WO2023228660A1 - 容器保管装置 - Google Patents

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WO2023228660A1
WO2023228660A1 PCT/JP2023/016103 JP2023016103W WO2023228660A1 WO 2023228660 A1 WO2023228660 A1 WO 2023228660A1 JP 2023016103 W JP2023016103 W JP 2023016103W WO 2023228660 A1 WO2023228660 A1 WO 2023228660A1
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WO
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container
side wall
gas
nozzle
storage device
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/016103
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
靖久 伊藤
Original Assignee
村田機械株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present invention relates to a container storage device.
  • the container storage device includes a purge device that supplies purge gas such as nitrogen gas into the container.
  • the above-mentioned container is provided with a lid on its side surface for opening and closing an opening for loading and unloading articles, and purge gas may leak from around the lid. Therefore, the container storage device described in Patent Document 1 is provided with a suction device that sucks gas leaking from the lid while the purge device is supplying purge gas into the container.
  • the suction device described in Patent Document 1 is provided facing the lid of each container, and has an opening larger than the lid in order to suck gas leaking from the lid. Therefore, not only the suction device becomes larger, but also the structure of the container storage device may become complicated. Therefore, there is a need to suction the gas leaking from the lid with a simpler configuration than before.
  • An object of the present invention is to provide a container storage device that has a simple configuration and is capable of sucking gas leaking from a container lid.
  • a container storage device includes a mounting table on which a container having a lid on its side is placed, a purge device that supplies purge gas to the container, and a suction device that sucks gas leaked from the container.
  • the mounting table includes a bottom portion on which the container is placed, a side wall portion extending upward from the bottom portion and facing the lid of the container placed on the bottom portion, and a suction device. sucks the gas leaking from the side where the lid of the container is located through the first opening provided in the bottom or side wall, and the upper end of the side wall is connected to the upper end of the lid of the container placed on the bottom. lower than.
  • the suction device can be made smaller than a conventional suction device that has an opening larger than the lid of the container. Furthermore, gas leaking from around the lid of the container can be sucked with a simpler configuration than before.
  • the mounting table can place a plurality of containers, the bottom part and the side wall part are formed continuously over the plurality of containers, and the number of first openings is such that a plurality of containers can be placed on the mounting table.
  • the number of containers may be less than the actual number of containers.
  • the number of first openings can be smaller than the number of containers that can be placed on the mounting table. Therefore, the number of members such as a cover covering the first opening and piping connected to the first opening is reduced, and the configuration can be further simplified.
  • the side wall portion may be provided so as to collectively surround all four sides of the plurality of containers placed on the bottom surface portion.
  • the side wall portion surrounds the plurality of containers all together, the number of members is reduced, and the configuration can be further simplified.
  • the height of the upper end of the side wall portion may be set in a range of 80 mm or more and 120 mm or less from the bottom surface portion or the bottom surface of the container. According to this configuration, gas leaking from the container can be sucked while suppressing the height of the side wall portion. Further, the height of the upper end of the side wall portion may be set in a range of 1/4 or more and 1/3 or less of the height of the container placed on the bottom portion. According to this configuration, even if the container is tilted, the container can be prevented from falling by hitting the side wall portion.
  • the first opening may be provided in the bottom part between the side wall part and the container placed on the bottom part. According to this configuration, since the first opening is disposed below the lid side of the container, gas leaking from around the lid of the container can be efficiently sucked through the first opening. Further, the side wall portion may be provided so as to surround the container placed on the bottom portion. According to this configuration, gas leaking from the container accumulates inside the side wall portion, so that it is possible to suppress the gas from diffusing below the container storage device.
  • the suction device also includes a second opening provided at the bottom and a nozzle that discharges gas flowing out from the exhaust port formed at the bottom of the container above the bottom through the second opening.
  • the gas emitted from the nozzle may be sucked through the first opening.
  • the nozzle may be arranged near the first opening. According to this configuration, the gas leaking from around the lid of the container and the gas inside the container discharged from the nozzle can be sucked together through the first opening.
  • the mounting table includes a cover that covers the nozzle and the first opening and guides the gas released from the nozzle toward the first opening, and the cover has a third opening formed on the upper surface of the cover. Gas flowing in from the third opening may be guided toward the first opening. According to this configuration, gas leaking from the container can be sucked from the first opening via the third opening while suppressing diffusion of the gas discharged from the nozzle by the cover.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a schematic configuration of a container storage device according to an embodiment. It is a side view of a part of containers stored in a container storage device.
  • FIG. 3 is a diagram showing how containers are transported to the container storage device. It is a figure showing an example of a suction device. It is a figure showing an example of a cover.
  • FIG. 3 is a diagram showing the flow of purge gas.
  • 1 is a flowchart illustrating an example of a container storage method according to an embodiment. It is a figure which shows the 1st modification of a suction device. It is a figure which shows the 2nd modification of a suction device.
  • FIG. 6 is a diagram schematically showing the state of gas around the lid of a container in a container storage device according to a comparative example.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the state of gas around the lid of a container in the container storage device according to the present embodiment.
  • the container storage device 100 is capable of transferring the containers 1 from the ceiling transport vehicle 2 that transports the containers 1, and is arranged near the ceiling C, for example.
  • the container storage device 100 is fixedly suspended from the ceiling C by, for example, a hanging metal fitting, and is disposed near the ceiling C.
  • the container storage device 100 is disposed, for example, at a position shifted laterally from directly below the travel rail (ceiling track) R (see FIG. 3) of the ceiling transport vehicle 2.
  • the container storage device 100 is, for example, a buffer that temporarily stores the containers 1 transported by the ceiling transport vehicle 2. Note that the container storage device 100 may be placed directly below the traveling rail R.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of a schematic configuration of a container storage device 100 according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a side view of a portion of the containers 1 stored in the container storage device 100.
  • FIG. 3 is a diagram showing how the container 1 is transported to the container storage device 100.
  • the container storage device 100 can store a plurality of containers 1.
  • the container 1 stores, for example, articles such as wafers or reticles used in manufacturing semiconductor devices.
  • the container 1 is, for example, a FOUP (Front Opening Unified Pod) whose interior can be purged with a purge gas, a SMIF Pod, or a reticle Pod. Note that the container 1 may have other forms that can be transported by the ceiling transport vehicle 2.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the container 1 includes a main body 1a, an opening 1b, a lid 1c, and a flange 1g.
  • the main body portion 1a includes a positioning recess 1d on the bottom side.
  • the main body portion 1a includes a gas inlet 1e and a gas exhaust port 1f on the bottom side.
  • the inlet port 1e and the exhaust port 1f are each arranged near the end in the X direction on the bottom surface side of the main body portion 1a.
  • the introduction port 1e and the exhaust port 1f communicate with the inside and outside of the main body portion 1a, respectively.
  • the introduction port 1e is used to introduce purge gas into the main body portion 1a.
  • the exhaust port 1f is used to exhaust the gas containing the purge gas in the main body 1a from the main body 1a.
  • the inlet port 1e and the exhaust port 1f may each be provided with a check valve (not shown) to prevent backflow.
  • the opening 1b is provided so as to face in the horizontal direction (+Y direction). Articles such as wafers are accommodated inside the container 1 through the opening 1b.
  • the lid 1c is provided to open and close the opening 1b, and is detachably provided on the container 1. Even if the lid 1c is attached tightly to the main body 1a, there is a gap between the main body 1a and the lid 1c, and there is a possibility that purge gas or the like may leak from this gap.
  • a flange 1g is provided at the top of the container 1.
  • the flange 1g is gripped and transported by the ceiling transport vehicle 2.
  • the containers 1 are transported by the overhead transport vehicle 2 from the container storage device 100 to a processing device (not shown), and are transported from the processing device to the container storage device 100.
  • This processing apparatus is, for example, a film forming apparatus, a coater/developer, an exposure apparatus, an etching apparatus, etc., and performs various processes in the process of manufacturing a device (eg, a semiconductor device).
  • the container storage device 100 is disposed, for example, on a transport route for transporting the containers 1, and is used to temporarily store the containers 1.
  • the overhead transport vehicle 2 travels along the traveling rail R by the driving force of the traveling section 4.
  • the traveling rail R is provided in the vicinity of the ceiling C, for example, in a clean room or the like, in a state where it is suspended from the ceiling C by a hanging metal fitting Ra, and extends in the X direction.
  • the ceiling transport vehicle 2 includes a main body part 3 and a traveling part 4.
  • the traveling section 4 includes wheels 4a, a drive source (not shown) such as an electric rotary motor or a linear motor that drives the wheels 4a, and an encoder (not shown).
  • the wheels 4a are arranged so as to roll on a rail surface provided inside the traveling rail R.
  • the encoder detects the number of rotations of the wheels 4a, and outputs the detection results to, for example, a control unit (not shown) included in the main body 3.
  • the control unit controls the drive source based on the detection result of the encoder, and controls the speed of the overhead transport vehicle 2 and the like.
  • the upper part of the main body part 3 is attached to a connecting part 3a extending downward from the running part 4.
  • the main body portion 3 is suspended from the running portion 4 via the connecting portion 3a.
  • the main body part 3 can accommodate the container 1 inside.
  • the main body portion 3 includes a horizontal ejecting mechanism 5, an elevating portion 6, and a grip portion 7.
  • the horizontal delivery mechanism 5 is provided at the upper part of the main body part 3.
  • the horizontal ejecting mechanism 5 changes the state in which the container 1 is housed in the main body 3 and the state in which the container 1 is ejected laterally.
