JPWO2017135436A1 - 光素子及びその製造方法、並びに光変調器 - Google Patents
光素子及びその製造方法、並びに光変調器 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017135436A1 JPWO2017135436A1 JP2017565662A JP2017565662A JPWO2017135436A1 JP WO2017135436 A1 JPWO2017135436 A1 JP WO2017135436A1 JP 2017565662 A JP2017565662 A JP 2017565662A JP 2017565662 A JP2017565662 A JP 2017565662A JP WO2017135436 A1 JPWO2017135436 A1 JP WO2017135436A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical waveguide
- waveguide
- core
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 865
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 48
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 146
- 239000012792 core layer Substances 0.000 claims abstract description 96
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 78
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 12
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000005701 quantum confined stark effect Effects 0.000 description 2
- -1 GaAs compound Chemical class 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction
- G02F1/025—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements with at least one potential jump barrier, e.g. PN, PIN junction in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1228—Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
- G02B6/136—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by etching
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/14—Mode converters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
- G02F1/2257—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure the optical waveguides being made of semiconducting material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12035—Materials
- G02B2006/12078—Gallium arsenide or alloys (GaAs, GaAlAs, GaAsP, GaInAs)
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12166—Manufacturing methods
- G02B2006/12173—Masking
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/212—Mach-Zehnder type
Abstract
Description
本発明の第1実施形態による光素子及びその製造方法について図1乃至図13を用いて説明する。
本発明の第2実施形態による光素子及びその製造方法について図14を用いて説明する。図14は、本実施形態による光素子における第3の光導波路を示す断面図である。なお、上記第1実施形態による光素子及びその製造方法と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
本発明の第3実施形態による光変調器について図15A及び図15Bを用いて説明する。図15A及び図15Bは、本実施形態による光変調器を示す概略図である。なお、上記第1及び第2実施形態による光素子及びその製造方法と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
本発明の第4実施形態による光変調器について図16を用いて説明する。図16は、本実施形態による光変調器を示す平面図である。なお、上記第1及び第2実施形態による光素子及びその製造方法、並びに上記第3実施形態による光変調器と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
本発明は、上記実施形態に限らず、種々の変形が可能である。
10…第1の光導波路
20…第2の光導波路
30…第3の光導波路
40…第4の光導波路
50…第5の光導波路
60…基板
62…下部クラッド層
64…コア層
66…上部クラッド層
80…ハードマスク
81…第1のマスク部
82…第2のマスク部
100…光変調器
102…基板
104…入力側光導波路
106…マッハツェンダ干渉計
108…出力側光導波路
110…光分波器
112、114…アーム光導波路
116…光合波器
140、142…位相変調部
200…光変調器
206a、206b、206c、206d…マッハツェンダ干渉計
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に形成され、それぞれ下部クラッド層とコア層と上部クラッド層とを有し、前記コア層が、前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層よりも屈折率が大きい第1乃至第3の光導波路とを有し、
前記第1の光導波路が前記第2の光導波路に光学的に接続され、前記第2の光導波路が前記第3の光導波路に光学的に接続され、
前記第1乃至第3の光導波路が、少なくとも前記上部クラッド層及び前記コア層の上部が前記下部クラッド層上に突出するメサ状に形成されたメサ構造を有し、
コア高さを、前記メサ構造の両側の底面又は前記メサ構造の側面の傾きが前記底面にかけて不連続となる箇所から前記コア層の上面までの高さとしたとき、前記第3の光導波路の前記コア高さが、前記第1の光導波路の前記コア高さよりも低く、
メサ幅を前記コア層の中央の幅としたとき、前記第3の光導波路の前記メサ幅が、前記第1の光導波路の前記メサ幅よりも狭いことを特徴とする光素子。 - 前記基板上に形成され、それぞれ前記下部クラッド層と前記コア層と前記上部クラッド層とを有する第4及び第5の光導波路をさらに有し、
前記第3の光導波路が前記第4の光導波路に光学的に接続され、前記第4の光導波路が前記第5の光導波路に光学的に接続され、
前記第4及び第5の光導波路が、少なくとも前記上部クラッド層及び前記コア層の上部が前記下部クラッド層上に突出するメサ状に形成されたメサ構造を有し、
前記第3の光導波路の前記コア高さが、前記第5の光導波路の前記コア高さよりも低く、
前記第3の光導波路の前記メサ幅が、前記第5の光導波路の前記メサ幅よりも狭いことを特徴とする請求項1記載の光素子。 - 前記第1乃至第3の光導波路が、前記上部クラッド層、前記コア層、及び前記下部クラッド層が前記下部クラッド層上に突出するメサ状に形成されたメサ構造を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光素子。
- 前記第3の光導波路の、前記コア高さと前記コア層の厚さの差であるコア下深さが、0.3μm以下であることを特徴とする請求項3に記載の光素子。
- 前記第3の光導波路の基本モードの等価屈折率が、前記下部クラッド層の屈折率より大きく、
前記第3の光導波路の高次モードの等価屈折率が、前記基板の屈折率より小さいことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光素子。 - 前記コア層の厚さが、0.2μm以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光素子。
- 下部クラッド層とコア層と上部クラッド層とを有し、前記コア層が、前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層よりも屈折率が大きい第1乃至第3の光導波路を有し、前記第1の光導波路が前記第2の光導波路に光学的に接続され、前記第2の光導波路が前記第3の光導波路に光学的に接続された光素子の製造方法であって、
基板上に、前記下部クラッド層と前記コア層と前記上部クラッド層とを積層する工程と、
前記上部クラッド層上にハードマスクを形成する工程と、
前記ハードマスクをマスクとして用い、少なくとも前記上部クラッド層及び前記コア層の上部をドライエッチングする工程とを有し、
前記ハードマスクは、第1のマスク部と、第2のマスク部とを有し、
前記第1のマスク部は、前記第1乃至第3の光導波路の導波路パターンを有し、前記第1の光導波路の前記導波路パターンの幅よりも、前記第3の光導波路の前記導波路パターンの幅が狭く、
前記第2のマスク部は、前記第1のマスク部の前記第1乃至第3の光導波路の前記導波路パターンの両側の領域のうち、前記第3の光導波路の前記導波路パターンの両側の領域に選択的に形成されていることを特徴とする光素子の製造方法。 - 前記第2のマスク部は、前記第1のマスク部における前記第1乃至第3の光導波路の前記導波路パターンの両側の領域に形成されており、
前記第2のマスク部は、前記第1のマスク部から一定の距離だけ離れた領域において、前記第3の光導波路の前記導波路パターンの両側の領域に選択的に形成された部分を有し、
前記第2のマスク部と前記第1のマスク部における前記第3の光導波路の前記導波路パターンとの間隔は、前記第2のマスク部と前記第1のマスク部における前記第1の光導波路の前記導波路パターンとの間隔、及び前記第2のマスク部と前記第1のマスク部における前記第2の光導波路の前記導波路パターンとの間隔よりも狭いことを特徴とする請求項7記載の光素子の製造方法。 - 前記第1のマスク部における前記第3の光導波路の前記導波路パターンと前記第2のマスク部との間の距離が10μm以下であることを特徴とする請求項7又は8に記載の光素子の製造方法。
- 光導波路と、
前記光導波路の一部に形成され、前記光導波路を導波する光の位相を変調する変調部と、
前記光導波路に形成された請求項1乃至6のいずれか1項に記載された光素子と
を有することを特徴とする光変調器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016019876 | 2016-02-04 | ||
JP2016019876 | 2016-02-04 | ||
PCT/JP2017/004058 WO2017135436A1 (ja) | 2016-02-04 | 2017-02-03 | 光素子及びその製造方法、並びに光変調器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017135436A1 true JPWO2017135436A1 (ja) | 2018-11-29 |
JP6839661B2 JP6839661B2 (ja) | 2021-03-10 |
Family
ID=59500801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017565662A Active JP6839661B2 (ja) | 2016-02-04 | 2017-02-03 | 光素子及びその製造方法、並びに光変調器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10838147B2 (ja) |
JP (1) | JP6839661B2 (ja) |
CN (1) | CN108885305B (ja) |
WO (1) | WO2017135436A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10928659B2 (en) | 2014-02-24 | 2021-02-23 | Rockley Photonics Limited | Optoelectronic device |
GB2564158B (en) | 2017-07-05 | 2019-12-18 | Rockley Photonics Ltd | Optoelectronic device |
US10222677B2 (en) | 2014-02-24 | 2019-03-05 | Rockley Photonics Limited | Optoelectronic device |
US10216059B2 (en) | 2015-03-05 | 2019-02-26 | Rockley Photonics Limited | Waveguide modulator structures |
US10921616B2 (en) | 2016-11-23 | 2021-02-16 | Rockley Photonics Limited | Optoelectronic device |
US10678115B2 (en) | 2015-03-05 | 2020-06-09 | Rockley Photonics Limited | Waveguide modulator structures |
US11150494B2 (en) | 2015-03-05 | 2021-10-19 | Rockley Photonics Limited | Waveguide modulator structures |
CN107533248A (zh) | 2015-03-05 | 2018-01-02 | 洛克利光子有限公司 | 波导调制器结构 |
CN108885305B (zh) * | 2016-02-04 | 2021-02-26 | 古河电气工业株式会社 | 光元件、光元件的制造方法及光调制器 |
US11101256B2 (en) | 2016-11-23 | 2021-08-24 | Rockley Photonics Limited | Optical modulators |
US11105975B2 (en) | 2016-12-02 | 2021-08-31 | Rockley Photonics Limited | Waveguide optoelectronic device |
WO2018100172A1 (en) | 2016-12-02 | 2018-06-07 | Rockley Photonics Limited | Waveguide device and method of doping a waveguide device |
CN113396512A (zh) * | 2019-02-08 | 2021-09-14 | 古河电气工业株式会社 | 半导体元件 |
JP2020166100A (ja) | 2019-03-29 | 2020-10-08 | Tdk株式会社 | 電気光学デバイス |
US11869991B2 (en) * | 2020-09-18 | 2024-01-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Semiconductor device and method of making |
EP4020027A1 (en) | 2020-12-23 | 2022-06-29 | EFFECT Photonics B.V. | An environmentally protected photonic integrated circuit |
WO2023218578A1 (ja) * | 2022-05-11 | 2023-11-16 | 日本電信電話株式会社 | 光スイッチ |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05188407A (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-30 | Hitachi Ltd | 集積化光素子および光スイッチ |
US6571037B1 (en) * | 1999-05-21 | 2003-05-27 | British Telecommunications Public Limited Company | Arrayed waveguide gratings |
JP2003207665A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路 |
JP2005215395A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Toshiba Corp | 半導体導波型光制御素子 |
WO2008111447A1 (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Nec Corporation | 光導波路及びその製造方法 |
JP2009170710A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光集積素子および光集積素子の製造方法 |
JP2010151973A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその製造方法、光伝送装置 |
JP2011064793A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Fujitsu Ltd | 光半導体素子及びその製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1152149A (ja) | 1997-07-30 | 1999-02-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子素子 |
US6768855B1 (en) * | 2001-07-05 | 2004-07-27 | Sandia Corporation | Vertically-tapered optical waveguide and optical spot transformer formed therefrom |
KR20050049559A (ko) * | 2002-10-30 | 2005-05-25 | 메사추세츠 인스티튜트 오브 테크놀로지 | 파장 둔감성 광집적 편광 스플리터 |
AU2003284380A1 (en) * | 2002-10-30 | 2004-06-07 | Matteo Cherchi | An integrated optic polarization converter based on structural chirality |
CN102033333B (zh) * | 2005-03-08 | 2012-09-05 | 日本电信电话株式会社 | 半导体光调制器 |
WO2008066159A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Nec Corporation | Polarization rotator and method for manufacturing the same |
JP2011165712A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体光増幅器モジュール |
JP5300807B2 (ja) * | 2010-09-03 | 2013-09-25 | 株式会社東芝 | 光変調素子 |
US9977188B2 (en) * | 2011-08-30 | 2018-05-22 | Skorpios Technologies, Inc. | Integrated photonics mode expander |
CN105378526A (zh) * | 2013-06-27 | 2016-03-02 | 株式会社藤仓 | 偏振变换元件 |
JP6372112B2 (ja) * | 2014-03-14 | 2018-08-15 | 住友電気工業株式会社 | 半導体光導波路素子を作製する方法 |
CN108885305B (zh) * | 2016-02-04 | 2021-02-26 | 古河电气工业株式会社 | 光元件、光元件的制造方法及光调制器 |
-
2017
- 2017-02-03 CN CN201780019420.6A patent/CN108885305B/zh active Active
- 2017-02-03 WO PCT/JP2017/004058 patent/WO2017135436A1/ja active Application Filing
- 2017-02-03 JP JP2017565662A patent/JP6839661B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-31 US US16/050,025 patent/US10838147B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05188407A (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-30 | Hitachi Ltd | 集積化光素子および光スイッチ |
US6571037B1 (en) * | 1999-05-21 | 2003-05-27 | British Telecommunications Public Limited Company | Arrayed waveguide gratings |
JP2003207665A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路 |
JP2005215395A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Toshiba Corp | 半導体導波型光制御素子 |
WO2008111447A1 (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Nec Corporation | 光導波路及びその製造方法 |
JP2009170710A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光集積素子および光集積素子の製造方法 |
JP2010151973A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその製造方法、光伝送装置 |
JP2011064793A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Fujitsu Ltd | 光半導体素子及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6839661B2 (ja) | 2021-03-10 |
US20180335569A1 (en) | 2018-11-22 |
CN108885305B (zh) | 2021-02-26 |
CN108885305A (zh) | 2018-11-23 |
US10838147B2 (en) | 2020-11-17 |
WO2017135436A1 (ja) | 2017-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6839661B2 (ja) | 光素子及びその製造方法、並びに光変調器 | |
JP5413810B2 (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
US9874692B2 (en) | Substrate-type optical waveguide element and method for producing substrate-type optical waveguide element | |
JP5560602B2 (ja) | 光導波路 | |
WO2014208601A1 (ja) | 高次偏波変換素子、光導波路素子、及びdp-qpsk変調器 | |
JP5268733B2 (ja) | 光導波素子とその製造方法、半導体素子、レーザモジュール及び光伝送システム | |
JP2007072433A (ja) | 光集積素子及び光制御素子 | |
US20140133817A1 (en) | Coupled Waveguide Apparatus and Structures Therefor | |
JPH04243216A (ja) | 光導波路の製造方法ならびに光集積素子及びその製造方法 | |
US9360622B2 (en) | Low loss optical crossing and method of making same | |
JP5626203B2 (ja) | 半導体光変調器、半導体光集積素子、およびこれらの製造方法 | |
US20110064360A1 (en) | Optical semiconductor element and method for manufacturing the same | |
JP6910231B2 (ja) | 光導波路干渉計 | |
JP6961621B2 (ja) | 光集積素子および光送信機モジュール | |
US8644653B2 (en) | Compact multimode interference element | |
US8571362B1 (en) | Forming optical device using multiple mask formation techniques | |
JP5144608B2 (ja) | 光変調器 | |
EP3032303A1 (en) | Optical device with integrated reflector(s) comprising a loop reflector integrating a mach-zehnder interferometer | |
JP2009021454A (ja) | 半導体光素子 | |
JP4482486B2 (ja) | 半導体スターカプラ型光合流分岐回路及び半導体アレイ回折格子 | |
JP4962279B2 (ja) | 半導体素子、半導体光集積素子及び光伝送装置 | |
JP6133025B2 (ja) | 光集積素子の製造方法 | |
WO2023105585A1 (ja) | 光変調器 | |
JP2020071428A (ja) | スポットサイズ変換器の作製方法およびスポットサイズ変換器 | |
JP2011107412A (ja) | 半導体光素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210215 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6839661 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |