JP6934352B2 - 封着材料 - Google Patents
封着材料 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6934352B2 JP6934352B2 JP2017151469A JP2017151469A JP6934352B2 JP 6934352 B2 JP6934352 B2 JP 6934352B2 JP 2017151469 A JP2017151469 A JP 2017151469A JP 2017151469 A JP2017151469 A JP 2017151469A JP 6934352 B2 JP6934352 B2 JP 6934352B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- sealing material
- oxide
- glass powder
- total
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
Description
本発明は封着材料に関し、より詳しくは、ＩＣパッケージなどの電子デバイス等の封着、ステンレス金属同士の接着等で使用される封着材料、或いは電子部品に形成された電極、抵抗体の保護、絶縁のための被覆等に使用される封着材料であって、実質的に鉛を含有しない封着材料として低い温度で好ましく用いることができる封着材料に関する。
ＩＣパッケージ等を封着するために用いられる封着材料は、できるだけ低温で封着できること、パッケージ材の熱膨張係数に近似していること、焼成時に十分な流動性があること、などが求められている。
また電極、抵抗体の保護等に使用される被覆用の封着材料も、同様に低温での焼成が求められている。
低温で封着、被覆等ができる封着材料としては、一般的にＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３系やＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｂｉ２Ｏ３系のガラスが使用され、パッケージ材等の熱膨張にあわせるため、チタン酸鉛固溶体フィラーのような低膨張性セラミックを添加したものが提案されてきた。
しかし鉛を含むガラスは、環境上の観点から、近年使用が避けられてきており、鉛を含有しないガラスの開発が盛んである。
鉛を含まない低融点ガラスとしては、リン酸塩ガラス、アルカリケイ酸塩ガラス、ビスマス系ガラスなどが知られている。その中でも低温での焼成及び化学的耐久性の観点からビスマス系ガラスが着目され、数多くのビスマス系ガラスが開発されている。
しかし、これまで開発されてきたビスマス系ガラスは軟化点が高いものが多い。また軟化点が低い場合は結晶化が起こり易く、フィラーの添加量が制限される。更に熱膨張係数を高くできないという問題がある。
また電極、抵抗体の保護等に使用される被覆用の封着材料も、同様に低温での焼成が求められている。
低温で封着、被覆等ができる封着材料としては、一般的にＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３系やＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｂｉ２Ｏ３系のガラスが使用され、パッケージ材等の熱膨張にあわせるため、チタン酸鉛固溶体フィラーのような低膨張性セラミックを添加したものが提案されてきた。
しかし鉛を含むガラスは、環境上の観点から、近年使用が避けられてきており、鉛を含有しないガラスの開発が盛んである。
鉛を含まない低融点ガラスとしては、リン酸塩ガラス、アルカリケイ酸塩ガラス、ビスマス系ガラスなどが知られている。その中でも低温での焼成及び化学的耐久性の観点からビスマス系ガラスが着目され、数多くのビスマス系ガラスが開発されている。
しかし、これまで開発されてきたビスマス系ガラスは軟化点が高いものが多い。また軟化点が低い場合は結晶化が起こり易く、フィラーの添加量が制限される。更に熱膨張係数を高くできないという問題がある。
特許文献１には、封着用途で焼成されるビスマス系ガラス組成物が開示されている。
しかしながら特許文献１に開示されているガラス組成物は、選択した組成によって非結晶性のガラスであったり、結晶性のガラスとなったりするため、安定性に欠け、ガラスのフロー性に課題を生じ得る。
特許文献２には、低融点ガラスとして酸化テルル系のガラス組成物が開示されている。
しかしながら特許文献２に開示されているガラス組成物には、アルカリ金属、酸化ビスマスが含まれておらず、低融化に改善の余地がある。
特許文献３には、やはり酸化テルル系ガラスのガラス組成物が開示されている。
しかしながら、この特許文献３のガラス組成物には、ＷＯ３が含まれておらず、ガラスの成形性の点で改善すべき問題がある。
しかしながら特許文献１に開示されているガラス組成物は、選択した組成によって非結晶性のガラスであったり、結晶性のガラスとなったりするため、安定性に欠け、ガラスのフロー性に課題を生じ得る。
特許文献２には、低融点ガラスとして酸化テルル系のガラス組成物が開示されている。
しかしながら特許文献２に開示されているガラス組成物には、アルカリ金属、酸化ビスマスが含まれておらず、低融化に改善の余地がある。
特許文献３には、やはり酸化テルル系ガラスのガラス組成物が開示されている。
しかしながら、この特許文献３のガラス組成物には、ＷＯ３が含まれておらず、ガラスの成形性の点で改善すべき問題がある。
そこで本発明は酸化鉛、酸化バナジウムを含有せず、焼成時にガラス粉末とフィラー粉末が反応することがなく、流動性の優れた、特に５００℃以下の低温で封着することが可能である封着材料の提供を課題とする。
本発明者は従来技術の問題点に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、ある特定の成分範囲のガラス組成物にした場合、セラミックスフィラーと混合して焼成しても、フィラーとガラスが反応することなく封着できることを見出し、この知見に基づき更に検討を重ねて本発明を完成させるに至った。
