JPWO2016088804A1 - 弾性波素子、分波器および通信モジュール - Google Patents
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Abstract
本発明の弾性波素子は、多重モード型フィルタ17と容量部70とを備える。多重モード型フィルタ17は、圧電結晶からなる基板53と、基板53の上面53aに位置し、複数の電極指63を有する第1櫛歯電極59Aおよび基準電位に接続される第2櫛歯電極59Bを備えた、信号が入力される第1IDT55,これに隣接する第2IDT56を含む。容量部70は、基板53の上面53aに位置し、第1IDT55の第1櫛歯電極59Aの側に電気的に接続される第1対向電極71Aと、この第1対向電極71Aと間隔をあけて配置され、基準電位に接続された第2対向電極71Bとを備える。
Description
(通信モジュール)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る分波器1(デュプレクサ)の利用例(通信モジュール101)の要部を示すブロック図である。通信モジュール101は、電波を利用した無線通信を行うものである。分波器1は、通信モジュール101において送信周波数の信号と受信周波数の信号とを分波する機能を有している。
図2は、分波器1の構成を示す回路図である。
図3は、弾性表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)素子等の弾性波素子51(以下SAW素子51という)の構成の一部を示す平面図である。SAW素子51は、例えば、図2に示す分波器1の受信フィルタ9を構成するものであり、圧電性を有する基板53と、この基板53上に形成された多重モード型フィルタ17と補助共振子15と容量部70とを備える。図3は、多重モード型フィルタ17と容量部70との部分のみを示したものである。また、図3では紙面の略全面が基板53の主面であるものとし、基板53の外周は表示していない。
SAW素子51は、上記の基本的な構成に加え、歪波がSN比に及ぼす影響を抑制するために、容量部70を有している。
図2に示す共振子15や送信フィルタ5を構成する直列共振子S1〜S3,並列共振子P1〜P3は、例えば、第1IDT55に示すようなIDTとこれの両端に配置された2つの反射器とで構成することができる。
ここで多重モード型フィルタ17における歪波の発生原理について検討する。圧電結晶に電極によって電場が印加されると、誘電率の2次の非線形性によってその電場に応じた歪電流が流れ、外部に歪波として出力される。この基本原理は単純であるが、実際のSAWデバイスや付加容量では、圧電結晶表面に形成されたIDTやインターディジタル電極によって圧電結晶の内部に電場が励起されるため、電場は単純な形ではなく、面方向成分と深さ方向成分を持つ。この電場に対し、非等方性の誘電率の非線形性が対応して、それぞれに起因する歪電流(面方向効果、深さ方向効果)を発生させる。実際に観察される歪波はこれらの歪電流の位相(極性)を含めた足し合わせになる。
ここで、上記した歪波発生原理を確認する実験結果を説明する。図6に作製したデバイスの概要を示す。デバイスは基本的に2つのストリップ状の電極が、あるギャップだけ間隔をあけて配置されたインターディジタル・キャパシタになっている。本実験では、リファレンス用の対称形状(「対称モデル」)の電極の他に、電極の非対称性起因の歪波を確認するために、2種類の非対称モデル1,2に係るインターディジタル・キャパシタを作製した。非対称モデル1は片側のストリップ状の電極の幅を大きくしたものであり、非対称モデル2は片側の電極を反射器のようにショートさせた複数のストリップとしたものである。これは、後で述べる多重モード型フィルタの第1IDT55の端部を模したものである。圧電基板Sは42°Yカット−X伝播のLiTaO3基板を使用した。また、上述の各モデルについて、このインターディジタル・キャパシタの2つの電極の配列方向をX軸に対して0°とした場合と90°とした場合についてそれぞれ作製した。
図10に多重モード型フィルタ17を第1〜第3IDT55〜57の静電容量に注目して回路図にしたものを示す。第1IDT55は、入力IDTとして機能するものであり、一方の櫛歯電極59Aが信号端子SIGに、他方の櫛歯電極59Bが接地電位(参照電極RP)に接続されている。また、第1IDT55に隣接する第2IDT56,第3IDT57は、出力IDTとして機能するものであり、一方の櫛歯電極59D,59Fが接地電位に、他方の櫛歯電極59C,59Eが出力端子OUT1,OUT2に接続されている。
図11と図7(b)とを用いて、容量部70により、多重モード型フィルタ17からの歪波を打ち消す原理について説明する。図11は、図3に示すSAW素子1の一部の構成を示す要部概略平面図である。図11において、第3IDT57,反射器58等の図示を省略している。
上述のSAW素子51では、容量部70により面方向の電場に起因する歪電流を出力させることで歪波を低減させる例について説明したが、容量部70に代えて、深さ方向の電場に起因する歪電流を出力させる容量部75により歪波を低減させてもよい。この容量部75は、図6で示した、配置方向が0°の対称モデルのインターディジタル・キャパシタとして振る舞うこととなる。
