KR20220113726A - 직동 기구 및 파티클의 비산 억제 방법 - Google Patents

직동 기구 및 파티클의 비산 억제 방법 Download PDF

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KR20220113726A
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마사미 아키모토
나루아키 이이다
츠네나가 나카시마
케이스케 사사키
타카히로 야스타케
카즈야 마츠시타
코우세이 이데
마사토 오제키
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

내부가 배기되는 케이스체 내에 마련되어, 직선 이동하고 또한 상기 개구부로부터 당해 케이스체의 외부로 돌출되는 접속부에 접속된 케이스체 외부의 외부 이동체를 이동시키는 내부 이동체와, 상기 직선 방향으로 연장되어 상기 개구부를 폐색하도록 케이스체 내에 마련되고 또한, 폭 방향에 있어서의 양 단부의 일면측이 당해 개구부의 가장자리부에 떨어져 대향하는 실 벨트와, 상기 내부 이동체의 이동에 따라 이동하도록 당해 내부 이동체에 접속된 상기 실 벨트에 대한 변형을 억제하기 위하여, 당해 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에 대향하여 마련되는 변형 억제부를 구비한다.

Description

직동 기구 및 파티클의 비산 억제 방법
본 개시는, 직동 기구 및 파티클 비산 억제 방법에 관한 것이다.
반도체를 제조하기 위한 기판 처리 장치는, 기판인 반도체 웨이퍼(이하, '웨이퍼'라 함)에 레지스트 등의 각종 약액의 공급에 의한 막의 형성 처리, 및 레지스트막의 현상 처리 등, 각종 처리를 행한다. 이러한 기판 처리 장치에는, 예를 들면 웨이퍼를 반송하는 반송 암 및 약액의 공급을 행하기 위한 노즐의 이동 기구가 포함되어 있다. 이들 반송 암 및 노즐의 이동 기구에는, 웨이퍼의 유지부 및 노즐 등의 이동 대상을 직선 방향으로 이동시키는 직동 기구가 탑재되어 있다.
직동 기구로서는, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 바와 같이, 내부가 배기되는 케이스와, 케이스의 내부에서 이동 부재를 직선 방향으로 왕복 이동시키는 직동 기구와, 케이스에 형성된 슬릿과, 당해 슬릿을 케이스 내로부터 폐색하는 실 수단(실 벨트)을 구비하는 것이 알려져 있다. 그리고 특허 문헌 1에는, 이동 부재의 일부를 상기의 슬릿을 거쳐 외부로 돌출시켜 이동 대상에 접속하고, 당해 이동 대상을 이동시킴에 있어, 이동 부재의 이동에 의한 케이스 내의 국소적인 압력 상승을 억제하기 위하여, 케이스에 당해 케이스의 내외를 연통시키는 통기구를 마련하는 것이 나타나 있다.
일본특허공개공보 2002-305230호
본 개시는, 케이스체 내의 내부 이동체에 접속되는 외부 이동체를 케이스체 밖에서 직선 이동시킴에 있어, 내부 이동체와 외부 이동체를 접속하기 위하여 케이스체에 마련된 개구부로부터 당해 케이스체의 외부로, 파티클이 비산하는 것을 억제하는 기술을 제공한다.
본 개시의 직동 기구는, 내부가 배기되는 케이스체와,
상기 케이스체에 형성되는 개구부와,
상기 케이스체 내에 마련되어, 직선 방향으로 이동하는 내부 이동체와,
상기 개구부로부터 상기 케이스체의 외부로 돌출되도록 상기 내부 이동체에 마련되고 또한 케이스체의 외부에 있어서 외부 이동체와 접속되고, 상기 내부 이동체의 이동에 수반하여 상기 외부 이동체를 이동시키기 위한 접속부와,
상기 직선 방향으로 연장되어 상기 개구부를 폐색하도록 케이스체 내에 마련되고 또한, 폭 방향에 있어서의 양 단부의 일면측이 상기 개구부의 가장자리부에 떨어져 대향하는 실 벨트와,
상기 내부 이동체의 이동에 따라 상기 직선 방향으로 이동하도록 상기 내부 이동체에 접속된 상기 실 벨트에 대한 변형을 억제하기 위하여, 상기 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에 대향하여 마련되는 변형 억제부이거나,
혹은, 상기 내부 이동체의 위치에 대응하는 제 1 부위가, 상기 제 1 부위와는 상기 직선 방향으로 상이한 제 2 부위보다 상기 개구부로부터 멀어지도록 상기 내부 이동체에 걸리는 상기 실 벨트에 대한 상기 양 단부의 일면측을 흡인하여, 상기 제 2 부위를 상기 개구부의 가장자리부에 밀착시키기 위하여, 상기 케이스체에 마련되는 흡인부
를 구비한다.
본 개시에 따르면, 케이스체 내의 내부 이동체에 접속되는 외부 이동체를 케이스체 밖에서 직선 이동시킴에 있어, 내부 이동체와 외부 이동체를 접속하기 위하여 케이스체에 마련된 개구부로부터 당해 케이스체의 외부로, 파티클이 비산하는 것을 억제할 수 있다.
도 1은 제 1 실시 형태에 따른 직동 기구가 마련되는 처리부를 나타내는 사시도이다.
도 2는 제 1 실시 형태에 따른 직동 기구의 횡단 평면도이다.
도 3은 제 1 실시 형태에 따른 직동 기구의 종단 측면도이다.
도 4는 종래의 직동 기구의 작용을 나타내는 설명도이다.
도 5는 종래의 직동 기구의 작용을 나타내는 설명도이다.
도 6은 제 1 실시 형태에 따른 직동 기구에 마련되는 포위부의 사시도이다.
도 7은 상기 포위부의 단면도이다.
도 8은 제 1 실시 형태에 따른 직동 기구의 작용을 나타내는 설명도이다.
도 9는 케이스체 내의 기류의 흐름을 설명하는 설명도이다.
도 10은 포위부 부근의 기류의 흐름을 설명하는 설명도이다.
도 11은 반송 암이 이동했을 때의 케이스체 내부를 나타내는 설명도이다.
도 12는 반송 암이 이동했을 때의 케이스체 내의 기류의 설명도이다.
도 13은 변형 억제부의 착탈을 설명하는 설명도이다.
도 14는 포위부의 다른 예를 나타내는 종단 측면도이다.
도 15는 포위부의 다른 예를 나타내는 횡단 평면도이다.
도 16은 포위부의 다른 예를 나타내는 종단 측면도이다.
도 17은 포위부의 다른 예를 나타내는 종단 측면도이다.
도 18은 케이스체 내의 다른 예를 나타내는 종단 측면도이다.
도 19는 제 2 실시 형태에 따른 직동 기구의 횡단 평면도이다.
도 20은 제 2 실시 형태에 따른 직동 기구의 작용을 나타내는 설명도이다.
도 21은 제 2 실시 형태에 따른 직동 기구의 작용을 나타내는 설명도이다.
도 22는 제 3 실시 형태에 따른 직동 기구의 포위부를 나타내는 종단 측면도이다.
도 23은 제 3 실시 형태에 따른 직동 기구의 포위부의 다른 예를 나타내는 종단 측면도이다.
도 24는 도포, 현상 장치를 나타내는 종단면도이다.
도 25는 도포, 현상 장치를 나타내는 평면도이다.
도 26은 본 개시에 따른 직동 기구를 적용한 도포 모듈의 평면도이다.
도 27은 상기 케이스체의 다른 예를 나타내는 종단 측면도이다.
도 28은 상기 케이스체의 다른 예를 나타내는 종단 측면도이다.
도 29는 상기 케이스체의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
[제 1 실시 형태]
제 1 실시 형태로서, 반도체 제조용의 기판인 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 암(11)에, 본 기술에 따른 직동 기구를 적용한 예를 설명한다. 도 1은 기판 반송 기구를 이루는 상기의 반송 암(11)과, 반송 암(11)에 의해 웨이퍼(W)가 전달되는 모듈군을 구비한 처리부(10)의 사시도를 나타내고 있다. 이 처리부(10)는, 후술하는 기판 처리 장치인 도포, 현상 장치를 구성하고, 대기 분위기에 마련된다. 또한, 상기의 반도체란 물질로서의 반도체의 의미는 아니며, 반도체에 의해 구성되는 트랜지스터 또는 다이오드 등의 소자를 포함하는 반도체 디바이스의 의미이다.
도면 중 12는, 웨이퍼(W)에 레지스트를 도포하는 복수의 레지스트 도포 모듈(14)이 저장되는 하우징이며, 웨이퍼(W)의 반송구(13)를 구비하고 있다. 하우징(12)은 반송 암(11)이 이동하는 웨이퍼(W)의 반송로(15)에 면하고 있고, 레지스트 도포 모듈(14)은, 당해 반송로(15)의 길이 방향을 따라 배열되어 있다. 또한, 반송로(15)를 사이에 두고 하우징(12)에 대향하도록, 가열 모듈(17)이 반송로(15)의 길이 방향을 따라 복수 마련되어 있다. 가열 모듈(17)은 상하 2 단으로 겹쳐져, 적층체를 형성하고 있다.
반송로(15)의 길이 방향의 일단측에는 타워(T1)가 마련되고, 타워(T1)에는 처리부(10)로의 웨이퍼(W)의 반입용 모듈인 전달 모듈(TRS)이 마련되어 있다. 반송 암(11)은, 전달 모듈(TRS)부터 레지스트 도포 모듈(14), 가열 모듈(17)의 순으로 웨이퍼(W)를 반송하여, 웨이퍼(W)에는 레지스트막의 형성, 가열 처리가 순차 행해진다. 이어서 반송 암(11)은, 가열 처리된 웨이퍼(W)를, 처리부(10)로부터의 반출용의 전달 모듈(TRS)(도 1에는 미도시)로 반송한다.