即ち、本発明の封着材料は、実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＴｅＯ２：４０〜５８％、Ｂ２Ｏ３：０．１〜１０％、Ｂｉ２Ｏ３：３〜３０％、ＷＯ３：３〜３０％、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で４〜２５％、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜８％、を含有することを第１の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１の特徴に加えて、実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＴｅＯ２：４５〜５８％、Ｂ２Ｏ３：１〜８％、Ｂｉ２Ｏ３：４〜２０％、ＷＯ３：４〜２５％、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で８〜２０％、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜５％、を含有することを第２の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第２の特徴に加えて、実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＴｅＯ２：４８〜５５％、Ｂ２Ｏ３：２〜５％、Ｂｉ２Ｏ３：８〜１５％、ＷＯ３：８〜２０％、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で８〜１５％、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜５％、を含有することを第３の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第３の何れかの特徴に加えて、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の内の少なくとも１種以上を合計で２％以下含有することを第４の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第４の何れかの特徴に加えて、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＣｕＯ、ＣｏＯの内の少なくとも１種以上を合計で１０％以下含有することを第５の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第５の何れかの特徴に加えて、質量％表示で、酸化テルル系ガラス粉末を９０〜６０％、セラミックスフィラー粉末を１０〜４０％、含有することを第６の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第６の何れかの特徴に加えて、少なくとも有機バインダーと溶剤とが加えられてなるペースト状材料であることを第７の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１の特徴に加えて、実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＴｅＯ２：４５〜５８％、Ｂ２Ｏ３：１〜８％、Ｂｉ２Ｏ３：４〜２０％、ＷＯ３：４〜２５％、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で８〜２０％、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜５％、を含有することを第２の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第２の特徴に加えて、実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＴｅＯ２：４８〜５５％、Ｂ２Ｏ３：２〜５％、Ｂｉ２Ｏ３：８〜１５％、ＷＯ３：８〜２０％、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で８〜１５％、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜５％、を含有することを第３の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第３の何れかの特徴に加えて、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の内の少なくとも１種以上を合計で２％以下含有することを第４の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第４の何れかの特徴に加えて、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＣｕＯ、ＣｏＯの内の少なくとも１種以上を合計で１０％以下含有することを第５の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第５の何れかの特徴に加えて、質量％表示で、酸化テルル系ガラス粉末を９０〜６０％、セラミックスフィラー粉末を１０〜４０％、含有することを第６の特徴としている。
また本発明の封着材料は、上記第１〜第６の何れかの特徴に加えて、少なくとも有機バインダーと溶剤とが加えられてなるペースト状材料であることを第７の特徴としている。
請求項１に記載の封着材料によれば、封着材料を構成する酸化テルル系ガラス粉末の成分の種類とその含有量とを、そこに示す範囲としたので、５００℃以下の低温で焼成することができる。
またセラミックスフィラーと混合して焼成する場合、ガラス粉末とフィラーが反応することがないため、焼成においても結晶が析出することなく、或いは析出してもごくわずかであるため、流動性に優れており、機械的強度が高く、耐久性に優れたシール材として使用することができる。
また熱膨張係数も約４５×１０−７／℃まで下げることができる。従って低温での封着が求められるＩＣパッケージ等の封着に適した封着材料として使用することができる。
また請求項２に記載の封着材料によれば、上記請求項１の構成による作用効果に加えて、含有量を更に限定した範囲にすることにより、更に５００℃以下のより低温で焼成することができる。またセラミックスフィラーと混合して焼成しても更に結晶析出し難く、よって更に流動性に優れ、機械的強度が高く、耐久性に優れたシール材として使用することができる。
