JP2020166100A - 電気光学デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
実施例1では、光導波路の厚さTNL1=1.5μm、リッジ幅W1=1.0μm、最大スラブ厚Lslab1=0.4μm、最小スラブ厚Lslab2=0.2μm、スラブ厚の変化幅Lslope=2μmとした(図4(c)参照)。また、光の波長λ=1.55μmとした。その結果、図8(a)及び(b)に示すように、光導波路内には基本モードTM0と1次モードTM1の両方が発生した。
光導波路の厚さTNL1=1.0μmとした点以外は実施例1と同じ条件に設定された実施例2による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図8(c)及び(d)に示すように、光導波路内には基本モードTM0と1次モードTM1の両方が発生したが、1次モードTM1は実施例1よりも弱かった。
光導波路の厚さTNL1=0.9μmとした点以外は実施例1と同じ条件に設定された実施例3による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図8(e)に示すように、光導波路内には基本モードTM0のみが発生し、1次モードTM1は発生しなかった。
スラブ部がない光導波路(図4(d)参照)とした点以外は実施例2と同じ条件に設定された実施例4による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図9(a)及び(b)に示すように、光導波路内には基本モードTM0と1次モードTM1の両方が発生した。
光導波路の厚さTNL2=0.9μmとした点以外は実施例4と同じ条件に設定された実施例5による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図9(c)及び(d)に示すように、光導波路内には基本モードTM0と1次モードTM1の両方が発生したが、1次モードTM1は実施例4よりも弱かった。
光導波路の厚さTNL2=0.8μmとした点以外は実施例1と同じ条件に設定された実施例3による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図9(e)に示すように、光導波路内には基本モードTM0のみが発生し、1次モードTM1は発生しなかった。
2 光導波路
2i 光入力ポート
2o 光出力ポート
3 RF信号電極
3a 第1の信号電極
3b 第2の信号電極
3i 信号入力ポート
3r 終端抵抗
5 不要モード除去部
10 基板
10Pi 光入力ポート
10Po 光出力ポート
11 入力導波路
12 分波部
13a 第1の変調導波路
13b 第2の変調導波路
14 合波部
15 出力導波路
20 導波層
20r リッジ部
20s スラブ部
21 保護層
22 バッファ層
30 電極層
R1 電界印加領域
R2 電界印加領域以外の領域
Si 入力光
So 変調光
TP1,TP2 テーパー部
WG1 マルチモード光導波路(第1導波路部)
WG2 シングルモード光導波路(第2導波路部)
実施例1では、光導波路の厚さT LN1 =1.5μm、リッジ幅W1=1.0μm、最大スラブ厚Lslab1=0.4μm、最小スラブ厚Lslab2=0.2μm、スラブ厚の変化幅Lslope=2μmとした(図4(c)参照)。また、光の波長λ=1.55μmとした。その結果、図8(a)及び(b)に示すように、光導波路内には基本モードTM0と1次モードTM1の両方が発生した。
光導波路の厚さT LN1 =1.0μmとした点以外は実施例1と同じ条件に設定された実施例2による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図8(c)及び(d)に示すように、光導波路内には基本モードTM0と1次モードTM1の両方が発生したが、1次モードTM1は実施例1よりも弱かった。
光導波路の厚さT LN1 =0.9μmとした点以外は実施例1と同じ条件に設定された実施例3による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図8(e)に示すように、光導波路内には基本モードTM0のみが発生し、1次モードTM1は発生しなかった。
光導波路の厚さT LN2 =0.9μmとした点以外は実施例4と同じ条件に設定された実施例5による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図9(c)及び(d)に示すように、光導波路内には基本モードTM0と1次モードTM1の両方が発生したが、1次モードTM1は実施例4よりも弱かった。
光導波路の厚さT LN2 =0.8μmとした点以外は実施例4と同じ条件に設定された実施例6による光導波路の導波モードを評価した。その結果、図9(e)に示すように、光導波路内には基本モードTM0のみが発生し、1次モードTM1は発生しなかった。
Claims (4)
- 基板と、
前記基板上にリッジ状に形成されたニオブ酸リチウム膜よりなる光導波路と、
前記光導波路に電界を印加する電極とを備え、
前記光導波路は、
前記電界が印加される電界印加領域に少なくとも設けられ、1μm以上の厚さを有する第1導波路部と、
前記電界印加領域以外の領域に設けられ、0.3μm以上1μm未満の厚さを有する第2導波路部を含むことを特徴とする電気光学デバイス。 - 前記第1導波路部はスラブ部を有し、前記第2導波路部はスラブ部を有しない、請求項1に記載の電気光学デバイス。
- 前記第2導波路部の幅は、前記第1導波路部の幅よりも狭い、請求項1又は2に記載の電気光学デバイス。
- 前記光導波路はマッハツェンダー光導波路を含む、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気光学デバイス。
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