図12では、容量部75を構成する対向電極76A,76Bの幅を異ならせた場合について説明したが、容量部75は第2対向電極76Bの側に電場を偏らせることができればこの例に限定されない。
上述の例では、回転Yカット・X伝播の圧電結晶を基板として用いた場合を例に説明したが、−回転Yカット・X伝播の圧電結晶を用いてもよい。この場合であっても、結晶軸Z軸方向における電場の大きさ、極性を考慮の上、容量部70,75を設計すれば、上述に示した例と同様の効果を奏することができる。
図3,図11,図12において、容量部70,75は、多重モード型フィルタ17の信号端子SIGに直接接続している例を説明したが、本発明ではこれに限らず、例えば、受信フィルタ9の多重モード型フィルタ17の前段に接続されている共振子(図2の15)のさらに前段や、送信フィルタ5側に接続することもできる。これらの場所は、一般に多重モード型フィルタ17の信号端子SIGよりも高い高周波電圧が印加されているため、小さい付加容量でも大きな歪電流が発生する。このため、容量部70,75を小型化することができる。これにより、デバイス全体を小型化することができる。例えば、容量部70,75の容量を大きくするために複雑な櫛歯電極をかみ合わせたものとせずに、単純な一対の対向電極でも効果を奏することができる。これにより、意図せぬ歪波を生じる虞をなくすことができる。
図3,図11に示す例では、容量部70は、SAWの伝播方向であるX軸方向(D1方向)と直交する方向(D2方向)において対向電極71A,71Bを配列させたが、このように90°異ならせなくてもよい。基板53の上面53aにおいて、第1対向電極71Aから第2対向電極71Bに向かう方向に、Z軸由来の電場成分を含めていればよく、例えば、90°から45°以下の角度で傾けてもよい。より好ましくは傾ける角度を30°以下としてもよい。すなわち、対向電極71A,71Bの配列方向をD2方向に投影した成分が、−D2方向となっていればよい。
上述の例において、容量部70,75の各対向電極の長さ(対向する幅、交差幅)を、多重モード型フィルタ17の電極指63の長さに比べて長くしてもよい。多重モード型フィルタ17では、電極指63の長さに応じた歪電流が2か所で発生する。このため、容量部70,75の各対向電極の長さを電極指42よりも長くすることで、電場を発生させる領域を確保して、多くの逆位相の歪電流を発生させることができる。
なお、上記では容量部70,75を新たな構成として多重モードフィルタ17の外部に追加することにより多重モードフィルタ17から発生する歪波を打ち消し合う手法について記述したが、多重モードフィルタ17や共振子15の内部に取り入れてもよい。すなわち、容量部70,75の代わりに、共振子15のダミー電極と励振電極のギャップから発生する歪波を用いて打ち消し合うようにしてもよい。この場合には、共振子のダミー電極と励振電極とで90°配置の容量部70が形成されていると考えても良い。その場合には、共振子15の信号が入力される側と出力される側との励振電極の配置をZ軸を考慮して設計すればよい。
また、上記では、容量部70を構成する対向電極71の線幅は略同一としているが、異ならせてもよい。その場合には、面方向成分による歪電流の極性と同極性の歪電流が生じるように調整すると、より大きな歪電流が得られ、容量部70を小型化することができる。
図12において、容量部75は、SAWの伝播方向に交差する方向において(例えばD2方向において)、多重モード型フィルタ17の側方に位置させているが、多重モード型フィルタ17のSAWの伝播方向の延長線上に配置してもよい。この場合には、SAWによる振動の影響を抑制するために、容量部75を厚い絶縁膜で覆ってもよい。このような絶縁膜としては、例えば、SAW素子をWLPする場合のカバーを用いることができる。
また、上述の例では、容量部70,75は多重モード型フィルタ17に対して並列に接続された場合を例に説明したが、直列であってもよい。 さらに、上記では容量部70,75のいずれかを1つ設けた例を説明したが、複数の容量部70または複数の容量部75を設けてもよい。また、容量部70と容量部75とを両方設けてもよい。 また、多重モード型フィルタは本例のように3段に限定される必要はなく、2段でもよいし、3段よりも多くのIDTが縦結合していてもよい。
材料:LiTaO3
カット角:42°Yカット X伝播
IDT55〜57:
材料:Al−Cu
電極指63:
本数(n):31本
ピッチ(p):約2.1μm(λ=4.2um)
ギャップ長さ(d):約0.6μm
幅(w):約1.05μm
交差幅:124μm
共振周波数:900MHz付近
上述の多重モードSAWフィルタ17に対して、容量部80を作製した。具体的には容量部80は、基本構造は、容量部70と同様となっている。容量部80は、対向電極81A,81BをSAWの伝播方向と90°方向(D2方向)に対向させた構成になっており、その対向長さを100μmから400umまで変化させた。また、対向電極71A,71Bのギャップは0.75μmである。容量部70の結晶方位に対する方向(極性)は、多重モード型フィルタ17の第1IDT55端部で発生する歪波の位相と逆位相(相殺)と同位相(強め合い)の2つの場合について試作を行った。図14には「相殺」の場合の配置を示している。すなわち、「相殺」の場合には、Z軸の面方向成分の順方向を−D2方向とすると、容量部80の第1対向電極81Aから第2対向電極81Bに向かう方向を−D2方向としている。
パワー:22dBm
周波数:750〜950MHz