また請求項３に記載の封着材料によれば、上記請求項２の構成による作用効果に加えて、含有量をより一層限定した範囲にすることにより、より一層良好な低温焼成性、流動性と、機械的強度、耐久性に優れたシール材として使用することができる。
またセラミックスフィラーと混合して焼成する場合、ガラス粉末とフィラーが反応することがないため、焼成においても結晶が析出することなく、或いは析出してもごくわずかであるため、流動性に優れており、機械的強度が高く、耐久性に優れたシール材として使用することができる。
また熱膨張係数も約４５×１０−７／℃まで下げることができる。従って低温での封着が求められるＩＣパッケージ等の封着に適した封着材料として使用することができる。
また請求項２に記載の封着材料によれば、上記請求項１の構成による作用効果に加えて、含有量を更に限定した範囲にすることにより、更に５００℃以下のより低温で焼成することができる。またセラミックスフィラーと混合して焼成しても更に結晶析出し難く、よって更に流動性に優れ、機械的強度が高く、耐久性に優れたシール材として使用することができる。
また請求項３に記載の封着材料によれば、上記請求項２の構成による作用効果に加えて、含有量をより一層限定した範囲にすることにより、より一層良好な低温焼成性、流動性と、機械的強度、耐久性に優れたシール材として使用することができる。
また請求項４に記載の封着材料によれば、上記請求項１〜３の何れかの構成による作用効果に加えて、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の内の少なくとも１種以上を合計で２％以下含有することにより、ガラスの軟化点を高くする（ガラスの流動性を悪くする）ことなく、ガラスの成形性を向上させることができる。
また請求項５に記載の封着材料によれば、上記請求項１〜４の何れかの構成による作用効果に加えて、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＣｕＯ、ＣｏＯの内の少なくとも１種以上を合計で１０％以下含有することにより、ガラスの結晶化を悪化（流動性を悪化）させることなく、ガラスを低融化させ、基材との接着性を向上させることができる。
また請求項６に記載の封着材料によれば、上記請求項１〜５の何れかの構成による作用効果に加えて、質量％表示で、酸化テルル系ガラス粉末を９０〜６０％、セラミックスフィラー粉末を１０〜４０％、含有することにより、封着材料の強度を向上させることができると共に、基材との熱膨張差を低減することができる。
また請求項７に記載の封着材料によれば、上記請求項１〜６の何れかの構成による作用効果に加えて、少なくとも有機バインダーと溶剤とが加えられてなるペースト状材料であるので、ペースト状材料として使い勝手がよい。
また請求項５に記載の封着材料によれば、上記請求項１〜４の何れかの構成による作用効果に加えて、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＣｕＯ、ＣｏＯの内の少なくとも１種以上を合計で１０％以下含有することにより、ガラスの結晶化を悪化（流動性を悪化）させることなく、ガラスを低融化させ、基材との接着性を向上させることができる。
また請求項６に記載の封着材料によれば、上記請求項１〜５の何れかの構成による作用効果に加えて、質量％表示で、酸化テルル系ガラス粉末を９０〜６０％、セラミックスフィラー粉末を１０〜４０％、含有することにより、封着材料の強度を向上させることができると共に、基材との熱膨張差を低減することができる。
また請求項７に記載の封着材料によれば、上記請求項１〜６の何れかの構成による作用効果に加えて、少なくとも有機バインダーと溶剤とが加えられてなるペースト状材料であるので、ペースト状材料として使い勝手がよい。
以下、本発明の実施形態に係る封着材料について、各成分含有量の限定理由等について説明する。なお、以下においては全て質量％表示とする。
１．ガラス組成物
本発明の封着材料において、ガラス組成物の成分組成とそれらの含有量の限定理由を述べる。
ＴｅＯ２はガラスを形成する酸化物であり、４０〜５８％の範囲で含有させる。
ＴｅＯ２が４０％未満の場合、ガラスが得られないおそれがあり、また得られたとしてもガラスの軟化点が高くなり、所望の温度での封着ができなくなるおそれがある。
またＴｅＯ２が５８％を超えると、封着時に結晶化が起こり、流動性が悪くなるおそれがある。
ＴｅＯ２の含有量は、ガラスの成形性、封着温度等を考慮すると、４５〜５８％であることが好ましく、４８〜５５％が更に好ましく、５０〜５５％が最も好ましい。
本発明の封着材料において、ガラス組成物の成分組成とそれらの含有量の限定理由を述べる。
ＴｅＯ２はガラスを形成する酸化物であり、４０〜５８％の範囲で含有させる。
ＴｅＯ２が４０％未満の場合、ガラスが得られないおそれがあり、また得られたとしてもガラスの軟化点が高くなり、所望の温度での封着ができなくなるおそれがある。
またＴｅＯ２が５８％を超えると、封着時に結晶化が起こり、流動性が悪くなるおそれがある。
ＴｅＯ２の含有量は、ガラスの成形性、封着温度等を考慮すると、４５〜５８％であることが好ましく、４８〜５５％が更に好ましく、５０〜５５％が最も好ましい。
Ｂ２Ｏ３はガラスを形成する酸化物であり、０．１〜１０％の範囲で含有させる。
Ｂ２Ｏ３が０．１％未満では、ガラスの成形性を向上させるのに不十分である。
またＢ２Ｏ３が１０％を超えると、低融化が難しくなり、流動性が悪化し、封着不良が発生する。
Ｂ２Ｏ３の含有量は、ガラスの安定化、成形性、軟化点等を考慮すると、１〜８％であることが好ましく、２〜５％であることが更に好ましい。
Ｂ２Ｏ３が０．１％未満では、ガラスの成形性を向上させるのに不十分である。
またＢ２Ｏ３が１０％を超えると、低融化が難しくなり、流動性が悪化し、封着不良が発生する。
Ｂ２Ｏ３の含有量は、ガラスの安定化、成形性、軟化点等を考慮すると、１〜８％であることが好ましく、２〜５％であることが更に好ましい。
Ｂｉ２Ｏ３はガラス状態を安定させ、且つ低融化に必須の成分であり、３〜３０％の範囲で含有させる。
Ｂｉ２Ｏ３が３％未満では、ガラスの軟化点が高くなり、流動性が悪化する。
またＢｉ２Ｏ３が３０％を超えると、ガラスが不安定となり、焼成時に結晶が析出し易くなり、流動性が悪化し、封着不良が発生する。
Ｂｉ２Ｏ３の含有量は、ガラスの成形性、軟化点等を考慮すると、４〜２０％であることが好ましく、８〜１５％であることが更に好ましく、１０〜１５％であることが最も好ましい。
