井１８近傍に配置された容器保管装置１Ａの周囲環境が悪化するのを抑制できる。
［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図４は、第２実施形態に係る容器保管装置１Ｂの一例を示す図である。図４（Ａ）は正面図であり、図４（Ｂ）は上面図であり、図４（Ｃ）は図４（Ａ）に示すＡ−Ａ線に沿った断面を上方から見た図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｂは、載置部２２と、パージ装置２３Ｂと、吸引装置２４Ｂと、排出経路３２と、を備える（図４（Ａ）参照）。載置部２２及び排出経路３２は、第１実施形態と同様である。パージ装置２３Ｂは、例えば、パージノズル２３ａと、排気孔２３ｃを備える（図４（Ｂ）参照）。パージノズル２３ａは第１実施形態と同様である。排気孔２３ｃは、載置部２２に載置される容器２の排気口２ｆの下方（例、直下）に配置される貫通孔である（図４（Ａ）参照）。排気孔２３ｃは、載置部２２に載置される容器２の排気口２ｆの下方の空間とフード２６Ｂの空間部２８とを接続する。
吸引装置２４Ｂは、例えば、フード２６Ｂと、ファン３１と、を備える（図４（Ａ）参照）。ファン３１は、第１実施形態と同様である。フード２６Ｂは、壁部２７Ｂと、空間部２８と、開口部２９と、を備える。開口部２９は、第１実施形態と同様である。壁部２７Ｂは、排気孔２３ｃの下方の空間（空間部２８）をフード２６Ｂの外部と仕切るように設けられる。壁部２７Ｂは、図４（Ｃ）に示す断面において、排気孔２３ｃを囲むように設けられている。例えば、壁部２７Ｂは、載置部２２の下方において、正面部２７ｂ、側部２７ｃ、側部２７ｄ及び底部２７ｅ等により、排気孔２３ｃを囲んでいる。なお、壁部２７Ｂの載置部２２の上方の形状は、第１実施形態と同様である（図４（Ａ）参照）。空間部２８は、壁部２７Ｂ及び載置部２２の下面２２ａに囲まれた空間である。
吸引装置２４Ｂは、ファン３１を動作させることにより、容器２の蓋２ｃ近傍のガスを吸引するとともに、パージ装置２３Ｂにより容器２内部へパージガスをパージする際に、排気口２ｆから排出されるガスを吸引する。また、吸引装置２４Ｂは、排気口２ｆから容器２の外部に漏れたガスを吸引する。吸引装置２４Ｂは、吸引したガスをフード２６の内部の流路及び排出経路３２を介して施設外に排出する。
このように、実施形態に係る容器保管装置１Ｂは、吸引装置２４Ｂにより、パージによって排気口２ｆから排出されるガスを吸引するため、排気口２ｆから排出されるガスによる環境悪化を抑制することができる。また、パージ装置の排気ノズルを省略することで、パージ装置の構成をシンプルにすること、排気ノズルと容器２との接触によるパーティクルの発生を回避すること等ができる。なお、載置部２２における排気孔２３ｃの位置は、排気口２ｆから排出されたガスが排気孔２３ｃを介して吸引されるレベルで、排気口２ｆの周囲に配置されていればよく、容器２の排気口２ｆの直下でなくてもよい。
［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図５は、第３実施形態に係る容器保管装置１Ｃの一例を示す図である。図５（Ａ）は側面図であり、図５（Ｂ）は上面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｃは、載置部２２Ｃと、パージ装置２３Ｃと、吸引装置２４Ｃと、排出経路３２（図５（Ａ）参照）と、を備える。排出経路３２は、第１実施形態と同様である。載置部２２Ｃには、複数のピン２５が設けられ、容器２は、複数のピン２５によって位置決めされ、載置部２２Ｃに載置される（図５（Ａ）参照）。載置部２２Ｃは、容器２を載置した際に、容器２の排気口２ｆが下方（空間部２８）に開放されるように設けられる。例えば、載置部２２Ｃは、排気口２ｆの下方が切り欠きになっており、容器２の排気口２ｆの下方において、その＋Ｙ方向の端が、容器２の＋Ｙ方向の端に対して−Ｙ方向に位置するように設けられる。パージ装置２３Ｃは、第１実施形態と同様のパージノズル２３ａを備え（図５（Ｂ）参照）、図２に示した排気ノズル２３ｂが省略されている。
吸引装置２４Ｃは、例えば、フード２６Ｃと、ファン３１と、を備える（図５（Ａ）参照）。フード２６Ｃは、壁部２７Ｃと、空間部２８と、開口部２９Ｃと、を備える。壁部２７Ｃは、載置部２２Ｃに載置される容器２の上方を開放し、且つ容器２の蓋２ｃの近傍及び容器２の排気口２ｆを囲むように設けられる。壁部２７Ｃは、例えば、正面部２７ｂ、側部２７ｃ、側部２７ｄ、及び底部２７ｅにより容器２の蓋２ｃの近傍及び容器２の排気口２ｆを囲む。側部２７ｃ及び側部２７ｄは、載置部２２Ｃの上方において、容器２の側面（２ｊ、２ｋ）（図５（Ｂ）参照）の少なくとも一部を囲むように設けられる。
空間部２８は、壁部２７Ｃ及び載置部２２Ｃの下面２２ａに囲まれた空間である。開口部２９Ｃは、載置部２２Ｃに載置される容器２の蓋２ｃに対向する部分、及び載置部２２Ｃに載置される容器２の上方の部分に形成される。すなわち、空間部２８は、上方から見てＵ字状であり、上方に開放されている。空間部２８は、天井搬送車３（図１参照）が容器２を昇降する際の通路（搬送経路）としても利用可能である。
吸引装置２４Ｃは、ファン３１を動作させることにより、容器２の蓋２ｃ近傍のガスを吸引するとともに、パージによって排気口２ｆから排出されるガスを吸引する。吸引装置２４Ｃは、吸引したガスをフード２６の内部の流路及び排出経路３２を介して施設外に排出する。
このように、実施形態に係る容器保管装置１Ｃは、パージによって容器２から排出されるガスを吸引装置２４Ｂによって吸引するため、パージによって排出されるガスを処理するための専用の配管など設備が省略あるいは簡略化することができ、パージ装置の構造を単純にすることができる。また、容器保管装置１Ｃは、排気口２ｆから漏れたガスを吸引装置２４により吸引するので、容器２の排気口２ｆの周辺の環境悪化を抑制することができる。また、容器保管装置１Ｃは、フード２６Ｃが容器２の側面（２ｊ、２ｋ）の少なくとも一部を囲むように設けられるので、容器２の蓋２ｃ近傍を含めて容器２から漏れるガスを容易に吸引できる。また、フード２６Ｃは、空間部２８の上方が開放されているので、天井搬送車３と載置部２２Ｃとの間で容器２を昇降させる際に、フード２６と容器２との干渉が回避される。
［第４実施形態］
第４実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図６は、第４実施形態に係る容器保管装置１Ｄの一例を示す図である。図６（Ａ）は側面図であり、図６（Ｂ）は上面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｄは、載置部２２Ｃと、パージ装置２３Ｃと、吸引装置２４Ｄと、排出経路３２と、を備える。載置部２２Ｃ及びパージ装置２３Ｃは、それぞれ、第３実施形態と同様である。吸引装置２４Ｄは、例えば、フード２６Ｄと、ファン３１と、排出経路３２と、を備える。フード２６Ｄは、壁部２７Ｄと、空間部２８と、開口部２９Ｄと、を備える。
壁部２７Ｄは、載置部２２Ｃに載置される容器２の上方を開放し、容器２の蓋２ｃの近傍、容器２の側面（２ｊ、２ｋ）、容器２の背面（−Ｙ方向の面）２ｍ、及び容器２の排気口２ｆを囲むように設けられる（図６（Ｂ）参照）。壁部２７Ｄは、例えば、載置部２２Ｃの上方において、正面部２７ｂ、側部２７ｃ、側部２７ｄ、容器２の背面に設けられる背面部２７ｆ及び底部２７ｅにより、容器２の蓋２ｃの近傍、側面２ｊ、側面２ｋ及び背面２ｍ、及び排気口２ｆを囲んでいる。なお、載置部２２Ｃの下方における壁部２７Ｄの形状は、第１実施形態と同様である。
空間部２８は、壁部２７Ｄ及び載置部２２Ｃの下面２２ａに囲まれた空間である。開口部２９Ｄは、載置部２２Ｃに載置される容器２の上方の部分に形成される。空間部２８は、上方に開放されており、天井搬送車３（図１参照）が容器２を昇降する際の通路（搬送経路）としても利用可能である。
吸引装置２４Ｄは、ファン３１を動作させることにより、容器２の蓋２ｃの近傍のガスを吸引するとともに、容器２の側面（２ｊ、２ｋ）、及び背面２ｍの近傍のガスを吸引する。また、吸引装置２４Ｄは、排気口２ｆから容器２の外部に漏れたガスを吸引する。吸引装置２４Ｄは、吸引したガスをフード２６の内部の流路及び排出経路３２を介して施設外に排出する。
このように、本実施形態によれば、容器保管装置１Ｄは、パージによって容器２から排出されるガスを吸引装置２４Ｄにより吸引するため、パージ装置の構造を単純にすることができる。また、フード２６Ｄが容器２の側面（２ｊ、２ｋ）及び背面２ｍを囲むように設けられるので、容器２の蓋２ｃ近傍を含めて容器２から漏れるガスを容易に吸引でき、また、容器２から漏れるガスがフード２６Ｄ内の流路（空間部２８）以外へ流出することが抑制される。
［第５実施形態］
第５実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図７は、第５実施形態に係る容器保管装置１Ｅの一例を示す側面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｅは、載置部２２と、パージ装置２３と、吸引装置２４と、排出経路３２Ａと、を備える。載置部２２、パージ装置２３及び吸引装置２４は、それぞれ、第１実施形態と同様であるが、他の実施形態と同様でもよい。
本実施形態の排出経路３２Ａは、一方の端部（流入側）がフード２６に接続され、他方の端部（流出側）が載置部２２の下方に開放される。吸引装置２４は、ファン３１を動作させることにより吸引されたガスを、排出経路３２Ａを介して載置部２２の下方で吹き出すことによって、雰囲気中に拡散する。例えば、パージガスが窒素ガスである場合、上述のような拡散によって、雰囲気に占める窒素ガスの濃度を人体に悪影響を及ぼさないレベルまで下げることができる。
このように、実施形態に係る容器保管装置１Ｅは、吸引装置２４が吸引したガスを、拡散により処理するので、排出されるガスを処理するための専用の配管など設備を省略あるいは簡略化することができ、容器２から漏れるガスを容易に処理することができる。
［第６実施形態］
第６実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図８（Ａ）は、第６実施形態に係る容器保管装置１Ｆの一例を示す側面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｆは、載置部２２と、パージ装置２３と、吸引装置２４Ｆと、を備える。吸引装置２４Ｆは、例えば、フード２６Ｆと、複数のファン３１Ｆと、を備える。フード２６Ｆは、蓋２ｃに対向して配置される。フード２６Ｆは、壁部２７Ｆと、空間部２８と、開口部２９Ｆと、を有する。
壁部２７Ｆは、例えば、容器２の蓋２ｃ近傍を囲む形状である。壁部２７Ｆは、例えば、−Ｙ方向と＋Ｙ方向が開口する矩形筒状である。壁部２７Ｆは、例えば、上部２７ａ、側部２７ｃ、側部２７ｄ及び底部２７ｅにより、蓋２ｃ近傍を囲む。上部２７ａは、例えば、蓋２ｃの上端部分（＋Ｚ方向の端部分）よりも上方（＋Ｚ方向）に配置される。底部２７ｅは、例えば、容器２の下端部分（−Ｚ方向の端部分）よりも下方（−Ｚ方向）に配置される。＋Ｘ方向の側部２７ｃは容器２の＋Ｘ方向の端に対して、＋Ｘ方向に配置される。−Ｘ方向の側部２７ｄは容器２の−Ｘ方向の端に対して、−Ｘ方向に配置される。
空間部２８は、壁部２７Ｆに囲まれた空間である。開口部２９Ｆは、壁部２７Ｆの−Ｙ方向及びＹ方向の開口部分である。＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の開口部２９Ｆは、例えば、蓋２ｃよりも大きく形成されている。＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の開口部２９Ｆは、それぞれ、蓋２ｃの外周が、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の開口部２９Ｆの内周よりも内側に位置するように、配置される。
ファン３１Ｆは、空間部２８に複数設けられる。複数のファン３１Ｆは、空間部２８内のガスを蓋２ｃと反対の方向（＋Ｙ方向）に導く。複数のファン３１Ｆは、例えば、互いに異なる方向に向いている。上部のファン３１Ｆは、蓋２ｃと反対の方向における上方に向けて空間部２８内のガスを導く。また、上部のファン３１Ｆは、蓋２ｃと反対の方向における下方に向けて空間部２８内のガスを導く。ファン３１Ｆが動作（回転）すると、フード２６Ｆ内におけるガスの流路が減圧され、蓋２ｃの周囲のガスが−Ｙ方向の開口部２９Ｆから吸引される。フード２６Ｆの−Ｙ方向の開口部２９Ｆから吸引されたガスは、＋Ｙ方向の開口部２９Ｆから空気中に拡散される。容器保管装置１Ｆが、互いに異なる方向に向いている複数のファン３１Ｆを備える場合、ガスの拡散を効率的に行うことができる。なお、ファン３１Ｆは、複数でなくてもよい。例えば、ファン３１Ｆは、１つでもよい。
図８（Ｂ）は、容器保管装置１Ｆの他の例を示す側面図である。容器保管装置１Ｆは、図８（Ｂ）に示すように、フード２６Ｆを備えなくてもよい。この容器保管装置１Ｆは、フード２６Ｆを備えない以外、図８（Ａ）に示す容器保管装置１Ｆと同様の構成である。図８（Ｂ）に示す容器保管装置１Ｆは、ファン３１Ｆが動作（回転）すると、蓋２ｃの周囲の部分が減圧され、蓋２ｃの周囲のガスが＋Ｙ方向に吸引される。ファン３１Ｆにより、吸引したガスは、ファン３１Ｆの＋Ｙ方向から空気中に拡散される。容器保管装置１Ｆが、フード２６Ｆを備えない場合、装置を簡単な構成にすることができる。
このように、実施形態に係る容器保管装置１Ｆは、吸引装置２４Ｆが吸引したガスを、拡散により処理するので、容器２から漏れるガスを容易に処理することができる。
［第７実施形態］
第７実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図９は、第７実施形態に係る容器保管装置１Ｇの一例を示す側面図である。図１０は、第７実施形態に係る容器保管装置１Ｇの他の例を示す側面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｇは、サイドトラックバッファ（以下、ＳＴＢと称す）である。容器保管装置１Ｇは、天井近傍で、かつ天井搬送車３の走行レール６の下方の走行レール６と直交する方向（−Ｙ方向）に配置される。容器保管装置１Ｇには、載置部２２が配置され、天井搬送車３は、昇降駆動部４の横方向の移動により容器２を載置部２２に移載可能である。
昇降駆動部４の横方向の移動（本明細書において、横出し動作という）について説明する。昇降駆動部４は、容器２を収容するスペースに対してカバー１６ａ、１６ｂ（図２（Ａ）参照）が設けられていない横方向（Ｙ方向）に移動可能である。図９に示すように、昇降駆動部４を−Ｙ方向に移動させる場合、Ｙ方向移動部１０は、電動モータ等のＹ方向駆動部（図示せず）からの駆動力によって、横出し機構１１の上板１１ａをＹ方向移動部１０に対して−Ｙ方向に駆動する。また、Ｙ方向移動部１０は、下板１１ｂを上板１１ａに対して、−Ｙ方向に駆動し目的位置に移動させる。昇降駆動部４は、下板１１ｂの下面側に設けられており、昇降駆動部４は、吊り下げ部材１３ｂを下方向に繰り出すことによって保持部１３を降下させ、容器２を目的位置に載置する。
容器保管装置１Ｇは、載置部２２と、パージ装置２３と、吸引装置２４と、排出経路３２と、を備える。載置部２２、パージ装置２３、吸引装置２４及び排出経路３２は、それぞれ、第１実施形態と同様であるが、他の実施形態の構成と同様でもよい。
載置部２２及びフード２６は、天井搬送車３による横出し動作が可能となるように設けられる。フード２６は、天井搬送車３が横出し動作により容器２をＹ方向に搬送する際に、容器２が接触しないように設けられる。例えば、フード２６は、天井搬送車３の横出し動作によりＹ方向に移動した容器２の下端（−Ｚ方向の端）に対して、フード２６の上端（＋Ｚ方向の端）が低くなるように設けられる。なお、フード２６は、天井搬送車３の横出し動作の際、天井搬送車３の横出し動作により容器２が搬送される経路から外れた場所に退避するように、移動可能に設けられてもよい。
図９では、容器保管装置１Ｇが天井搬送車３の−Ｙ方向に配置され、載置部２２に載置する容器２の蓋２ｃが天井搬送車３方向（＋Ｙ方向）に向いている場合の例を示したが、例えば、図１０に示すように、容器保管装置１Ｇが天井搬送車３の＋Ｙ方向に配置され、載置部２２が載置する容器２の蓋２ｃが＋Ｙ方向に設けられてもよい。この場合、フード２６は、天井搬送車３が横出し動作により容器２をＹ方向に移動する際、容器２と接触しないので、容器２の搬送距離を短くすることができる。
［第８実施形態］
第８実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１１は、第８実施形態に係る容器保管装置１Ｈの一例を示す側面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｈは、ＵＴＢ及びＳＴＢを有するバッファである。容器保管装置１Ｈは、天井１８近傍に配置される。容器保管装置１Ｈは、一体型のフレーム３０に設けられる。ＵＴＢ及びＳＴＢは、それぞれ、フレーム３０に設けられる点以外は、図１に示すＵＴＢ、図９に示すＳＴＢと同様である。
ＳＴＢの載置部２２は、例えば、ＵＴＢの載置部２２よりも上方に設けられる。ＳＴＢに容器２を搬送する場合、天井搬送車３の横出し動作により行うため、ＵＴＢに容器２を搬送する時間よりも、搬送の時間が長くかかる。このため、ＳＴＢを高い位置に配置すると、天井搬送車３の横出し動作による容器２の搬送距離を短くすることができるため、容器２の搬送時間を短くすることができる。
容器保管装置１Ｈは、載置部２２と、パージ装置２３と、吸引装置２４Ｆと、を備える。載置部２２及びパージ装置２３は、第１実施形態と同様である。吸引装置２４Ｆは、第６実施形態と同様である。なお、パージ装置２３及び吸引装置２４Ｆは、それぞれ、他の実施形態の構成を用いてもよい。パージ装置２３及び吸引装置２４Ｆは、ＵＴＢの載置部２２及びＳＴＢの載置部２２に配置される。
このように、実施形態に係る容器保管装置１Ｈは、ＵＴＢ及びＳＴＢを有するバッファに適用することができる。また、容器保管装置１Ｈは、ＵＴＢ及びＳＴＢが一体型のフレーム３０に設けられるので、装置をコンパクトにすることができる。
［第９実施形態］
第９実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１２は、第９実施形態に係る容器保管装置１Ｊの一例を示す側面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｊは、ＵＴＢ及びＳＴＢを有するバッファである。容器保管装置１Ｊは、ＳＴＢが配置される高さが異なる点以外は、第８実施形態と同様である。本実施形態の容器保管装置１Ｊは、ＳＴＢの載置部２２とＵＴＢの載置部２２とが同じ高さになるように設けられる。
容器保管装置１Ｊは、載置部２２と、パージ装置２３と、吸引装置２４Ｆと、を備える。載置部２２及びパージ装置２３は、第１実施形態と同様である。吸引装置２４Ｆは、第６実施形態と同様である。なお、パージ装置２３及び吸引装置２４Ｆは、それぞれ、他の実施形態の構成を用いてもよい。パージ装置２３及び吸引装置２４Ｆは、ＵＴＢの載置部２２及びＳＴＢの載置部２２に配置される。
このように、実施形態に係る容器保管装置１Ｊは、ＵＴＢ及びＳＴＢを有するバッファに適用することができる。また、容器保管装置１Ｊは、ＳＴＢの載置部２２とＵＴＢの載置部２２とが同じ高さになるように設けられるので、装置の構造を簡単にすることができる。
［第１０実施形態］
第１０実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図１３は、第１０実施形態に係る容器保管装置１Ｋの一例を示す正面図である。
本実施形態の容器保管装置１Ｋは、複数のＵＴＢと、昇降装置５１と、を備えるバッファである。容器保管装置１Ｋは、天井近傍に配置される。容器保管装置１Ｋは、例えば、２つのＵＴＢを備える。２つのＵＴＢは、それぞれ、容器保管装置１Ｋの＋Ｘ方向の端部及び−Ｘ方向の端部に配置される。
天井搬送車３の走行レール６の直下には、処理装置５２のロードポート（５３、５４）がＸ方向と平行な方向に並んで配置される。天井搬送車３は、容器２をロードポート（５３、５４）に渡し、容器２をロードポート（５３、５４）から受け取る。天井搬送車３による容器２の移載は、制御装置（図示せず）により制御される。このように、天井搬送車３は、容器２をＵＴＢと受け渡し可能であり、また、容器２をロードポート（５３、５４）と受け渡し可能である。
昇降装置５１は、駆動部５１ａの駆動により、天井搬送車３の走行レール６と平行に配置される走行レール５５に沿って、Ｘ方向に移動する。走行レール５５は、天井搬送車３の鉛直方向の搬送経路と干渉しないように、天井搬送車３の鉛直方向の搬送経路に対して＋Ｙ方向及び−Ｙ方向に設けられる。昇降装置５１は、容器２を保持する保持部５１ｂを備える。保持部５１ｂは、駆動部５１ａの下方に配置される昇降駆動部５２ｃに取り付けられており、昇降駆動部５１ｃの駆動により昇降する。昇降駆動部５１ｃは、例えばホイストである。
昇降装置５１は、２つのＵＴＢのそれぞれに載置された容器２を、ロードポート（５３、５４）に移載し、また、ロードポート（５３、５４）に載置された容器２を２つのＵＴＢのいずれかに移載する。昇降装置５１による容器２の移載は、制御装置（図示せず）により制御される。
天井搬送車３は、ロードポート（５３、５４）に空きがある場合、処理装置５２への搬入が予定された容器２（以下、搬入予定の容器２という）をロードポート（５３、５４）に移載する。また、天井搬送車３は、ロードポート（５３、５４）に空きがない場合、搬入予定の容器２をＵＴＢに移載する。昇降装置５１は、処理装置５２から搬出が予定された容器２（以下、搬出予定の容器２という）がロードポート（５３、５４）に載置されている場合、搬出予定の容器２をロードポート（５３、５４）からＵＴＢへ移載する。また、昇降装置５１は、ロードポート（５３、５４）に空きがあり、かつＵＴＢに搬入予定の容器２が保管されている場合、搬入予定の容器２をロードポート（５３、５４）へ移載する。また、天井搬送車３は、搬出予定の容器２がロードポート（５３、５４）またはＵＴＢに載置されている場合、搬出予定の容器２をロードポート（５３、５４）またはＵＴＢ２０から受け取る。このように、ロードポート（５３、５４）に対する容器２の移載を天井搬送車３及び昇降装置５１により行うので、処理装置５２を効率よく稼働することができる。
容器保管装置１Ｋは、載置部２２と、パージ装置２３と、吸引装置２４と、排出経路３２（図１参照）を備える。載置部２２、パージ装置２３、吸引装置２４及び排出経路３２は、それぞれ、第１実施形態と同様であるが、他の実施形態の構成を用いてもよい。このように、容器保管装置１Ｋは、ＵＴＢ及び昇降装置５１を備えるバッファに適用することができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
例えば、上述の実施形態では、吸引装置２４は、蓋２ｃの周囲の雰囲気を吸引するとして説明したが、ファン等の吸引装置を蓋２ｃの近傍に配置し、この吸引装置により、蓋２ｃの周囲のガスを、蓋２ｃの周囲に向けて流すことにより、蓋２ｃの周囲の雰囲気を拡散してもよい。例えば、この吸引装置は、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示したファン３１Ｆの向きを蓋２ｃ方向に向けた構成を用いることができる。
また、例えば、上述の実施形態では、容器保管装置１Ａ〜１Ｋが、天井近傍に配置される構成を例に説明したが、容器保管装置１Ａ〜１Ｋは、天井近傍に配置されなくてもよい。例えば、容器保管装置１Ａ〜１Ｋは、天井近傍以外の床、棚、処理装置のロードポートに配置されてもよい。
また、例えば、上述の実施形態では、容器保管装置１Ａ〜１Ｋは、載置部２２、パージ装置２３、吸引装置２４、及び排出経路３２等を備える構成を例に説明したが、容器保管装置１Ａ〜１Ｋは、既存のバッファの載置部に、パージ装置２３、吸引装置２４及び排出経路３２等を取り付けた形態でもよい。
また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１６−１１４３２１、及び本明細書中で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ、１Ｊ、１Ｋ・・・容器保管装置
２・・・容器
２ｃ・・・蓋
２ｊ、２ｋ・・・側面
３・・・天井搬送車
２４、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄ、２４Ｆ・・・吸引装置
２６、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｆ・・・フード
３１、３１Ｆ・・・ファン
３２、３２Ａ・・・排出経路
パージ装置２３は、保管される容器２内にパージガスを供給する。パージ装置２３は、例えば、載置部２２のうち、パージガスの供給を行う容器２を載置する載置部２２に設けられている。なお、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）には、４つの載置部２２のうち、＋Ｘ側の２つの載置部２２にパージ装置２３が配置される例を示すが、パージ装置２３が配置される載置部２２の数は任意である。
ファン３１は、例えば、制御装置（図示せず）により制御されて、動作する。この制御装置は、ファン３１に電力が供給されるタイミングを制御することによって、ファン３１によって吸気するタイミングを制御する。ファン３１が動作するタイミングは、例えば、容器２にパージガスを供給するときである。例えば、容器２にパージガスが供給される間の少なくとも一部において、ファン３１は動作する。ファン３１は、容器２に対するパージガスの供給開始前から動作を開始してもよいし、容器２に対するパージガスの供給開始後に動作を開始してもよい。また、ファン３１は、容器２に対するパージガスの供給停止前に動作を停止してもよいし、容器２に対するパージガスの供給停止後に動作を停止してもよい。
吸引装置２４Ｂは、ファン３１を動作させることにより、容器２の蓋２ｃ近傍のガスを吸引するとともに、パージ装置２３Ｂにより容器２内部へパージガスを供給する際に、排気口２ｆから排出されるガスを吸引する。また、吸引装置２４Ｂは、排気口２ｆから容器２の外部に漏れたガスを吸引する。吸引装置２４Ｂは、吸引したガスをフード２６の内部の流路及び排出経路３２を介して施設外に排出する。
空間部２８は、壁部２７Ｆに囲まれた空間である。開口部２９Ｆは、壁部２７Ｆの−Ｙ方向及び＋Ｙ方向の開口部分である。＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の開口部２９Ｆは、例えば、蓋２ｃよりも大きく形成されている。＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の開口部２９Ｆは、それぞれ、蓋２ｃの外周が、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の開口部２９Ｆの内周よりも内側に位置するように、配置される。
ファン３１Ｆは、空間部２８に複数設けられる。複数のファン３１Ｆは、空間部２８内のガスを蓋２ｃと反対の方向（＋Ｙ方向）に導く。複数のファン３１Ｆは、例えば、互いに異なる方向に向いている。上部のファン３１Ｆは、蓋２ｃと反対の方向における上方に向けて空間部２８内のガスを導く。また、下部のファン３１Ｆは、蓋２ｃと反対の方向における下方に向けて空間部２８内のガスを導く。ファン３１Ｆが動作（回転）すると、フード２６Ｆ内におけるガスの流路が減圧され、蓋２ｃの周囲のガスが−Ｙ方向の開口部２９Ｆから吸引される。フード２６Ｆの−Ｙ方向の開口部２９Ｆから吸引されたガスは、＋Ｙ方向の開口部２９Ｆから空気中に拡散される。容器保管装置１Ｆが、互いに異なる方向に向いている複数のファン３１Ｆを備える場合、ガスの拡散を効率的に行うことができる。なお、ファン３１Ｆは、複数でなくてもよい。例えば、ファン３１Ｆは、１つでもよい。
天井搬送車３は、ロードポート（５３、５４）に空きがある場合、処理装置５２への搬入が予定された容器２（以下、搬入予定の容器２という）をロードポート（５３、５４）に移載する。また、天井搬送車３は、ロードポート（５３、５４）に空きがない場合、搬入予定の容器２をＵＴＢに移載する。昇降装置５１は、処理装置５２から搬出が予定された容器２（以下、搬出予定の容器２という）がロードポート（５３、５４）に載置されている場合、搬出予定の容器２をロードポート（５３、５４）からＵＴＢへ移載する。また、昇降装置５１は、ロードポート（５３、５４）に空きがあり、かつＵＴＢに搬入予定の容器２が保管されている場合、搬入予定の容器２をロードポート（５３、５４）へ移載する。また、天井搬送車３は、搬出予定の容器２がロードポート（５３、５４）またはＵＴＢに載置されている場合、搬出予定の容器２をロードポート（５３、５４）またはＵＴＢから受け取る。このように、ロードポート（５３、５４）に対する容器２の移載を天井搬送車３及び昇降装置５１により行うので、処理装置５２を効率よく稼働することができる。

Claims (8)

  1. 保管される容器内にパージガスを供給するパージ装置と、
    前記容器の蓋の近傍に配置されて前記蓋の周囲の雰囲気を吸引する吸引装置と、を備える、容器保管装置。
  2. 前記容器を搬送する天井搬送車から前記容器を移載可能であって、かつ天井近傍に配置される、請求項１に記載の容器保管装置。
  3. 前記吸引装置は、前記蓋に対向して配置されるフードを備える、請求項１または請求項２に記載の容器保管装置。
  4. 前記フードは、前記容器の側面を囲むように設けられる、請求項３に記載の容器保管装置。
  5. 前記フードから吸引したガスを排出するための排出経路を備える、請求項３または請求項４に記載の容器保管装置。
  6. 前記吸引装置は、拡散用のファンを備える、請求項１または請求項２に記載の容器保管装置。
  7. 保管される容器内にパージガスを供給することと、
    前記容器の蓋の周囲の雰囲気を吸引することと、を含む容器保管方法。
  8. 前記容器内へのパージガスの供給中に前記容器の蓋の周囲の雰囲気を吸引することを含む、請求項７に記載の容器保管方法。
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