  • the lateral drawing mechanism 5 includes a base portion 5a and a lateral drawing portion 5b. Note that the base portion 5a may be provided with a rotating portion.
  • This rotating section includes an electric motor and the like, and is rotatable with the Z direction (vertical direction) as a rotation axis. By rotating the rotating part, the side feed mechanism 5 can be rotated, and the side feed direction by the side feed mechanism 5 can be changed.
  • the horizontal portion 5b is attached to the lower surface side of the base portion 5a.
  • the horizontal extension portion 5b is, for example, a plurality of movable plates arranged one on top of the other in the Z direction.
  • the plurality of lateral parts 5b are moved along a guide (not shown) in the +Y direction or -Y direction (direction perpendicular to the running direction of the running part 4) by the driving force of a power device (not shown) such as an electric motor. ).
  • An elevating part 6 is attached to the lowermost horizontally extending part 5b.
  • the side-out mechanism 5 moves the side-out part 5b, which is a movable plate, by a drive device, and slides the elevating part 6 and the grip part 7 attached to the lowermost side-out part 5b in a direction perpendicular to the running direction. It can be moved.
  • the lifting section 6 is controlled by the control section and moves the grip section 7 up and down at a predetermined speed. Further, the elevating section 6 is controlled by the control section to hold the gripping section 7 at a target height.
  • the grip part 7 suspends and holds the container 1 by gripping the flange 1g of the container 1.
  • the gripping part 7 is, for example, a chuck having a horizontally movable claw part. In this way, the ceiling conveyance vehicle 2 moves the elevating part 6 sideways by sliding the elevating part 5b, and lowers the grip part 7 by the elevating part 6, thereby moving the container storage device 100 to the target position. It is possible to carry out a side-loading transfer in which the container 1 is transferred between the two. Moreover, the ceiling conveyance vehicle 2 can deliver the container 1 by lowering the grip part 7 using the elevating part 6 without sliding the side-out part 5b.
  • the container storage device 100 includes a purge device 10, a mounting table 20, and a suction device 30.
  • the purge device 10 supplies purge gas to the containers 1 stored in the container storage device 100.
  • the purge device 10 is provided on a mounting table 20. In FIG. 1, the purge device 10 is provided for each container 1 stored in the container storage device 100, but the purge device 10 is not limited to this form.
  • the purge device 10 may be provided for some containers 1 stored in the container storage device 100.
  • the purge device 10 includes, for example, a purge nozzle 10a and a flow rate control device (not shown) such as a mass flow controller that controls the flow rate of purge gas.
  • the purge nozzle 10a is provided so as to protrude upward from the mounting table 20.
  • the purge nozzle 10a is arranged so as to be connected to the inlet 1e of the container 1 when the container 1 is placed on the mounting table 20.
  • the purge nozzle 10a is connected to a purge gas supply section 11 (see FIG. 6) via a pipe 12 (see FIG. 6), which will be described later.
  • the purge gas is a gas that is inert to the articles stored in the container 1, such as nitrogen gas.
  • the purge device 10 supplies the purge gas from the supply section 11 to the inside of the container 1 from the inlet 1e of the container 1 through the pipe 12, and purges the inside of the container 1 with the purge gas.
  • the mounting table 20 is placed at a position shifted laterally from directly below the track of the ceiling transport vehicle 2.
  • the container 1 is placed on the mounting table 20 from the front side of the container storage device 100 by horizontal transfer using the ceiling transport vehicle 2 .
  • the front of the container storage device 100 is the surface facing the ceiling transport vehicle 2.
  • the number of mounting tables 20 arranged in the container storage device 100 is two in FIG. 1, and they are arranged side by side in the X direction, but the number is not limited to this form, and even if there is one mounting table 20. There may be three or more.
  • one mounting table 20 is capable of mounting a plurality of containers 1, but instead of this configuration, one mounting table 20 may be capable of mounting one container 1.
  • FIG. 1 shows a state in which four containers 1 are placed on one mounting table 20, and a state in which no containers 1 are placed on the other mounting table 20.
  • the mounting tables 20 may be arranged in parallel in the X direction instead of being arranged in series.
  • the mounting table 20 includes a bottom portion 21, a side wall portion 22, a support 26, and a frame member 27.
  • the container 1 is placed on the bottom portion 21 .
  • a plurality of pins (kinematic pins) 17 for positioning the container 1 are provided on the bottom portion 21 .
  • the pin 17 is arranged corresponding to the position of the recess 1d provided at the bottom of the container 1, and can be fitted into the recess 1d.
  • the pin 17 is fitted into the recess 1d of the container 1, thereby positioning the container 1.
  • the shape and number of the recess 1d and the pins 17 are arbitrary.
  • the side wall portion 22 is provided so as to surround one or more containers 1 placed on the bottom portion 21 on all sides.
  • the side wall portion 22 is provided to extend vertically upward from the bottom surface portion 21 .
  • the side wall portion 22 is, for example, a plate-shaped member surrounding the container 1 .
  • the side wall portion 22 includes a first side wall portion 23 , a second side wall portion 24 , and a pair of third side wall portions 25 .
  • the first side wall portion 23 extends upward from the bottom portion 21 and faces the lid 1c of the container 1 placed on the bottom portion 21.
  • the first side wall portion 23 is provided on the front side of the container storage device 100.
  • the first side wall portion 23 may be formed continuously over a range corresponding to the plurality of containers 1.
  • the present invention is not limited to this form, and the first side wall portion 23 may be provided for each container 1.
  • the upper end 23a of the first side wall part 23 is lower than the upper end 1h of the lid 1c of the container 1 placed on the bottom part 21.
  • the height H2 of the upper end 23a of the first side wall portion 23 is lower than the height H1 of the upper end 1h of the lid 1c.
  • the height H1 and the height H2 may be the height from the bottom surface of the container 1, as shown in FIG. 2, or may be the height from the bottom surface part 21.
  • the upper end 23a of the first side wall portion 23 is set within a range of 80 mm or more and 120 mm or less from the bottom surface of the container 1 or the bottom surface portion 21.
  • the upper end 23a of the first side wall portion 23 may be set within a range of one-fourth or more and one-third or less of the height of the container 1 placed on the bottom surface portion 21.
  • the first side wall part 23 By setting the height of the first side wall part 23 in this way, the gas leaking from the container 1 can be prevented from falling downward from the bottom part 21, and even if the container 1 is tilted, the first side wall part 23 can be prevented from falling downward from the bottom part 21. Since it is locked against the upper end 23a, the upper end 24a of the second side wall part 24, or the upper end 25a of the third side wall part 25, the container 1 placed on the bottom part 21 is prevented from falling from the bottom part 21. can do. Further, even if the lid 1c is accidentally removed from the stored container 1, the lid 1c is locked against the upper end 23a of the first side wall portion 23, so that the lid 1c can be prevented from falling.
  • the second side wall portion 24 is provided on the back side of the container storage device 100, which is the surface opposite to the front side. In other words, the second side wall portion 24 is provided on a surface opposite to the surface facing the ceiling transport vehicle 2 as the front.
  • the height of the upper end 24a of the second side wall portion 24 may be approximately the same as the height of the container 1 placed on the bottom surface portion 21, or may be a different height.
  • the height of the upper end 24a of the second side wall portion 24 may be the same as the height of the upper end 23a of the first side wall portion 23.
  • the second side wall portion 24 prevents the gas leaking from the container 1 from going around to the back side and falling downward from the bottom portion 21, and allows the container 1 placed on the bottom portion 21 to fall from the bottom portion 21. It has a function to prevent
  • the third side wall portions 25 are provided on the left and right sides of the container storage device 100, that is, at both ends of the container storage device 100 in the X direction.
  • the third side wall portion 25 is provided on the +X side and the ⁇ X side of the container 1, together with supporting struts 26, which will be described later.
  • the third side wall 25 is provided to connect the end of the first side wall 23 and the end of the second side wall 24.
  • the plurality of containers 1 are surrounded by the end portion of the first side wall portion 23, the second side wall portion 24, and the pair of third side wall portions 25.
  • the end portion of the first side wall portion 23, the second side wall portion 24, and the pair of third side wall portions 25 are arranged to coincide with the outer edge of the mounting table 20 in a plan view.
  • the height of the upper end 25a of the third side wall portion 25 may be approximately the same as the height of the container 1 placed on the bottom surface portion 21, or may be a different height.
  • the height of the upper end 25a of the third side wall portion 25 may be the same as the height of the upper end 23a of the first side wall portion 23.
  • the pillars 26 are provided on the +X side and -X side of the mounting table 20 and support the mounting table 20.
  • the support column 26 is connected to the bottom surface part 21, and as described above, a part of the support column 26 is used as a part of the third side wall part 25.
  • a frame member 27 is provided at the upper end of each column 26 to connect the two columns 26 together.
  • the frame member 27 is arranged above the bottom part 21 and extends in the X direction.
  • the frame member 27 is suspended from the ceiling C via a hanging fitting (not shown). By adjusting the hanging fittings, the height position of the frame member 27 (container storage device 100) can be adjusted.
  • the suction device 30 sucks the purge gas leaking from around the lid 1c of the container 1.
  • the purge gas purged into the container 1 may leak from the attachment part of the lid 1c of the container 1, etc.
  • Purge gas may have an effect on the human body depending on the type of gas or gas concentration.
  • the purge gas leaking from the container 1 may cause deterioration of the surrounding environment.
  • the atmosphere near the container 1 may have a high concentration of purge gas leaking from the container 1.
  • a so-called downflow may occur, where clean air flows downward from a fan filter unit placed at the top of the building.
  • the purge gas When the container 1 is stored in an open environment, the purge gas may flow toward the ground due to downflow, and the concentration of the purge gas may become high near the ground.
  • the suction device 30 according to this embodiment sucks and recovers the purge gas leaking from the container 1, and suppresses the purge gas from diffusing around the container storage device 100 or near the ground.
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the suction device 30.
  • the suction device 30 includes a suction section 31, a pipe 32, and a pipe 33.
  • the suction section 31 includes an exhaust nozzle 40 , a pipe 41 , a flow rate measuring device 42 , a first nozzle 50 , a second nozzle 60 , and a cover 70 .
  • the suction section 31 is installed for each container 1.
  • the structure is not limited to this, and the suction section 31 may be installed for each of the plurality of containers 1.
  • the exhaust nozzle 40 discharges the gas inside the container 1 through the exhaust port 1f of the container 1 (see FIG. 6). Gas escapes.
  • the exhaust nozzle 40 is provided on the bottom portion 21 so as to be connected to the exhaust port 1f of the container 1 when the container 1 is placed on the mounting table 20.
  • the gas inside the container 1 flows out of the container 1 through the exhaust nozzle 40 and is sucked by the suction device 30.
  • the exhaust nozzle 40 is an example of a second opening.
  • the piping 41 is provided, for example, on the back surface of the bottom part 21.
  • the piping 41 has one end connected to the exhaust nozzle 40 and the other end connected to the second nozzle 60.
  • the flow rate measuring device 42 is provided, for example, on the back surface of the bottom portion 21.
  • the flow rate measuring device 42 is provided in the middle of the pipe 41 and measures the flow rate of gas discharged from the exhaust nozzle 40 and flowing through the pipe 41.
  • the flow rate measuring device 42 may be, for example, a mass flow controller.
  • the first nozzle 50 is provided, for example, at the bottom part 21 or inside the bottom part 21.
  • the first nozzle 50 is provided on the bottom part 21 between the first side wall part 23 and the container 1 placed on the bottom part 21 .
  • the first nozzle 50 is arranged inside a cover 70 attached to the bottom part 21.
  • the first nozzle 50 sends the gas inside the cover 70 to the pipe 32 via a connecting part 51 such as a joint member.
  • the connecting portion 51 allows the first nozzle 50 and the pipe 32 to communicate with each other.
  • the first nozzle 50 projects upward from the upper surface of the bottom portion 21 within the cover 70 .
  • the first nozzle 50 may be provided with a check valve to prevent backflow of gas. Note that the first nozzle 50 is an example of a first opening.
  • the second nozzle 60 is provided on the bottom part 21.
  • the second nozzle 60 is provided on the bottom part 21 between the first side wall part 23 and the container 1 placed on the bottom part 21 .
  • the second nozzle 60 projects upward from the upper surface of the bottom portion 21 within the cover 70 .
  • the second nozzle 60 is arranged near the first nozzle 50.
  • the first nozzle 50 and the second nozzle 60 are arranged side by side in the X direction.
  • the second nozzle 60 may be provided with a check valve to prevent backflow of gas.
  • the second nozzle 60 causes the gas flowing out from the exhaust port 1f on the bottom of the container 1 to be discharged above the bottom part 21 via the exhaust nozzle 40.
  • the second nozzle 60 communicates with the pipe 41 and releases the gas flowing inside the pipe 41 into the cover 70.
  • the cover 70 is provided on the bottom part 21 between the first side wall part 23 and the container 1 placed on the bottom part 21.
  • the cover 70 is provided to cover the first nozzle 50 and the second nozzle 60.
  • the cover 70 guides the gas released from the second nozzle 60 to flow into the pipe 32 via the first nozzle 50. In other words, the cover 70 guides the gas emitted from the second nozzle 60 toward the first nozzle 50.
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of the cover 70.
  • the cover 70 includes a third opening 71, a first space 72, a second space 73, and a third space 74.
  • the third opening 71 is formed on the top surface of the cover 70.
  • the third opening 71 is a circular hole, but its shape is not particularly limited.
  • the third opening 71 is a hole for introducing gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 into the cover 70.
  • the upper surface of the cover 70 is lower than the upper end 23a of the first side wall portion 23. That is, the third opening 71 is provided at a position lower than the upper end 23a of the first side wall portion 23. Gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 is introduced into the cover 70 through the third opening 71 and sucked by the first nozzle 50.
  • the first space 72 is a space inside the cover 70, and the gas G2 from the second nozzle 60 is released.
  • the first space 72 communicates with the pipe 41 via the second nozzle 60.
  • the first space 72 is, for example, a cylindrical space.
  • the second space 73 connects the first space 72 and the third space 74.
  • the second space 73 guides the gas G2 in the first space 72 to the third space 74.
  • the third space 74 connects the third opening 71 and the first nozzle 50 (first opening).
  • the third space 74 is, for example, a cylindrical space.
  • the third space 74 guides the gas G3 flowing from the third opening 71 to the first nozzle 50.
  • the third space 74 is connected to the first space 72 via the second space 73. Therefore, the third space 74 guides the gas G2 that has flowed into the second space 73 from the first space 72 to the first nozzle 50.
  • the cover 70 has the function of guiding the gas G2 released from the second nozzle 60 toward the first nozzle 50, and the function of guiding the gas G3 leaked from around the lid 1c of the container 1 through the third opening 71. 1 nozzle 50.
  • the piping 32 communicates with the first nozzle 50 via the connecting portion 51. Further, the pipe 32 is connected to a pipe 33, as shown in FIG. In addition, in FIG. 1, the form in which one 1st nozzle 50 and the piping 32 are connected is shown, and the connection of the other 1st nozzle 50 and the piping 32 is abbreviate
  • the gases G2 and G3 sucked from the first nozzle 50 are sent to the pipe 33 via the pipe 32.
  • the piping 32 includes a portion extending in the X direction along the bottom surface of the bottom portion 21 and a portion extending in the Z direction along the support column 26. Piping 32 is connected to piping 33. Piping 33 is attached to frame member 27. The pipe 33 extends in the X direction along the frame member 27. Gases G2 and G3 are sent from piping 32 to piping 33, and are discharged from piping 33 to the outside.
  • the suction device 30 includes a suction force generating device that is connected to the piping 33 and generates a suction force for suctioning the gases G2 and G3.
  • the present invention is not limited to this form, and the suction device 30 may have, for example, a form in which the piping 33 is connected to a suction force generating device (line) already installed in a factory or the like.
  • the timing of suctioning the gases G2 and G3 is not particularly limited, but may be operated in conjunction with the operation of the purge device 10, for example.
  • the suction by the suction device 30 may be started at the timing when the container 1 is placed on the bottom portion 21 and the purge device 10 starts supplying purge gas to the container 1.
  • the suction by the suction device 30 may be performed continuously without being interlocked with the purge device 10, or may be performed at the timing operated by an operator or the like.
  • FIG. 6 is a diagram schematically showing the flow of purge gases G2 and G3 taken in by the suction device 30.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating an example of the container storage method according to the embodiment.
  • the ceiling conveyance vehicle 2 places the container 1 at a target position on the bottom part 21 by side-loading (step S101).
  • step S101 the ceiling transport vehicle 2 first moves to the container storage device 100 and stops on the side of the target position where the container 1 is placed. Subsequently, the ceiling transport vehicle 2 uses the horizontal delivery mechanism 5 to horizontally transport the container 1 to just above the mounting table 20 .
  • the ceiling transport vehicle 2 places the container 1 at the target position on the bottom surface section 21 by lowering the gripping section 7 using the elevating section 6 . Subsequently, by releasing the grip of the container 1 by the grip portion 7, the container 1 is placed on the bottom portion 21 for reception.
  • the operation of the ceiling transport vehicle 2 is controlled by a control unit (not shown) provided in the ceiling transport vehicle 2.
  • This control unit acquires information regarding the storage location (destination position) of the container 1 from a higher-level control device, etc., and controls the ceiling transport vehicle 2 to place the container 1 at this storage location. Further, when the container 1 is placed on the bottom surface 21, the pin 17 provided on the bottom surface 21 is fitted into the recess 1d provided on the bottom surface of the container 1, as described above, so that the container 1 is placed on the mounting table 20. Positioned.
  • step S102 supply of the purge gas G1 to the container 1 placed on the bottom part 21 is started (step S102).
  • step S102 when the container 1 is placed on the bottom part 21, the introduction port 1e provided in the bottom part of the container 1 and the purge nozzle 10a provided in the bottom part 21 are in a connected state.
  • the purge device 10 supplies the purge gas G1 sent from the supply section 11 into the container 1 via the pipe 12 and the purge nozzle 10a, as shown in FIG.
  • the supply amount of the purge gas G1 is controlled by a control unit (not shown) included in the purge device 10, for example, based on the flow rate of the purge gas G1 flowing through the piping 12.
  • the suction device 30 starts suctioning the gas (step S103).
  • the container 1 is placed on the bottom surface 21, the exhaust port 1f provided on the bottom surface of the container 1 and the exhaust nozzle 40 provided on the bottom surface 21 are in a connected state.
  • the purge gas G1 is supplied into the container 1 in step S102 described above, the internal pressure within the container 1 increases. Due to the increase in the internal pressure of the container 1, the gas G2 in the container 1 is discharged from the exhaust port 1f, and is discharged into the cover 70 from the second nozzle 60 via the exhaust nozzle 40 and the piping 41.
  • the gas G2 released into the cover 70 is sucked from the first nozzle 50.
  • the gas G3 may leak from around the lid 1c of the container 1.
