JP2014218735A - 蒸着マスク、蒸着マスク準備体、蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1〜図7、図9に示すように、実施形態(A)の蒸着マスク100は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、複数のスリット15が設けられた金属マスク10と、樹脂マスク20とが積層され、樹脂マスク20には、複数画面を構成するために必要な開口部25が設けられ、各スリット15が、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする。なお、図1、図3〜図5、図9は、実施形態(A)の蒸着マスクを金属マスク側から見た正面図であり、図2、図6は、図1に示す蒸着マスクの部分拡大概略断面図である。
実施形態(A)の蒸着マスクをなす樹脂マスク20は、従来公知の樹脂材料を適宜選択して用いることができ、その材料について特に限定されないが、レーザー加工等によって高精細な開口部25の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が16ppm/℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が1.0%以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、開口部25の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。実施形態(A)の蒸着マスクでは、樹脂マスク20が上述したように金属材料と比較して、高精細な開口部25の形成が可能な樹脂材料から構成される。したがって、高精細な開口部25を有する蒸着マスク100とすることができる。実施形態(B)の蒸着マスクについても同様である。
実施形態(A)の蒸着マスクをなす金属マスク10は、金属から構成され、複数のスリット15が設けられている。実施形態(A)の蒸着マスクでは上記で説明したように、各スリット15は、少なくとも1つの画面全体と重なる位置に設けられている。換言すれば、1画面を構成する開口部25は、1つのスリット15と重なる位置に設けられている。
図11、図12に示すように、実施形態(B)の蒸着マスクは、1つの貫通孔15が設けられた金属マスク10と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が複数設けられた樹脂マスク20とが積層され、当該複数の開口部25の全てが、金属マスク10に設けられた1つの貫通孔と重なる位置に設けられている。なお、図11は、実施形態(B)の蒸着マスクを金属マスク側から見た正面図であり、図12は、図11に示す蒸着マスクの部分拡大概略断面図である。
実施形態(B)の蒸着マスクをなす樹脂マスク20は、樹脂から構成され、図12に示すように、1つの貫通孔15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25が複数設けられている。開口部25は、蒸着作製するパターンに対応しており、蒸着源から放出された蒸着材が開口部25を通過することで、蒸着対象物には、開口部25に対応する蒸着パターンが形成される。図示する形態では、開口部が縦横に複数列配置された例を挙げて説明をしているが、縦方向、或いは横方向にのみ配置されていてもよい。実施形態(A)の蒸着マスク100が、少なくとも樹脂マスクに設けられた開口部の集合体からなる1画面と重なる位置に金属マスク10のスリット15が設けられているのに対し、実施形態(B)の蒸着マスク100は、樹脂マスクに設けられた全ての開口部と重なる位置に金属マスク10の貫通孔15が位置している点で、実施形態(A)の蒸着マスクと相違する。この相違点以外は、上記実施形態(A)の蒸着マスクで説明した態様を適宜選択することができる。以下、相違点を中心に説明する。
実施形態(B)の蒸着マスクをなす金属マスク10は、金属から構成され1つの貫通孔15を有している。そして、実施形態(B)の蒸着マスクでは、当該1つの貫通孔15は、金属マスク10の正面からみたときに、全ての開口部25と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク20に配置された全ての開口部25がみえる位置に配置されている。
次に、本発明の実施形態(A)の蒸着マスクの製造方法について説明する。実施形態(A)の蒸着マスク100の製造方法は、図10(a)に示すように、複数のスリット15が設けられた金属マスク10と、樹脂板30とが積層された樹脂板付き金属マスクを準備する工程と、図10(b)に示すように金属マスク側からレーザーを照射して樹脂板30に複数画面を構成するために必要な開口部25を形成する樹脂マスク形成工程とを有し、樹脂板付金属マスクを構成する金属マスク10として、複数画面のうちの少なくとも1画面全体と重なるスリット15が設けられた金属マスクが用いられることを特徴とする。以下、実施形態(A)の蒸着マスクの製造方法について具体的に説明する。
図10(a)に示す、スリットが設けられた金属マスク10と樹脂板30とが積層された樹脂板付き金属マスクを準備するにあたり、まず、複数のスリット15が設けられた金属マスクを準備する。実施形態(A)の蒸着マスクの製造方法では、ここで準備される金属マスク10が、上記実施形態(A)の蒸着マスク100で説明した、少なくとも1画面全体に設けられている開口部25全体と重なるスリット15が設けられている金属マスク10が用いられる。
当該工程は、実施形態(A)の蒸着マスクの製造方法における任意の工程であるが、完成した蒸着マスクをフレームに固定するのではなく、フレームに固定された状態の樹脂板付き金属マスクに対し、後から開口部を設けているので、位置精度を格段に向上せしめることができる。なお、完成した蒸着マスク100をフレームに固定する場合には、開口が決定された金属マスクをフレームに対して引っ張りながら固定するために、本工程を有する場合と比較して、開口位置座標精度は低下することとなる。
次に、図10(b)に示すように、樹脂板付き金属マスクの金属マスク10側からスリット15を通してレーザーを照射し、前記樹脂板30に蒸着作製するパターンに対応した開口部25を形成し、樹脂マスク20とする。ここで用いるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。これにより、図10(c)に示すような、実施形態(A)の蒸着マスク100を得る。
次に、本発明の実施形態(B)の蒸着マスクの製造方法について説明する。実施形態(B)の蒸着マスク100の製造方法は、図19に示すように、1つの貫通孔が設けられた金属マスク10と、樹脂板30とが積層された樹脂板付き金属マスクを準備する工程(図19(a)参照)と、金属マスク10側からレーザーを照射して樹脂板30の1つの貫通孔15と重なる位置に複数の開口部25を形成する樹脂マスク形成工程(図19(b)参照)とを備えることを特徴とする。以下、実施形態(B)の蒸着マスクの製造方法について具体的に説明する。
本工程は、1つの貫通孔15が設けられた金属マスク10と樹脂板30とを貼り合わせることで、金属マスク10と樹脂板30とが積層されてなる樹脂板付金属マスクを準備する工程である。
当該工程は、実施形態(B)の蒸着マスクの製造方法における任意の工程であり、上記実施形態(A)の蒸着マスクの製造方法で説明した方法をそのまま用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。
次に、図19(b)に示すように、金属マスク10側から1つの貫通孔15を通してレーザーを照射し、前記樹脂板30に蒸着作製するパターンに対応した開口部25を形成し、樹脂マスク20とする。この工程では、1つの貫通孔15を通してレーザーの照射が行われることから、最終的に1つの貫通孔15と重なる位置に、複数の開口部25が形成されることとなる。ここで用いるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。これにより、図19(c)に示すような、実施形態(B)の蒸着マスク100を得る。
次に、本発明の一実施形態の蒸着マスク準備体について説明する。本発明の一実施形態の蒸着マスク準備体は、複数のスリットが設けられた金属マスクと樹脂マスクとが積層され、樹脂マスクには複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、開口部は蒸着作製するパターンに対応しており、各スリットが、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体であって、樹脂板の一方の面上にスリットが設けられた金属マスクが積層されてなり、各スリットは、樹脂板に最終的に設けられる1画面を構成する開口部全体と重なる位置に設けられていることを特徴としている。
次に、本発明の一実施形態の有機半導体素子の製造方法について説明する。本発明の一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程を有し、当該有機半導体素子を形成する工程において以下のフレーム付き蒸着マスクが用いられる点に特徴を有する。
10…金属マスク
15…スリット、貫通孔
20…樹脂マスク
25…開口部
28…溝
60…金属フレーム
200…フレーム付き蒸着マスク
Claims (9)
- 複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、
複数のスリットが設けられた金属マスクと、樹脂マスクとが積層され、
前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、
前記開口部は、蒸着作製するパターンに対応しており、
各前記スリットが、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする蒸着マスク。 - 1つの貫通孔が設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が複数設けられた樹脂マスクとが積層され、
前記複数の開口部の全てが、前記1つの貫通孔と重なる位置に設けられていることを特徴とする蒸着マスク。 - 複数のスリットが設けられた金属マスクと樹脂マスクとが積層され、前記樹脂マスクには複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、前記開口部は蒸着作製するパターンに対応しており、各前記スリットが、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体において、
樹脂板の一方の面上にスリットが設けられた金属マスクが積層されてなり、
各前記スリットは、前記樹脂板に最終的に設けられる1画面を構成する開口部全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする蒸着マスク準備体。 - 1つの貫通孔が設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が複数設けられた樹脂マスクとが積層され、前記複数の開口部の全てが、前記1つの貫通孔と重なる位置に設けられている蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体において、
樹脂板の一方の面上にスリットが設けられた金属マスクが積層されてなり、
各前記1つの貫通孔は、前記樹脂板に最終的に設けられる開口部全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする蒸着マスク準備体。 - 蒸着マスクの製造方法であって、
複数のスリットが設けられた金属マスクと、樹脂板とが積層された樹脂板付き金属マスクを準備する工程と、
前記金属マスク側からレーザーを照射して、前記樹脂板に複数画面を構成するために必要な開口部を形成する樹脂マスク形成工程と、
を備え、
前記金属マスクとして、前記複数画面のうちの少なくとも1画面全体と重なる位置にスリットが設けられた金属マスクが用いられることを特徴とする蒸着マスクの製造方法。 - 蒸着マスクの製造方法であって、
1つの貫通孔が設けられた金属マスクと、樹脂板とが積層された樹脂板付き金属マスクを準備する工程と、
前記金属マスク側からレーザーを照射し、前記樹脂板の前記1つの貫通孔と重なる位置に複数の開口部を形成する樹脂マスク形成工程と、
を備えることを特徴とする蒸着マスクの製造方法。 - フレーム上に、前記樹脂板付き金属マスクを固定した後に、前記樹脂マスク形成工程が行われることを特徴とする請求項5又は6に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 有機半導体素子の製造方法であって、
フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
前記蒸着パターンを形成する工程において、前記フレームに固定される前記蒸着マスクが、
複数のスリットが設けられた金属マスクと、樹脂マスクとが積層され、
前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、
前記開口部は、蒸着作製するパターンに対応しており、
各前記スリットが、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクであることを特徴とする有機半導体素子の製造方法。 - 有機半導体素子の製造方法であって、
フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
前記蒸着パターンを形成する工程において、前記フレームに固定される前記蒸着マスクが、
1つの貫通孔が設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が複数設けられた樹脂マスクとが積層され、前記複数の開口部の全てが、前記1つの貫通孔と重なる位置に設けられている蒸着マスクであることを特徴とする有機半導体素子の製造方法。
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