Ｂｉ２Ｏ３が３％未満では、ガラスの軟化点が高くなり、流動性が悪化する。
またＢｉ２Ｏ３が３０％を超えると、ガラスが不安定となり、焼成時に結晶が析出し易くなり、流動性が悪化し、封着不良が発生する。
Ｂｉ２Ｏ３の含有量は、ガラスの成形性、軟化点等を考慮すると、４〜２０％であることが好ましく、８〜１５％であることが更に好ましく、１０〜１５％であることが最も好ましい。
ＷＯ３は結晶化を抑制する成分であり、３〜３０％の範囲で含有させる。
ＷＯ３が３％未満では、ＷＯ３添加による効果が不十分となり、結晶が析出し易くなる。
またＷＯ３が３０％を越えると、軟化点が高くなり、流動性が悪化する。
ＷＯ３の含有量は、ガラスの成形性、軟化点等を考慮すると、４〜２５％であることが好ましく、８〜２０％であることが更に好ましく、１０〜２０％であることが最も好ましい。
ＷＯ３が３％未満では、ＷＯ３添加による効果が不十分となり、結晶が析出し易くなる。
またＷＯ３が３０％を越えると、軟化点が高くなり、流動性が悪化する。
ＷＯ３の含有量は、ガラスの成形性、軟化点等を考慮すると、４〜２５％であることが好ましく、８〜２０％であることが更に好ましく、１０〜２０％であることが最も好ましい。
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯはガラスの成形性を上げる成分であり、それらの内の少なくとも１種以上を合計で４〜２５％の範囲で含有させる。
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの合計量が４％未満の場合、ガラスが結晶化して流れなくなるおそれがある。
また合計量が２５％を超える場合は、ガラスが得られないおそれがある。
ガラスの成形性、流動性等を考慮すると、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の１種以上を合計で８〜２０％含有させることが好ましく、８〜１５％含有させることが更に好ましい。
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの合計量が４％未満の場合、ガラスが結晶化して流れなくなるおそれがある。
また合計量が２５％を超える場合は、ガラスが得られないおそれがある。
ガラスの成形性、流動性等を考慮すると、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の１種以上を合計で８〜２０％含有させることが好ましく、８〜１５％含有させることが更に好ましい。
Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏはガラスを低融化させる成分であり、それらの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜８％の範囲で含有させる。
Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの合計量が０．１％未満の場合、ガラスの低融化に効果がない。
また合計量が８％を超える場合は、ガラスが結晶化するおそれがある。
ガラスの低融点化及び成形性、流動性等を考慮すると、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で、０．１〜５％含有させることが好ましく、０．５〜５％含有させることが更に好ましく、２〜５％含有させることが最も好ましい。
Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの合計量が０．１％未満の場合、ガラスの低融化に効果がない。
また合計量が８％を超える場合は、ガラスが結晶化するおそれがある。
ガラスの低融点化及び成形性、流動性等を考慮すると、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で、０．１〜５％含有させることが好ましく、０．５〜５％含有させることが更に好ましく、２〜５％含有させることが最も好ましい。
ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３はガラスを形成する成分である。必ずしも含有させなくても良いが、含有させる場合は、それらの内の少なくとも１種以上を合計で２％以下の範囲で含有させる。
ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の合計量が２％を超える場合は、ガラスの軟化点が高いため、流動性が悪くなるおそれがある。
ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の合計量が２％を超える場合は、ガラスの軟化点が高いため、流動性が悪くなるおそれがある。
ＣｕＯ、ＣｏＯはガラスを低融化させる成分であり、また基材との接着性を向上させる成分である。必ずしも含有させなくても良いが、含有させる場合は、それらの内の少なくとも１種以上を合計で１０％以下含有させる。
ＣｕＯ、ＣｏＯが合計量で１０％を超える場合は、ガラスが結晶化して、流動性が悪化するおそれがある。
ＣｕＯ、ＣｏＯが合計量で１０％を超える場合は、ガラスが結晶化して、流動性が悪化するおそれがある。
上記成分に加えて、ガラス製造時の安定性の向上、結晶化の抑制、熱膨張係数を調整する目的で、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２を合計で０．０１〜１％を加えることができる。
なお、実質的に酸化鉛（ＰｂＯ）と酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）は含有させない。
ここで「実質的に〜含有させない」との表現については、本明細書においては酸化鉛（ＰｂＯ）と酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）を有効成分とする原料は使用しないのとの意味であり、ガラスを構成する各成分の原料、その他に由来する微量分が混入したものを排除するものではない。言い換えれば、不純物として含有しているものまで本発明の範囲に入らないと言う意味ではない。