計算対象:2次高調波(1500〜1900MHz)のパワー
図15(a)に容量部80をAに接続した場合のフィルタCの、(b)に容量部80をBに接続した場合のフィルタIの歪波の測定結果を示す。横軸は入力信号の周波数を、縦軸は二次高調波の出力をしめしている。図中に破線でフィルタC,フィルタIの特性を、実線で容量部80を接続しない場合(リファレンス)の特性を示している。
Claims (13)
- LiTaO3またはLiNbO3である圧電結晶からなる基板と、
該基板の上面に位置した、複数の電極指を有する、第1櫛歯電極および基準電位に接続される第2櫛歯電極を備えた、信号が入力される第1IDTおよびこれに隣接する第2IDTを含む多重モード型フィルタと、
前記基板の前記上面に位置した、前記第1IDTの前記第1櫛歯電極の側に電気的に接続された第1対向電極および該第1対向電極に対して間隔をあけて配置されて基準電位に接続された第2対向電極を含む容量部とを備え、
前記基板は、前記圧電結晶のZ軸を前記基板の上面に垂直な方向に投影した成分が、前記基板の下面から上面に向かっており、
前記容量部において、前記第1対向電極および前記第2対向電極が、前記圧電結晶のZ軸を前記基板の上面に投影した成分の順方向に沿って、前記第1対向電極、前記第2対向電極の順に配置されている弾性波素子。 - LiTaO3またはLiNbO3である圧電結晶からなる基板と、
該基板の上面に位置した、複数の電極指を有する、第1櫛歯電極および基準電位に接続される第2櫛歯電極を備えた、信号が入力される第1IDTおよびこれに隣接する第2IDTを含む多重モード型フィルタと、
前記基板の前記上面に位置した、前記第1IDTの前記第1櫛歯電極の側に電気的に接続された第1対向電極および該第1対向電極に対して間隔をあけて配置されて基準電位に接続された第2対向電極を含む容量部とを備え、
前記基板は、前記圧電結晶のZ軸を前記基板の上面に垂直な方向に投影した成分が、前記基板の上面から下面に向かっており、
前記容量部において、前記第1対向電極および前記第2対向電極が、前記圧電結晶のZ軸を前記基板の上面に投影した成分の順方向に沿って、前記第2対向電極、前記第1対向電極の順に配置されている弾性波素子。 - 前記容量部における前記第1対向電極から前記第2対向電極へ向かう方向は、弾性波の伝播方向に直交する方向に対する傾きが45°以下である請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記容量部における前記第1対向電極から前記第2対向電極へ向かう方向は、弾性波の伝播方向に直交している請求項1乃至3のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 圧電結晶からなる基板と、
該基板の上面に位置した、複数の電極指を有する第1櫛歯電極および基準電位に接続される第2櫛歯電極を備えた、信号が入力される第1IDTおよびこれに隣接する第2IDTを含む多重モード型フィルタと、
前記基板の前記上面に位置した、前記第1IDTの前記第1櫛歯電極の側に電気的に接続された第1対向電極および該第1対向電極に対して間隔をあけて配置されて基準電位に接続された第2対向電極を含む容量部とを備え、
該容量部において、前記第1対向電極および前記第2対向電極が、弾性波の伝播方向に配置されているとともに、前記第1対向電極の弾性波の伝播方向における幅が、前記第2対向電極の弾性波の伝播方向における幅よりも大きい弾性波素子。 - 前記第1対向電極から前記第2対向電極へ向かう方向が、弾性波の伝播方向に略平行である請求項5に記載の弾性波素子。
- 前記第2対向電極は矩形状であり、
前記第1対向電極は、前記第2対向電極を弾性波の伝播方向において挟むように配置された、それぞれ矩形状の第1電極部分および第2電極部分を備える、請求項5または6に記載の弾性波素子。 - 前記第1IDTの前記第1櫛歯電極に電気的に接続された補助共振子をさらに備え、
前記容量部は、前記補助共振子を挟んで前記多重モード型フィルタの反対側に接続されている請求項1乃至7のいずれか1項に記載の弾性波素子。 - 前記第1対向電極および前記第2対向電極の交差幅は、前記電極指の長さよりも長い請求項1乃至8のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記容量部は、前記弾性波の伝播方向に直交する方向において、前記多重モード型フィルタの側方に位置している請求項1乃至9のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記第1対向電極の幅の中心と前記第2対向電極の幅の中心との間隔は、前記第1IDTの前記電極指の幅の中心の間隔よりも大きい請求項1乃至10のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- アンテナ端子と、送信信号をフィルタリングして前記アンテナ端子に出力する送信フィルタと、前記アンテナ端子からの受信信号をフィルタリングする受信フィルタとを備えた分波器であって、
前記受信フィルタは、請求項1から11のいずれか1項に記載の弾性波素子からなる分波器。 - アンテナと、該アンテナに電気的に接続された請求項12に記載の分波器と、該分波器に電気的に接続されたRF−ICとを備える通信モジュール。
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