  • the gas G3 accumulates inside the side wall portion 22 surrounding the container 1, and is sucked from the first nozzle 50 through the third opening 71 of the cover 70.
  • the gases G2 and G3 sucked by the first nozzle 50 are discharged outside the container storage device 100 (or outside the building with the factory) via the pipes 32 and 33.
  • suction of the gases G2 and G3 by the suction device 30 may be performed when purge gas is supplied to the container 1, or may be performed continuously while the container 1 is being stored. Further, while the container 1 is being stored in the container storage device 100, the suction device 30 may be operated at predetermined time intervals based on the output of a timer (not shown) or the like. The process is completed by the series of operations described above.
  • the suction device 30 does not have an opening larger than the lid 1c of the container 1, so the suction device 30 can be downsized and the gases G2 and G3 leaked from the container 1 can be absorbed with a simple configuration. Can be inhaled. Further, since the upper end 23a of the first side wall portion 23 is lower than the upper end of the lid 1c of the container 1 placed on the bottom surface portion 21, the gripping portion 7 when transferring the container 1 sideways in the ceiling transport vehicle 2 The amount of elevation can be reduced. As described above, the containers 1 are transferred to and from the container storage device 100 by the horizontal transfer of the overhead transport vehicle 2.
  • the suction device is placed at a higher position than the lid 1c of the container 1, the gripping portion 7 and the container 1 will be moved sideways to avoid the suction device when performing horizontal transfer using the ceiling transport vehicle 2. It is necessary to take it out and move it up and down with a long stroke using the lifting section 6.
  • the upper end 23a of the first side wall part 23 is lower than the upper end 1h of the lid 1c of the container 1 placed on the bottom part 21, the amount of elevation and descent of the grip part 7 during horizontal transfer is limited. It can be made small and the container 1 can be transferred efficiently.
  • the side wall portion 22 is provided surrounding the container 1, the gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 accumulates inside the side wall portion 22 and is sucked from the first nozzle 50, so that It is possible to suppress the gases G2 and G3 from diffusing into the worker's activity area below.
  • the first nozzle 50 (third opening 71 of the cover 70) is provided on the bottom surface 21 between the side surface of the container 1 on the lid 1c side and the first side wall 23, the first nozzle 50 (the third opening 71 of the cover 70) The first nozzle 50 is closer, and the gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 can be efficiently sucked through the first nozzle 50.
  • the gas G2 discharged from the exhaust port 1f when the purge gas G1 is supplied to the container 1 is sucked by the first nozzle 50 together with the gas G3 leaked from around the lid 1c of the container 1, the gas G2 is not discharged from the exhaust port 1f. This eliminates the need for a gas recovery device or the like for recovering the gas G2, and the manufacturing cost of the container storage device 100 can be reduced.
  • the container storage device 100 is usually installed in a clean room in which a downflow is formed. Therefore, due to this downflow, the gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 accumulates inside the side wall portion 22 more efficiently and is sucked through the first nozzle 50.
  • FIG. 8 is a diagram showing a first modification of the suction device 30.
  • the same components as those in the above-described embodiment are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified.
  • the number of first nozzles 50 may be smaller than the number of containers 1 placed on the bottom part 21.
  • one first nozzle 50 may be provided on the bottom portion 21 for a plurality of containers 1.
  • a side wall portion 22 is provided to surround the plurality of containers 1, and one first nozzle 50 is provided inside the side wall portion 22. Therefore, the gas G3 leaking from around the lids 1c of each of the plurality of containers 1 is collected in the side wall portion 22.
  • one cover 70 is provided inside the side wall portion 22 to correspond to one first nozzle 50 .
  • the piping 41 is connected from each exhaust nozzle 40 of the plurality of containers 1 to one second nozzle 60, The gas G2 from the plurality of containers 1 is collectively sent to one second nozzle 60 and then released into the cover 70.
  • One first nozzle 50 sucks the gas G3 accumulated on the side wall portion 22 and the gas G2 released into the cover 70 and discharges it to the outside.
  • the same effects as the above-described embodiment are obtained, and the gas G2 and gas G3 from the plurality of containers 1 are sucked by the first nozzles 50, which are smaller in number than the number of containers 1. Therefore, the number of first nozzles 50, piping 32, etc. can be reduced compared to the above-described embodiment, and the manufacturing cost of the container storage device 100 can be reduced.
  • FIG. 9 is a diagram showing a second modification of the suction device 30.
  • the same reference numerals are attached to the same components as those in the above-described embodiment, and the description thereof will be omitted or simplified.
  • the first nozzle 50 (first opening) may be provided on the first side wall portion 23 instead of the bottom surface portion 21 .
  • the first nozzle 50 is preferably provided at a lower portion of the first side wall portion 23 near the bottom portion 21 . Note that the number of first nozzles 50 in the second modification may be smaller than the number of containers 1 placed on the mounting table 20 as in the first modification described above.
  • the second nozzle 60 is provided on the bottom surface portion 21 so as to emit the gas G2 upward, for example.
  • a cover member or the like may be provided above the second nozzle 60 to block the flow of the gas G2.
  • the gas G2 sent from the exhaust nozzle 40 is discharged onto the bottom part 21 from the second nozzle 60 and stored inside the side wall part 22.
  • gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 is also stored inside the side wall portion 22.
  • the first nozzle 50 sucks the gases G2 and G3 stored inside the side wall portion 22 and discharges them to the outside.
  • the second modification has the same effects as the embodiment described above. Furthermore, since the first nozzle 50 is provided on the side wall 22, even if there is no space for arranging the first nozzle 50 on the bottom surface 21, the gases G2 and G3 accumulated inside the side wall 22 can be reliably sucked. can do.
  • FIG. 10 is a diagram schematically showing the state of the gas G3 around the lid 1c of the container 1 to be stored in the container storage device 100A according to the comparative example.
  • FIG. 11 is a diagram schematically showing the state of the gas G3 around the lid 1c of the container 1 to be stored in the container storage device 100 according to the embodiment. 10 and 11 show the state of the gas G3 in an environment where a downflow is formed.
  • the container storage device 100A according to the comparative example does not have a configuration equivalent to the suction device 30. Therefore, as shown in FIG. 10, the gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 spreads along the lower part of the mounting table 20A on which the container 1 is mounted.
  • the container storage device 100 according to the present embodiment includes the side wall portion 22, the gas G3 leaking from around the lid 1c of the container 1 is guided between the lid 1c and the first side wall portion 23, and is guided to the side wall. It accumulates inside the section 22.
  • the gas G3 accumulated inside the side wall portion 22 is sucked through the first nozzle 50.
  • the description of the first nozzle 50 is omitted. Therefore, the gas G3 that diffuses outward and downward from the side wall portion 22 is drawn into the inner side of the side wall portion 22, thereby preventing it from diffusing downward from the bottom surface portion 21. As a result, it is confirmed that according to this embodiment, the diffusion of the gas G3 below the container storage device 100 is suppressed.

