JPWO2017199904A1 - 成分組成計測システム及び成分組成計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.システムの構成
図1に本発明の成分組成計測システムの第一の実施の形態の構成を示す。成分組成計測システム100は、レーザ光源10と、ビームスプリッタ12と、フォーカスレンズ14と、焦点調整部16と、光路変更光学部材18と、照射位置変更部20と、集光レンズ22と、スペクトル測定装置30と、三次元形状計測装置40と、制御装置50(解析装置)と、を備える。
以上のように構成される成分組成計測システム100の動作について説明する。成分組成計測システム100は、レーザ誘起ブレークダウン分光法(LIBS)を用いて計測対象200の組成を計測する。
以上説明したように、本実施の形態の成分組成計測システム100は、計測対象200へレーザ光(レーザパルス)を照射するレーザ光源(10)と、レーザ光源から計測対象200へのレーザ光の照射により生じたプラズマの発光から、波長毎の強度を示す発光スペクトルを測定するスペクトル測定装置30と、測定された発光スペクトルのデータを用いて計測対象の組成を分析する制御装置50と、を備える。制御装置50は、発光スペクトルの性状を判定し(図4のS15)、性状が所定状態にある発光スペクトルのデータのみを用いて前記計測対象の組成を分析する。
実施の形態1では、図3に示すように、計測対象200に1種類のレーザパルスを照射してプラズマを発生させた。これに対して、本実施の形態では、プラズマを発生させるためのレーザパルスに加えて、さらに、プラズマを発生させない程度の強度を持つ第2のレーザパルスを照射する。このように第2のレーザパルスを照射することにより、発生するプラズマの強度を高いレベルで安定化でき、プラズマの変動によらずに、原子発光を示す信号の強度を安定化することができる。
図6は、実施の形態2における成分組成計測システムの構成を示した図である。実施の形態2における成分組成計測システム100bは、実施の形態1における成分組成計測システム100の構成に加えて、第2のレーザ光源10bと、ビームコンバイナ24とをさらに備えている。以下、レーザ光源10を「第1のレーザ光源」という。ビームコンバイナ24は、第1のレーザ光源10からのレーザ光と、第2のレーザ光源10bからのレーザ光とを合成してビームスプリッタ12へ導くための光学部材である。第1のレーザ光源10からのレーザ光と第2のレーザ光源10bからのレーザ光がそれらの光軸が一致した状態で計測対象200に照射されるように、第1及び第2のレーザ光源10、10bの光軸が調整されている。
図7は、第1及び第2のレーザ光源10、10bから出射されるレーザパルスを説明した図である。図7に示すように、第2のレーザ光源10bから出力されるレーザパルス(以下「ロングパルス」ともいう)L2は、第1のレーザ光源10から出力されるレーザパルス(以下「ショートパルス」ともいう)L1のパルス幅よりも十分に大きいパルス幅を有する。例えば、第1のレーザ光源10からのレーザパルスL1のパルス幅は6nsであるのに対して、第2のレーザ光源10bからのレーザパルスL2のパルス幅は10,000nsである。第1のレーザ光源10から出力されるレーザパルスL1の強度は、それだけでプラズマを発生させることができる程度の強度に設定される。一方、第2のレーザ光源10bから出力されるレーザパルスL2の強度は、それだけではプラズマを発生させることができない程度の強度に設定される。レーザパルスL1(ショートパルス)とレーザパルスL2(ロングパルス)の強度の比は、例えば、L1:L2=1:10〜15である。
以下、本実施の形態で示したダブルパルス照射を用いたプラズマの発光スペクトルの測定結果の例を示す。図9は、測定に使用した各パルスの波形を説明した図である。プラズマを発生させるためのレーザ光(レーザパルスL1)として、波長が532nmのレーザ光を使用した。また、プラズマ温度維持等のためのレーザ光(レーザパルスL2)として、波長が1064nmのレーザ光を使用した。計測対象として2つのターゲットを用意した。第1のターゲットは、空気中に設置された鉄板(ステンレス板)であり、第2のターゲットは、水中に設置されたアルミ板である。
第1の測定として、空気中に設置された鉄板(ステンレス板)に対して、ダブルパルス照射によるプラズマ発光スペクトルを測定した。このような空気中に設置されたターゲットの組成分析は、例えば、溶鉱炉内の鉄成分の計測に適用できる。
第2の測定として、水中に設置されたアルミ板に対して、ダブルパルス照射によるプラズマ発光スペクトルを測定した。このような水中に設置されたターゲットの組成分析は、例えば、メルトダウンした原子炉内のデブリ成分の計測に適用できる。
さらに、本発明者は、表面クリーニング効果を確認するための測定を行った。対比のため、図12に示す3種類のレーザパルス照射方法のそれぞれを用いて測定した。すなわち、図12(A)に示すように、ショートパルスL1のみを照射した場合(以下「シングルパルス照射」という)と、図12(B)に示すように、ショートパルスL1の照射後にロングパルスL2の照射を開始した場合(以下「ダブルパルス照射(後)」という)と、図12(C)に示すように、ショートパルスL1の照射開始前にロングパルスL2の照射を開始した場合(以下「ダブルパルス照射(前)」という)とで、それぞれプラズマ発光スペクトルを測定した。
さらに、本発明者は、前処理効果(加熱効果)を確認するための測定を行った。図16、図17は、前処理効果(加熱効果)を確認するために、固体の鋼(常温)と、溶鋼(1600°C)に対して行った測定結果を示した図である。この測定においても、図12に示す3種類のレーザパルスの照射方法のそれぞれを用いてスペクトルを測定した。なお、以下では、鋼中に含まれるマンガン(Mn)成分の測定に注目する。図16(A)、(B)はそれぞれ固体の鋼と溶鋼に対してシングルパルス照射またはダブルパルス照射(後)を行った場合の測定結果を示す。図17(A)、(B)はそれぞれ固体の鋼と溶鋼に対してダブルパルス照射(前)を行った場合の測定結果を示す。
以上のように、本実施の形態の成分組成計測システム100bは、プラズマを発生させる程度の強度を有するレーザ光L1を計測対象200へ照射する第1のレーザ光源10と、プラズマを発生させない程度の強度を有するレーザ光L2を計測対象200へ照射する第2のレーザ光源10bと、第1のレーザ光源10から計測対象200へのレーザ光の照射により生じたプラズマの発光から、波長毎の強度を示す発光スペクトルを測定するスペクトル測定装置(30と、測定された発光スペクトルのデータを用いて前記計測対象の組成を分析する制御装置50と、を備える。第2のレーザ光源10bは、第1のレーザ光源10のレーザ光L2を計測対象200へ照射する期間よりも長い期間の間、計測対象200へレーザ光L2を照射する。第1のレーザ光源からのレーザ光L1に加えて第2のレーザ光源10からレーザ光L2を照射することで、一旦発生させたプラズマの温度(強度)の低下(減衰)を遅らせることができる。
実施の形態2の成分組成計測システム100bの構成において、第2のレーザ光源10bからのレーザ光をビームコンバイナ24の近傍まで光ファイバで伝送してもよい。これにより、第2のレーザ光源10bを任意の位置に配置することができる。一般にロングパルスのレーザ光を出力する第2のレーザ光源10bは大型な装置となり、設置位置に制約がある。よって、第2のレーザ光源10bのレーザ光を光ファイバで伝送することは、第2のレーザ光源10bのレイアウトの自由度が増す点で有用である。
上記の実施の形態1および実施の形態2のそれぞれに開示した思想を組み合わせることができることは言うまでもない。すなわち、本開示は、以下の成分組成計測システムを開示する。
プラズマを発生させない程度の強度を有する第2のレーザ光(L2)を計測対象へ照射する第2のレーザ光源と、
第1のレーザ光源から前記計測対象へのレーザ光の照射により生じたプラズマの発光から、波長毎の強度を示す発光スペクトルを測定するスペクトル測定装置と、
測定された発光スペクトルのデータを用いて前記計測対象の組成を分析する制御装置と、を備え、
第2のレーザ光源は、第1のレーザ光の照射開始前に、第2のレーザ光の照射を開始し、第1のレーザ光の照射終了後に、第2のレーザ光の照射を終了する
成分組成計測システム。
プラズマを発生させる程度の強度を有する第1のレーザ光を計測対象へ照射するステップと、
プラズマを発生させない程度の強度を有する第2のレーザ光を計測対象へ照射するステップと、
第1のレーザ光の計測対象への照射により生じたプラズマの発光から、波長毎の強度を示す発光スペクトルを測定するステップと、
測定された発光スペクトルのデータを用いて計測対象の組成を分析するステップと、を含み、
第1のレーザ光の照射開始前に、第2のレーザ光の照射を開始し、第1のレーザ光の照射終了後に、第2のレーザ光の照射を終了する、
成分組成計測方法。
Claims (10)
- プラズマを発生させる程度の強度を有する第1のレーザ光を計測対象へ照射する第1のレーザ光源と、
プラズマを発生させない程度の強度を有する第2のレーザ光を前記計測対象へ照射する第2のレーザ光源と、
前記第1のレーザ光源から前記計測対象への第1のレーザ光の照射により生じたプラズマの発光から、波長毎の強度を示す発光スペクトルを測定するスペクトル測定装置と、
測定された発光スペクトルのデータを用いて前記計測対象の組成を分析する制御装置と、を備え、
前記第2のレーザ光源は、前記第1のレーザ光の照射開始前に、前記第2のレーザ光の照射を開始し、前記第1のレーザ光の照射終了後に、前記第2のレーザ光の照射を終了する、
成分組成計測システム。 - 前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光がそれらの光軸が一致した状態で前記計測対象へ照射されるように、前記第1及び第2のレーザ光源の光軸が調整されている、請求項1に記載の成分組成計測システム。
- 前記制御装置は、前記発光スペクトルの性状を判定し、前記性状が所定状態にある発光スペクトルのデータのみを用いて前記計測対象の組成を分析する、
請求項1に記載の成分組成計測システム。 - 前記制御装置は、前記発光スペクトルからプラズマの温度を判定し、プラズマ温度が所定温度以上である発光スペクトルを用いて前記計測対象の組成を分析する、請求項3に記載の成分組成計測システム。
- 前記制御装置は、前記発光スペクトルの信号強度を判定し、信号強度が所定値以上となる発光スペクトルのデータを用いて前記計測対象の組成を分析する、請求項3に記載の成分組成計測システム。
- 前記制御装置は、発光スペクトルを複数回測定し、複数の発光スペクトルのデータを積算した結果を用いて前記計測対象の組成を分析する、請求項3に記載の成分組成計測システム。
- 計測対象の三次元形状及び距離を計測する三次元形状計測装置と、
前記第1のレーザ光源から前記計測対象へ照射されるレーザ光の焦点距離を調整する焦点調整手段をさらに備え、
前記制御装置は、前記三次元形状計測装置による測定結果に基づき焦点調整手段を制御して、前記レーザ光の焦点距離を調整する、
請求項1ないし6のいずれかに記載の成分組成計測システム。 - 計測対象の三次元形状及び距離を計測する三次元形状計測装置と、
前記レーザ光の前記計測対象上の照射位置を調整する照射位置変更手段と、をさらに備え、
前記制御装置は、前記三次元形状計測装置による測定結果に基づき前記照射位置変更手段を制御して、前記計測対象上のレーザ光の照射位置を調整する、
請求項1ないし6のいずれかに記載の成分組成計測システム。 - プラズマを発生させる程度の強度を有する第1のレーザ光を計測対象へ照射するステップと、
プラズマを発生させない程度の強度を有する第2のレーザ光を前記計測対象へ照射するステップと、
前記第1のレーザ光の前記計測対象への照射により生じたプラズマの発光から、波長毎の強度を示す発光スペクトルを測定するステップと、
測定された発光スペクトルのデータを用いて前記計測対象の組成を分析するステップと、含み、
前記第1のレーザ光の照射開始前に、前記第2のレーザの照射を開始し、前記第1のレーザ光の照射終了後に、前記第2のレーザ光の照射を終了する、
成分組成計測方法。 - 前記分析するステップにおいて、前記発光スペクトルの性状を判定し、前記性状が所定状態にある発光スペクトルのデータのみを用いて前記計測対象の組成を分析する、
請求項9に記載の成分組成計測方法。
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