반송 암(11)은 2 개의 지지부(2), 기대(21), 승강대(22), 프레임(23) 및 케이스체(24)를 구비하고, 프레임(23)과, 케이스체(24)에 의해 구성되어 있다. 지지부(2), 기대(21), 승강대(22), 프레임(23)은 외부 이동체에 상당하고, 케이스체(24) 및 후술하는 케이스체(24) 내에 포함되는 프레임(23)을 이동시키기 위한 각 부 및 케이스체(24) 내를 배기하는 팬에 의해, 직동 기구(1)가 구성되어 있다.
지지부(2)는, 웨이퍼(W)의 이면을 지지한다. 2 개의 지지부(2)는, 서로 상하로 겹쳐지도록 기대(21) 상에 마련되고, 서로 독립하여 기대(21) 상을 진퇴한다. 기대(21)는 승강대(22) 상에 마련되고, 승강대(22) 상을 연직축 둘레로 회전 가능하게 구성된다. 승강대(22)는, 상하 방향으로 연신된 프레임(23)으로 둘러싸이도록 마련되고, 프레임(23) 내를 승강한다. 프레임(23)은, 후술한 바와 같이 수평 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 지지부(2), 기대(21), 승강대(22), 프레임(23)의 각 부의 동작의 협동에 의해, 모듈 간에서 웨이퍼(W)의 전달을 행할 수 있다.
이어서 케이스체(24)에 대하여, 도 2, 도 3도 참조하여 설명한다. 당해 케이스체(24)는 장방형(長方形) 형상이며, 가열 모듈(17)의 적층체의 하방에 있어서, 당해 적층체의 배열 방향으로 연신하도록 마련되어 있다. 케이스체(24)에 있어서의 반송로(15)를 향하는 측면에는, 개구부(25)가 마련되어 있다. 개구부(25)는, 케이스체(24)의 길이 방향인 수평 방향으로 연장되도록, 직선 형상으로 형성되어 있다. 이하, 케이스체(24)에 있어서의 개구부(25)측을 전방측으로 하고, 개구부(25)로부터 본 케이스체(24)의 안쪽을 후방측으로 하여 설명한다.
케이스체(24) 내에는, 이동체(내부 이동체)(26)가 마련되어 있다. 이동체(26)의 전단부는 개구부(25)를 거쳐 케이스체(24)의 외부로 돌출되어 있다. 이 전단부는 접속부로서, 프레임(23)에 접속되고 또한 당해 프레임(23)을 지지하고 있다. 케이스체(24) 내에는, 이동체(26) 및 프레임(23)을 동작시키기 위한 이동 기구(30)가 마련된다. 이동 기구(30)는, 당해 케이스체(24)의 길이 방향을 따라 연장되는 가이드 레일(31)을 구비하고, 이동체(26)는, 이 가이드 레일(31)에 계지되어 있다.
또한, 이동 기구(30)는 주동 풀리(32), 종동 풀리(33), 벨트(34) 및 모터(35)를 구비하고 있다. 케이스체(24) 내의 길이 방향의 일단측, 타단측에는 주동 풀리(32), 종동 풀리(33)가 마련되고, 서로 병행하는 수평축 둘레로 회전 가능하게 구성되어 있다. 이들 풀리(32, 33)에 벨트(34)가 감기고, 이 벨트(34)는, 이동체(26)에 접속되어 있다. 주동 풀리(32)에는 모터(35)가 접속되어 있다. 모터(35)의 회전에 의해 벨트(34)가 구동하고, 이동체(26)가 개구부(25)를 따라 직선 방향(케이스체(24)의 길이 방향)으로 이동하고, 이 이동체(26)의 이동에 수반하여, 프레임(23)이 반송로(15)의 길이 방향을 따라 직선 이동한다.
케이스체(24)의 후방측에는, 당해 케이스체(24) 내를 배기하는 팬(27)이 마련되어 있다. 예를 들면 팬(27)은, 케이스체(24) 내의 길이 방향의 일단측, 타단측에 각각 마련되고, 당해 팬(27)의 동작에 의해, 케이스체(24) 내는, 반송로(15)에 대하여 부압이 된다. 이동 기구(30)의 각 부의 슬라이드 이동에 의해 발생하는 파티클, 및 모터(35)에 이용되는 그리스로부터 발생하는 파티클은, 당해 팬(27)에 의해 제거된다.
또한, 케이스체(24) 내의 파티클이 반송로(15)에 비산하는 것을 방지하기 위하여, 개구부(25)를 내측으로부터 폐색하는 실 벨트(40)가 마련되어 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이 실 벨트(40)는, 개구부(25)의 상하 방향의 개구 폭보다 큰 폭을 가지는 환상(環狀) 벨트이다. 도 2에 나타내는 바와 같이 케이스체(24)의 내부에는, 평면에서 봤을 때 네 모퉁이 부근에 회전 가능하게 구성된 종동 롤러(42)가 마련되어 있고, 각 종동 롤러(42)의 회전축(41)은 연직 방향이다. 이러한 4 개의 종동 롤러(42)에, 상기의 실 벨트(40)가 팽팽해지고, 실 벨트(40)는, 그 폭 방향에 있어서의 양 단부의 일면측(표면측)이 개구부(25)의 가장자리부에 떨어져 대향한다. 보다 상세하게는 당해 양 단부의 표면측은, 개구부(25)의 가장자리부에 마련되는 전방벽 형성 부재(51)에 대향하는데, 후술한다.
또한, 기술한 이동체(26)는, 개구부(25)를 폐색하는 실 벨트(40)를 관통하고 있다. 따라서, 이동체(26)는 실 벨트(40)에 접속되어 있고, 이동체(26)가 이동 기구(30)에 의해 직선 이동했을 때에, 실 벨트(40)는, 이동체(26)의 이동에 따라 케이스체(24) 내의 개략 직사각형의 궤도를 둘레 이동하고, 실 벨트(40)의 각 부위 중, 개구부(25)를 향하는 부위에 대하여 보면, 케이스체(24)의 길이 방향을 따라 직선 방향으로 이동한다. 이와 같이 이동체(26)와 함께 실 벨트(40)는 이동하지만, 이동체(26)의 위치에 관계없이, 실 벨트(40) 중, 전방측의 2 개의 종동 롤러(42)의 사이에 팽팽해지는 부위에 의해 개구부(25)가 폐색된 상태가 유지된다.
또한, 이하 명세서 중에서는, 실 벨트(40)에 있어서의 개구부(25)로부터 향하는 면을 일면측(표면측)으로 하고, 일면과는 반대측의 종동 롤러(42)에 접하는 측의 면을 타면측(이면측)으로 한다. 그리고, 이하의 설명에서는 특별히 부위를 지정하지 않는 경우, 실 벨트(40)란, 당해 실 벨트(40)의 둘레 중, 전방측에서 팽팽해지는 부위(전방측의 종동 롤러(42) 사이에 팽팽해지는 부위)를 가리키는 것으로 한다.
그런데 배경 기술의 항목에서 기술한 바와 같이, 종래 구성의 직동 기구로서, 케이스체 내의 분위기에 포함되는 파티클이 케이스체의 개구부로부터 당해 케이스체 밖으로 비산하지 않도록 케이스체 내를 배기하는 팬을 구비하고, 개구부에 실 벨트를 구비한 구성의 장치가 알려져 있다. 그 종래의 직동 기구를 가령 반송 암(11)에 적용했다고 하는 경우에 대하여, 도 4, 도 5를 참조하여 설명한다. 종래의 직동 기구이기 때문에, 도 4, 도 5에 나타내는 케이스체(24)에는, 후술하는 실 벨트(40)의 변형을 방지하기 위한 포위부(5)가 마련되어 있지 않다.
팬(27)에 의한 배기로 케이스체(24) 내가 반송로(15)에 대하여 부압이 되고, 도 4에 나타내는 바와 같이 반송로(15)의 공기가 개구부(25)를 거쳐 케이스체(24) 내로 유입된다. 이 공기의 유입에 의해, 실 벨트(40)의 폭 방향(상하 방향)의 양 단부가 케이스체(24)의 후방측을 향해 밀려, 실 벨트(40)가 측면에서 봤을 때 원호 형상으로 휘도록 변형하고, 케이스체(24)의 개구부(25)의 가장자리부와, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부와의 간극이 넓어질 우려가 있다. 또한 도 4에서는, 실선으로 상기와 같이 휜 실 벨트(40)를, 파선으로 휨이 없을 때의 실 벨트(40)를 각각 나타내고 있다.
한편, 케이스체(24) 내를 이동체(26)가 이동하면, 케이스체(24) 내의 길이 방향 중 이동체(26)의 이동처의 영역의 분위기가 이동체(26)에 의해 압축되어, 승압한다. 이 때 기술한 바와 같이 실 벨트(40)가 변형하여, 케이스체(24)의 개구부(25)의 가장자리부와, 실 벨트(40)의 표면측에 있어서의 폭 방향 양 단부와의 간극이 넓어져 있으면, 도 5에 나타내는 바와 같이 승압된 분위기가, 당해 간극으로부터 케이스체(24) 밖으로 흘러나올 우려가 있다. 그리고, 케이스체(24) 내의 파티클(100)이, 그 분위기의 흐름을 타고, 반송로(15)로 방출되는 것이 상정된다.
따라서 본 실시의 형태에 있어서는, 상기한 개구부(25)의 가장자리부와, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부(상단부, 하단부)의 간극의 확대를 억제하기 위하여, 실 벨트(40)의 상단부, 하단부를 각각 둘러싸는 포위부(5)를 마련하고 있다. 따라서, 포위부(5)는 합계 2 개, 실 벨트(40)의 상단측, 하단측에 각각 마련되어 있다. 실 벨트(40)의 상단측에 마련되는 포위부(5)와, 하단측에 마련되는 포위부(5)는, 실 벨트(40)의 중심을 통과하는 수평면에 대하여, 경면 대칭으로 구성되어 있고, 이하에서는, 실 벨트(40)의 상단측에 마련되는 포위부(5)를 예로 설명한다.
포위부(5)는, 케이스체(24)의 개구부(25)의 상측의 가장자리부와, 당해 가장자리부에 마련되는 전방벽 형성 부재(51)와, 실 벨트(40)의 변형을 억제하는 변형 억제부(52)에 의해 구성되어 있다. 그리고, 포위부(5)에 대해서는 당해 실 벨트(40)의 이동 방향(케이스체(24)의 길이 방향)으로 봤을 때, 실 벨트(40)의 폭 방향의 단부를 둘러싸는 오목부로서 형성되어 있다. 전방벽 형성 부재(51)는, 케이스체(24)로부터 후방으로 돌출되고, 또한 개구부(25)의 길이 방향을 따라 장척으로 형성된 각형의 부재이며, 당해 개구부(25)의 길이 방향의 일단으로부터 타단에 걸쳐 형성되어 있다. 전방벽 형성 부재(51)의 하단의 높이는 개구부(25)의 상측 가장자리의 높이에 일치되어 있고, 전방벽 형성 부재(51)의 상측 가장자리의 높이는, 실 벨트(40)의 상측 가장자리의 높이보다 높다. 전방벽 형성 부재(51)는, 상기의 오목부의 전방측의 측벽을 형성하고 있고, 실 벨트(40)의 상단부의 표면과 간극을 개재하여 대향한다. 이와 같이 전방벽 형성 부재(51)는, 실 벨트(40)의 폭 방향의 단부의 전방측에 형성되는 간극의 크기를 조정하여, 실 벨트(40)의 실성을 원하는 것으로 한다. 전방벽 형성 부재(51)는, 예를 들면 UPE(초고 분자량 폴리에틸렌 : Ultra High Molecular Weight Polyethylene)로 구성되어 있다.
이어서, 변형 억제부(52)에 대하여 설명한다. 변형 억제부(52)는 수평벽(50A)과 수직벽(50B)을 구비한다. 케이스체(24)의 내벽에 있어서 전방벽 형성 부재(51)의 상방으로 약간 떨어진 위치로부터, 후방으로 돌출되도록 수평벽(50A)이 마련되어 있다. 이 수평벽(50A)의 후단측은 하방으로 굴곡져, 상기의 수직벽(50B)을 형성한다. 수직벽(50B)의 하단으로부터 예를 들면 대략 6 mm의 범위의 부위는 전방을 향해 돌출되어, 개구부(25)의 길이 방향을 따른 돌출부(53)를 구성하고 있다. 돌출부(53)의 전단부는, 실 벨트(40)의 이면의 상단부에 대하여, 간극을 개재하여 대향하고 있다. 또한 돌출부(53)는, 실 벨트(40)의 이동 방향으로 봤을 때 원형으로 구성되어 있다. 이와 같이 변형 억제부(52)는, 상기한 오목부의 저부 및 후방측의 측벽을 형성하고 있고, 예를 들면 전방벽 형성 부재(51)와 마찬가지로 UPE로 구성되어 있다. 그와 같이 UPE를 재료로서 이용하는 것은, 실 벨트(40)가 접촉했을 시에, 실 벨트(40)와의 사이에 발생하는 마찰을 저감하기 위함이지만, UPE를 재료로 하는 것에는 한정되지 않는다. 또한, 실 벨트(40)에 의한 적정한 실성을 얻기 위하여, 실 벨트(40)의 표면과 전방벽 형성 부재(51)와의 사이의 간극 치수는 예를 들면, 0.5 mm 이상, 1.0 mm 이하이다. 또한, 후술하는 돌출부(53)로부터 토출되는 가스의 적절한 작용을 얻기 위하여, 실 벨트(40)의 이면과 돌출부(53)와의 사이의 간극은, 예를 들면 0.5 mm 이하이다.
또한, 실 벨트(40) 중 개구부(25)에 면하는 영역 전체에서의 변형을 억제할 수 있도록, 예를 들면 변형 억제부(52)에 대해서는 케이스체(24)의 길이 방향을 따라, 개구부(25)의 일단으로부터 타단에 걸쳐 형성되어 있다. 즉 개구부(25)의 길이 방향에 있어서, 변형 억제부(52)의 일단의 위치는, 개구부(25)의 일단과 동일한 위치이거나 혹은 개구부(25)의 외측의 위치이고, 또한 변형 억제부(52)의 타단의 위치는, 개구부(25)의 타단과 동일한 위치이거나 혹은 개구부(25)의 외측의 위치이다.
또한 이동체(26)가 이동하고, 실 벨트(40)가 이동했을 때에 실 벨트(40)와 변형 억제부(52)의 수직벽(50B)이 스치면, 실 벨트(40)의 열화가 앞당겨지거나, 파티클(100)이 발생할 우려가 있다. 그것을 방지하기 위하여, 수직벽(50B)에 있어서의 돌출부(53)의 전단에는, 실 벨트(40)의 이면측을 향해, 예를 들면 질소 가스(N2 가스)를 토출하는 가스 토출구(54)가 마련되어 있다. 이 가스의 토출에 의해, 수직벽(50B)과 상기 실 벨트(40)와의 접촉을 방지한다.
가스 토출구(54)는, 실 벨트(40)의 이동 방향을 따라 연장되는 슬릿 형상으로 형성되고, 예를 들면 개구부(25)의 일단으로부터 타단에 걸쳐 형성되어 있다. 가스 토출구(54)는, 돌출부(53) 내부에 형성되는 버퍼실(55)에 연통하고 있다. 버퍼실(55)은, 변형 억제부(52)의 연장 방향(케이스체(24)의 길이 방향)으로 가스를 확산시키기 위한 공간이며, 당해 연장 방향으로 봤을 때, 예를 들면 직경 4 mm의 원형으로 구성되어 있다. 변형 억제부(52)에는, 버퍼실(55)에 접촉 방지용 가스로서 상기의 N2 가스를 공급하는 가스 공급로(56)를 이루는 배관이 접속되고, 당해 배관의 상류측은 N2 가스 공급원(57)에 접속되어 있다. 또한 도 7 중의 부호(58, 59)는 각각, 유량 조정부 및 밸브이다.
또한 수직벽(50B)에 있어서 돌출부(53)보다 상방의 위치(케이스체(24)의 길이 방향으로 봤을 때, 오목부의 저부쪽의 위치)에는, 당해 수직벽(50B)의 두께 방향을 따른 통기구(60)가 형성되어 있다. 상기와 같이 반송로(15)에 대하여, 케이스체(24) 내가 부압이 됨으로써 반송로(15)로부터 케이스체(24) 내로 개구부(25)를 거쳐 유입되는 공기는, 당해 통기구(60)를 통과하여, 케이스체(24)의 후방을 향해 배기된다. 통기구(60)는, 예를 들면 변형 억제부(52)의 연장 방향을 따라 등간격으로 복수 마련되어 있다.
상기한 바와 같이 2 개의 포위부(5)는 경면 대칭이기 때문에, 하측의 포위부(5)에 대한 상세한 설명은 생략하지만, 매우 간단하게 상측의 포위부(5)와의 차이점을 설명해 둔다. 당해 하측의 포위부(5)는, 케이스체(24)의 개구부(25)의 하측의 가장자리부에 의해 구성된다. 그리고, 당해 개구부(25)의 하측의 가장자리부에 마련되는 전방벽 형성 부재(51)는, 실 벨트(40)의 하단부의 표면에 대향한다. 또한, 당해 전방벽 형성 부재(51)에 대해서는, 그 상단의 높이가 개구부(25)의 하단 가장자리의 높이에 일치시키고, 또한 실 벨트(40)의 하측 가장자리의 높이보다 높게 위치한다. 그리고, 변형 억제부(52)에 대해서는, 수평벽(50A)이 전방벽 형성 부재(51)의 하방에 마련되는 것, 수직벽(50B)이 수평벽(50A)으로부터 상방을 향해 형성되는 것, 및 돌출부(53)의 전단부가 실 벨트(40)의 이면의 하단부에 대향하는 것이, 차이점으로서 꼽힌다.
또한 반송 암(11)의 외부 이동체를 이루는 각 부의 구성에 대하여 보충 설명해 두면, 지지부(2)의 기대(21) 상의 이동, 승강대(22)의 승강도, 프레임(23)의 이동과 마찬가지로 가이드 레일(31), 풀리(32, 33), 벨트(34) 및 모터(35)로 이루어지는 구동계에 의해 행해진다. 지지부(2)의 상기 구동계는 기대(21) 내에, 승강대(22)의 구동계는 프레임(23) 내에 마련된다. 또한, 기대(21)의 승강대(22) 상에서의 회전도, 모터(35)에 의해 구성되는 구동계에 의해 행해지고, 당해 구동계는 승강대(22) 내에 마련된다. 각 구동계가 마련된 공간이, 케이스체(24) 내의 공간에 연통하고, 팬(27)에 의해 배기되지만, 각 구동계 및 당해 구동계가 마련되는 공간의 도시는 생략하고 있다.
이어서 상기한 반송 암(11)의 작용에 대하여 설명한다. 먼저 웨이퍼(W)의 반송을 개시하기 전에 있어서, 반송 암(11)은, 예를 들면 타워(T1)의 전달 모듈(TRS)로부터 웨이퍼(W)를 수취하는 위치에 대기하고 있다. 이 때문에 케이스체(24) 내에 있어서는, 도 8에 나타내는 바와 같이 이동체(26)가 당해 전달 모듈(TRS)측에 위치하고 있다. 이 때 팬(27)은 회전하고 있어, 케이스체(24) 내의 파티클(100)을 포함하는 분위기가 배기되고, 또한 가스 토출구(54)로부터 실 벨트(40)의 이면을 향해 N2 가스가 토출되고 있다.
