JPWO2017168773A1 - 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法、蒸着方法および有機el表示装置の製造方法 - Google Patents
蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法、蒸着方法および有機el表示装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
11 樹脂フィルム
12 開口
12a 開口12の側面
12b 開口12の段差の蒸着源と相対する面
13a 被蒸着基板に当接する面に設けられた磁性金属膜
13b 樹脂フィルムの蒸着源に相対する面に設けられた磁性金属膜
14 金属支持層
14a 開口
2 被蒸着基板
3 磁石
4 蒸着源
5 蒸着材料
5a 有機材料
21 装置基板
22 第1電極
23 バンク
24 有機層の積層膜
25 第2電極
26 保護膜
Claims (12)
- 被蒸着基板上に蒸着により薄膜パターンを成膜形成するための開口のパターンを有する樹脂フィルムを含む蒸着マスクであって、
前記樹脂フィルムの前記被蒸着基板と当接する面の、少なくとも前記樹脂フィルムの前記開口の周縁部に設けられた磁性金属膜を有する蒸着マスク。 - 前記樹脂フィルムの蒸着源と相対する面の、少なくとも前記樹脂フィルムの前記開口の周縁部に設けられた磁性金属膜を有する請求項1記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂フィルムの前記被蒸着基板と当接する面に設けられた前記磁性金属膜が、0.1μm以上であって6μm以下の膜厚を有する請求項1記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂フィルムの前記被蒸着基板と当接する面に設けられた前記磁性金属膜が、前記樹脂フィルムの面の輻射率よりも輻射率が大きい高輻射率膜である請求項1〜3のいずれか1項に記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂フィルムの蒸着源と相対する面に設けられた前記磁性金属膜が、前記樹脂フィルムの輻射率よりも輻射率が小さい低輻射率膜である請求項2記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂フィルムの前記被蒸着基板と当接する面に設けられた前記磁性金属膜が永久磁石である請求項1〜5のいずれか1項に記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂フィルムの前記被蒸着基板と当接する面に設けられた前記磁性金属膜が、Ni、Fe、Co、インバー、Mn−Al、SmCo5またはSm2Co17から選択される少なくとも1つの金属、合金または金属間化合物から形成された膜である請求項1〜6のいずれか1項に記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂フィルムの蒸着源に相対する面の一部に金属支持層を備えた請求項1〜7のいずれか1項に記載の蒸着マスク。
- 開口のパターンを有する樹脂フィルムを含み、被蒸着基板に蒸着材料を蒸着するのに用いるマスクであって、前記樹脂フィルムの前記被蒸着基板と当接する面の、少なくとも前記樹脂フィルムの前記開口の周縁部に設けられた磁性金属膜を有する蒸着マスクの製造方法であって、
前記樹脂フィルムに前記開口を形成した後に、スパッタリング法、イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、クラスターイオンビーム法、エアロゾルデポジッシン法、コールドスプレー法および化学堆積法から選択される少なくとも1つの方法で前記磁性金属膜を形成する蒸着マスクの製造方法。 - 磁石と、被蒸着基板と、蒸着マスクとを重ね合せ、前記蒸着マスク側から蒸着材料を気化させて前記被蒸着基板に所定のパターンで蒸着材料を蒸着する蒸着方法であって、前記蒸着マスクに請求項1〜8のいずれか1項に記載の蒸着マスクを用いて前記被蒸着基板と前記蒸着マスクとを密着させて蒸着材料を蒸着する蒸着方法。
- 電磁石と、被蒸着基板と、請求項6記載の蒸着マスクとを重ね合せ、前記蒸着マスク側から蒸着材料を気化させて前記被蒸着基板に所定のパターンで蒸着材料を蒸着する蒸着方法であって、前記蒸着材料の蒸着終了後に、前記電磁石および前記被蒸着基板の前記蒸着マスクからの分離を、前記電磁石に前記蒸着マスクを反発させる磁界を発生させることにより行う蒸着方法。
- 装置基板上に有機層を積層して有機EL表示装置を製造する方法であって、
支持基板上にTFTおよび第1電極を少なくとも形成した前記装置基板上に請求項1〜8のいずれか1項に記載の蒸着マスクを位置合せして重ね合せ、前記第1電極上に有機材料を蒸着することで有機層の積層膜を形成し、前記積層膜上に第2電極を形成することを含む有機EL表示装置の製造方法。
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