ここで「実質的に〜含有させない」との表現については、本明細書においては酸化鉛（ＰｂＯ）と酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）を有効成分とする原料は使用しないのとの意味であり、ガラスを構成する各成分の原料、その他に由来する微量分が混入したものを排除するものではない。言い換えれば、不純物として含有しているものまで本発明の範囲に入らないと言う意味ではない。
２．セラミックスフィラー
熱膨張係数を調整すること、封着材料の強度を向上させる目的で、セラミックスフィラーを添加することができる。
セラミックスフィラーの添加量は、ガラス組成物との合計量を１００質量部として、該１００質量部に対して４０質量部（４０質量％）以下添加することができる。
熱膨張係数を調整すること、封着材料の強度を向上させる目的で、セラミックスフィラーを添加することができる。
セラミックスフィラーの添加量は、ガラス組成物との合計量を１００質量部として、該１００質量部に対して４０質量部（４０質量％）以下添加することができる。
なお、セラミックスフィラーとしては、β−ユークリプタイト、コーディエライト、ジルコン、リン酸ジルコニウム、チタン酸アルミニウム、ムライト、β−スポジュメン、アルミナ、セルシアン、ウィレマイト、シリカ（α−クォーツ、クリストバライト、トリジマイト）等を用いることができる。
３．有機バインダー、有機溶剤
封着用のペーストを得るため、封着材料に対して有機バインダー、有機溶剤を加えることができる。本発明の封着材料は、少なくとも有機バインダーと溶剤とが加えられてなるペースト状材料であることを含む。ペースト状材料とすることで、使い勝手がよい。
有機バインダーとしては、例えばエチルセルロース等のセルロース樹脂、主成分であるメチルメタアクリレートと各種アクリレート、メタアクリレート、アクリルアミド、スチレン、アクリロニトリル等とアクリル酸、メタクリル酸等との共重合体、及びこれに更に各種不飽和基を付加させたもの等が挙げられる。
有機溶剤としては、有機バインダーの種類等に応じて適宜選択すれば良く、例えばエタノール、メタノール、ＩＰＡ等のアルコール類のほか、ターピネオール（α−ターピネオールまたはα−ターピネオールを主成分としたβ−ターピネオール、γ−ターピネオールの混合体）、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、エチレングリコールアルキルエーテル等が挙げられる。これらの溶剤は単独で用いても良いし、２種以上を併用することもできる。
その他にも、ペーストの調製として、必要に応じて、例えば可塑剤、増粘剤、増感剤、界面活性剤、分散剤等の公知の添加剤を適宜配合することができる。
封着用のペーストを得るため、封着材料に対して有機バインダー、有機溶剤を加えることができる。本発明の封着材料は、少なくとも有機バインダーと溶剤とが加えられてなるペースト状材料であることを含む。ペースト状材料とすることで、使い勝手がよい。
有機バインダーとしては、例えばエチルセルロース等のセルロース樹脂、主成分であるメチルメタアクリレートと各種アクリレート、メタアクリレート、アクリルアミド、スチレン、アクリロニトリル等とアクリル酸、メタクリル酸等との共重合体、及びこれに更に各種不飽和基を付加させたもの等が挙げられる。
有機溶剤としては、有機バインダーの種類等に応じて適宜選択すれば良く、例えばエタノール、メタノール、ＩＰＡ等のアルコール類のほか、ターピネオール（α−ターピネオールまたはα−ターピネオールを主成分としたβ−ターピネオール、γ−ターピネオールの混合体）、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、エチレングリコールアルキルエーテル等が挙げられる。これらの溶剤は単独で用いても良いし、２種以上を併用することもできる。
その他にも、ペーストの調製として、必要に応じて、例えば可塑剤、増粘剤、増感剤、界面活性剤、分散剤等の公知の添加剤を適宜配合することができる。
以下に、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
（ガラス及びガラス粉末の製造）
表１〜表７に示すように、実施例１〜４２及び比較例１〜２のガラス組成となるように原料を調合、混合した。得られた混合物を白金るつぼに入れ、８５０〜９５０℃の温度で１時間溶融した。そして双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。
その後、前記ブロックは予想されるガラス転移点より約５０℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
また前記ガラスフレークはポットミルに入れ、粉砕してガラス粉末とした。
表１〜表７に示すように、実施例１〜４２及び比較例１〜２のガラス組成となるように原料を調合、混合した。得られた混合物を白金るつぼに入れ、８５０〜９５０℃の温度で１時間溶融した。そして双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。
その後、前記ブロックは予想されるガラス転移点より約５０℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
また前記ガラスフレークはポットミルに入れ、粉砕してガラス粉末とした。
（フィラーとの混合物の調整）
表８に示すように、実施例４３〜６０、比較例３〜４に示す割合で、ガラス粉末とセラミックスフィラー粉末を混合し、混合粉末をそれぞれ調整した。
表８に示すように、実施例４３〜６０、比較例３〜４に示す割合で、ガラス粉末とセラミックスフィラー粉末を混合し、混合粉末をそれぞれ調整した。
（試験方法）
実施例１〜４２、比較例１〜２について、下記の方法によりガラス粉末のガラス転移点、軟化点、結晶化温度、ガラスブロックの熱膨張係数及びガラスのフロー径を測定した。またフロー後、ＸＲＤ測定を実施し、結晶の有無を調査した。
実施例４３〜６０、比較例３〜４の混合粉末について、圧粉体のフロー径及び熱膨張係数を測定した。
これらの結果を表１〜表８に示す。
実施例１〜４２、比較例１〜２について、下記の方法によりガラス粉末のガラス転移点、軟化点、結晶化温度、ガラスブロックの熱膨張係数及びガラスのフロー径を測定した。またフロー後、ＸＲＤ測定を実施し、結晶の有無を調査した。
実施例４３〜６０、比較例３〜４の混合粉末について、圧粉体のフロー径及び熱膨張係数を測定した。
これらの結果を表１〜表８に示す。
（１）ガラス転移点Ｔｇ、軟化点Ｔｓ、結晶化温度Ｔｐ、結晶化の判定