상기의 팬(27)의 배기에 의해, 케이스체(24) 내가 부압으로 되어 있다. 도 9, 도 10에 나타내는 바와 같이 반송로(15)로부터 개구부(25) 내로 공기가 흐르고, 당해 공기는, 실 벨트(40)와 전방벽 형성 부재(51)와의 간극, 변형 억제부(52)에 형성된 통기구(60)를 차례로 통과하여, 팬(27)을 향해 흘러 배기된다. 또한, 가스 토출구(54)로부터 실 벨트(40)에 토출된 N2 가스의 일부는, 포위부(5)에 의해 형성되는 오목부의 저부측을 향해 돌출부(53)의 표면을 따라 흘러, 상기의 통기구(60)를 통과하는 공기의 흐름과 합류하고, 통기구(60)를 통과하여 팬(27)을 향해 흘러 배기된다. 실 벨트(40)에 토출된 N2 가스의 다른 일부는, 오목부의 개구부측을 향해 돌출부(53)의 표면을 따라 흐르고, 상하의 2 개의 포위부(5)의 사이로부터 팬(27)을 향해 흘러 배기된다.
상기한 공기의 기류에 의해, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부는, 각각 후방측으로 밀린다. 그러나, 후방측으로부터 N2 가스의 토출이 행해지고 있기 때문에, 당해 폭 방향의 양 단부의 후방 이동, 즉 도 4, 도 5에서 설명한 실 벨트(40)의 변형이 억제된다. 그리고, 이 공기의 기류에 의한 작용이 비교적 커, 실 벨트(40)가 변형된 경우라도, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부는 돌출부(53)에 접촉하고, 그 변형량이 억제된다. 따라서, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부와, 전방벽 형성 부재(51)(개구부(25)의 가장자리부)와 간극이 커지지 않는다.
그와 같이 실 벨트(40)의 변형이 억제된 상태에서, 반송 암(11)이 타워(T1)의 전달 모듈(TRS)로부터 웨이퍼(W)를 수취하고, 예를 들면 타워(T1)로부터 봤을 때 가장 안쪽측의 레지스트 도포 모듈(14)로 반송하고, 도 11에 나타내는 바와 같이 이동체(26)에 대해서는, 타워(T1)로부터 봤을 때 앞측으로부터 안쪽측으로 이동한다. 이에 의해 케이스체(24) 내에 있어서의 이동체(26)의 진행 방향의 공간(안쪽측의 공간)의 분위기가 압축되어 승압한다.
그러나 기술한 바와 같이 실 벨트(40)의 변형이 억제되어 있으므로, 그 폭 방향의 양 단부와, 전방벽 형성 부재(51)와 간극이 좁은 상태로 되어 있다. 이 때문에 압축된 분위기에 대하여, 도 12에 나타내는 바와 같이 반송로(15)로의 방출이 억제된다. 따라서, 파티클(100)에 대해서도 케이스체(24) 내로부터 반송로(15)로 방출되는 것이 억제된다. 일례로서, 전달 모듈(TRS)로부터 레지스트 도포 모듈(14)로 웨이퍼(W)를 전달할 시의 실 벨트(40)의 상태를 설명했지만, 다른 모듈 간에서의 웨이퍼(W)의 전달을 행하는 경우에도 마찬가지로 실 벨트(40)의 변형은 억제되어, 파티클(100)의 반송로(15)로의 방출이 억제된다.
이 반송 암(11)에 의하면, 케이스체(24)에 수납된 이동체(26)를 이동시켜, 개구부(25)를 거쳐 당해 이동체(26)에 접속되는 프레임(23)을 직선 이동시킴에 있어, 개구부(25)를 폐색하는 실 벨트(40)를 마련하고 있다. 그리고, 실 벨트(40)의 폭 방향 양 단의 타면측에 대향하는 변형 억제부(52)를 구비한 포위부(5)를 마련하고 있다. 따라서, 팬(27)에 의해 케이스체(24) 내를 배기해도, 실 벨트(40)의 변형에 의한 당해 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부와, 개구부(25)의 가장자리부와의 간극의 크기가 증대되는 것이 억제된다. 그 때문에, 개구부(25)를 거쳐 케이스체(24) 내로부터 반송로(15)로 파티클(100)이 비산하는 것이 억제된다. 결과적으로, 반송로(15)를 통과하는 웨이퍼(W)에 대한 파티클(100)의 부착이 억제되어, 웨이퍼(W)로부터 제조되는 반도체 제품의 수율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 실 벨트(40)의 변형이 억제되어, 개구부(25)의 실성이 높으므로, 팬(27)의 회전수를 억제하면서, 파티클의 반송로(15)로의 비산을 억제할 수 있다. 그와 같이 팬(27)의 회전수가 억제됨으로써, 팬(27)에 공급하는 전력을 저하시킬 수 있다. 따라서, 반송 암(11)의 운용 코스트의 저감을 도모할 수 있다.
또한, 변형 억제부(52)의 수직벽(50B)에 마련한 돌출부(53)로부터 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부의 이면에 N2 가스를 토출한다. 그에 의해, 보다 확실하게 실 벨트(40)의 변형이 억제되고, 또한 변형 억제부(52)에 대한 실 벨트(40)의 접촉이 억제된다. 그와 같이 접촉이 억제됨으로써 파티클의 발생이 억제되므로, 반송로(15)로의 파티클의 비산이, 보다 확실하게 억제된다. 또한, 상기한 바와 같이 실 벨트(40)의 열화에 대해서도 억제할 수 있다.
또한 가스 토출구(54)가 실 벨트(40)의 이동 방향을 따라 연장되는 슬릿 형상으로 형성되어 있기 때문에, 개구부(25)의 길이 방향을 따른 실 벨트(40)의 각 위치에 대하여, 상기와 같이 변형 억제부(52)와의 접촉을 억제할 수 있으므로 바람직하다. 단, 이 가스 토출구(54)로서는 소경의 토출구가, 실 벨트(40)의 이동 방향을 따라 간격을 두고 다수 형성되도록 구성해도 된다. 가스 토출구(54)를 슬릿 형상으로 형성하는 경우도, 간격을 두고 복수 형성되도록 해도 된다.
또한, 가스 토출구(54)는 변형 억제부(52)를 이루는 수직벽(50B)의 돌출부(53)에 마련되고, 실 벨트(40)에 대한 위치가 비교적 가까운 위치로부터 N2 가스가 토출된다. 따라서, 실 벨트(40)에 대한 가스의 누름 압력을 비교적 크게 할 수 있다. 또한, 수직벽(50B)에 있어서, 그와 같이 가스 토출구(54)가 형성된 돌출부(53) 이외의 개소는 실 벨트(40)로부터 비교적 떨어져 있기 때문에, 실 벨트(40)에 접촉하기 어렵다. 즉, 돌출부(53)로부터 가스를 토출함으로써, 상기의 실 벨트(40)와 변형 억제부(52)와의 접촉을, 보다 확실하게 억제할 수 있으므로 바람직하다.
또한, 돌출부(53)는 실 벨트(40)의 이동 방향으로 봤을 때 원형이기 때문에, 가스 토출구(54)로부터 토출된 N2 가스는, 돌출부(53)의 표면을 따라 정체없이 흘러 팬(27)으로 향한다. 따라서, 실 벨트(40)의 이면측에 토출된 N2 가스가 체류하여, 당해 이면측의 압력이 높아져, 실 벨트(40)의 전방측이 전방벽 형성 부재(51)에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 돌출부(53)가 그와 같이 원형임으로써, 실 벨트(40)와 접촉한 경우라도, 발생하는 마찰이 비교적 작아, 실 벨트(40)의 열화 및 파티클(100)의 발생이 억제되기 때문에, 바람직하다.
또한, 변형 억제부(52)의 수직벽(50B)에 대하여, 포위부(5)에 의해 구성되는 오목부의 저부쪽의 위치에 통기구(60)가 마련되어 있다. 반송로(15)로부터 개구부(25)로 흐르는 공기에 대하여, 이 통기구(60)를 거쳐 케이스체(24)의 후방으로 흐름으로써, 돌출부(53)와 실 벨트(40)와의 사이를 통과하는 공기의 양이 저감된다. 즉, 가스 토출구(54)로부터 토출되는 N2 가스류를 횡단하도록 공기가 흘러 N2 가스류의 실 벨트(40)에 대한 가압력이 약해지는 것을 억제하는 것이 억제된다. 따라서, 상기한 실 벨트(40)와 변형 억제부(52)와의 접촉이, 보다 확실하게 억제된다.
후술하는 바와 같이 본 개시의 직동 기구(1)는, 반송 암(11)에 적용하는 것에는 한정되지 않는다. 단, 승강대(22), 기대(21), 프레임(23)에 대해서는 구동 기구를 구비함으로써, 비교적 중량이 크다. 따라서, 이들 각 부재를 지지하고 또한 프레임(23)에 접속되는 이동체(26)의 접속부에 대해서는, 강도를 높게 하기 위하여 비교적 대형으로 하는 것이 필요해지는 경우가 있다. 그와 같이 이동체(26)를 구성하는 경우, 케이스체(24)의 개구부(25)가 넓어진다. 개구부(25)가 넓어지면, 개구부(25)를 폐색하는 실 벨트(40)의 면적도 크게 할 필요가 있다. 그와 같이 면적이 커짐으로써, 실 벨트(40)의 느슨해짐이 일어나, 도 4, 도 5에서 설명한 실 벨트(40)의 변형이 일어나기 쉬워질 우려가 있다. 즉, 직동 기구(1)를 반송 암(11)에 적용함으로써, 그 변형을 억제하여, 파티클의 비산을 억제하는데 대한 높은 효과가 얻어진다고 상정되기 때문에, 바람직하다.
그런데 케이스체(24)는 분해되어, 내부를 개방할 수 있다. 구체적으로 예를 들면 케이스체(24)의 상벽부를 덮개(24A)로 하여, 당해 케이스체(24)의 다른 부위(케이스 본체)(24B)에 대하여 착탈 가능한 구성으로 할 수 있다. 그리고, 도 13에 나타내는 바와 같이, 변형 억제부(52)는 케이스체(24)에 대하여 착탈 가능하게 구성된다. 덮개(24A)를 떼어낸 케이스 본체(24B)로부터 변형 억제부(52)를 떼어내, 청소 등의 메인터넌스를 행할 수 있다. 케이스체(24)와 변형 억제부(52)와의 착탈, 및 케이스 본체(24B)와 덮개(24A)와의 착탈은, 예를 들면 볼트 및 너트 등의 체결 도구(미도시)를 이용하여 행한다.