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Abstract

【課題】従来よりも簡易な構成で、容器の蓋から漏れたガスを吸引することができる容器保管装置を提供する。 【解決手段】側面に蓋１ｃを備える容器１が載置される載置台２０と、容器１にパージガスを供給するパージ装置１０と、容器１から漏れたガスを吸引する吸引装置３０と、を備える容器保管装置１００であって、載置台２０は、容器１が載置される底面部２１と、底面部から上方に延びかつ底面部に載置された容器の蓋に対向する側壁部２３と、を備え、吸引装置３０は、底面部２１又は側壁部２３に設けられた第１開口５０を介して、容器１の蓋１ｃがある側面から漏れたガスを吸引し、側壁部２３の上端２３ａは、底面部２１に載置された容器１の蓋１ｃの上端１ｈよりも低い。

Description

容器保管装置
　本発明は、容器保管装置に関する。
　半導体製造工場等では、半導体ウエハ等の物品を収容する容器を一時的に保管するための容器保管装置が設けられる場合がある（例えば、特許文献１参照）。例えば、容器保管装置は、容器内に窒素ガスなどのパージガスを供給するパージ装置を備えている。上記の容器は、その側面に物品の出し入れ用の開口部を開閉するための蓋が設けられており、蓋の周囲等からパージガスが漏れてしまう場合がある。そのため、特許文献１に記載の容器保管装置では、パージ装置により容器内にパージガスを供給しているときに蓋から漏れたガスを吸引する吸引装置が設けられている。
特許第６６０７３１４号公報
　特許文献１に記載の吸引装置は、各容器の蓋に対向して設けられており、かつ、蓋から漏れたガスを吸引するためにその蓋よりも大きな開口を有している。そのため、吸引装置が大型化するだけでなく、容器保管装置の構成が複雑になる場合がある。従って、従来よりも簡易な構成で蓋から漏れたガスを吸引することが求められている。
　本発明は、簡易な構成で、容器の蓋から漏れたガスを吸引することが可能な容器保管装置を提供することを目的とする。
　本発明の態様に係る容器保管装置は、側面に蓋を備える容器が載置される載置台と、容器にパージガスを供給するパージ装置と、容器から漏れたガスを吸引する吸引装置と、を備える容器保管装置であって、載置台は、容器が載置される底面部と、底面部から上方に延びかつ底面部に載置された容器の蓋に対向する側壁部と、を備え、吸引装置は、底面部又は側壁部に設けられた第１開口を介して、容器の蓋がある側面から漏れたガスを吸引し、側壁部の上端は、底面部に載置された容器の蓋の上端よりも低い。
　上記態様に係る容器保管装置によれば、容器の蓋よりも大きな開口を有する従来の吸引装置よりも吸引装置を小型化することができる。また、従来よりも簡易な構成で、容器の蓋の周囲から漏れたガスを吸引することができる。
　また、載置台は、複数の容器を載置可能であり、底面部及び側壁部は、複数の容器に亘って連続的に形成されており、第１開口の数は、載置台に載置可能な容器の数より少なくてもよい。この構成によれば、第１開口が載置台に載置可能な容器の数より少なくてすむ。従って、第１開口を覆うカバーや第１開口に接続される配管などの部材数が少なくなり、構成をより一層簡易化できる。また、側壁部は、底面部に載置された複数の前記容器の四方をまとめて囲むように設けられてもよい。この構成によれば、側壁部が複数の容器をまとめて囲むので、部材数が少なくなり、構成をより一層簡易化できる。また、側壁部の上端の高さは、底面部又は容器の底面から８０ｍｍ以上、１２０ｍｍ以下の範囲に設定されてもよい。この構成によれば、側壁部の高さを抑えつつ、容器から漏れたガスを吸引できる。また、側壁部の上端の高さは、底面部に載置された容器の高さの４分の１以上、３分の１以下の範囲に設定されてもよい。この構成によれば、容器が傾いた場合でも側壁部に容器があたることで、容器の落下を防止できる。
　また、第１開口は、側壁部と、底面部に載置された容器との間における底面部に設けられてもよい。この構成によれば、第１開口が容器の蓋側の下方に配置されるので、容器の蓋の周囲から漏れたガスを第１開口から効率よく吸引できる。また、側壁部は、底面部に載置された容器の四方を囲むように設けられてもよい。この構成によれば、容器から漏れたガスが側壁部の内側に溜まるので、容器保管装置の下方にガスが拡散することを抑制できる。
　また、吸引装置は、底面部に設けられた第２開口と、容器の底面に形成された排気口から流出するガスを、第２開口を介して底面部の上方に放出させるノズルと、を有し、ノズルから放出されたガスを、第１開口を介して吸引してもよい。この構成によれば、吸引装置３０が容器内を吸引しないため、容器内が陰圧になることを抑制できる。また、ノズルは、第１開口の近傍に配置されてもよい。この構成によれば、容器の蓋の周囲から漏れたガスと、ノズルから放出される容器内のガスとをまとめて第１開口から吸引できる。また、載置台は、ノズル及び第１開口を覆い、ノズルから放出されたガスを第１開口に向けて案内するカバーを備え、カバーは、カバーの上面に形成された第３開口を有し、第３開口から流入するガスを第１開口に向けて案内してもよい。この構成によれば、ノズルから放出したガスがカバーによって拡散するのを抑制しつつ、容器から漏れたガスを、第３開口を介して第１開口から吸引できる。
実施形態に係る容器保管装置の概略構成の一例を示す図である。 容器保管装置に保管された容器の一部を側面から見た図である。 容器保管装置に容器が搬送される様子を示す図である。 吸引装置の一例を示す図である。 カバーの一例を示す図である パージガスの流れを示す図である。 実施形態に係る容器保管方法の一例を示すフローチャートである。 吸引装置の第１変形例を示す図である。 吸引装置の第２変形例を示す図である。 比較例に係る容器保管装置において容器の蓋の周囲のガスの様子を模式的に表した図である。 本実施形態に係る容器保管装置において容器の蓋の周囲のガスの様子を模式的に表した図である。
　以下、実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、図面において、同一又は類似の部分には同一の符号を付して、重複する説明を省く場合がある。また、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがあり、実際の製品とは寸法、形状が異なっている場合がある。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向とは反対の方向が－方向であるとして説明する。
　容器保管装置１００は、例えば、容器１を搬送する天井搬送車２から容器１を移載可能であって、かつ天井Ｃ近傍に配置される。容器保管装置１００は、天井Ｃから例えば吊り下げ金具により吊り下げられた状態で固定され、天井Ｃの近傍に配置される。容器保管装置１００は、例えば、天井搬送車２の走行レール（天井軌道）Ｒ（図３参照）の直下から側方にずれた位置に配置されている。容器保管装置１００は、例えば、天井搬送車２が搬送する容器１を一時的に保管するバッファである。なお、容器保管装置１００は、走行レールＲの直下に配置されてもよい。
　図１は、実施形態に係る容器保管装置１００の概略構成の一例を示す図である。図２は、容器保管装置１００に保管された容器１の一部を側面から見た図である。図３は、容器保管装置１００に容器１が搬送される様子を示す図である。図１に示すように、容器保管装置１００は、複数の容器１を保管可能である。容器１は、例えば、半導体装置の製造に用いられるウエハ又はレチクルなどの物品を収容する。容器１は、例えば、内部をパージガスによりパージ可能なＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）、ＳＭＩＦ　Ｐｏｄ、又はレチクルＰｏｄなどである。なお、容器１は、天井搬送車２により搬送可能な他の形態であってもよい。
　容器１は、図２及び図３に示すように、本体部１ａと、開口部１ｂと、蓋１ｃと、フランジ１ｇとを備える。本体部１ａは、底面側に、位置決め用の凹部１ｄを備える。本体部１ａは、底面側に、ガスの導入口１ｅと、ガスの排気口１ｆとを備える。一例として、導入口１ｅ及び排気口１ｆは、それぞれ、本体部１ａの底面側においてＸ方向の端部の近傍に配置される。導入口１ｅ及び排気口１ｆは、それぞれ、本体部１ａの内部と外部と連通する。導入口１ｅは、パージガスを本体部１ａ内に導入するために用いられる。排気口１ｆは、本体部１ａ内のパージガスを含むガスを本体部１ａから排出するために用いられる。導入口１ｅ及び排気口１ｆは、それぞれ、逆流を防止するために逆止弁（図示せず）が設けられてもよい。
　開口部１ｂは、水平方向（＋Ｙ方向）に向くように設けられる。ウエハなどの物品は、開口部１ｂを介して容器１の内部に収容される。例えば、蓋１ｃは、開口部１ｂを開閉するために設けられており、容器１に着脱可能に設けられる。蓋１ｃが本体部１ａに密着して装着したとしても、本体部１ａと蓋１ｃとの間には隙間が生じており、この隙間からパージガス等が漏れる可能性がある。
　容器１の頂部には、例えば、フランジ１ｇが設けられている。天井搬送車２によって容器１が搬送される際に天井搬送車２によってフランジ１ｇが把持されて搬送される。容器１は、天井搬送車２によって、容器保管装置１００から処理装置（図示せず）へ搬送され、処理装置から容器保管装置１００へ搬送される。この処理装置は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、エッチング装置などであり、デバイス（例、半導体デバイス）を製造する過程で各種処理を施す。容器保管装置１００は、例えば、容器１を搬送する搬送経路に配置され、容器１を一時的に保管するために用いられる。
　図３に示すように、天井搬送車２は、走行部４の駆動力によって走行レールＲに沿って走行する。走行レールＲは、例えばクリーンルーム等の天井Ｃから吊り金具Ｒａにより吊り下げられた状態で天井Ｃの近傍に設けられ、Ｘ方向に延びている。天井搬送車２は、本体部３と、走行部４とを備える。走行部４は、車輪４ａと、車輪４ａを駆動する電動回転モータ、又はリニアモータなどの駆動源（図示せず）と、エンコーダ（図示せず）とを有する。車輪４ａは、走行レールＲの内側に備えるレール面を転動するように配置される。エンコーダは、車輪４ａの回転数などを検出し、その検出結果を例えば本体部３に備える制御部（図示せず）に出力する。制御部は、エンコーダの検出結果に基づいて駆動源を制御し、天井搬送車２の速度などを制御する。
　本体部３の上部は、走行部４から下方に延びる連結部３ａに取り付けられている。本体部３は、連結部３ａを介して走行部４に吊り下げられた状態となっている。本体部３は、内側に容器１を収容可能である。本体部３は、横出し機構５と、昇降部６と、把持部７とを備える。横出し機構５は、本体部３の上部に設けられる。横出し機構５は、容器１を本体部３内に収容した状態と、容器１を横出しした状態に変更する。横出し機構５は、基部５ａと、横出し部５ｂとを備える。なお、基部５ａには、回転部が設けられてもよい。この回転部は、電動モータ等を有しており、Ｚ方向（鉛直方向）を回転軸として回転可能である。回転部が回転することにより横出し機構５を回転させ、横出し機構５による横出し方向を変更することができる。
　横出し部５ｂは、基部５ａの下面側に取り付けられている。横出し部５ｂは、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板である。複数の横出し部５ｂは、電動モータ等の動力装置（図示せず）の駆動力により、ガイド（図示せず）に沿って＋Ｙ方向又は－Ｙ方向（走行部４の走行方向と直交する方向）に移動可能である。　最下層の横出し部５ｂには、昇降部６が取り付けられている。横出し機構５は、駆動装置により可動板である横出し部５ｂを移動させ、最下層の横出し部５ｂに取り付けられた昇降部６及び把持部７を走行方向に対して直交する方向にスライド移動させることができる。
　昇降部６は、制御部に制御され、所定の速度で把持部７を昇降させる。また、昇降部６は、制御部に制御され、把持部７を目標の高さに保持する。把持部７は、容器１のフランジ１ｇを把持することにより、容器１を吊り下げて保持する。把持部７は、例えば、水平方向に移動可能な爪部を有するチャックである。このように、天井搬送車２は、横出し部５ｂをスライド移動させることで昇降部６を横出しし、昇降部６により把持部７を下降させることで、容器保管装置１００の目的位置との間で容器１を受け渡す横出し移載を行うことができる。また、天井搬送車２は、横出し部５ｂをスライド移動させずに昇降部６により把持部７を下降させて、容器１を受け渡すことが可能である。
　容器保管装置１００は、パージ装置１０と、載置台２０と、吸引装置３０とを備える。　パージ装置１０は、容器保管装置１００に保管されている容器１にパージガスを供給する。パージ装置１０は、載置台２０に設けられる。なお、図１では、パージ装置１０は、容器保管装置１００に保管されている容器１ごとに設けられているが、この形態に限定されない。パージ装置１０は、容器保管装置１００に保管されている一部の容器１に対して設けられる形態であってもよい。
　パージ装置１０は、例えば、パージノズル１０ａと、パージガスの流量を制御するマスフローコントローラなどの流量制御装置（図示せず）とを備える。パージノズル１０ａは、載置台２０から上方に突出した状態で設けられる。パージノズル１０ａは、載置台２０に容器１を載置した際に容器１の導入口１ｅと接続するように配置される。パージノズル１０ａは、後述する配管１２（図６参照）を介して、パージガスの供給部１１（図６参照）と接続される。パージガスは、例えば窒素ガスなど、容器１に収納した物品に対して不活性なガスである。パージ装置１０は、供給部１１からのパージガスを、配管１２を介して、容器１の導入口１ｅから内部に供給し、容器１の内部をパージガスでパージする。
　載置台２０は、天井搬送車２の軌道の直下から側方にずれた位置に配置されている。載置台２０は、天井搬送車２による横出し移載によって容器保管装置１００の正面側から容器１が載置される。容器保管装置１００の正面とは、天井搬送車２に向く面である。容器保管装置１００に配置される載置台２０の数は、図１では２つであり、Ｘ方向に並べて配置されているが、この形態に限定されず、載置台２０が１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。
　本実施形態において、１つの載置台２０が複数の容器１を載置可能としているが、この形態に代えて、１つの載置台２０が１つの容器１を載置可能な形態であってもよい。図１では、１つの載置台２０に４つの容器１を載置した状態を示し、もう１つの載置台２０には容器１が載置されていない状態を示している。なお、載置台２０は、Ｘ方向に及び直列に並べられることに代えて並列して配置されてもよい。
　載置台２０は、底面部２１と、側壁部２２と、支柱２６と、フレーム部材２７とを備える。底面部２１には、容器１が載置される。底面部２１には、容器１を位置決めする複数のピン（キネマティックピン）１７が設けられる。ピン１７は、容器１の底部に設けられる凹部１ｄの位置に対応して配置され、凹部１ｄに嵌まり込むことが可能である。容器１は、底面部２１に載置される際、容器１の凹部１ｄにピン１７が嵌まり込むことで位置決めされる。なお、凹部１ｄ及びピン１７の形状及び個数は、任意である。
　側壁部２２は、底面部２１に載置された１つ又は複数の容器１の四方を囲むように設けられている。側壁部２２は、底面部２１から垂直に上方に延びて設けられる。側壁部２２は、例えば、容器１の周囲を囲む板状の部材である。側壁部２２は、第１側壁部２３と、第２側壁部２４と、一対の第３側壁部２５とを備える。第１側壁部２３は、底面部２１から上方に延びかつ底面部２１に載置された容器１の蓋１ｃに対向する。第１側壁部２３は、容器保管装置１００の正面側に設けられている。なお、載置台２０が複数の容器１を保管可能である場合には、第１側壁部２３は、その複数の容器１に対応する範囲に亘って連続的に形成されてもよい。ただし、この形態に限定されず、第１側壁部２３は、容器１ごとに設けられてもよい。
　第１側壁部２３の上端２３ａは、底面部２１に載置された容器１の蓋１ｃの上端１ｈよりも低い。第１側壁部２３の上端２３ａの高さＨ２は、蓋１ｃの上端１ｈの高さＨ１よりも低い。なお、高さＨ１及び高さＨ２は、図２に示すように、容器１の底面からの高さであってもよいし、底面部２１からの高さであってもよい。第１側壁部２３の上端２３ａは、容器１の底面又は底面部２１から８０ｍｍ以上、１２０ｍｍ以下の範囲に設定されている。
　また、第１側壁部２３の上端２３ａは、底面部２１に載置された容器１の高さの４分の１以上、３分の１以下の範囲に設定されてもよい。このように第１側壁部２３の高さが設定されることで、容器１から漏れたガスが底面部２１から下方に落ちるのを抑制しつつ、容器１が傾いた場合でも第１側壁部２３の上端２３ａ、第２側壁部２４の上端２４ａ、又は第３側壁部２５の上端２５ａにあたって係止されるので、底面部２１に載置されている容器１が底面部２１から落下することを防止することができる。また、保管している容器１から不用意に蓋１ｃが外れた場合であっても、蓋１ｃが第１側壁部２３の上端２３ａ等にあたって係止されるので、蓋１ｃの落下を防止できる。
　第２側壁部２４は、容器保管装置１００の正面側とは反対側の面である背面側に設けられている。換言すれば、第２側壁部２４は、天井搬送車２に向く面を正面としたときの反対側の面に設けられている。第２側壁部２４の上端２４ａの高さは、底面部２１に載置されている容器１の高さと同程度であってもよいし、異なる高さであってもよい。第２側壁部２４の上端２４ａの高さは、第１側壁部２３の上端２３ａと同じ高さであってもよい。第２側壁部２４は、容器１から漏れたガスが背面側に回り込んで底面部２１から下方に落ちるのを抑制しつつ、底面部２１に載置されている容器１が底面部２１から落下することを防止する機能を有する。
　第３側壁部２５は、容器保管装置１００の左右、すなわちＸ方向における容器保管装置１００の両端に設けられている。第３側壁部２５は、後述する支持する支柱２６と合わせて、容器１の＋Ｘ側及び－Ｘ側に設けられている。第３側壁部２５は、第１側壁部２３の端部と第２側壁部２４の端部とを連結するように設けられる。その結果、第１側壁部２３の端部、第２側壁部２４、及び一対の第３側壁部２５により複数の容器１を囲んでいる。容器１が側壁部２２によって囲まれることにより、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスを側壁部２２の内側に溜めて、下方に拡散することを抑制できる。
　また、第１側壁部２３の端部、第２側壁部２４、及び一対の第３側壁部２５は、平面視において載置台２０の外縁と一致するように配置されている。第３側壁部２５の上端２５ａの高さは、底面部２１に載置されている容器１の高さと同程度であってもよいし、異なる高さであってもよい。第３側壁部２５の上端２５ａの高さは、第１側壁部２３の上端２３ａと同じ高さであってもよい。
　支柱２６は、載置台２０の＋Ｘ側及び－Ｘ側に設けられ、載置台２０を支持する。支柱２６は、底面部２１に連結されており、上記したように、支柱２６の一部は、第３側壁部２５の一部として用いられている。支柱２６の上端には、２つの支柱２６を連結するようにフレーム部材２７が設けられている。フレーム部材２７は、底面部２１の上方に配置され、Ｘ方向に延在している。フレーム部材２７は、図示しない吊り金具を介して天井Ｃに吊り下げられている。吊り金具を調節することで、フレーム部材２７（容器保管装置１００）の高さ位置を調節可能である。
　吸引装置３０は、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたパージガスを吸引する。ここで、容器１にパージされたパージガスは、容器１の蓋１ｃの取り付け部分等から漏れることがある。パージガスは、ガスの種類あるいはガスの濃度によっては、人体に影響を及ぼす可能性がある。容器１が開放的な環境で保管される場合、容器１から漏れたパージガスが周囲環境の悪化を招く場合がある。特に、容器１の近傍で作業者が作業する場合、容器１の近傍の雰囲気は容器１のから漏れるパージガスの濃度が高くなることがある。また 、クリーンルームでは、建屋内の上部に配置したファンフィルタユニットから清浄な空気が下方向に向けて流れる気流、いわゆるダウンフローが形成される場合がある。容器１が開放的な環境で保管される場合、ダウンフローにより、地上に向かってパージガスが流れ、地上付近においてパージガスの濃度が高くなることがある。本実施形態に係る吸引装置３０は、容器１から漏れたパージガスを吸引して回収し、容器保管装置１００の周囲や地上付近にパージガスが拡散するのを抑制する。
　吸引装置３０は、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガス（パージガスを含む）を吸引する。さらに、吸引装置３０は、容器１の内部から排気ノズル４０を介して放出されたガスを吸引する。排気ノズル４０については後述する。吸引装置３０は、吸引したガスを容器保管装置１００から排出する。図４は吸引装置３０の一例を示す図である。図４に示すように、吸引装置３０は、吸引部３１と、配管３２と、配管３３とを備える。吸引部３１は、排気ノズル４０と、配管４１と、流量測定装置４２と、第１ノズル５０と、第２ノズル６０と、カバー７０とを備える。図１に示す例では、吸引部３１は、容器１ごとに設置されている。ただし、この構成に限定されず、吸引部３１は、複数の容器１ごとに設置されてもよい。
　排気ノズル４０は、パージ装置１０によりパージノズル１０ａから容器１の導入口１ｅを介して容器１内にパージガスが供給された場合、容器１の排気口１ｆ（図６参照）を介して容器１内のガスが流出する。排気ノズル４０は、載置台２０に容器１を載置した際に容器１の排気口１ｆと接続するように底面部２１に設けられている。容器１の内部のガスは、排気ノズル４０を介して容器１の外部に流出し、吸引装置３０により吸引される。なお、排気ノズル４０は、第２開口の一例である。
　配管４１は、例えば、底面部２１の裏面に設けられている。配管４１は、一端が排気ノズル４０に接続され、他端が第２ノズル６０に接続される。流量測定装置４２は、例えば底面部２１の裏面に設けられている。流量測定装置４２は、配管４１の途中に設けられており、排気ノズル４０から排出されて配管４１を流れるガスの流量を測定する。流量測定装置４２は、例えばマスフローコントローラなどが用いられてもよい。
　第１ノズル５０は、例えば、底面部２１又は底面部２１の内部に設けられる。第１ノズル５０は、第１側壁部２３と、底面部２１に載置された容器１との間において底面部２１に設けられている。第１ノズル５０は、底面部２１に取り付けられたカバー７０の内側に配置される。第１ノズル５０は、カバー７０内のガスを、ジョイント部材などの接続部５１を介して配管３２に送り込む。接続部５１は、第１ノズル５０と配管３２とを連通させる。第１ノズル５０は、カバー７０内における底面部２１の上面から上方に突出している。第１ノズル５０には、ガスの逆流を防止するための逆止弁が設けられてもよい。なお、第１ノズル５０は、第１開口の一例である。
　第２ノズル６０は、底面部２１に設けられる。第２ノズル６０は、第１側壁部２３と、底面部２１に載置された容器１との間の底面部２１に設けられている。第２ノズル６０は、カバー７０内において底面部２１の上面から上方に突出している。第２ノズル６０は、第１ノズル５０の近傍に配置される。例えば、第１ノズル５０及び第２ノズル６０は、Ｘ方向に並んで配置される。なお、第２ノズル６０には、ガスの逆流を防止するための逆止弁が設けられてもよい。第２ノズル６０は、容器１の底面の排気口１ｆから流出するガスを、排気ノズル４０を介して底面部２１の上方に放出させる。
　第２ノズル６０は、配管４１に連通しており、配管４１内を流れるガスをカバー７０内に放出する。カバー７０は、第１側壁部２３と、底面部２１に載置された容器１との間の底面部２１に設けられている。カバー７０は、第１ノズル５０及び第２ノズル６０を覆うように設けられている。カバー７０は、第２ノズル６０から放出されたガスを、第１ノズル５０を介して配管３２に流れるように案内する。換言すれば、カバー７０は、第２ノズル６０から放出されるガスを第１ノズル５０に向けて案内する。
　図５は、カバー７０の一例を示す図である。図５に示すように、例えば、カバー７０は、第３開口７１と、第１空間部７２と、第２空間部７３と、第３空間部７４とを備える。　第３開口７１は、カバー７０の上面に形成されている。第３開口７１は、円形状の孔であるが、その形状には特に限定されない。第３開口７１は、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３をカバー７０内に導入するための孔である。なお、カバー７０の上面は、第１側壁部２３の上端２３ａよりも低い。つまり、第３開口７１は、第１側壁部２３の上端２３ａよりも低い位置に設けられている。容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３は、第３開口７１を介してカバー７０内に導入され、第１ノズル５０により吸引される。
　第１空間部７２は、カバー７０内の空間であって、第２ノズル６０からのガスＧ２が放出される。第１空間部７２は、第２ノズル６０を介して配管４１と連通している。第１空間部７２は、例えば、円筒状の空間である。第２空間部７３は、第１空間部７２と第３空間部７４とを接続する。第２空間部７３は、第１空間部７２内のガスＧ２を第３空間部７４に案内する。第３空間部７４は、第３開口７１と第１ノズル５０（第１開口）とを接続する。第３空間部７４は、例えば円筒状の空間である。第３空間部７４は、第３開口７１から流入するガスＧ３を第１ノズル５０に案内する。また、第３空間部７４は、第２空間部７３を介して第１空間部７２と接続されている。従って、第３空間部７４は、第１空間部７２から第２空間部７３に流入したガスＧ２を第１ノズル５０に案内する。
　このように、カバー７０は、第２ノズル６０から放出されたガスＧ２を第１ノズル５０に向けて案内する機能と、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３を第３開口７１から第１ノズル５０に向けて案内する機能とを有する。
　配管３２は、接続部５１を介して第１ノズル５０と連通している。また、配管３２は、図１に示すように、配管３３に接続されている。なお、図１では、１つの第１ノズル５０と配管３２とが接続している形態を示しており、他の第１ノズル５０と配管３２とが接続していることを省略している。第１ノズル５０から吸引したガスＧ２、Ｇ３は、配管３２を介して配管３３に送られる。配管３２は、底面部２１の底面に沿ってＸ方向に延びる部分と、支柱２６に沿ってＺ方向に延びる部分とを含んでいる。配管３２は、配管３３に接続されている。配管３３は、フレーム部材２７に取り付けられている。配管３３は、フレーム部材２７に沿ってＸ方向に延在している。ガスＧ２、Ｇ３は、配管３２から配管３３に送られ、配管３３から外部へ排出される。
　なお、吸引装置３０は、配管３３に接続され、ガスＧ２、Ｇ３を吸引するための吸引力を発生させる吸引力発生装置を備えている。ただし、この形態に限定されず、吸引装置３０は、例えば、工場等にすでに設置されている吸引力発生装置（ライン）に配管３３が接続される形態であってもよい。容器保管装置１００において、ガスＧ２、Ｇ３を吸引するタイミングは、特に限定されないが、例えば、パージ装置１０の動作と連動して動作させてもよい。例えば、底面部２１に容器１が載置され、パージ装置１０がパージガスを容器１に供給を開始したタイミングで吸引装置３０による吸引を開始させてもよい。また、吸引装置３０の吸引は、パージ装置１０と連動せずに連続的に行ってもよいし、オペレータ等が操作したタイミングで行ってもよい。
　次に、吸引装置３０によるガスＧ２、Ｇ３の吸引方法について、図６及び図７を用いて説明する。図６は、吸引装置３０が吸気するパージガスＧ２、Ｇ３の流れを模式的に示す図である。図７は、実施形態に係る容器保管方法の一例を示すフローチャートである。図７に示すように、天井搬送車２は、横出し移載によって容器１を底面部２１の目的位置に載置する（ステップＳ１０１）。ステップＳ１０１において、先ず、天井搬送車２は、容器保管装置１００まで移動し、容器１を載置する目的位置の側方に停止する。続いて、天井搬送車２は、横出し機構５により容器１を載置台２０の直上まで横出しする。続いて、天井搬送車２は、昇降部６により把持部７を下降させることで、容器１を底面部２１の目的位置に載置する。続いて、把持部７による容器１の把持を解放することで、容器１は、底面部２１に載置された応対となる。
　天井搬送車２の動作は、天井搬送車２に備える制御部（図示せず）により制御される。この制御部は、容器１の保管場所（目的位置）に関する情報を上位の制御装置等から取得しており、この保管場所に容器１を載置するように天井搬送車２を制御する。また、底面部２１に容器１が載置された際、上記したように、容器１の底面に備える凹部１ｄに、底面部２１に備えるピン１７が嵌まることで、容器１が載置台２０において位置決めされる。
　続いて、底面部２１に載置された容器１に対して、パージガスＧ１の供給を開始する（ステップＳ１０２）。ステップＳ１０２において、容器１が底面部２１に載置されると、容器１の底面に備える導入口１ｅと、底面部２１に備えるパージノズル１０ａとが接続した状態となる。この状態で、パージ装置１０は、図６に示すように、供給部１１から送られるパージガスＧ１を、配管１２及びパージノズル１０ａを介して容器１内に供給する。パージガスＧ１の供給量は、例えば、配管１２を流れるパージガスＧ１の流量に基づいて、パージ装置１０に備える制御部（図示せず）により制御される。
　パージ装置１０によるパージガスＧ１の供給が開始されると、吸引装置３０は、ガスの吸引を開始する（ステップＳ１０３）。なお、容器１が底面部２１に載置されると、容器１の底面に備える排気口１ｆと、底面部２１に備える排気ノズル４０とが接続した状態となる。上記したステップＳ１０２で容器１内にパージガスＧ１が供給されると、容器１内の内圧が上昇する。容器１の内圧の上昇により、容器１内のガスＧ２が排気口１ｆから排出され、排気ノズル４０及び配管４１を介して第２ノズル６０からカバー７０内に放出される。ステップＳ１０３において、カバー７０内に放出されたガスＧ２は、第１ノズル５０から吸引される。
　また、容器１へのパージガスの供給により容器１の内圧が上昇すると、容器１の蓋１ｃの周囲からガスＧ３が漏れることがある。ガスＧ３は、容器１を囲む側壁部２２の内側に溜まり、カバー７０の第３開口７１を介して第１ノズル５０から吸引される。第１ノズル５０により吸引されたガスＧ２、Ｇ３は、配管３２、３３を介して容器保管装置１００外（又は工場との建屋外）に排出される。なお、吸引装置３０によるガスＧ２、Ｇ３の吸引は、容器１へのパージガスの供給時に行ってもよいし、容器１の保管中において継続して行ってもよい。また、容器保管装置１００に容器１を保管中においては、タイマ（図示せず）等の出力に基づいて所定時間ごとに吸引装置３０を動作させる形態であってもよい。上記した一連の動作により、処理が終了する。
　このように、本実施形態によれば、吸引装置３０が容器１の蓋１ｃよりも大きな開口を有しないので、吸引装置３０を小型化し、簡易な構成で容器１から漏れたガスＧ２、Ｇ３を吸引できる。また、第１側壁部２３の上端２３ａは、底面部２１に載置された容器１の蓋１ｃの上端よりも低いため、天井搬送車２において容器１を横出し移載する際の把持部７の昇降量を小さくできる。容器１は、上記したように天井搬送車２の横出し移載によって容器保管装置１００との間で受け渡される。従って、容器１の蓋１ｃよりも上端の位置が高い吸引装置が配置されると、天井搬送車２による横出し移載を行う際に、吸引装置を避けるように把持部７及び容器１を横出しして、昇降部６により長いストロークで昇降させる必要がある。本実施形態では、第１側壁部２３の上端２３ａが、底面部２１に載置された容器１の蓋１ｃの上端１ｈよりも低いので、横出し移載する際の把持部７の昇降量を小さくでき、効率よく容器１を移載することができる。
　また、側壁部２２が容器１を囲んで設けられるので、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３は、側壁部２２の内側に溜まり、第１ノズル５０から吸引されるので、載置台２０の下方における作業者の活動エリアにガスＧ２、Ｇ３が拡散するのを抑制できる。また、第１ノズル５０（カバー７０の第３開口７１）は、容器１の蓋１ｃ側の側面と、第１側壁部２３との間の底面部２１に設けられるので、容器１の蓋１ｃから第１ノズル５０が近くなり、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３を第１ノズル５０から効率よく吸引できる。また、容器１へのパージガスＧ１の供給時に排気口１ｆから排出されたガスＧ２を、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３とともに第１ノズル５０で吸引するので、排気口１ｆから排出されたガスＧ２を回収するためのガス回収装置等が不要となり、容器保管装置１００の製造コストを低減できる。
　また、容器保管装置１００は、通常、ダウンフローが形成されているクリーンルーム内に設置される。従って、このダウンフローによって、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３は、より効率よく側壁部２２の内側に溜まり、第１ノズル５０から吸引される。
（第１変形例）
　上記の実施形態では、第１ノズル５０（第１開口）が、底面部２１に載置される容器１ごとに設けられる形態を例に挙げて説明したが、この形態に限定されない。図８は、吸引装置３０の第１変形例を示す図である。なお、図８において、上記した実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を主略又は簡略化する。図８に示すように、第１ノズル５０は、底面部２１に載置される容器１の数よりも少なくてもよい。例えば、複数の容器１に対して、１つの第１ノズル５０が底面部２１に設けられてもよい。この場合、複数の容器１を囲むように側壁部２２が設けられ、その側壁部２２の内側において１つの第１ノズル５０が設けられる。従って、複数の容器１それぞれの蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３は、まとめて側壁部２２に溜められる。また、カバー７０は、側壁部２２の内側において、１つの第１ノズル５０に対応して１つ設けられる。
　なお、複数の容器１に対して、１つの第１ノズル５０が設けられる場合には、例えば、複数の容器１のそれぞれの排気ノズル４０から、１つの第２ノズル６０に配管４１が接続され、複数の容器１からのガスＧ２がまとめて１つの第２ノズル６０送られた後にカバー７０内に放出される。１つの第１ノズル５０は、側壁部２２に溜まったガスＧ３と、カバー７０内に放出されたガスＧ２を吸引して外部に排出する。
　このように、第１変形例によれば、上記した実施形態と同様の効果を有するとともに、複数の容器１からのガスＧ２及びガスＧ３が、容器１の数よりも少ない第１ノズル５０で吸引されるので、上記した実施形態に対して第１ノズル５０及び配管３２等の数を削減でき、容器保管装置１００の製造コストを低減することができる。
（第２変形例）
　上記の実施形態では、第１開口である第１ノズル５０が底面部２１に設けられる形態を例に挙げて説明したが、この形態に限定されない。図９は、吸引装置３０の第２変形例を示す図である。なお、図９において、上記した実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を主略又は簡略化する。図９に示すように、第１ノズル５０（第１開口）は、底面部２１ではなく第１側壁部２３に設けられてもよい。第１ノズル５０は、第１側壁部２３において、底面部２１近傍となる下部に設けられることが好ましい。なお、第２変形例の第１ノズル５０は、上記した第１変形例のように、載置台２０に載置されている容器１の数よりも少なくてもよい。
　また、第２ノズル６０は、底面部２１において、例えば上方に向けてガスＧ２を放出するように設けられる。なお、第２ノズル６０の上方にガスＧ２の流れを遮るカバー部材等が設けられてもよい。排気ノズル４０から送られるガスＧ２は、第２ノズル６０から底面部２１上に放出されて側壁部２２の内側に溜められる。また、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３も同様に側壁部２２の内側に溜められる。第１ノズル５０は、側壁部２２の内側に溜められるガスＧ２、Ｇ３を吸引して外部に排出する。
　このように、第２変形例によれば、上記した実施形態と同様の効果を有する。また、第１ノズル５０が側壁部２２に設けられるので、底面部２１に第１ノズル５０を配置するスペースがない場合であっても、側壁部２２の内側に溜まるガスＧ２、Ｇ３を確実に吸引することができる。
　次に、吸引装置３０によるガスＧ３の吸引について、図１０及び図１１を用いて説明する。図１０は、比較例に係る容器保管装置１００Ａにおいて、保管される容器１の蓋１ｃの周囲のガスＧ３の様子を模式的に表した図である。図１１は、実施形態に係る容器保管装置１００において、保管される容器１の蓋１ｃの周囲のガスＧ３の様子を模式的に表した図である。図１０及び図１１では、ダウンフローが形成されている環境下においてガスＧ３の様子を示している。
　図１０に示すように、比較例に係る容器保管装置１００Ａには、吸引装置３０に相当する構成を有していない。従って、図１０に示すように、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３は、容器１が載置されている載置台２０Ａの下方に沿って広がるように拡散する。一方、本実施形態に係る容器保管装置１００では、側壁部２２を備えるので、容器１の蓋１ｃの周囲から漏れたガスＧ３は、蓋１ｃと第１側壁部２３との間に案内されて側壁部２２の内側に溜まる。
　側壁部２２の内側に溜まったガスＧ３は、第１ノズル５０から吸引される。なお、図１１では、第１ノズル５０の記載を省略している。従って、側壁部２２から外側に下方に拡散するガスＧ３は、側壁部２２の内側に引き込まれることで、底面部２１より下方に拡散することを防止している。その結果、本実施形態によれば、容器保管装置１００の下方にガスＧ３の拡散が抑制されていることが確認される。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態に限定されない。また、上記した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。また、上記した実施形態で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上記した実施形態で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、実施形態において示した各手順の実行順序は、前の手順の結果を後の手順で用いない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須ではない。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０２２－０８３７４６、及び上述の実施形態等で引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
Ｃ・・・天井
Ｒ・・・レール
１・・・容器
２・・・天井搬送車
１０・・・パージ装置
２０・・・載置台
３０・・・吸引装置
２１・・・底面部
２２・・・側壁部
４０・・・排気ノズル（第２開口）
５０・・・第１ノズル（第１開口）
６０・・・第２ノズル（ノズル）
７０・・・カバー
７１・・・第３開口
１００・・・容器保管装置

 

Claims (10)

  1. 　側面に蓋を備える容器が載置される載置台と、前記容器にパージガスを供給するパージ装置と、前記容器から漏れたガスを吸引する吸引装置と、を備える容器保管装置であって、
    　前記載置台は、前記容器が載置される底面部と、前記底面部から上方に延びかつ前記底面部に載置された前記容器の前記蓋に対向する側壁部と、を備え、
    　前記吸引装置は、前記底面部又は前記側壁部に設けられた第１開口を介して、前記容器の前記蓋がある側面から漏れたガスを吸引し、
    　前記側壁部の上端は、前記底面部に載置された前記容器の前記蓋の上端よりも低い、
    　容器保管装置。
  2. 　前記載置台は、複数の前記容器を載置可能であり、
    　前記底面部及び前記側壁部は、複数の前記容器に亘って連続的に形成されており、
    　前記第１開口の数は、前記載置台に載置可能な前記容器の数より少ない、
    　請求項１に記載の容器保管装置。
  3. 　前記側壁部は、前記底面部に載置された複数の前記容器の四方をまとめて囲むように設けられている、
    　請求項２に記載の容器保管装置。
  4. 　前記側壁部の上端の高さは、前記底面部又は前記容器の底面から８０ｍｍ以上、１２０ｍｍ以下の範囲に設定されている、
    　請求項１に記載の容器保管装置。
  5. 　前記側壁部の上端の高さは、前記底面部に載置された前記容器の高さの４分の１以上、３分の１以下の範囲に設定されている、
    　請求項１に記載の容器保管装置。
  6. 　前記第１開口は、前記側壁部と、前記底面部に載置された前記容器との間における前記底面部に設けられている、
    　請求項１に記載の容器保管装置。
  7. 　前記側壁部は、前記底面部に載置された前記容器の四方を囲むように設けられている、
    　請求項１に記載の容器保管装置。
  8. 　前記吸引装置は、前記底面部に設けられた第２開口と、前記容器の底面に形成された排気口から流出するガスを、前記第２開口を介して前記底面部の上方に放出させるノズルと、を有し、前記ノズルから放出された前記ガスを、前記第１開口を介して吸引する、
    　請求項１に記載の容器保管装置。
  9. 　前記ノズルは、前記第１開口の近傍に配置されている、
    　請求項８に記載の容器保管装置。
  10. 　前記載置台は、前記ノズル及び前記第１開口を覆い、前記ノズルから放出された前記ガスを前記第１開口に向けて案内するカバーを備え、
    　前記カバーは、前記カバーの上面に形成された第３開口を有し、前記第３開口から流入するガスを前記第１開口に向けて案内する、
    　請求項９に記載の容器保管装置。

     
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