JPWO2017191777A1 - ビーム走査装置および描画装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施の形態の基板(被照射体)Pに露光処理を施す露光装置EXを含むデバイス製造システム10の概略構成を示す図である。なお、以下の説明においては、特に断わりのない限り、重力方向をZ方向とするXYZ直交座標系を設定し、図に示す矢印にしたがって、X方向、Y方向、およびZ方向を説明する。
fG 2/fC1=fθ2/fC2 ・・・ (1)
φa=2×NA(fθ×fC1/fG)=2×NA×(fG×fC2/fθ)・・・(2)
|S1−S2|<SC1×fθ2/fG 2−SC2 ・・・(3)
S1<SC1×fθ2/fG 2、且つ、S2<SC2 ・・・(4)
|S1−S2|<λ/NAy 2、且つ、|S1−S2|<λ/NAx 2 ・・・(5)
S1<λ/NAy 2、且つ、S2<λ/NAx 2 ・・・(6)
但し、|S1−S2|は球面収差S1と球面収差S2との差の絶対値を表し、SC1は第1シリンドリカルレンズCY1単体にて生じる球面収差を表し、SC2は第2シリンドリカルレンズCY2単体にて生じる球面収差を表し、λはビームLBnの波長を表すものとする。なお、球面収差S1と球面収差S2との差の絶対値|S1−S2|は|S2−S1|であっても同じである。また、走査ユニットU1を例に挙げて説明したが、他の走査ユニットU2〜U6に関しても同様に光学設計されることは言うまでもない。
fC1×fC2=fθ2 ・・・(7)
φa=2×NA×fθ=2×NA×(fC1×fC2/fθ) ・・・(8)
比較例1では、第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2の母線をともに主走査方向(Y方向)に設定し、レンズ系G10は設けられていない。比較例1におけるビームエキスパンダーBEから第2シリンドリカルレンズCY2までの光学設計例によるレンズデータを図6に示す。図7は、比較例1におけるビームエキスパンダーBEから基板(像面)PまでのビームLBnの状態を、ビームLBnの偏向方向(スポット光SPの走査方向)を含む平面と平行な面内で示す概略図である。図8は、図7に示すビームエキスパンダーBEからポリゴンミラーPMの反射面RPまでのビームLBnの状態を、ビームLBnの偏向方向(主走査方向)と直交する平面(副走査方向を含む面)からみた概略図である。図9は、図7に示すポリゴンミラーPMの反射面RPから基板(像面)PまでのビームLBnの状態を、ビームLBnの偏向方向(主走査方向)と直交する平面からみた概略図である。なお、図6においては、ポリゴンミラーPMの反射後は、面間隔と曲率半径の正負の符号を逆転して表してある。図7〜図9は、比較例1におけるビームエキスパンダーBE〜基板Pまでの各光学部材(第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2など)を、図6の数値例に則った縮尺で配置した様子を示す図である。
実施例1では、上述したように、第1シリンドリカルレンズCY1の母線の延長方向を副走査方向(X方向)とし、第2シリンドリカルレンズCY2の母線の延長方向を主走査方向(Y方向)とし、第1シリンドリカルレンズCY1とポリゴンミラーPMとの間にレンズ系G10が設けられている。実施例1におけるビームエキスパンダーBEから第2シリンドリカルレンズCY2までの光学設計用のレンズデータを図14に示す。また、図15は、実施例1におけるビームエキスパンダーBEから基板(像面)PまでのビームLBnの状態を、ビームLBnの偏向方向(スポット光SPの走査方向)を含む平面と平行な面内でみた概略図である。図16は、図15に示すビームエキスパンダーBEからポリゴンミラーPMの反射面RPまでのビームLBnの状態を、ビームLBnの偏向方向(主走査方向)と直交する面内(副走査方向を含む面内)でみた概略図である。図17は、図15に示すポリゴンミラーPMの反射面RPから基板(像面)PまでのビームLBnを、ビームLBnの偏向方向(主走査方向)と直交する面内(副走査方向を含む面内)でみた概略図である。なお、図14においては、ポリゴンミラーPMの反射後は、面間隔と曲率半径の正負の符号を逆転して表してある。図15〜図17は、実施例1におけるビームエキスパンダーBE〜基板Pまでの各光学部材(第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2など)を、図14の数値例に則った実際の縮尺で配置した様子を示す。
本第1の実施の形態によれば、第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2の各々は、実施例1(図14)に示したように、ビーム入射側の面が副走査方向に関して一定の曲率半径を有する円筒面に形成され、ビーム射出側の面が平面に形成されレンズで構成される。しかしながら、第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2の各々の円筒面は、曲率半径が僅かに異なる複数の面を滑らかにつなげた湾曲面(母線と垂直な断面形状では非球面)としてもよい。また、第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2の各々の平面側を、主走査方向、或いは副走査方向に所定の曲率半径(∞以外の有限値)を有する円筒面状に加工してもよい。また走査ユニットUnの各々に入射するビームLBn(光源装置14の射出ビーム)の波長λは、実施例1や比較例1で設定した紫外域の波長354.7nmに限られず、他の波長(可視域、赤外域の光)でもよい。また、レンズ系G10にて色消しを行えば、波長が異なる複数のビームを同軸(または平行)にポリゴンミラーPMに入射させて、波長が異なる複数のスポット光SPで基板Pの表面を走査することができる。或いは、レンズ系G10の色消しによって、ビームLBnを中心波長に対して一定の波長幅内に強度が分布する広波長帯光とすることもできる。また、ビームLBnは非偏光ではなく偏光成分を持っていてもよいし、ビーム断面内の強度分布がガウス分布でなく均一な強度分布(ほぼ矩形または台形の分布)であってもよい。
上記第1の実施の形態では、ポリゴンミラーPMを用いて、ビームLBnを偏向させたが、揺動可能なガルバノミラー(可動偏向部材、揺動反射鏡)を用いてビームLBnを偏向させてもよい。この場合も、ガルバノミラーで反射されたビームLBnはfθレンズ系FTを介して基板P(被照射面)に投射されるので、ガルバノミラーの反射面の面倒れによる補正が必要な場合は、ガルバノミラーの手前に、第1シリンドリカルレンズCY1とレンズ系G10を同様に設け、fθレンズ系FTの後に第2シリンドリカルレンズCY2を設ければよい。また、レンズ系G10は、2枚の球面レンズG10a、G10bで構成したが単一のレンズ、或いは3枚以上のレンズで構成してもよい。また、レンズ系G10を構成する球面レンズG10a、G10bは、非球面レンズで構成してもよい。さらに、第1光学部材CY1および第2光学部材CY2として、シリンドリカルレンズを用いたが、1方向の屈折力が、その方向と直交する方向の屈折力に対して相対的に大きくなるレンズであればよい。例えば、第1光学部材CY1および第2光学部材CY2として、トーリックレンズまたはアナモフィックレンズを採用してもよい。
本第1の実施の形態によれば、第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2の各々は単レンズで構成される。これによって、第1シリンドリカルレンズCY1および第2シリンドリカルレンズCY2の製作や組込み(調整)が簡単となり、コストを抑えることができる。しかしながら、ビームLBnの球面収差の補正のために、特に第2シリンドリカルレンズCY2を複数枚のレンズで構成することも可能である。第2シリンドリカルレンズCY2を複数枚(例えば2枚)のレンズで構成する場合、複数枚のレンズ間の母線同士の回転方位を高精度に合致させるための調整作業が必要となる。なお、第2シリンドリカルレンズCY2を複数枚(例えば2枚)のレンズで構成する場合、第1シリンドリカルレンズCY1の母線が延びる方向を、比較例1のように主走査方向と平行にして、レンズ系G10を省略しても、基板Pに投射されるビームLBnの球面収差を良好に補正することが可能になる。但し、その場合、比較例1で示したように第1シリンドリカルレンズCY1の焦点距離fC1をfθレンズ系FTの焦点距離fθよりも長くする必要が生じるため、走査ユニットUnの光路の全長は長くなる。しかしながら、fθレンズ系FTの焦点距離fθに対して第2シリンドリカルレンズCY2の焦点距離fC2を小さく設定することもあって、球面収差を小さく抑えることができる。
先の図4でも簡単に説明したが、走査ユニットUn内のビームエキスパンダーBEを構成するレンズ系Be1、Be2の間の光路中には、描画ラインSLnを副走査方向(X方向)に微小シフトさせるために、ソフト用光学部材としての傾斜可能な平行平板HVPが設けられている。図20A、図20Bは、平行平板HVPの傾斜によって描画ラインSLnがシフトする様子を説明するもので、図20Aは、平行平板HVPの互いに平行な入射面と射出面がビームLBnの中心線(主光線)に対して90度になっている状態を示す図であり、すなわち平行平板HVPがXZ面内で傾斜していない状態を示す図である。図20Bは、平行平板HVPの互いに平行な入射面と射出面がビームLBnの中心線(主光線)に対して90度から傾いている場合、すなわち平行平板HVPがYZ面に対して角度ηだけ傾斜している状態を示す図である。
Claims (40)
- 光源装置からのビームを被照射体に投射しつつ、前記ビームを前記被照射体上で1次元に走査するビーム走査装置であって、
前記ビームを前記1次元の方向に対応した第1の方向に集光する第1光学部材と、
前記第1光学部材を通った前記ビームを入射し、前記1次元の走査のために前記ビームを前記第1の方向に偏向するビーム偏向部材と、
前記ビーム偏向部材によって偏向された前記ビームを入射し、前記被照射体に向けて投射する走査用光学系と、
前記走査用光学系を通った前記ビームを入射し、前記第1の方向と直交する第2の方向に前記ビームを集光する第2光学部材と、
前記第1光学部材と前記ビーム偏向部材との間に設けられ、前記第1光学部材を通った前記ビームを前記ビーム偏向部材の位置で前記第2の方向に集光するレンズ系と、
を備える、ビーム走査装置。 - 請求項1に記載のビーム走査装置であって、
前記第1の方向は前記ビーム偏向部材によって前記ビームを前記1次元に走査する主走査方向であり、前記第2の方向は前記主走査方向と直交する副走査方向である、ビーム走査装置。 - 請求項2に記載のビーム走査装置であって、
前記ビーム偏向部材は、複数の反射面が連続して回転することによって、前記ビームを前記主走査方向に繰り返し偏向する回転多面鏡である、ビーム走査装置。 - 請求項3に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材は、前記ビームを前記レンズ系に入射する手前の位置で前記主走査方向に関して集光し、
前記第2光学部材は、前記ビームを前記被照射体の位置で前記副走査方向に関して集光する、ビーム走査装置。 - 請求項4に記載のビーム走査装置であって、
前記レンズ系は、前記第1光学部材によって前記主走査方向に集光された後に発散する前記ビームを入射して前記主走査方向に関してはほぼ平行光にするとともに、前記副走査方向に関しては前記回転多面鏡の反射面上で集光する収斂光にする、ビーム走査装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材、前記レンズ系、前記ビーム偏向部材、および前記走査用光学系の各々は、
前記第1光学部材の後側焦点の位置と前記レンズ系の前側焦点の位置とが所定の許容範囲内で一致し、
前記レンズ系の後側焦点の位置と前記走査用光学系の前側焦点の位置とが所定の許容範囲内で前記ビーム偏向部材に位置するように配置される、ビーム走査装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記被照射体に投射される前記ビームの前記第1の方向における開口数と前記第2の方向における開口数とが所定の許容範囲内で等しく設定される、ビーム走査装置。 - 請求項7に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材の焦点距離をfC1、前記第2光学部材の焦点距離をfC2、前記レンズ系の焦点距離をfG、および、前記走査用光学系の焦点距離をfθとしたとき、
fG 2/fC1=fθ2/fC2
の関係を有する、ビーム走査装置。 - 請求項7または8に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材に入射する前記ビームを、所定の直径を有する円形断面の光束に整形する開口絞りをさらに備える、ビーム走査装置。 - 請求項9に記載のビーム走査装置であって、
前記被照射体に投射される前記ビームの開口数NAと前記開口絞りの直径φaは、
φa=2×NA(fθ×fC1/fG)=2×NA×(fG×fC2/fθ)
の関係を有する、ビーム走査装置。
(但し、fC1:前記第1光学部材の焦点距離、fC2:前記第2光学部材の焦点距離、fG:前記レンズ系の焦点距離、fθ:前記走査用光学系の焦点距離) - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材に入射する前記ビームは、ビームエキスパンダーによって拡大された光束である、ビーム走査装置。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材および前記第2光学部材は単レンズであり、
前記レンズ系は複数枚のレンズから構成される、ビーム走査装置。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記走査用光学系は、前記ビームの主走査方向の偏向角度の変化と前記被照射体上での投射位置の変化とを比例関係にするfθレンズ系であり、
前記レンズ系は、少なくとも1つの球面レンズまたは非球面レンズで構成される、ビーム走査装置。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材および前記第2光学部材は、母線の延長方向が互いに直交した関係に設置されるシリンドリカルレンズである、ビーム走査装置。 - 請求項14に記載のビーム走査装置であって、
前記第1光学部材単体にて生じる前記第1の方向に関する球面収差をSC1とし、前記第2光学部材単体にて生じる前記第2の方向に関する球面収差をSC2としたとき、前記被照射体に投射される前記ビームの前記第1の方向における球面収差S1と、前記第2の方向における球面収差S2との差分|S1−S2|が、
|S1−S2|<SC1×fθ2/fG 2−SC2
の関係式を満たすように設定されている、ビーム走査装置。
(但し、fG:前記レンズ系の焦点距離、fθ:前記走査用光学系の焦点距離) - 請求項14または15に記載のビーム走査装置であって、
前記被照射体に投射される前記ビームの前記第1の方向に関する球面収差S1と、前記第2の方向に関する球面収差S2とが、
S1<SC1×fθ2/fG 2、且つ、S2<SC2
の関係式を満たすように設定されている、ビーム走査装置。
(但し、fG:前記レンズ系の焦点距離、fθ:前記走査用光学系の焦点距離、SC1:前記第1光学部材単体にて生じる前記第1の方向に関する球面収差、SC2:前記第2光学部材単体にて生じる前記第2の方向に関する球面収差) - 請求項14〜16のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記被照射体に投射される前記ビームの前記第1の方向に関する球面収差S1と、前記第2の方向に関する球面収差S2との差分|S1−S2|が、
|S1−S2|<λ/NAy 2、且つ、|S1−S2|<λ/NAx 2
の関係式を満たすように設定されている、ビーム走査装置。
(但し、λ:前記ビームの波長、NAy:前記ビームの前記第1の方向に関する開口数、NAx: 前記ビームの前記第2の方向に関する開口数) - 請求項14〜17のいずれか1項に記載のビーム走査装置であって、
前記被照射体に投射される前記ビームの前記第1の方向に関する球面収差S1と、前記第2の方向に関する球面収差S2とが、
S1<λ/NAy 2、且つ、S2<λ/NAx 2
の関係式を満たすように設定されている、ビーム走査装置。
(但し、λ:前記ビームの波長、NAy:前記ビームの前記第1の方向に関する開口数、NAx: 前記ビームの前記第2の方向に関する開口数) - 光源装置からのビームを被照射体上で主走査方向に走査しつつ、前記被照射体と前記ビームを副走査方向に相対移動させて、前記被照射体にパターンを描画する描画装置であって、
前記ビームを前記主走査方向に走査するために、前記ビームを入射して前記主走査方向に1次元に偏向する可動偏向部材と、
前記可動偏向部材で1次元に偏向される前記ビームを入射し、前記ビームを前記被照射体上に集光して投射する走査用光学系と、
非等方的な屈折力を有し、前記可動偏向部材に向かう前記ビームを前記主走査方向に関して収斂する第1光学部材と、
非等方的な屈折力を有し、前記走査用光学系から射出して前記被照射体に向かう前記ビームを前記副走査方向に関して収斂する第2光学部材と、
前記第1光学部材と前記可動偏向部材との間に設けられ、前記主走査方向に関して収斂した前記ビームを入射して、前記副走査方向に関して収斂するビームに変換して前記可動偏向部材に向けて射出する等方的な屈折力を有する第3光学部材と、
を備える、描画装置。 - 請求項19に記載の描画装置であって、
前記第1光学部材は、前記可動偏向部材に向かう前記ビームを前記第1光学部材と前記可動偏向部材との間の第1の位置において前記主走査方向に関してはビームウェストとなるように集光させ、前記副走査方向に関しては非集光な状態とする、描画装置。 - 請求項20に記載の描画装置であって、
前記第3光学部材は、前記第1光学部材からの前記ビームを前記可動偏向部材の偏向位置において前記副走査方向に関してはビームウェストとなるように集光させ、前記主走査方向に関しては非集光な状態とする、描画装置。 - 請求項21に記載の描画装置であって、
前記第1光学部材の前記主走査方向に関する屈折力に応じた後側焦点の位置と前記第3光学部材の前側焦点の位置とを、所定の許容範囲内で前記第1の位置と一致させ、
前記第3光学部材の後側焦点の位置と前記走査用光学系の前側焦点の位置とを、所定の許容範囲内で前記可動偏向部材の偏向位置と一致させる、描画装置。 - 請求項19〜22のいずれか1項に記載の描画装置であって、
前記被照射体上に投射される前記ビームの前記主走査方向の開口数と前記副走査方向の開口数とを所定の許容範囲内で揃えた、描画装置。 - 請求項23に記載の描画装置であって、
前記第1光学部材の前記主走査方向に関する屈折力に応じた焦点距離をfC1、前記第2光学部材の前記副走査方向に関する屈折力に応じた焦点距離をfC2、前記第3光学部材の焦点距離をfG、および、前記走査用光学系の焦点距離をfθとしたとき、
fG 2/fC1=fθ2/fC2
の関係を所定の誤差範囲内で満たすように設定される、描画装置。 - 請求項24に記載の描画装置であって、
前記第1光学部材に入射する前記ビームを、所定の直径の円形断面の光束に整形する開口絞りをさらに備える、描画装置。 - 請求項25に記載の描画装置であって、
前記被照射体上に投射される前記ビームの開口数NAと前記開口絞りで整形された前記ビームの直径φaは、
φa=2×NA(fθ×fC1/fG)=2×NA×(fG×fC2/fθ)
の関係を所定の誤差範囲内で満たすように設定される、描画装置。 - 請求項19〜26のいずれか1項に記載の描画装置であって、
前記第1光学部材および前記第2光学部材は非等方な屈折力を有する単レンズで構成され、前記第3光学部材は等方的な屈折力を有する複数枚のレンズで構成される、描画装置。 - 請求項19〜27のいずれか1項に記載の描画装置であって、
前記第1光学部材および前記第2光学部材は、前記ビームが進む光路と垂直な面内で互いに直交する方向に関する屈折力が異なるシリンドリカルレンズ、トーリックレンズ、およびアナモフィックレンズのいずれか1つを含み、
前記第3光学部材は、前記ビームが進む光路と垂直な面内で等方的な屈折力を有する球面レンズまたは非球面レンズを含む、描画装置。 - 請求項19〜28のいずれか1項に記載の描画装置であって、
前記可動偏向部材は、前記ビームを反射させる反射面を有し、該反射面の角度が前記主走査方向に関して変化する回転多面鏡、または揺動反射鏡であり、
前記走査用光学系は、前記可動偏向部材で偏向される前記ビームの偏向角と前記被照射体上に投射される前記ビームの像高位置とが比例関係になるfθレンズ系である、描画装置。 - 可動偏向部材で第1方向に偏向されるビームを、走査用光学系によって被照射体上に投射しつつ前記被照射体上で前記第1方向に沿って1次元走査して前記被照射体にパターンを描画する描画装置であって、
前記可動偏向部材に投射される前記ビームを前記第1方向と直交した第2方向に関して収斂させるための非等方的な屈折力を有する第1レンズ部材を含む第1調整光学系と、
前記走査用光学系から前記被照射体に向かう前記ビームを前記第2方向に関して収斂させるための非等方的な屈折力を有する第2レンズ部材を含む第2調整光学系と、
を備え、
前記ビームの波長をλ、前記被照射体に投射される前記ビームの前記第1方向に関する開口数をNAy、前記第2方向に関する開口数をNAx、前記被照射体に投射される前記ビームの前記第1方向に関する球面収差をS1、前記第2方向に関する球面収差をS2としたとき、前記第1レンズ部材と前記第2レンズ部材は、
S1<λ/NAy 2、且つ、S2<λ/NAx 2、となる条件と、
|S1−S2|<λ/NAy 2、且つ、|S1−S2|<λ/NAx 2、となる条件とのいずれか一方を満たすように設定される、描画装置。 - 請求項30に記載の描画装置であって、
前記第1調整光学系は、前記第1レンズ部材を通った前記ビームを入射して前記可動偏向部材に向けて投射する等方的な屈折力を有する第3レンズ部材を含み、
前記第1レンズ部材は、前記第1レンズ部材と前記第3レンズ部材との間で前記ビームを前記第1方向に関して収斂するように配置される、描画装置。 - 請求項31に記載の描画装置であって、
前記ビームを発生する光源装置をさらに備え、
前記第1調整光学系は、前記光源装置から射出される前記ビームの直径を拡大するビームエキスパンダー系をさらに含む、描画装置。 - 請求項32に記載の描画装置であって、
前記第1方向に関する前記球面収差S1は、前記ビームエキスパンダー系、前記第1レンズ部材、前記第3レンズ部材、および前記走査用光学系によって発生し、
前記第2方向に関する前記球面収差S2は、前記ビームエキスパンダー系、前記第3レンズ部材、前記走査用光学系、および前記第2レンズ部材によって発生する、描画装置。 - 被照射体上の主走査方向に沿ってパターン描画用のビームを1次元走査すると共に、前記主走査方向と交差した副走査方向に前記被照射体と前記ビームとを相対移動させて、前記被照射体にパターンを描画する描画装置であって、
前記ビームを発生する為のビーム生成装置と、
前記ビーム生成装置からの前記ビームを、ビーム径を拡大させた平行光束に変換するビームエキスパンダーと、
前記ビームエキスパンダーで変換された前記ビームを入射して前記主走査方向に対応した方向に1次元偏向するビーム偏向部材と、
前記1次元偏向された前記ビームを入射して前記被照射体上に前記ビームのスポットを集光する為の走査用光学系と、
前記ビームエキスパンダーと前記ビーム偏向部材との間に設けられ、前記ビームエキスパンダーで変換された前記ビームを入射して、前記ビーム偏向部材上に投射される前記ビームを前記副走査方向に対応した方向に収斂させるための非等方的な屈折力を有する第1光学素子を含む第1光学系と、
前記走査用光学系から射出して前記被照射体に向かう前記ビームを前記副走査方向に収斂させるための非等方的な屈折力を有する第2光学素子を含む第2光学系と、
前記ビームエキスパンダーの光路中に設けられ、前記ビームの光路を前記副走査方向に対応した方向にシフトさせるシフト用光学部材と、
を備える、描画装置。 - 請求項34に記載の描画装置であって、
前記ビームエキスパンダーは、前記ビーム生成装置からの前記ビームを入射する第1レンズ系と、該第1レンズ系を通った前記ビームを平行光束に変換する第2レンズ系と含み、
前記シフト用光学部材は、前記第1レンズ系と前記第2レンズ系との間に傾斜角可変に配置される平行平板である、描画装置。 - 請求項35に記載の描画装置であって、
前記ビームエキスパンダーの前記第2レンズ系の後側焦点の位置に配置され、前記ビームエキスパンダーで拡大された前記ビームの強度分布上の裾野の強度をカットする開口絞りを、更に備える、描画装置。 - 請求項36に記載の描画装置であって、
前記ビーム偏向部材は、前記ビームエキスパンダーからの前記ビームを前記走査用光学系に向けて反射させると共に、前記主走査方向に対応した方向に角度が変化する反射面を有し、
前記ビーム偏向部材の前記反射面は、前記副走査方向に対応した方向については、前記走査用光学系と前記第2光学系とによって、前記被照射体と光学的に共役になるように配置され、前記主走査方向に対応した方向については、前記走査用光学系の前側焦点の位置に配置される、描画装置。 - 請求項37に記載の描画装置であって、
前記開口絞りの位置は、前記ビーム偏向部材の前記反射面からみたとき、前記副走査方向に対応した方向については、前記第1光学系のほぼ瞳の位置に設定され、前記主走査方向に対応した方向については、前記第1光学系によって前記ビーム偏向部材の前記反射面の位置又は前記走査用光学系の前側焦点の位置と光学的に共役になるように設定される、描画装置。 - 請求項38に記載の描画装置であって、
前記第1光学系の前記第1光学素子は、前記主走査方向に対応した方向にだけ屈折力を有し、前記開口絞りを通った前記ビームを入射する第1シリンドリカルレンズであり、
前記第2光学系の前記第2光学素子は、前記副走査方向に対応した方向にだけ屈折力を有する第2シリンドリカルレンズである、描画装置。 - 請求項39に記載の描画装置であって、
前記第1光学系は、前記第1シリンドリカルレンズを通った前記ビームを入射して、前記ビーム偏向部材の前記反射面に向けて射出する等方的な屈折力を有する球面又は非球面のレンズを含む、描画装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021155417A JP7226499B2 (ja) | 2016-05-06 | 2021-09-24 | 描画装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016093180 | 2016-05-06 | ||
JP2016093180 | 2016-05-06 | ||
PCT/JP2017/016274 WO2017191777A1 (ja) | 2016-05-06 | 2017-04-25 | ビーム走査装置および描画装置 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020015970A Division JP6888700B2 (ja) | 2016-05-06 | 2020-02-03 | パターン描画装置 |
JP2021155417A Division JP7226499B2 (ja) | 2016-05-06 | 2021-09-24 | 描画装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017191777A1 true JPWO2017191777A1 (ja) | 2019-03-07 |
JP6954274B2 JP6954274B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=60203629
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018515430A Active JP6954274B2 (ja) | 2016-05-06 | 2017-04-25 | ビーム走査装置 |
JP2020015970A Active JP6888700B2 (ja) | 2016-05-06 | 2020-02-03 | パターン描画装置 |
JP2021155417A Active JP7226499B2 (ja) | 2016-05-06 | 2021-09-24 | 描画装置 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020015970A Active JP6888700B2 (ja) | 2016-05-06 | 2020-02-03 | パターン描画装置 |
JP2021155417A Active JP7226499B2 (ja) | 2016-05-06 | 2021-09-24 | 描画装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP6954274B2 (ja) |
KR (2) | KR102389080B1 (ja) |
CN (3) | CN110031964B (ja) |
HK (1) | HK1258865A1 (ja) |
TW (2) | TWI811646B (ja) |
WO (1) | WO2017191777A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7111108B2 (ja) | 2017-10-25 | 2022-08-02 | 株式会社ニコン | パターン描画装置 |
JP6998488B1 (ja) * | 2021-07-07 | 2022-01-18 | 川崎重工業株式会社 | レーザ走査装置及びレーザ走査方法 |
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JP2016033960A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 露光方法および露光装置 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6459234B2 (ja) | 2014-06-16 | 2019-01-30 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
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-
2017
- 2017-04-25 KR KR1020187035184A patent/KR102389080B1/ko active IP Right Grant
- 2017-04-25 CN CN201910171295.1A patent/CN110031964B/zh active Active
- 2017-04-25 CN CN201780027995.2A patent/CN109196423B/zh active Active
- 2017-04-25 JP JP2018515430A patent/JP6954274B2/ja active Active
- 2017-04-25 WO PCT/JP2017/016274 patent/WO2017191777A1/ja active Application Filing
- 2017-04-25 CN CN201910171306.6A patent/CN110031965B/zh active Active
- 2017-04-25 KR KR1020227012846A patent/KR102496906B1/ko active IP Right Grant
- 2017-05-05 TW TW110108326A patent/TWI811646B/zh active
- 2017-05-05 TW TW106114890A patent/TWI724165B/zh active
-
2019
- 2019-01-25 HK HK19101337.9A patent/HK1258865A1/zh unknown
-
2020
- 2020-02-03 JP JP2020015970A patent/JP6888700B2/ja active Active
-
2021
- 2021-09-24 JP JP2021155417A patent/JP7226499B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220053054A (ko) | 2022-04-28 |
CN110031965B (zh) | 2021-09-10 |
KR102496906B1 (ko) | 2023-02-08 |
CN110031964A (zh) | 2019-07-19 |
JP6954274B2 (ja) | 2021-10-27 |
TWI811646B (zh) | 2023-08-11 |
TWI724165B (zh) | 2021-04-11 |
JP6888700B2 (ja) | 2021-06-16 |
CN110031964B (zh) | 2022-06-10 |
JP2020101808A (ja) | 2020-07-02 |
TW201804212A (zh) | 2018-02-01 |
JP2022008529A (ja) | 2022-01-13 |
TW202127096A (zh) | 2021-07-16 |
JP7226499B2 (ja) | 2023-02-21 |
CN109196423B (zh) | 2021-08-27 |
KR20190003748A (ko) | 2019-01-09 |
CN110031965A (zh) | 2019-07-19 |
CN109196423A (zh) | 2019-01-11 |
KR102389080B1 (ko) | 2022-04-22 |
HK1258865A1 (zh) | 2019-11-22 |
WO2017191777A1 (ja) | 2017-11-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
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