또한 본 개시에 따른 실 벨트(40)의 변형 억제부의 변형예에 대하여, 변형 억제부(52)와의 차이점을 중심으로 설명한다. 또한, 각 변형예에 대하여 나타내는 도 14 ~ 도 17에서는, 도 3 등의 표시에 비해, 실 벨트(40)를 둘러싸는 오목부를 구성하는 전방벽 형성 부재(51) 및 변형 억제부를 구성하는 수평벽(50A)을, 간략화하여 나타내고 있다.
도 14에 나타내는 변형 억제부(52A)는, 상기한 수직벽(50B) 대신에 기립한 원기둥 형상의 회전체인 캠 팔로워(62)와, 축(61)을 구비하고 있다. 수평벽(50A)의 후부로부터 실 벨트(40)의 폭 방향의 중앙부측을 향해 축(61)이 연장되고, 그 축(61)의 단부에 캠 팔로워(62)가, 축(61) 둘레로 회전 가능하게 마련되어 있다. 따라서, 축(61) 및 캠 팔로워(62)에 의해, 측면에서 본 오목부의 후방측의 측벽이 구성되어 있다. 상기의 축(61)은 연직 방향을 따라 연장되어 있고, 따라서 실 벨트(40)의 이동 방향에 직교하고 있다. 축(61) 및 캠 팔로워(62)에 대해서는, 도 15에 나타내는 바와 같이 실 벨트(40)의 이동 방향을 따라, 예를 들면 등간격으로 복수 개 배치한다.
이와 같이 실 벨트(40)의 이면측에 캠 팔로워(62)를 복수 마련함으로써, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부의 위치를 규제하고, 당해 실 벨트(40)의 변형을 억제할 수 있다. 또한, 실 벨트(40)가 이동했을 때에, 실 벨트(40)에 캠 팔로워(62)의 주면(周面)이 접촉하고 있는 경우, 실 벨트(40)의 이동 방향으로 회전한다. 그 때문에 캠 팔로워(62)와, 실 벨트(40)와의 사이의 마찰을 경감할 수 있어, 실 벨트(40)의 열화가 억제되고, 또한 파티클의 발생이 억제된다. 또한, 실 벨트(40)가 변형하고 있지 않은 상태에 있어서, 당해 실 벨트(40)는 캠 팔로워(62)의 주면과 접해도 되고, 약간 떨어져 있어도 된다.
또한 도 16에 나타내는 변형 억제부(52B)에 대해서는, 수직벽(50B)에 통기구(60)가 마련되어 있지 않다. 그리고, 이 변형 억제부(52B)의 돌출부(53)는 판 형상의 기류 가이드 부재(63)를 구비하고 있다. 기류 가이드 부재(63)는, 돌출부(53)의 가스 토출구(54)의 가장자리부로부터, 실 벨트(40)의 폭 방향의 중심부측을 향해 연신되도록 마련되어 있다. 기류 가이드 부재(63)는, 상기와 같이 가스 토출구(54)의 가장자리부로부터 연장되기 때문에, 실 벨트(40)에 근접한다. 가스 토출구(54)로부터 토출된 N2 가스, 및 반송로(15)로부터 개구부(25)로 흘러든 공기는, 이 기류 가이드 부재(63)와 실 벨트(40)와의 사이에 형성된 간극을 흘러, 케이스체(24) 내로부터 배기된다. 이와 같이 기류 가이드 부재(63)는, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부의 이면측에 전후 폭이 작은 간극을 형성하여, 기류를 규제하는 가이드부이다. 그와 같이 실 벨트(40)의 이면측의 간극을 흐르는 기류에 의해, 베르누이의 법칙에 따른 진공 흡인력이 발생하고, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부는, 기류 가이드 부재(63)에 대하여 흡인되고 또한 비접촉의 상태가 된다. 따라서, 그 폭 방향의 양 단부의 위치가 규제되어 실 벨트(40)의 변형이 억제되고, 또한 실 벨트(40)와, 돌출부(53)와의 접촉을, 보다 확실하게 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.
또한 가스 토출구(54)와 기류 가이드 부재(63)를 전방벽 형성 부재(51)에 마련하고, 실 벨트(40)의 폭 방향 양 단부를 전방으로 흡인하고, 또한 전방벽 형성 부재(51)에 비접촉인 상태로 해도 된다. 혹은 가스 토출구(54)와 기류 가이드 부재(63)를 실 벨트(40)의 표면측 및 이면측의 양방에 마련해도 된다.
이어서, 도 17에 나타내는 변형 억제부(52C)에 대하여 설명한다. 이 변형 억제부(52C)에는, 통기구(60)가 마련되어 있지 않다. 그리고, 수직벽(50B)의 단부가, 돌출부(53)보다 실 벨트(40)의 폭 방향 중심부를 향해 연신되어 있다. 그 연신된 부위에 대하여, 내부에는 배기로(65)가 형성되고, 실 벨트(40)에 대향하는 전면에는, 배기로(65)에 연통하는 흡인구(64)가 개구되어 있다. 따라서, 흡인구(64)는 가스 토출구(54)에 대하여 오목부의 개구측에 마련되어 있다. 반송로(15)로부터 유입된 공기 및 가스 토출구(54)로부터 토출된 N2 가스에 대하여, 일부는 흡인구(64)로 유입되어 배기되고, 다른 일부는 수직벽(50B)의 전방을 통과하여 팬(27)으로 유입되어 배기된다. 이와 같이 가스 토출구(54)로부터의 가스의 토출과 함께 흡인구(64)로부터의 흡인을 행함으로써, 가스 토출구(54)로부터 토출되는 N2 가스에 의해, 실 벨트(40)의 이면측의 압력이 너무 높아지는 것을 방지할 수 있다. 그러한 이면측의 압력의 상승을 방지함으로써, 실 벨트(40)의 전방벽 형성 부재(51)에 대한 접촉을 억제할 수 있다.
그런데, 도 18에 케이스체(24)의 다른 구성예를 나타내 둔다. 도 18의 케이스체(24) 내의 전후의 중앙부에는, 수평인 구획판(68)이 마련되어, 이동체(26) 및 벨트(34)가 이동하는 영역과, 그 상방의 영역(구획 영역(66)으로 함)을 구획한다. 구획 영역(66)에는, 팬(27)과는 별개로 팬(67)이 마련된다. 개구부(25)로부터 케이스체(24) 내로 유입된 공기는, 팬(67)에 의해 구획 영역(66)으로 흐르고, 또한 구획 영역(66)의 후방을 향하여, 팬(27)에 의해 배기된다. 즉, 이동체(26)가 이동하는 영역을 우회하는 배기 경로가 형성되어 있다. 이와 같이 구성함으로써 이동체(26)의 이동 영역에 있어서의 파티클(100)의 수가 저감된다. 따라서, 이 이동 영역에서 이동체(26)의 이동에 의한 분위기의 승압이 일어나, 당해 분위기가 개구부(25)로 흘러도, 그 분위기에 포함되는 파티클(100)의 수는 적다. 따라서, 반송로(15)로의 파티클(100)의 비산을, 보다 확실하게 억제할 수 있다.
[제 2 실시 형태]
제 2 실시의 형태에 따른 직동 기구에 대하여 설명한다. 도 19에 나타내는 바와 같이 제 2 실시 형태에 따른 직동 기구는, 케이스체(24) 내에 마련된 가이드 레일(31)을 따라 직선 이동하는 내부 이동체(70)를 구비하고 있다. 내부 이동체(70)는, 제 1 실시 형태의 이동체(26)에 상당하며, 이동체(26)와 마찬가지로 모터(35) 및 벨트(34) 등의 케이스체(24) 내에 마련되는 각 부재에 의해 수평 이동하는데, 이들 각 부재의 도시는 생략하고 있다.
내부 이동체(70)의 높이 치수는, 개구부(25)의 폭 치수 및 실 벨트(40)의 폭 치수보다 크고, 내부 이동체(70)의 전면에 있어서의 상하 단부의 주연이, 개구부(25)의 폭 방향의 가장자리부와 각각 대향한다. 또한 내부 이동체(70)의 전방에는, 도시하지 않는 외부 이동체에 접속되고, 개구부(25)로부터 케이스체(24)의 외부로 돌출되는 접속부(71)가 마련되어 있다.
또한 케이스체(24)의 내측에는, 실 벨트(40)를 그 폭 방향에 있어서의 양 단부의 일면측이 케이스체(24)의 개구부(25)의 가장자리부에 떨어져 대향하도록 배치하고 있다. 실 벨트(40)는, 내부 이동체(70)를 관통하도록 마련되어 있다. 그리고, 제 2 실시 형태에서는, 실 벨트(40)는 환상은 아니다. 실 벨트(40)의 길이 방향의 일단측과 타단측이 각각 케이스체(24) 내의 지지 기둥(72)에 고정되고, 당해 실 벨트(40)는, 개구부(25)를 폐색하도록 배치되어 있다. 도 19 중의 부호(73)는, 실 벨트(40)가 개구부(25)의 부근에서 팽팽해지도록 위치를 규제하기 위한 종동 롤러이며, 개구부(25)의 길이 방향에 있어서의 당해 개구부(25)의 외측에 배치되어 있다.
또한 내부 이동체(70) 내에 있어서, 내부 이동체(70)의 이동 방향(케이스체(24)의 길이 방향)을 향하는 양 측벽의 부근에는, 외측 종동 롤러(74)가 각각 마련되어 있다. 외측 종동 롤러(74)는, 내부 이동체(70)의 외측에 있어서 실 벨트(40)가 개구부(25) 부근을 지나도록 위치를 규제하는 역할을 가지고, 당해 개구부(25) 부근에 마련되어 있다. 또한 내부 이동체(70)의 내부에는, 내부 이동체(70)의 내부를 통과하는 실 벨트(40)를 개구부(25)로부터 떨어진 위치를 지나도록 규제하는 종동 롤러(75)가 2 개, 외측 종동 롤러(74)보다 후방 위치에, 케이스체(24)의 길이 방향으로 떨어져 마련되어 있다. 또한, 각 롤러(73 ~ 75)의 회전축은, 연직축을 따르고 있다.
즉, 이 제 2 실시 형태에서는 실 벨트(40)에 대하여 내부 이동체(70)가 이동한다. 그리고, 케이스체(24)에 있어서의 내부 이동체(70)의 위치에 대응하고, 실 벨트(40)의 길이 방향의 각 부위에 대하여, 전후의 위치가 바뀌도록, 당해 실 벨트(40)는 내부 이동체(70)의 롤러(74, 75)에 걸려 있다. 구체적으로, 실 벨트(40) 중 내부 이동체(70) 내에 들어간 부위(제 1 부위)에 대해서는 후방측에, 내부 이동체(70)의 외측의 부위(제 2 부위)에 대해서는 전방측, 즉 개구부(25) 부근에 위치한다.
또한 도 20에 나타내는 바와 같이 케이스체(24)의 내면에 있어서의 개구부(25)의 상측 가장자리부, 하측 가장자리부에, 각각 흡인홀(76)이 후방을 향해 개구되어 있다. 이 예에서는, 상측 가장자리부, 하측 가장자리부의 각각에 상하 2 단으로 흡인홀(76)이 형성되어 있다. 그리고 상측 가장자리부, 하측 가장자리부 각각에 있어서, 개구부(25)의 길이 방향을 따라 각 흡인홀(76)은 간격을 두고 다수 마련되어 있다. 흡인홀(76)은, 실 벨트(40)의 폭 방향 양 단부의 표면측을 흡인하는 흡인부로서 구성되고, 실 벨트(40)에 있어서의 내부 이동체(70)의 외측의 부위를, 개구부(25)의 가장자리부에 밀착시킬 수 있다.
내부 이동체(70)가 이동하고, 실 벨트(40) 중 내부 이동체(70) 내로 진입하는 영역은, 이 내부 이동체(70)의 이동에 의해 더해지는 응력에 의해, 도 21에 나타내는 바와 같이 개구부(25)의 가장자리부로부터 떨어뜨려진다. 한편, 실 벨트(40) 중, 내부 이동체(70)의 내측으로부터 외측으로 나오는 영역은, 도 20에 나타내는 바와 같이 개구부(25)의 부근에 위치하고, 흡인홀(76)에 의해 흡인되어, 개구부(25)의 가장자리부에 밀착한다.
이와 같이 실 벨트(40)가 밀착함으로써, 케이스체(24) 내를 배기하여 부압으로 했을 때에도, 개구부(25)를 폐색하는 실 벨트(40)가 케이스체(24)의 후방으로 끌어들여지지 않는다. 따라서 실 벨트(40)의 폭 방향 양 단부의 주연과, 개구부(25)의 가장자리부와의 간극이 넓게 되지 않아, 내부 이동체(70)의 이동에 의해 케이스체(24) 내가 승압했을 때도, 파티클(100)을 포함하는 분위기가, 케이스체(24)의 외부로 유출되는 것을 억제할 수 있다.
상기의 흡인홀(76)로서는, 가로로 긴 슬릿이어도 된다. 또한, 실 벨트(40)를 케이스체(24)에 흡인하는 흡인부로서는 상기의 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면 실 벨트(40)의 폭 방향의 가장자리부가 금속을 포함하고, 케이스체의 개구부(25)의 가장자리부에는 자석이 배치되는 구성으로 한다. 실 벨트(40)에 있어서, 내부 이동체(70)의 외측에서 개구부(25) 부근에 위치한 부위가, 자석의 자력에 의해 가장자리부에 흡인되어, 밀착하는 구성으로 해도 된다. 즉, 배기에 의해 실 벨트(40)를 흡인하는 구성으로 하는 것에는 한정되지 않는다.
[제 3 실시 형태]
제 3 실시 형태에 따른 직동 기구에 대하여, 제 1 실시 형태에 따른 직동 기구(1)와의 차이점을 중심으로 설명한다. 제 3 실시 형태에 따른 직동 기구(1)는, 포위부(5)의 구성이 제 1 실시 형태에 따른 직동 기구(1)와 상이하다. 도 22에 나타내는 바와 같이 제 3 실시 형태에 따른 직동 기구의 포위부(5)는, 케이스체(24)의 길이 방향을 따라 연장되는 유지 도구(77)를 구비하고 있다. 이 유지 도구(77)의 종단면은 오목부(77A)를 형성하고 있다. 2 개의 유지 도구(77)는, 오목부(77A)의 개구측을 서로 대향시키도록 배치되어 있다. 즉, 상측의 유지 도구(77)의 오목부(77A)는 하방을 향해 개구되고, 하측의 유지 도구(77)의 오목부(77A)는 상방을 향해 개구되어 있다. 그리고 유지 도구(77)에 대해서는, 오목부(77A)의 개구측과는 반대측, 즉 오목부(77A)의 외측에 전자석(79)이 마련되어 있고, 전자석(79)은, 유지 도구(77)의 길이 방향(케이스체(24)의 길이 방향)을 따라 배치되어 있다. 그리고 각 오목부(77A) 내에는, 자성 유체(78)가 충전되어 있고, 전자석(79)의 자력에 의해 당해 오목부(77A) 내에 유지되어 있다. 그리고, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부는 오목부(77A) 내에 위치하고, 자성 유체(78)와 접촉하는 한편, 유지 도구(77)와는 비접촉으로 되어 있다.
즉, 자성 유체(78)에 의해 실 벨트(40)와 개구부(25)와의 사이의 간극이 실링되어 있다. 이러한 구성으로 하는 경우도, 실 벨트(40)의 폭 방향의 양 단부는 오목부(77A) 내에 위치하고 있으므로, 후방으로의 이동이 규제된다. 또한 상기와 같이 자성 유체(78)에 의해 간극이 실링되기 때문에, 케이스체(24)로부터 반송로(15)로의 파티클의 비산이, 보다 확실하게 억제된다. 또한 실 벨트(40)의 단부는 자성 유체(78) 중을 이동하기 때문에, 실 벨트(40)의 단부에 큰 마찰력이 작용하지 않아, 실 벨트(40)의 열화 및 실 벨트(40)의 스침에 의한 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
또한 도 23에 나타내는 바와 같이 오목부(77A)가 후방을 향해 개구되도록 각 유지 도구(77)를 설치하고, 실 벨트(40)의 폭 방향 양단을 전방측으로 꺾어 자성 유체(78)에 접촉시키는 구성이어도 된다.
이어서 도 1에 나타낸 처리부(10)가 마련되는 도포, 현상 장치(1A)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 24, 도 25는 각각 도포, 현상 장치의 개략 종단 측면도, 평면도이다. 이 도포, 현상 장치는 캐리어 블록(D1), 처리 블록(D2), 인터페이스 블록(D3)이 차례로 직선 형상으로 접속됨으로써 구성된다. 인터페이스 블록(D3)에 대하여, 처리 블록(D2)의 접속 방향과 반대측에는, 노광 장치(D4)가 접속된다. 캐리어 블록(D1)은 캐리어(C)를 도포, 현상 장치(1A) 내에 반입반출하는 역할을 가지며, 캐리어(C)의 배치대(91)와, 캐리어(C)의 덮개부를 개폐하기 위하여 승강하는 개폐부(92)와, 개폐부(92)를 개재하여 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)를 반송하기 위한 이동 배치 기구(93)를 구비하고 있다.
처리 블록(D2)은, 단위 블록(E1 ~ E6)이 아래로부터 차례로 적층되어 구성되어 있다. 단위 블록(E1 ~ E3)은 각각이 상기의 처리부(10)에 상당하고, 웨이퍼(W)에 레지스트막을 형성한다. 단위 블록(E4 ~ 6)은, 단위 블록(E1 ~ E3)과 대략 동일한 구성인데, 레지스트 도포 모듈(14) 대신에 현상 모듈을 구비하고 있다.
도 1에 나타낸 타워(T1)는 캐리어 블록(D1)측에 마련되고, 각 단위 블록(E1 ~ E6)에 걸쳐 상하로 연장된다. 그리고, 단위 블록(E1 ~ E6)의 각 높이에, 전달 모듈(TRS)을 구비한다. 또한, 도 1에서는 표시를 생략했지만, 타워(T1)에 대하여 웨이퍼(W)의 전달을 행하기 위한 승강 가능한 전달 암(95)이 마련되어 있다. 또한 도 24에서는 각 단위 블록(E1 ~ E6)의 반송 암(11)은, F1 ~ F6로서 나타내고 있다.
인터페이스 블록(D3)은 단위 블록(E1 ~ E6)에 걸쳐 상하로 연장되는 타워(T2, T3, T4)를 구비하고 있다. 타워(T2)와 타워(T3)에 대해서는, 승강 가능한 인터페이스 암(96)에 의해, 타워(T2)와 타워(T4)에 대해서는 승강 가능한 인터페이스 암(97)에 의해, 각각 웨이퍼(W)의 전달이 행해진다. 또한 타워(T2)와 노광 장치(D4)의 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행하기 위한 인터페이스 암(98)이 마련되어 있다. 타워(T2)에는, 전달 모듈(TRS) 등의 모듈이 서로 적층되어 있다. 또한 타워(T3, T4)에도 각각 모듈이 마련되어 있지만, 여기서는 설명을 생략한다.
이 도포, 현상 장치(1A)에서는, 캐리어(C)에 의해 반송된 웨이퍼(W)는, 단위 블록(E1 ~ E3)으로 반송되어, 기술한 바와 같이 레지스트막의 형성 처리, 가열 처리를 차례로 받는다. 그리고, 당해 웨이퍼(W)는 인터페이스 블록(D3)의 타워(T2)의 단위 블록(E1 ~ E3)의 각 높이의 전달 모듈(TRS)을 개재하여 노광 장치(D4)로 반송되어, 노광 처리를 받는다. 노광 후의 웨이퍼(W)는, 타워(T2)의 단위 블록(E4 ~ E6)의 각 높이의 전달 모듈(TRS)로 반송된다. 이어서 웨이퍼(W)는, 단위 블록(E4 ~ E6)에서 가열 처리, 현상 처리를 차례로 받아, 레지스트막에 패턴이 형성된 후, 캐리어(C)로 되돌려진다.
본 개시에 따른 직동 기구(1)는, 도 24에 나타낸 도포, 현상 장치에 있어서의 캐리어(C)의 덮개부를 개방하는 개폐부(92)에 적용해도 된다. 본 개시에 따른 직동 기구를 적용함으로써 캐리어(C)로부터 실어내지는 웨이퍼(W)의 반송 경로로의 파티클의 방출을 억제할 수 있어, 웨이퍼(W)에 대한 파티클의 부착을 억제할 수 있다.
또한 본 개시에 따른 직동 기구는, 레지스트 도포 모듈(14)에 적용해도 된다. 보다 구체적으로, 예를 들면 레지스트를 토출하는 노즐의 이동 기구에 적용한다. 이하, 도 26을 참조하여 설명한다. 도면 중 87은, 웨이퍼(W)를 처리하기 위하여 둘러싸는 컵이다.
도 26에 나타내는 바와 같이 노즐 이동 기구(8)는, 제 1 실시 형태에 나타낸 직동 기구(1)와 각각 대략 동일한 구조의 제 1 하우징(81)과, 제 2 하우징(82)을 구비하고 있다. 제 1 하우징(81) 및 제 2 하우징(82)과, 제 1 실시 형태에 나타낸 직동 기구와의 차이점을 중심으로 설명하면, 제 1 하우징(81)은, 외부 이동체인 노즐(80)을 접속부인 암(83)을 개재하여 내부 이동체인 이동체(84)에 접속되어 있고, 노즐(80)을 상하 방향으로 이동시키도록 배치되어 있다. 또한 제 1 하우징(81)에는, 팬(27)이 마련되는 것 대신에, 하면에 배기구(85)가 형성되어 있다.
제 2 하우징(82)은, 개구부(25)가 상방을 향하도록 설치되고, 외부 이동체인 제 1 하우징(81)을 수평 방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 또한 예를 들면 제 1 하우징(81)을 지지하는 접속부(86)는 관 형상으로 구성되어 있다. 이 접속부(86)의 일단이 제 1 하우징(81)의 배기구(85)에 접속되어 있고, 타단이 제 2 하우징(82) 내에 개구되어 있다. 그리고 제 2 하우징(82)의 팬(27)에 의해 배기했을 때에, 접속부(86)를 개재하여 제 1 하우징(81) 내도 일괄하여 배기된다.
노즐 이동 기구(8)의 작용에 의해, 노즐(80)에 대해서는 컵(87) 내의 웨이퍼(W)에 대한 정해진 높이의 처리 위치와, 컵(87)의 외측에 있어서의 정해진 높이의 대기 위치와의 사이에서 이동한다. 제 1 하우징(81) 및 제 2 하우징(82)의 각각이 직동 기구(1)와 동일하게 구성됨으로써, 그와 같이 노즐(80)을 이동시킴에 있어, 각 하우징으로부터의 파티클의 비산이 억제되어, 당해 파티클의 웨이퍼(W)에 대한 부착을 억제할 수 있다.
이와 같이 본 개시의 직동 기구는, 반송 암(11)에 적용되는 것에는 한정되지 않는다. 레지스트 이외의 약액을 공급하는 장치의 노즐 이동 기구에 본 기술의 직동 기구를 적용해도 된다. 또한 상기한 예 외에는 예를 들면, 기판을 처리하는 장치, 모듈에 있어서, 반송 기구에 대하여 기판을 전달하기 위하여 마련되는 승강 핀을 승강시키는 승강 기구에 당해 직동 기구를 적용해도 된다. 또한, 캐리어(C)의 배치대(91)를 언로드 위치(배치대(91)에 캐리어(C)를 전달하는 위치)와, 로드 위치(장치로 웨이퍼(W)를 반입시키는 위치)와의 사이에서 이동시키는 이동 기구에, 당해 직동 기구를 적용해도 된다. 또한 직동 기구에 의한 외부 이동체의 이동 방향은, 기술한 각 예와 같이 상하 방향, 수평 방향에 한정되지 않고, 예를 들면 경사 방향이어도 된다.
[제 1 실시 형태의 가일층의 변형예]
이어서, 제 1 실시 형태의 가일층의 변형예에 대하여 도 27 및 도 28의 종단 측면도, 도 29의 사시도를 참조하여, 도 6 등에서 나타낸 제 1 실시 형태와의 차이점을 중심으로 설명한다. 또한, 도 27, 도 28은 실 벨트(40)의 이동 방향(직선 방향)에 있어서, 서로 상이한 위치의 단면을 나타내고 있다. 이 변형예에 있어서도 제 1 실시 형태와 마찬가지로, 케이스체(24)의 내부의 상측, 하측에, 실 벨트(40)의 이동 방향으로 봤을 때 오목부를 이루는 포위부(5)가 각각 마련되어 있다. 이하, 대표하여 상측의 포위부(5)에 대하여 설명한다.
이 변형예에 있어서의 포위부(5)에 대해서는, 실 벨트(40)의 이동 방향으로 장척인 부재이며, 예를 들면 수지에 의해 구성되고, 오목부를 이루는 각 측벽 및 저벽이 일체적으로 형성되어 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 제 1 실시 형태에서 기술한 전방벽 형성 부재(51)는 수평벽(50A)에 접속되도록 구성되고, 당해 전방벽 형성 부재(51), 수평벽(50A) 및 수직벽(50B)이, 일체가 되어 오목부인 포위부(5)를 형성하고 있고, 당해 포위부(5)가, 실 벨트(40)의 상단부를 둘러싸고 있다. 그리고, 이 변형예의 포위부(5)의 수직벽(50B)(오목부의 일방측의 측벽)에는 돌출부(53) 및 통기구(60)가 마련되어 있지 않고, 수직벽(50B)의 전면은 실 벨트(40)의 상단부의 이면측(다른 면측)에 대향하고 또한 근접하는(즉, 실 벨트(40)에 대하여 약간 떨어져 마련되는) 수직면(59)으로서 구성되어 있다. 이 포위부(5)는 케이스체(24) 내의 상측에 있어서, 당해 실 벨트(40)의 이동 방향으로 간격을 두고, 복수 마련되어 있다.
그리고 케이스체(24) 내의 상측에는, 복수의 롤러 유닛(110)이 마련되어 있다. 각 롤러 유닛(110)은 대부(101) 및 롤러(102)를 구비하고 있다. 대부(101)는, 실 벨트(40)의 상단보다 상방 위치에 마련되고, 당해 대부(101)로부터 세로로 긴 롤러(102)가 하방으로 연장되어, 당해 롤러(102)의 주면이 실 벨트(40)의 상단부의 이면에 대향하고 있다. 롤러(102)는 연직축을 회전축으로서 회전하는 회전체이며, 롤러(102)의 상단측은 베어링(103)으로 둘러싸이고, 당해 베어링(103)을 개재하여 당해 대부(101)에 접속되어 있다. 실 벨트(40)의 이동 방향을 향해 보면, 롤러(102)의 전방측의 단부는, 상기한 포위부(5)의 수직벽(50B)에 있어서의 수직면(55)보다 실 벨트(40)의 이면에 가까운 위치에 마련되어 있고, 예를 들면 당해 이면에 근접 또는 접촉하고 있다. 이 롤러 유닛(110)에 대해서도 실 벨트(40)의 상부측에 복수 마련되어 있고, 롤러 유닛(110)과 포위부(5)가, 실 벨트(40)의 이동 방향에 있어서 교호로 배치되어 있다. 따라서 롤러(102)와 수직벽(50B)이 당해 이동 방향으로 배열되어 마련되어 있다.
그리고, 이 제 1 실시 형태의 가일층의 변형예에 있어서도, 기술한 각 예와 마찬가지로, 케이스체(24)의 개구부 부근의 구성은 상하로 경면 대칭으로 되어 있다. 따라서, 케이스체(24) 내의 하방측에는, 복수의 포위부(5) 및 복수의 롤러 유닛(110)이 마련되어 있고, 이들 포위부(5) 및 당해 롤러 유닛(110)이, 실 벨트(40)의 이동 방향을 따라 교호로 배치되어 있다. 그와 같이 케이스체(24) 내의 하방측의 포위부(5)에 의해 실 벨트(40)의 하단부가 둘러싸이고, 당해 포위부(5)의 수직벽(50B)이 실 벨트(40)의 하단부의 이면에 대향한다. 또한, 그와 같이 케이스체(24) 내의 하방측에 마련된 롤러 유닛(110)의 대부(101)는, 실 벨트(40)의 하단보다 하방에 위치하고 있고, 당해 대부(101)로부터 상방으로 롤러(102)가 돌출되어, 실 벨트(40)의 하단부의 이면에 대향한다. 그와 같이 케이스체(24) 내의 하방측에 각각 마련되는 포위부(5)의 수직벽(50B)과, 롤러(102)와의 위치 관계는, 기술한 케이스체(24) 내의 상측에 각각 마련되는 포위부(5)의 수직벽(50B)과, 롤러(102)와의 위치 관계와 동일하다. 또한, 상측에 있어서의 포위부(5) 및 롤러 유닛(110)과, 하측에 있어서의 포위부(5) 및 롤러 유닛(110)에 대하여, 실 벨트(40)의 이동 방향에 있어서의 서로의 위치는 동일한 것에는 한정되지 않고, 예를 들면 약간 어긋나 있어도 된다.
이상에 기술한 가일층의 변형예에 있어서는, 실 벨트(40)의 이면측에 위치하는 포위부(5)의 수직벽(50B)에 의해, 실 벨트(40)의 비교적 큰 변형이 방지된다. 또한, 수직벽(50B)과 동일하게 실 벨트(40)의 이면측에 위치하는 롤러(102)도 실 벨트(40)의 변형의 억제에 기여한다. 따라서, 제 1 실시 형태와 마찬가지로, 케이스체(24)의 개구부(25)에 대한 실성을 높게 할 수 있다. 이 변형예에 있어서는, 수직벽(50B) 및 롤러(102)가 실 벨트(40)의 변형 억제부에 상당한다. 그리고, 실 벨트(40)가 변형하고 있지 않을 때, 혹은 실 벨트(40)의 변형량이 작을 때에는, 롤러(102)에 의해 실 벨트(40)와 수직벽(50B)과의 슬라이드 이동이 방지되도록 당해 실 벨트(40)의 이동이 가이드되므로, 당해 실 벨트(40)로부터의 파티클의 발생이 억제된다. 또한, 상기의 슬라이드 이동이 억제됨으로써, 실 벨트(40)의 장기 수명화를 도모할 수 있다.
또한, 롤러 유닛(102)에 대해서는 도 14에서 나타내고 있는 바와 같이 축(61)과, 당해 축(61)보다 큰 직경을 가지고 또한 축(61)에 대하여 회전하는 롤러인 캠 팔로워(62)를 구비한 구성으로 해도 된다. 그러나 상기의 롤러 유닛(110)에 의하면, 실 벨트(40)에 대하여 상방, 하방에 각각 배치되는 베어링(103)을 구비한 기부(102)로부터 하방, 상방으로 롤러(102)가 연장되는 구성으로 되어 있다. 당해 구성에 의해 롤러(102)를 소경으로 하고, 롤러(102)의 회전축에 대하여 비교적 전방의 개구부(25)쪽의 위치로 할 수 있다. 따라서, 롤러 유닛(110)의 전후의 폭을 억제할 수 있기 때문에, 케이스체(24)의 대형화를 방지할 수 있다.
금회 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시로 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 상기의 실시 형태는, 첨부한 청구의 범위 및 그 주지를 일탈하지 않고, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경, 조합이 행해져도 된다.
24 : 케이스체
25 : 개구부
26 : 이동체
40 : 실 벨트
52 : 변형 억제부
76 : 흡인홀

Claims (17)

  1. 내부가 배기되는 케이스체와,
    상기 케이스체에 형성되는 개구부와,
    상기 케이스체 내에 마련되어, 직선 방향으로 이동하는 내부 이동체와,
    상기 개구부로부터 상기 케이스체의 외부로 돌출되도록 상기 내부 이동체에 마련되고 또한 케이스체의 외부에 있어서 외부 이동체와 접속되고, 상기 내부 이동체의 이동에 수반하여 상기 외부 이동체를 이동시키기 위한 접속부와,
    상기 직선 방향으로 연장되어 상기 개구부를 폐색하도록 케이스체 내에 마련되고 또한, 폭 방향에 있어서의 양 단부의 일면측이 상기 개구부의 가장자리부에 떨어져 대향하는 실 벨트와,
    상기 내부 이동체의 이동에 따라 상기 직선 방향으로 이동하도록 상기 내부 이동체에 접속된 상기 실 벨트에 대한 변형을 억제하기 위하여, 상기 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에 대향하여 마련되는 변형 억제부이거나,
    혹은, 상기 내부 이동체의 위치에 대응하는 제 1 부위가, 상기 제 1 부위와는 상기 직선 방향으로 상이한 제 2 부위보다 상기 개구부로부터 멀어지도록 상기 내부 이동체에 걸리는 상기 실 벨트에 대한 상기 양 단부의 일면측을 흡인하여, 상기 제 2 부위를 상기 개구부의 가장자리부에 밀착시키기 위하여, 상기 케이스체에 마련되는 흡인부
    를 구비한 직동 기구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 변형 억제부가, 상기 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에, 상기 실 벨트에 대하여 떨어져 마련되고,
    상기 직선 방향으로 봤을 때, 상기 실 벨트의 양 단부를 각각 둘러싸는 오목부가 형성되고, 상기 오목부의 일방의 측벽, 타방의 측벽은 상기 변형 억제부, 상기 개구부의 가장자리부에 의해 각각 구성되는 직동 기구.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 각 변형 억제부에는, 상기 변형 억제부와 상기 실 벨트와의 접촉을 방지하기 위한 접촉 방지부가 마련되는 직동 기구.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 각 변형 억제부는, 상기 직선 방향으로 연장되고,
    상기 접촉 방지부는, 상기 직선 방향으로 복수 마련되거나, 혹은 상기 직선 방향으로 연장되는 슬릿으로서 형성된, 상기 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에, 상기 변형 억제부로의 접촉 방지용 가스를 토출하는 가스 토출구를 구비하는 직동 기구.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 변형 억제부에 의해 형성되는 상기 오목부의 측벽은, 상기 개구부의 가장자리부를 향해 돌출되고 또한 상기 직선 방향으로 형성된 돌출부를 구비하고,
    상기 가스 토출구는 상기 돌출부에 마련되는 직동 기구.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 돌출부의 선단부는, 상기 직선 방향으로 봤을 때 원형인 직동 기구.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 실 벨트와 상기 돌출부와의 거리는 0.5 mm 이하이며, 상기 실 벨트와 상기 개구부의 가장자리부와의 거리는 0.5 mm 이상, 1 mm 이하인 직동 기구.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 접촉 방지부는, 상기 돌출부에 개구된 상기 가스 토출구의 가장자리부로부터 상기 실 벨트의 폭 방향의 중심부측을 향해 연신되어 형성되고, 상기 변형 억제부와 상기 실 벨트와의 사이의 상기 접촉 방지용의 가스의 흐름을 가이드하는 가이드부를 포함하는 직동 기구.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 변형 억제부는, 상기 가스 토출구로부터 토출된 가스를 흡인하기 위한 흡인구를, 상기 가스 토출구에 대하여 상기 오목부의 개구측에 구비하는 직동 기구.
  10. 제 3 항에 있어서,
    상기 변형 억제부에 의해 형성되는 상기 오목부의 측벽에 있어서, 상기 가스 토출구보다 상기 오목부의 저부쪽에, 상기 오목부의 내외를 연통시키는 통기구가 마련되는 직동 기구.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 변형 억제부는 상기 케이스체에 대하여 착탈 가능한 직동 기구.
  12. 제 2 항에 있어서,
    상기 오목부 내에는 자성 유체가 충전되고. 상기 자성 유체를 상기 오목부 내에 유지하기 위한 자석이 상기 오목부의 외측에 마련되는 직동 기구.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 변형 억제부가, 상기 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에 마련되고,
    상기 변형 억제부는, 상기 실 벨트와의 마찰을 저감하기 위하여 상기 실 벨트의 이동 방향에 직교하는 회전축 둘레로 회전하는 회전체를 구비하는 직동 기구.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 직선 방향으로 봤을 때, 상기 실 벨트의 양 단부를 각각 둘러싸는 오목부가 형성되고,
    상기 변형 억제부는, 상기 직선 방향으로 배열되어 마련되는 상기 회전체와 상기 오목부의 일방의 측벽을 포함하고,
    상기 오목부의 일방의 측벽은, 상기 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에, 상기 실 벨트에 대하여 떨어져 마련되고, 상기 회전체는 상기 오목부의 일방의 측벽보다 상기 실 벨트의 가까이에 위치하는 직동 기구.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡인부가 마련되고,
    상기 흡인부는, 상기 케이스체에 형성된 벨트 밀착용의 흡인홀을 구비하는 직동 기구.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 외부 이동체는, 반도체 제조용의 기판을 지지하는 기판 지지부를 구비하는 직동 기구.
  17. 개구부가 형성되는 케이스체의 내부를 배기하는 공정과,
    상기 케이스체 내에 마련되는 내부 이동체를, 직선 방향으로 이동시키는 공정과,
    상기 개구부로부터 상기 케이스체의 외부로 돌출되도록 상기 내부 이동체에 마련되고 또한 케이스체의 외부에 있어서 외부 이동체와 접속되는 접속부를 이동시키고, 상기 내부 이동체의 이동에 수반하여 상기 외부 이동체를 이동시키는 공정과,
    상기 케이스체의 외측에, 상기 접속부에 접속되어 마련되는 외부 이동체를, 상기 내부 이동체의 이동에 따라 상기 직선 방향으로 이동시키는 공정과,
    상기 직선 방향으로 연장되어 케이스체 내에 마련되고 또한, 폭 방향에 있어서의 양 단부의 일면측이 상기 개구부의 가장자리부에 떨어져 대향하는 실 벨트에 의해, 상기 개구부를 폐색하는 공정과,
    상기 실 벨트의 폭 방향의 양 단부의 타면측에 대향하여 마련되는 변형 억제부에 의해, 상기 내부 이동체의 이동에 따라 상기 직선 방향으로 이동하도록 상기 내부 이동체에 접속된 상기 실 벨트에 대한 변형을 억제하는 공정이거나,
    혹은, 상기 내부 이동체의 상기 직선 방향의 위치에 대응하는 제 1 부위가, 상기 제 1 부위와는 상이한 제 2 부위보다 상기 개구부로부터 멀어지도록 상기 내부 이동체에 걸리는 상기 실 벨트의 상기 양 단부의 일면측을, 상기 케이스체에 마련되는 흡인 기구에 의해 흡인하여 상기 제 1 부위를 상기 개구부의 가장자리부에 밀착시키는 공정
    을 구비한 파티클의 비산 억제 방법.
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