ガラス粉末約６０〜８０ｍｇを白金セルに充填し、ＤＴＡ測定装置（リガク社製Ｔｈｅｒｍｏ Ｐｌｕｓ ＴＧ８１２０）を用いて、室温から２０℃／分で昇温させてガラス転移点（℃）、軟化点（℃）、結晶化温度（℃）を測定した。
結晶化については、ガラス粉末を焼成した後、Ｘ線回析装置にて結晶であることが確認されたものを△、結晶とガラス相が混在しているものを〇、ガラス相のみ検出されたものを◎として判定した。
ガラス粉末約６０〜８０ｍｇを白金セルに充填し、ＤＴＡ測定装置（リガク社製Ｔｈｅｒｍｏ Ｐｌｕｓ ＴＧ８１２０）を用いて、室温から２０℃／分で昇温させてガラス転移点（℃）、軟化点（℃）、結晶化温度（℃）を測定した。
結晶化については、ガラス粉末を焼成した後、Ｘ線回析装置にて結晶であることが確認されたものを△、結晶とガラス相が混在しているものを〇、ガラス相のみ検出されたものを◎として判定した。
（２）ガラスの熱膨張係数α
上記で得られたガラスブロックを約５×５×１５ｍｍに切り出し、研磨して測定用のサンプルとした。ＴＭＡ測定装置を用いて、室温から１０℃／分で昇温したときに得られる熱膨張曲線から、５０℃と３００℃、又は５０℃と２５０℃の２点に基づく熱膨張係数（×１０−７／℃）を求めた。
上記で得られたガラスブロックを約５×５×１５ｍｍに切り出し、研磨して測定用のサンプルとした。ＴＭＡ測定装置を用いて、室温から１０℃／分で昇温したときに得られる熱膨張曲線から、５０℃と３００℃、又は５０℃と２５０℃の２点に基づく熱膨張係数（×１０−７／℃）を求めた。
（３）ガラス粉末の圧粉体のフロー径
得られたガラス粉末約８ｇを内径２０ｍｍの金型に入れ、プレスして成形し、圧粉体とした。各圧粉体を４８０℃で１５分間焼成し、得られた焼結体の直径を測定し、ガラス粉末の圧粉体のフロー径（ｍｍ）とした。
得られたガラス粉末約８ｇを内径２０ｍｍの金型に入れ、プレスして成形し、圧粉体とした。各圧粉体を４８０℃で１５分間焼成し、得られた焼結体の直径を測定し、ガラス粉末の圧粉体のフロー径（ｍｍ）とした。
（４）セラミックス粉末混合品の圧粉体のフロー径
得られたガラス粉末とセラミックスフィラー粉末を混合した後、約８ｇを内径２０ｍｍの金型に入れ、プレスして成形し、圧粉体とした。各圧粉体を５００℃で１５分間焼成し、得られた焼結体の直径を測定し、セラミックス粉末混合品の圧粉体のフロー径（ｍｍ）とした。
得られたガラス粉末とセラミックスフィラー粉末を混合した後、約８ｇを内径２０ｍｍの金型に入れ、プレスして成形し、圧粉体とした。各圧粉体を５００℃で１５分間焼成し、得られた焼結体の直径を測定し、セラミックス粉末混合品の圧粉体のフロー径（ｍｍ）とした。
（５）セラミックス粉末混合品の焼成体の熱膨張係数α
上記（４）で得られた焼結体を約５×５×１５ｍｍに切り出し、試験体を作製した。試験体につき、ＴＭＡ測定装置を用いて、室温から１０℃／分で昇温したときに得られる熱膨張曲線から５０℃と３００℃の２点に基づく熱膨張係数（×１０−７／℃）を求めた。
上記（４）で得られた焼結体を約５×５×１５ｍｍに切り出し、試験体を作製した。試験体につき、ＴＭＡ測定装置を用いて、室温から１０℃／分で昇温したときに得られる熱膨張曲線から５０℃と３００℃の２点に基づく熱膨張係数（×１０−７／℃）を求めた。
（実施例１）
原料としては、酸化テルル、ホウ酸、酸化ビスマス、酸化タングステン、炭酸バリウム、酸化亜鉛、炭酸リチウム、酸化銅を用い、所定の割合になるよう調合、混合し、該混合物を白金るつぼに入れ、９５０℃の温度で１時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。その後、ブロックは予想されるガラス転移点より約５０℃高い温度に設定した電気炉に入れ徐冷を行った。
作製したガラスフレークをポットミルで粉砕し、ガラス粉末を得た。このガラス粉末をプレス成形した後、１．５時間で４８０℃へ昇温し、１５分間保持してフローをさせた。フロー径は３５ｍｍであった。
原料としては、酸化テルル、ホウ酸、酸化ビスマス、酸化タングステン、炭酸バリウム、酸化亜鉛、炭酸リチウム、酸化銅を用い、所定の割合になるよう調合、混合し、該混合物を白金るつぼに入れ、９５０℃の温度で１時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。その後、ブロックは予想されるガラス転移点より約５０℃高い温度に設定した電気炉に入れ徐冷を行った。
作製したガラスフレークをポットミルで粉砕し、ガラス粉末を得た。このガラス粉末をプレス成形した後、１．５時間で４８０℃へ昇温し、１５分間保持してフローをさせた。フロー径は３５ｍｍであった。
（実施例２〜４２）
実施例１と同様に、実施例２〜４２を測定した。
実施例１と同様に、実施例２〜４２を測定した。
（実施例４３）
実施例９のガラス粉末を７０％、ジルコンフィラーの粉末を３０％混合した後、混合物をプレス成形した。得られた圧粉体を１．５時間で５００℃へ昇温し、１５分間保持して焼結体を得た。この得られた焼結体のフロー径は２８ｍｍであった。また焼結体の５０℃と３００℃の２点に基づく熱膨張係数αを求めたところ、９４×１０−７／℃であった。
実施例９のガラス粉末を７０％、ジルコンフィラーの粉末を３０％混合した後、混合物をプレス成形した。得られた圧粉体を１．５時間で５００℃へ昇温し、１５分間保持して焼結体を得た。この得られた焼結体のフロー径は２８ｍｍであった。また焼結体の５０℃と３００℃の２点に基づく熱膨張係数αを求めたところ、９４×１０−７／℃であった。
（実施例４４〜６０）
実施例４３と同様に、実施例４４〜６０の各ガラス種と各フィラー種を用いて測定した。
実施例４３と同様に、実施例４４〜６０の各ガラス種と各フィラー種を用いて測定した。
（比較例１）
原料としては、酸化ビスマス、炭酸カルシウム、炭酸バリウム、酸化亜鉛、ホウ酸、酸化ケイ素、水酸化アルミニウムを用い、所定の割合になるよう調合、混合し、該混合物を白金るつぼに入れ、９５０℃の温度で１時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。その後、ブロックは予想されるガラス転移点より約５０℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
作製したガラスフレークをポットミルで粉砕し、ガラス粉末を得た。このガラス粉末をプレス成形した後、１．５時間で４８０℃へ昇温し、１５分間保持してフローをさせた。フロー径は１９ｍｍであり、圧粉体が収縮したのみであった。
（比較例２）
比較例１の場合と同様に、測定した。フロー径は２６ｍｍであった。
原料としては、酸化ビスマス、炭酸カルシウム、炭酸バリウム、酸化亜鉛、ホウ酸、酸化ケイ素、水酸化アルミニウムを用い、所定の割合になるよう調合、混合し、該混合物を白金るつぼに入れ、９５０℃の温度で１時間溶融した後、双ロール法で急冷してガラスフレークを得ると共に、予め加熱しておいたカーボン板に流し出してブロックを作製した。その後、ブロックは予想されるガラス転移点より約５０℃高い温度に設定した電気炉に入れ、徐冷を行った。
作製したガラスフレークをポットミルで粉砕し、ガラス粉末を得た。このガラス粉末をプレス成形した後、１．５時間で４８０℃へ昇温し、１５分間保持してフローをさせた。フロー径は１９ｍｍであり、圧粉体が収縮したのみであった。
（比較例２）
比較例１の場合と同様に、測定した。フロー径は２６ｍｍであった。
（比較例３）
比較例１のガラス粉末を８０％、リン酸ジルコニウムフィラーの粉末を２０％混合した後、混合物をプレス成形した。得られた圧粉体を１．５時間で５００℃へ昇温し、１５分間保持して焼結体を得た。この得られた焼結体はフローせず、原型のままであった。
比較例１のガラス粉末を８０％、リン酸ジルコニウムフィラーの粉末を２０％混合した後、混合物をプレス成形した。得られた圧粉体を１．５時間で５００℃へ昇温し、１５分間保持して焼結体を得た。この得られた焼結体はフローせず、原型のままであった。
（比較例４）
比較例２のガラス粉末を８０％、ジルコンフィラーの粉末を２０％混合した後、混合物をプレス成形した。得られた圧粉体を１．５時間で５００℃へ昇温し、１５分間保持して焼結体を得た。この得られた焼結体のフロー径は１９ｍｍであり、ほとんどフローしていなかった。この焼結体の５０℃と３００℃の２点に基づく熱膨張係数αを求めたところ、９５×１０−７／℃であった。
比較例２のガラス粉末を８０％、ジルコンフィラーの粉末を２０％混合した後、混合物をプレス成形した。得られた圧粉体を１．５時間で５００℃へ昇温し、１５分間保持して焼結体を得た。この得られた焼結体のフロー径は１９ｍｍであり、ほとんどフローしていなかった。この焼結体の５０℃と３００℃の２点に基づく熱膨張係数αを求めたところ、９５×１０−７／℃であった。
上記比較例３は、比較例１のガラスの軟化点が高すぎるためフローしない。
比較例４は、比較例２のガラスの結晶化傾向が著しく、ガラスとフィラーの混合物となると一層結晶化傾向が著しいため、フロー径が小さくなる。
それに比較して、本発明の実施例に係る封着材料は、軟化点が低く、結晶が析出しない、或いは結晶が析出してもわずかなため、５００℃の焼成温度でもフローし、低温で封着することが可能である。
比較例４は、比較例２のガラスの結晶化傾向が著しく、ガラスとフィラーの混合物となると一層結晶化傾向が著しいため、フロー径が小さくなる。
それに比較して、本発明の実施例に係る封着材料は、軟化点が低く、結晶が析出しない、或いは結晶が析出してもわずかなため、５００℃の焼成温度でもフローし、低温で封着することが可能である。
本発明の封着材料は、５００℃以下の低温で封着ができる。また繰り返しの焼成においても、フィラーとガラスが反応することがないため、結晶が析出することがない、或いは析出してもごくわずかであり、流動性に優れ、機械的強度、耐久性が高く、ＩＣパッケージや水晶振動子パッケージ等の電子部品の封着に適した封着材料として利用することができる。
Claims (7)
- 実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、
ＴｅＯ２ ：４０〜５８％、
Ｂ２Ｏ３ ：０．１〜１０％、
Ｂｉ２Ｏ３ ：３〜３０％、
ＷＯ３ ：３〜３０％、
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で４〜２５％、
Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜８％、
を含有することを特徴とする封着材料。 - 実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、
ＴｅＯ２ ：４５〜５８％、
Ｂ２Ｏ３ ：１〜８％、
Ｂｉ２Ｏ３ ：４〜２０％、
ＷＯ３ ：４〜２５％、
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で８〜２０％、
Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜５％、
を含有することを特徴とする請求項１に記載の封着材料。 - 実質的に酸化鉛、酸化バナジウムを含まず、酸化テルル系ガラス粉末を含有する封着材料であって、酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、
ＴｅＯ２ ：４８〜５５％、
Ｂ２Ｏ３ ：２〜５％、
Ｂｉ２Ｏ３ ：８〜１５％、
ＷＯ３ ：８〜２０％、
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｎＯの内の少なくとも１種以上を合計で８〜１５％、
Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏの内の少なくとも１種以上を合計で０．１〜５％、
を含有することを特徴とする請求項２に記載の封着材料。 - 酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の内の少なくとも１種以上を合計で２％以下含有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の封着材料。
- 酸化テルル系ガラス粉末が、質量％表示で、ＣｕＯ、ＣｏＯの内の少なくとも１種以上を合計で１０％以下含有することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の封着材料。
- 質量％表示で、酸化テルル系ガラス粉末を９０〜６０％、セラミックスフィラー粉末を１０〜４０％、含有することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の封着材料。
- 少なくとも有機バインダーと溶剤とが加えられてなるペースト状材料であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の封着材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017151469A JP6934352B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 封着材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017151469A JP6934352B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 封着材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019031403A JP2019031403A (ja) | 2019-02-28 |
| JP6934352B2 true JP6934352B2 (ja) | 2021-09-15 |
Family
ID=65522995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017151469A Active JP6934352B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 封着材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6934352B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020174718A1 (ja) | 2019-02-25 | 2020-09-03 | 株式会社Ihi | シール装置及び複合ポンプ |
| CN111847882B (zh) * | 2020-08-10 | 2022-08-19 | 福州瑞克布朗医药科技有限公司 | 低温封接玻璃及其制备方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101164942A (zh) * | 2006-10-19 | 2008-04-23 | 北京印刷学院 | 一种无铅碲酸盐低熔封接玻璃 |
| KR101587683B1 (ko) * | 2013-02-15 | 2016-01-21 | 제일모직주식회사 | 태양전지 전극 형성용 조성물 및 이로부터 제조된 전극 |
-
2017
- 2017-08-04 JP JP2017151469A patent/JP6934352B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2019031403A (ja) | 2019-02-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4972954B2 (ja) | ビスマス系ガラス組成物およびビスマス系封着材料 | |
| JP4930897B2 (ja) | Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系封着材料 | |
| JP4766444B2 (ja) | ビスマス系無鉛封着材料 | |
| JP6617541B2 (ja) | 無鉛ガラス及び封着材料 | |
| JP2006137637A (ja) | 低融点ガラスおよび封着用組成物ならびに封着用ペースト | |
| JP5212884B2 (ja) | ビスマス系封着材料およびビスマス系ペースト材料 | |
| JP6966461B2 (ja) | 結晶化ガラス封着材 | |
| JP2009298673A (ja) | 封着材料 | |
| JP6934352B2 (ja) | 封着材料 | |
| TWI572575B (zh) | Lead free glass and sealing material | |
| JP6438596B2 (ja) | 封止用ガラス組成物 | |
| KR101570310B1 (ko) | 비스무트계 유리 조성물 | |
| JP5083704B2 (ja) | ビスマス系封着材料 | |
| JP2006143480A (ja) | Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系ガラス組成物およびＢｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系封着材料 | |
| JPWO2016108272A1 (ja) | 低温封着材料 | |
| JP2011225404A (ja) | ＳｎＯ−Ｐ２Ｏ５系ガラス、封着材料及び封着ペースト | |
| JP6963413B2 (ja) | 封止用ガラス組成物 | |
| JP2007169162A (ja) | ビスマス系ガラス組成物およびビスマス系材料 | |
| WO2021199625A1 (ja) | 半導体素子被覆用ガラス及びこれを用いた半導体被覆用材料 | |
| WO2018221426A1 (ja) | 封止用ガラス組成物 | |
| JP7506566B2 (ja) | 封着・被覆用材 | |
| JP2011173735A (ja) | ビスマス系ガラス | |
| JP7132735B2 (ja) | 金属製真空二重容器封着用ガラス組成物と金属製真空二重容器 | |
| JP2022155512A (ja) | 封着用組成物 | |
| WO2021149633A1 (ja) | 低熱膨張性封着・被覆用ガラス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200626 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210630 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210803 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210823 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6934352 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |