JPWO2016075750A1 - 大気圧プラズマ処理装置、およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に、本発明の第1実施例の大気圧プラズマ処理装置10を示す。大気圧プラズマ処理装置10は、微小な被処理体にプラズマ処理を施し、被処理体の濡れ性,親水性、分散性等を向上させるための装置である。微小な被処理体として、数mm以下の電子部品、粉粒体等が挙げられ、粉粒体として、粉状の薬品、カーボン粒子等が挙げられる。
大気圧プラズマ処理装置10では、上述した構成により、ハウジング30内にプラズマ発生装置22によってプラズマを吹き込むことで、ハウジング30に収容された被処理体に対するプラズマ処理が施される。具体的には、まず、作業者が、ロック機構の解除により、第1半球体34と第2半球体36とを分離させ、ハウジング30を開口させる。そして、ハウジング30内に被処理体として複数の微小な電子部品を収容した後に、第1半球体34と第2半球体36とをロック機構により固定させ、ハウジング30を密閉する。
第2実施例の大気圧プラズマ処理装置70を、図5に示す。大気圧プラズマ処理装置70は、収容器72と、回転装置74と、プラズマ発生装置76とを備えている。収容器72は、第1半球体78と第2半球体80とフィルタ82とを含む。第1半球体78と第2半球体80とは、内部が空洞の球を概して半分に分割した椀形状をなし、互いに略同寸法である。また、フィルタ82は、短円筒状をなし、それの外径は、第1半球体78と第2半球体80との各々の開口部の外径と略同寸法である。なお、フィルタ82の目開きは、フィルタ32と同様に、収容器72に収容される被処理体の寸法より小さい。
Claims (4)
- 微小な被処理体を収容するハウジングと、前記ハウジングに収容された被処理体より小さな網目状をなし、前記ハウジングに形成された貫通穴を覆う網目状体とを有する収容器と、
前記収容器から離れた状態で配設され、前記網目状体を介して、前記ハウジングの内部に向かってプラズマを吹き出すプラズマ発生装置と
を備え、前記ハウジングに収容された被処理体に対するプラズマ処理を行う大気圧プラズマ処理装置。 - 前記大気圧プラズマ処理装置が、
前記収容器と前記プラズマ発生装置とを、前記プラズマ発生装置が前記網目状体を介して前記ハウジングの内部に向かってプラズマを吹き出し可能な状態で、相対的に移動させる移動装置を備えることを特徴とする請求項1に記載の大気圧プラズマ処理装置。 - 前記被処理体が、電子部品であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の大気圧プラズマ処理装置。
- (A)微小な被処理体を収容するハウジングと、前記ハウジングに収容された被処理体より小さな網目状をなし、前記ハウジングに形成された貫通穴を覆う網目状体とを有する収容器と、(B)前記網目状体を介して、前記ハウジングの内部に向かってプラズマを吹き出すプラズマ発生装置とを備えた大気圧プラズマ処理装置を用いて、前記ハウジングに収容された被処理体に対するプラズマ処理を行うプラズマ処理方法において、
前記プラズマ処理方法が、
前記収容器から離れた状態で配設された前記プラズマ発生装置が、前記網目状体を介して、前記ハウジングの内部に向かってプラズマを吹き出すことで、前記ハウジングに収容された被処理体に対するプラズマ処理を行う吹出工程を含むことを特徴とするプラズマ処理方法。
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