JPWO2017090735A1 - 封止用ガラス組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくともCaO−ZnO−SiO2系結晶を含む結晶化ガラス封止材を製造するためのガラス組成物であって、少なくとも下記成分;1)SiO2:35〜55モル%、2)CaO:15〜45モル%、3)ZnO:1〜25モル%、4)Al2O3:0〜25モル%及び5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル% を含むことを特徴とする封止用ガラス組成物に係る。
【選択図】なし
Description
1. 少なくともCaO−ZnO−SiO2系結晶を含む結晶化ガラス封止材を製造するためのガラス組成物であって、少なくとも下記成分;
1)SiO2:35〜55モル%、
2)CaO:15〜45モル%、
3)ZnO:1〜25モル%、
4)Al2O3:0〜25モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル% を含むことを特徴とする封止用ガラス組成物。
2. 前記成分が、
1)SiO2:41〜55モル%、
2)CaO:20〜39モル%、
3)ZnO:3〜19モル%、
4)Al2O3:0.1〜21モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル%である、前記項1に記載の封止用ガラス組成物。
3. 前記成分が、
1)SiO2:42〜52モル%、
2)CaO:29〜36モル%、
3)ZnO:5〜16モル%、
4)Al2O3:2〜19モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル%である、前記項1に記載の封止用ガラス組成物。
4. 前記RO成分として、MgO:0〜5モル%、SrO:0〜20モル%及びBaO:0〜5モル%の範囲でそれぞれ含有する、前記項1に記載の封止用ガラス組成物。
5. B2O3:1〜9モル%をさらに含む、前記項1に記載の封止用ガラス組成物。
6. CaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材であって、
(1)少なくとも下記成分;
1)SiO2:35〜55モル%、
2)CaO:15〜45モル%、
3)ZnO:1〜25モル%、
4)Al2O3:0〜25モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル%を含み、
(2)CaO−ZnO−SiO2系結晶として少なくともCa2ZnSi2O7結晶を含む、 ことを特徴とするCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材。
7. B2O3:1〜9モル%をさらに含む、前記項6に記載のCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材。
8. 50〜850℃における熱膨張係数が50〜95×10−7/℃である、前記項6に記載のCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材。
9. 前記項6に記載のCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材によって電子部品が封止されてなる電子デバイス。
10 前記項1に記載の封止用ガラス組成物を1000〜1300℃の温度で熱処理する工程を含む、CaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材の製造方法。
11 封止材層
12 半導体素子
13 リード線
(1)封止用ガラス組成物
本発明の封止用ガラス組成物(本発明ガラス組成物)は、CaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材を製造するためのガラス組成物であって、少なくとも下記成分;
1)SiO2:35〜55モル%、
2)CaO:15〜45モル%、
3)ZnO:1〜25モル%、
4)Al2O3:0〜25モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル% を含むことを特徴とする。以下において、本発明の封止用ガラス組成物の各成分について説明する。
本発明ガラス組成物において、SiO2は、ガラス網目形成成分であり、主として、ガラスの製造時にガラスの安定性を向上させるとともに本発明ガラス組成物の使用時(すなわち、本発明ガラス組成物の焼成体)においてCaO−ZnO−SiO2系結晶を生成させるために有効な成分である。
本発明ガラス組成物において、CaOは、主として、本発明ガラス組成物を焼成して得られる結晶化ガラス中にCaO−ZnO−SiO2系結晶(特にCa2ZnSi2O7結晶)を析出させるために有効な成分である。
本発明ガラス組成物において、ZnOは、主として、CaO−ZnO−SiO2系結晶を生成させるために必要な成分である。
本発明ガラス組成物において、Al2O3は、主として、ガラスの製造時における安定性を向上させ、結晶化開始温度の調整するための任意成分である。また、Al2O3は、結晶化ガラス中において耐熱性の向上に寄与するCaO−Al2O3−SiO2系結晶(特にCaAl2Si2O8結晶)を形成させるために有用な成分でもある。
本発明ガラス組成物において、RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。)は、ガラス製造時に溶融温度を低下させ、ガラスを製造しやすくするために有効な任意成分であり、また軟化点を下げる成分としても有効である。
a)アルカリ金属
Na、K等のアルカリ金属は、特に高温域において周辺部材との反応が促進されるおそれがあることから、本発明ガラス組成物ではアルカリ金属を実質的に含有しないことが好ましい。
B2O3は、ガラスを作製する工程においてガラス状態を安定化させやすくする反面、高温で保持されている間に揮発して周辺部材を汚染するおそれがある成分である。このため、本発明の封止用ガラス組成物ではB2O3を実質的に含有しないことが好ましい。一方、ガラス状態の安定化という点においては、B2O3を添加することが望ましい。B2O3を添加することにより、ガラスの結晶化開始温度(Tx)とガラスの軟化点(Ts)との差ΔT(=Tx−Ts)を広げることができる結果、気密性、フロー性等の向上に寄与することが可能となる。かかる見地より、特にB2O3を添加する場合の含有量は、通常は10モル%未満の範囲内で設定すれば良く、好ましくは1〜9モル%程度とし、より好ましくは2.5〜6.5モル%とすれば良い。
本発明ガラス組成物におけるSiO2、Al2O3、ZnO及びCaOの各含有量の間に上記のような関係が満たされていれば、本発明ガラス組成物及び結晶化ガラスの物性に対して大きな影響を与えない中性成分を、本発明の効果が著しく損なわれない範囲において加えることができる。この中性成分としては、例えばY2O3、La2O3、TiO2、ZrO2、CeO2等の少なくとも1種が挙げられる。これらの成分の含有量は、一般的にはSiO2、CaO、ZnO、Al2O3及びROの合計が95モル%以上となる範囲内で適宜設定することができる。 また、特にB2O3等の任意成分を比較的多量に添加する場合は、SiO2、CaO、ZnO、Al2O3及びROの合計が85モル%以上となる範囲内で中性成分の含有量を適宜設定することができる。
本発明ガラス組成物の形態は限定的ではないが、通常は粉末の形態とすることが好ましい。この場合の粒径は特に制限されないが、平均粒径が2〜10μmであり、かつ、最大粒径が150μm以下(特に110μm以下)とすることが好ましい。特に、本発明ガラス組成物を用いて電子部品を被覆封止する場合において、ガラス粉末は焼成時に一旦収縮し、軟化流動しながら被処理体(電子部品)の表面を濡らすことが求められるが、上記粒度に制御することによって焼成時により高い流動性が得られる。
本発明ガラス組成物の軟化点(Ts)は、限定的ではないが、通常は700〜900℃程度の範囲であれば良い。従って、例えば780〜840℃とすることができる。
本発明ガラス組成物の結晶化開始温度(Tx)は、限定的ではないが、通常は800〜1100℃程度の範囲であれば良い。従って、例えば950〜990℃とすることができる。
本発明ガラス組成物においては、ガラスのフロー性、気密性等の観点から、特に結晶化開始温度(Tx)と軟化点(Ts)との差ΔTが大きい方が好ましい。より具体的には、前記ΔTが70℃以上であることが好ましく、特に100℃以上であることがより好ましい。このように、より大きなΔTに制御することによって、ガラスが結晶化するまでに十分な時間を確保することが可能となり、その結果として良好なフロー性とともに高い気密性をより確実に得ることができる。なお、ΔTの上限値は限定的ではないが、例えば200℃程度とすることができる。
本発明ガラス組成物の製造方法自体は、特に限定的でなく、例えば1)本発明ガラス組成物の組成となるように調合された原料を混合する工程(混合工程)、2)得られた混合物を1400〜1600℃の温度で溶融することにより溶融ガラスを調製する工程(溶融工程)、3)溶融ガラスを結晶化させないようにして冷却する工程(冷却)を含む製造方法によって製造することができる。
本発明ガラス組成物は、例えば粉末(乾燥粉末)の形態で使用することもできるが、粉末状の本発明ガラス組成物をバインダー及び/又は溶媒に分散させたスラリー、ペースト等の液状組成物の形態で使用することもできる。
本発明は、CaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材であって、
(1)少なくとも下記成分;
1)SiO2:35〜55モル%、
2)CaO:15〜45モル%、
3)ZnO:1〜25モル%、
4)Al2O3:0〜25モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル%を含み、
(2)CaO−ZnO−SiO2系結晶として少なくともCa2ZnSi2O7結晶を含む、 ことを特徴とするCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材(本発明封止材)を包含する。
本発明ガラス組成物を出発材料として用いることにより、半導体素子を本発明の封止材を封止する場合の実施形態を以下に示す。
表1〜表8に示すガラス組成となるように原料を調合、混合し、調合原料を白金るつぼに入れて1450〜1600℃で2時間かけて溶融した後、溶融ガラスをステンレス鋼製の冷却ロールに接触させて急冷することによりガラスフレークを得た。ポットミルに前記ガラスフレークを入れ、平均粒径が約5〜10μmになるよう調整しながら粉砕した。その後、目開きが106μmの篩にて粗粒を除去し、各実施例及び比較例のガラス粉末をそれぞれ得た。
各実施例及び比較例のガラス粉末について、下記の方法によりガラス粉末のガラス転移点、軟化点、結晶化開始温度、平均粒径を測定した。また、ガラス粉末を大気中にて焼成し、圧粉体のフロー径、熱膨張係数をそれぞれ測定し、評価した。これらの結果を表1〜表8に示す。なお、各物性の測定方法は、それぞれ以下のようにして実施した。
ガラス粉末約40mgを白金セルに充填し、DTA測定装置(リガク社製Thermo Plus TG8120)を用いて、室温から20℃/分で昇温させてガラス転移点(Tg)、軟化点(Ts)及び結晶化開始温度(Tx)を測定した。
レーザー散乱式粒度分布計を用いて、体積分布モードのD50の値を求めた。
ガラス粉末5gを用いて直径20mm×高さ10〜15mmの円筒形の圧粉体を成形した。この成形体をアルミナ基板の上に載せ、1100℃で1時間焼成し、得られた焼成体の外観を評価した。評価基準は、焼成体の角が取れ、フローしている場合を「○」とし、焼成体の角は残っているものの、収縮している場合は「△」とし、収縮しない場合又は融解した場合は「×」とした。
上記(3)で得られた焼成体を約5mm×5mm×15mmの大きさに切り出し、試験体を作製した。この試験体について、TMA測定装置を用いて、室温から10℃/分で昇温したときに得られる熱膨張曲線から、50℃と850℃の2点に基づく熱膨張係数α(×10−7/℃)を求めた。
上記(3)で得られた焼成体について、粉末X線回折分析を行った。実施例1の結果を図2に示す。図2に示すように、Ca2ZnSi2O7結晶相の存在が確認された。他の実施例においても同様にCa2ZnSi2O7結晶相の存在が確認された。
Claims (10)
- 少なくともCaO−ZnO−SiO2系結晶を含む結晶化ガラス封止材を製造するためのガラス組成物であって、少なくとも下記成分;
1)SiO2:35〜55モル%、
2)CaO:15〜45モル%、
3)ZnO:1〜25モル%、
4)Al2O3:0〜25モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル% を含むことを特徴とする封止用ガラス組成物。 - 前記成分が、
1)SiO2:41〜55モル%、
2)CaO:20〜39モル%、
3)ZnO:3〜19モル%、
4)Al2O3:0.1〜21モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル%である、請求項1に記載の封止用ガラス組成物。 - 前記成分が、
1)SiO2:42〜52モル%、
2)CaO:29〜36モル%、
3)ZnO:5〜16モル%、
4)Al2O3:2〜19モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル%である、請求項1に記載の封止用ガラス組成物。 - 前記RO成分として、MgO:0〜5モル%、SrO:0〜20モル%及びBaO:0〜5モル%の範囲でそれぞれ含有する、請求項1に記載の封止用ガラス組成物。
- B2O3:1〜9モル%をさらに含む、請求項1に記載の封止用ガラス組成物。
- CaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材であって、
(1)少なくとも下記成分;
1)SiO2:35〜55モル%、
2)CaO:15〜45モル%、
3)ZnO:1〜25モル%、
4)Al2O3:0〜25モル%及び
5)RO(ただし、RはMg、Sr及びBaの少なくとも1種を示す。):合計0〜20モル%を含み、
(2)CaO−ZnO−SiO2系結晶として少なくともCa2ZnSi2O7結晶を含む、 ことを特徴とするCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材。 - B2O3:1〜9モル%をさらに含む、請求項6に記載のCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材。
- 50〜850℃における熱膨張係数が50〜95×10−7/℃である、請求項6に記載のCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材。
- 請求項6に記載のCaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材によって電子部品が封止されてなる電子デバイス。
- 請求項1に記載の封止用ガラス組成物を1000〜1300℃の温度で熱処理する工程を含む、CaO−ZnO−SiO2系結晶化ガラス封止材の製造方法。
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