JPWO2017159813A1 - 静電式電気機械変換機 - Google Patents
静電式電気機械変換機 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017159813A1 JPWO2017159813A1 JP2018506019A JP2018506019A JPWO2017159813A1 JP WO2017159813 A1 JPWO2017159813 A1 JP WO2017159813A1 JP 2018506019 A JP2018506019 A JP 2018506019A JP 2018506019 A JP2018506019 A JP 2018506019A JP WO2017159813 A1 JPWO2017159813 A1 JP WO2017159813A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable substrate
- substrate
- electrostatic
- movable
- ground electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 155
- 230000009881 electrostatic interaction Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 51
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002801 charged material Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/004—Electrostatic motors in which a body is moved along a path due to interaction with an electric field travelling along the path
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/06—Influence generators
- H02N1/08—Influence generators with conductive charge carrier, i.e. capacitor machines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
- 帯電部と対向電極との間の静電的な相互作用を利用して電力と動力の間の変換を行う静電式電気機械変換機であって、
固定基板と、
前記固定基板との間で一定の距離を保って移動可能な可動基板と、
前記可動基板の前記固定基板との対向面において前記可動基板の移動方向に間隔を空けて配置された複数の帯電部と、
前記固定基板の前記可動基板との対向面において前記移動方向に配置された複数の対向電極と、
前記可動基板の前記対向面とは反対側の面に対向して配置された接地電極と、
を有することを特徴とする静電式電気機械変換機。 - 前記接地電極は、前記複数の帯電部の配置位置に対応する前記可動基板の前記反対側の面上の領域全体を覆っている、請求項1に記載の静電式電気機械変換機。
- 前記可動基板と前記固定基板との距離は、30μm以上かつ150μm以下である、請求項1又は2に記載の静電式電気機械変換機。
- 前記可動基板と前記固定基板とは、天板と地板との間に配置され、
前記接地電極は、前記天板又は前記地板の前記可動基板との対向面に形成されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の静電式電気機械変換機。 - 前記可動基板と前記固定基板とは、天板と地板との間に配置され、
前記天板又は前記地板を前記接地電極としている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の静電式電気機械変換機。 - 前記可動基板は、前記可動基板の中心を通る回転軸の周りに回転可能であり、
前記複数の帯電部と前記複数の対向電極とは、それぞれ前記回転軸を中心として放射状に配置されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の静電式電気機械変換機。 - 極性が交互に切り替わる電圧を前記複数の対向電極に印加して、前記複数の帯電部と前記複数の対向電極との間で発生する静電気力により前記可動基板を回転させる駆動部と、
前記接地電極を挟んで前記可動基板とは反対側において前記回転軸に連結され、前記可動基板とともに回転して前記可動基板の回転運動を外部に伝達する歯車列と、
をさらに有する、請求項6に記載の静電式電気機械変換機。 - 前記接地電極を挟んで前記可動基板とは反対側において前記回転軸に連結され、外部の動力源により駆動されて前記回転軸及び前記可動基板を回転させる歯車列と、
前記可動基板の回転に応じて前記複数の帯電部と前記複数の対向電極との間の静電誘導により発生した電力を蓄積する蓄電部と、
をさらに有する、請求項6に記載の静電式電気機械変換機。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016053782 | 2016-03-17 | ||
JP2016053782 | 2016-03-17 | ||
PCT/JP2017/010757 WO2017159813A1 (ja) | 2016-03-17 | 2017-03-16 | 静電式電気機械変換機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017159813A1 true JPWO2017159813A1 (ja) | 2019-01-24 |
JP7022683B2 JP7022683B2 (ja) | 2022-02-18 |
Family
ID=59850321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018506019A Active JP7022683B2 (ja) | 2016-03-17 | 2017-03-16 | 静電式電気機械変換機 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10622917B2 (ja) |
EP (1) | EP3432462B1 (ja) |
JP (1) | JP7022683B2 (ja) |
CN (2) | CN108886330A (ja) |
HK (1) | HK1258350A1 (ja) |
WO (1) | WO2017159813A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10958191B2 (en) * | 2018-02-15 | 2021-03-23 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Electrostatic motor |
US11245344B2 (en) * | 2018-06-07 | 2022-02-08 | Encite Llc | Micro electrostatic motor and micro mechanical force transfer devices |
USD917310S1 (en) * | 2020-01-31 | 2021-04-27 | Citizen Watch Co., Ltd. | Watch |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6395864A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Canon Inc | 静電アクチユエ−タ |
JPH0548567U (ja) * | 1991-02-28 | 1993-06-25 | 狭山精密工業株式会社 | ギャードモータの騒音低減構造 |
JPH11179554A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-06 | Honda Motor Co Ltd | シーム溶接機 |
JP2004208392A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体静電モータ |
JP2015094455A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | 小倉クラッチ株式会社 | 駆動装置 |
JP2015192577A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | シチズンホールディングス株式会社 | 発電装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09163762A (ja) * | 1995-12-11 | 1997-06-20 | Yaskawa Electric Corp | 静電アクチュエータ |
EP1642311A2 (en) | 2003-06-26 | 2006-04-05 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Micro-electromechanical device and module and method of manufacturing same |
CN100521030C (zh) * | 2003-06-26 | 2009-07-29 | Nxp股份有限公司 | 微机电装置和模块及其驱动方法 |
JP2005341675A (ja) | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Olympus Corp | エレクトレット駆動装置 |
JP2009232667A (ja) * | 2008-03-22 | 2009-10-08 | Toshio Sakai | 垂直・水平電界中の樋型電極を使用する静電モータ・発電機 |
JP5126038B2 (ja) * | 2008-12-08 | 2013-01-23 | オムロン株式会社 | 静電誘導型のエネルギー変換素子 |
JP5402395B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-01-29 | オムロン株式会社 | 静電誘導型発電装置 |
JP2013123337A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Murata Mfg Co Ltd | 発電装置 |
WO2013132753A1 (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | パナソニック株式会社 | 振動発電器及び振動発電装置と、振動発電装置を搭載した通信装置及び電子機器 |
JP6494597B2 (ja) * | 2014-03-26 | 2019-04-03 | シチズン時計株式会社 | 静電誘導型発電器 |
JP6562927B2 (ja) | 2014-08-22 | 2019-08-21 | シチズン時計株式会社 | 静電誘導型発電器付き電子時計 |
-
2017
- 2017-03-16 WO PCT/JP2017/010757 patent/WO2017159813A1/ja active Application Filing
- 2017-03-16 US US16/084,537 patent/US10622917B2/en active Active
- 2017-03-16 EP EP17766808.4A patent/EP3432462B1/en active Active
- 2017-03-16 CN CN201780017533.2A patent/CN108886330A/zh active Pending
- 2017-03-16 JP JP2018506019A patent/JP7022683B2/ja active Active
- 2017-03-16 CN CN202010248751.0A patent/CN111313746B/zh active Active
-
2019
- 2019-01-16 HK HK19100720.6A patent/HK1258350A1/zh unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6395864A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Canon Inc | 静電アクチユエ−タ |
JPH0548567U (ja) * | 1991-02-28 | 1993-06-25 | 狭山精密工業株式会社 | ギャードモータの騒音低減構造 |
JPH11179554A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-06 | Honda Motor Co Ltd | シーム溶接機 |
JP2004208392A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体静電モータ |
JP2015094455A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | 小倉クラッチ株式会社 | 駆動装置 |
JP2015192577A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | シチズンホールディングス株式会社 | 発電装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111313746A (zh) | 2020-06-19 |
EP3432462A4 (en) | 2019-11-13 |
WO2017159813A1 (ja) | 2017-09-21 |
US20190081576A1 (en) | 2019-03-14 |
CN111313746B (zh) | 2023-07-28 |
US10622917B2 (en) | 2020-04-14 |
JP7022683B2 (ja) | 2022-02-18 |
EP3432462B1 (en) | 2021-01-06 |
EP3432462A1 (en) | 2019-01-23 |
CN108886330A (zh) | 2018-11-23 |
HK1258350A1 (zh) | 2019-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5800707B2 (ja) | 発電装置およびそれを備えた発電機器 | |
JP6799484B2 (ja) | 電気機械変換器およびその製造方法 | |
WO2017159813A1 (ja) | 静電式電気機械変換機 | |
JP2016185022A (ja) | 発電装置 | |
JP6707018B2 (ja) | 電気機械変換器 | |
JP2015186424A (ja) | 静電誘導型発電器 | |
JP6789156B2 (ja) | 電気機械変換器 | |
JP6861718B2 (ja) | 電気機械変換器 | |
JP6742084B2 (ja) | 静電誘導型発電器 | |
JP6678526B2 (ja) | 電気機械変換器 | |
JP6832690B2 (ja) | 電気機械変換器 | |
JP2018098833A (ja) | 電気機械変換器 | |
JP5876179B2 (ja) | 発電装置 | |
JP6062081B2 (ja) | 発電装置 | |
US11563386B2 (en) | Electromechanical transducer and method for manufacturing same | |
JP2018068065A (ja) | 電気機械変換器 | |
JP6656055B2 (ja) | 電気機械変換器 | |
JP7069003B2 (ja) | 電気機械変換器および電子時計 | |
JP6700139B2 (ja) | エレクトレット基板の製造方法 | |
JP7194080B2 (ja) | 電気機械変換器およびその製造方法 | |
US10211760B2 (en) | Piezoelectric ultrasonic motor and operation method of the same | |
JP2016059194A (ja) | 発電装置 | |
JP2020108287A (ja) | 回転部材の製造方法、測定装置、回転部材の検査システム、および回転部材の表面電位の測定方法 | |
JPH0223076A (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7022683 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |