JP4928841B2 - 微細部品の製造装置と製造方法及びそれにより製造された液吐出ヘッド - Google Patents
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Description
4;容器開放モジュール、5;処理モジュール、6;容器密閉モジュール、
7;排出モジュール、8;遮蔽機構、9;密閉式収納容器、10;被処理物、
11;容器、12;蓋、13;被処理物収納部、14;吸引口、15;連通孔、
16;ばね、17;弁体、18;逆止弁、19;吸引アダプタ、
20;モジュールキャビネット、21;清浄化エア吹付口、22;通気ダクト、
23;高清浄化ユニット、24;中清浄化ユニット、25;循環風量調整弁、
26;外気取込調整弁、27;排気ファン、28;容器搬送装置、
19;プレフィルタ、30;ファン、31;高性能フィルタ(HEPAフィルタ)、
32;整流板、33;中性能フィルタ、35;局所清浄化装置、36;通気ダクト、
37;冷却装置、38;処理装置、39;処理空間、40;記録ヘッド、
41;液室ユニット、42;駆動ユニット、43;ノズル板、44;流路板、
45;振動板、46;ノズル、47;液室、48;接着剤、49;基板、
50a;駆動部,51,52,53;位置検出用基準マーク。
Claims (11)
- 加工・組立に必要な被処理物を収納して一般環境もしくは低清浄度空間内の塵埃から隔離する密閉式収納容器を搬入し、搬入した前記密閉式収納容器の外装部に外部環境で付着した塵埃等を除去する容器洗浄手段と、塵埃等が除去された前記密閉式収納容器の密閉機構を開放し、前記密閉式収納容器に収納されている被処理物を取り出す容器開放手段と、被処理物の加工・組立の各種処理を行う処理手段及び処理済みの被処理物を密閉式収納容器に収納して密封して排出する容器密閉手段とを、互いに独立した閉空間を形成するモジュールで構成し、
前記容器洗浄手段と前記容器開放手段と前記処理手段及び前記容器密閉手段を構成するモジュールは内部空間の雰囲気が汚染除去制御により清浄化され、前記各モジュールを工程順に連結しており、
前記密閉式収納容器は、複数の被処理物を収納する容器本体と開閉自在な蓋とからなり、前記容器本体は前記蓋と対向する位置に複数の吸引口を有し、各吸引口は前記容器本体の内部に形成された連通孔を経由して前記容器本体の端部に設けられた弁に接続され、前記弁を介して前記連通孔を真空吸引して前記蓋を前記容器本体に吸着させたあと前記弁が閉じられて密封されることを特徴とする微細部品の製造装置。 - 前記容器洗浄手段と前記容器開放手段と前記処理手段及び前記容器密閉手段を構成するモジュールは、装置内雰囲気循環系と装置外雰囲気導入系の2系統を有する請求項1又は2に記載の微細部品の製造装置。
- 前記容器洗浄手段と前記容器開放手段と前記処理手段及び前記容器密閉手段を構成するモジュールは、隣接するモジュール間の空気流出入を遮断する遮蔽機構を有する請求項1乃至2のいずれかに記載の微細部品の製造装置。
- 前記容器洗浄手段を構成するモジュールは、複数の清浄化エア吹付口を有する通気ダクト内に設けられた高清浄化ユニットと、通気ダクトの外気取込側に設けられた中清浄化ユニットと循環風量調整弁と外気取込調整弁及び排気ファンを有し、
前記循環風量調整弁と前記外気取込調整弁の開度を調整して外気取込みの風量と内部を循環する風量とを調節するとともに前記排気ファンの排気風量を調節して外部雰囲気を前記通気ダクトに取り込みながら内部雰囲気を循環させて清浄化した雰囲気を前記複数の清浄化エア吹付口から前記密閉式収納容器の外装部に吹き付けて外装部に付着している塵埃等を除去する請求項1乃至3のいずれかに記載の微細部品の製造装置。 - 前記容器開放手段と前記処理手段及び前記容器密閉手段を構成するモジュールは、通気ダクトの天井吹出口に設けられた高清浄化ユニットと、前記通気ダクトの外気取込側に設けられた中清浄化ユニットと、前記通気ダクト内に設けられた循環風量調整弁と、外気取込調整弁及び排気ファンを有し、
前記循環風量調整弁と前記外気取込調整弁の開度を調整して外気取込みの風量と内部を循環する風量とを調節するとともに前記排気ファンの排気風量を調節して外部雰囲気を通気ダクトに取り込みながら内部雰囲気を循環させて清浄化した雰囲気を前記通気ダクトの天井吹出口から処理空間に吹き出す請求項1乃至4のいずれかに記載の微細部品の製造装置。 - 前記容器開放手段と前記処理手段及び前記容器密閉手段を構成するモジュールは、前記高清浄化ユニットから吹き出す全風量が一定になるようにしながら前記排気ファンにより外部に排出される風量より前記外気取込調整弁により取り込む外部雰囲気の風量が上回るように制御する請求項5記載の微細部品の製造装置。
- 前記容器開放手段を構成するモジュールの圧力は、前記容器洗浄手段を構成するモジュールの圧力より高く保持する請求項1乃至6のいずれかに記載の微細部品の製造装置。
- 前記容器開放手段を構成するモジュールは、前記密閉式収納容器の弁を開にして前記蓋の前記容器本体に対する吸着力を解除する手段を有する請求項1乃至7のいずれかに記載の微細部品の製造装置。
- 前記容器密閉手段を構成するモジュールは、前記密閉式収納容器の弁を開にして真空吸引する手段を有する請求項1乃至8のいずれかに記載の微細部品の製造装置。
- 加工・組立に必要な被処理物を収納して一般環境もしくは低清浄度空間内の塵埃から隔離する密閉式収納容器に収納された被処理物を清浄化された雰囲気内で加工・組立を行う微細部品の製造方法であって、
前記密閉式収納容器の容器本体に清浄雰囲気中で複数の被処理物を収納し、被処理物収納部を覆うように蓋を配置し、容器本体に設けられた弁を介して真空吸引を行うことにより前記容器本体の前記蓋と対向する位置に配置された複数の吸引口から前記蓋を吸引して吸着したのち前記弁を閉じて前記密閉式収納容器を密封し、
前記被処理物を収納した前記密閉式収納容器に清浄化した雰囲気を吹き付けて前記密閉式収納容器に付着した塵埃等を除去してから清浄化された雰囲気内に搬送し、清浄化した雰囲気内で前記密閉式収納容器に収納した被処理物を取り出すことを特徴とする微細部品の製造方法。 - 請求項10に記載の微細部品の製造方法により液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、該ノズル板のノズルに対応した液室を有する流路板とを接合して形成したことを特徴とする液吐出ヘッド。
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